CN105019016A - 具有翻转装置的拉晶炉 - Google Patents
具有翻转装置的拉晶炉 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105019016A CN105019016A CN201510473444.1A CN201510473444A CN105019016A CN 105019016 A CN105019016 A CN 105019016A CN 201510473444 A CN201510473444 A CN 201510473444A CN 105019016 A CN105019016 A CN 105019016A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- crystal pulling
- furnace
- stove circle
- gear
- heating unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明涉及半导体致冷件生产技术领域的设备,名称是具有翻转装置的拉晶炉,包括炉体,炉体安装在架子上,炉体内部具有炉腔,在炉腔内设置加热装置和多组卡着拉晶管的卡件,加热装置可以对拉晶管进行加热,所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔,卡件后面安装第一转轴,第一转轴穿过轴孔,在第一转轴外面有小齿轮;在炉体的端部外侧具有转轮,转轮经过转轴安装在架子上,转轮连接第一动力装置,转轮内侧有大齿圈,齿圈和小齿轮啮合,具有不用翻转就可以使拉晶管各处受热均匀、拉晶效果好的优点。
Description
技术领域
本发明涉及半导体致冷件生产技术领域的设备,特别是涉及拉晶炉。
背景技术
晶粒是制造半导体致冷件的部件,晶粒的主要成分是三碲化二铋,作为制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齐,晶粒里面的分子排列越整齐,致冷件的效率就越高。
晶粒是由晶棒切割而成的,这就要求晶棒里面的分子排列是整齐的。
制造晶棒时,对其里面的分子进行排列的过程就是拉晶,拉晶是在拉晶炉中进行的,原料放置在拉晶管中,拉晶时拉晶管处于均衡的环境中有利于拉晶的效果。
拉晶炉具有炉腔,在炉腔内有放置拉晶管的卡件,拉晶时卡件卡着拉晶管;现有技术中,炉腔内的卡件是固定在炉腔内、不会转动的,这样,在拉晶的过程中,拉晶管在炉腔内的位置是不动的,具有拉晶效果差的缺点。
发明内容
本发明的目的就是针对上述缺点,提供一种拉晶效果好的拉晶炉——具有翻转装置的拉晶炉。
本发明的技术方案是这样实现的:具有翻转装置的拉晶炉,包括炉体,炉体安装在架子上,炉体内部具有炉腔,在炉腔内设置加热装置和多组卡着拉晶管的卡件,加热装置可以对拉晶管进行加热,其特征是:
所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔,卡件后面安装第一转轴,第一转轴穿过轴孔,在第一转轴外面有小齿轮;
在炉体的端部外侧具有转轮,转轮经过转轴安装在架子上,转轮连接第一动力装置,转轮内侧有大齿圈,齿圈和小齿轮啮合。
进一步地讲,所述的炉体是由两端的炉挡板和中间的炉圈组成的,炉挡板是圆形的,炉圈是筒形的,炉挡板和炉圈具有配合的滑轮和滑道,所述的炉圈可以在炉挡板上转动结合,所述的加热装置安装在炉挡板上并在炉圈内,所述的加热装置在炉圈内,所述的炉圈连接有第二动力装置。
较好的,所述的内齿圈的齿数不是小齿轮齿数的倍数。
进一步地讲,所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝和上面的红外线加热管。
本发明的有益效果是:
1、这样的拉晶炉具有不用翻转就可以使拉晶管各处受热均匀、拉晶效果好的优点;
2、所述的炉体是由两端的炉挡板和中间的炉圈组成的,炉挡板是圆形的,炉圈是筒形的,炉挡板和炉圈具有配合的滑轮和滑道,所述的炉圈可以在炉挡板上转动结合,所述的加热装置安装在炉挡板上并在炉圈内,所述的炉圈连接有第二动力装置,具有拉晶效果更好、短时间内完成拉晶、节省能源的优点;
3、所述的内齿圈的齿数不是小齿轮齿数的倍数,所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝和上面的红外线加热管,具有拉晶效果更好的优点。
附图说明
图1是发明的结构示意图。
其中:1、炉体 2、架子 3、炉腔 4、加热装置 5、卡件 6、轴孔 7、第一转轴 8、小齿轮 9、转轮 10、转轴 11、第一动力装置 12、炉挡板 13、炉圈 14、第二动力装置 15、电加热丝 16、红外线加热管。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
如图1所示,具有翻转装置的拉晶炉,包括炉体1,炉体安装在架子2上,炉体1内部具有炉腔3,在炉腔内设置加热装置4和多组卡着拉晶管的卡件5,加热装置可以对拉晶管进行加热,其特征是:
所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔6,卡件后面安装第一转轴7,第一转轴穿过轴孔,在第一转轴外面有小齿轮8;
在炉体的端部外侧具有转轮9,转轮9经过转轴10安装在架子上,转轮连接第一动力装置11,转轮内侧有大齿圈,齿圈和小齿轮啮合。
第一动力装置运行,带动转轮运行,转轮内的大齿圈带动小齿轮运行,由于轴孔6的限位作用,可以实现第一转轴7在同轴芯处的转动,这样避免了拉晶管朝着一个方向放置,例如避免了拉晶管朝向的部位总是朝着一个方向,减少了出现拉晶不均匀的现象,具有本发明的优点。
进一步地讲,所述的炉体是由两端的炉挡板12和中间的炉圈13组成的,炉挡板是圆形的,炉圈是筒形的,炉挡板和炉圈具有配合的滑轮和滑道,所述的炉圈可以在炉挡板上转动结合,所述的加热装置安装在炉挡板上并在炉圈内,所述的炉圈连接有第二动力装置14。由于加热装置安装在炉圈上,这样炉圈转动,加热更均匀。经过试验,这样拉晶时间缩短1∕4,具有相同时间拉晶效果更好、相同质量拉晶时间短、节省能源的优点;
较好的,所述的内齿圈的齿数不是小齿轮齿数的倍数,这样拉晶管的位置就会在截面的朝向上不断的变换,使用效果更好,例如内齿圈的齿数是41、42、43、44齿,小齿轮的齿数是10齿,这样效果更好;如果内齿圈的齿数是40齿,小齿轮的齿数是10齿,这样效果较差。
进一步地讲,所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝15和上面的红外线加热管16。发明人经过试验,这样的拉晶效果更好。
以上所述仅为本发明的具体实施例,但本发明的结构特征并不限于此,任何本领域的技术人员在本发明的领域内,所作的变化或修饰皆涵盖在本发明的专利范围内。
Claims (5)
1.具有翻转装置的拉晶炉,包括炉体,炉体安装在架子上,炉体内部具有炉腔,在炉腔内设置加热装置和多组卡着拉晶管的卡件,加热装置可以对拉晶管进行加热,其特征是:
所述的炉体两端具有多组对应卡件的轴孔,卡件后面安装第一转轴,第一转轴穿过轴孔,在第一转轴外面有小齿轮;
在炉体的端部外侧具有转轮,转轮经过转轴安装在架子上,转轮连接第一动力装置,转轮内侧有大齿圈,齿圈和小齿轮啮合。
2.根据权利要求1所述的拉晶炉,其特征是:所述的炉体是由两端的炉挡板和中间的炉圈组成的,炉挡板是圆形的,炉圈是筒形的,炉挡板和炉圈具有配合的滑轮和滑道,所述的炉圈可以在炉挡板上转动结合,所述的加热装置安装在炉挡板上并在炉圈内,所述的加热装置在炉圈内,所述的炉圈连接有第二动力装置。
3.根据权利要求1或2所述的拉晶炉,其特征是:所述的内齿圈的齿数不是小齿轮齿数的倍数。
4.根据权利要求1或2所述的拉晶炉,其特征是:所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝和上面的红外线加热管。
5.根据权利要求3所述的拉晶炉,其特征是:所述的加热装置包括炉圈内底部的电加热丝和上面的红外线加热管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510473444.1A CN105019016A (zh) | 2015-08-06 | 2015-08-06 | 具有翻转装置的拉晶炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201510473444.1A CN105019016A (zh) | 2015-08-06 | 2015-08-06 | 具有翻转装置的拉晶炉 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105019016A true CN105019016A (zh) | 2015-11-04 |
Family
ID=54409302
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510473444.1A Pending CN105019016A (zh) | 2015-08-06 | 2015-08-06 | 具有翻转装置的拉晶炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN105019016A (zh) |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2086403U (zh) * | 1991-01-14 | 1991-10-09 | 颜学联 | 四管回转式煅烧炉 |
CN1367365A (zh) * | 2001-09-19 | 2002-09-04 | 冯建明 | 电阻炉加热煅烧高岭土回转窑 |
CN101134637A (zh) * | 2007-08-01 | 2008-03-05 | 江苏通力机电集团有限公司 | 玻璃管加热炉 |
CN201046072Y (zh) * | 2007-04-29 | 2008-04-16 | 南京润泽一方微波能高新技术有限公司 | 利用微波和红外能的行星托盘传动式烧烤炉 |
CN101975511A (zh) * | 2010-09-29 | 2011-02-16 | 冯振辉 | 电热式廻转烘干炉 |
RU111140U1 (ru) * | 2010-12-16 | 2011-12-10 | Закрытое акционерное общество "ИНКРОМ" (ЗАО "ИНКРОМ") | Установка, печь и нагреватель печи для изготовления композиционного оптического материала селенид цинка/сульфид цинка |
CN202133247U (zh) * | 2011-06-27 | 2012-02-01 | 迟少波 | 双向加热硅藻土烘干机 |
CN102889782A (zh) * | 2012-09-03 | 2013-01-23 | 杭州金马能源科技有限公司 | 一种石英管式均匀焙烧炉 |
CN102936093A (zh) * | 2012-11-09 | 2013-02-20 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种制备硫系玻璃套管的设备及方法 |
CN204825118U (zh) * | 2015-08-06 | 2015-12-02 | 河南鸿昌电子有限公司 | 具有翻转装置的拉晶炉 |
-
2015
- 2015-08-06 CN CN201510473444.1A patent/CN105019016A/zh active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN2086403U (zh) * | 1991-01-14 | 1991-10-09 | 颜学联 | 四管回转式煅烧炉 |
CN1367365A (zh) * | 2001-09-19 | 2002-09-04 | 冯建明 | 电阻炉加热煅烧高岭土回转窑 |
CN201046072Y (zh) * | 2007-04-29 | 2008-04-16 | 南京润泽一方微波能高新技术有限公司 | 利用微波和红外能的行星托盘传动式烧烤炉 |
CN101134637A (zh) * | 2007-08-01 | 2008-03-05 | 江苏通力机电集团有限公司 | 玻璃管加热炉 |
CN101975511A (zh) * | 2010-09-29 | 2011-02-16 | 冯振辉 | 电热式廻转烘干炉 |
RU111140U1 (ru) * | 2010-12-16 | 2011-12-10 | Закрытое акционерное общество "ИНКРОМ" (ЗАО "ИНКРОМ") | Установка, печь и нагреватель печи для изготовления композиционного оптического материала селенид цинка/сульфид цинка |
CN202133247U (zh) * | 2011-06-27 | 2012-02-01 | 迟少波 | 双向加热硅藻土烘干机 |
CN102889782A (zh) * | 2012-09-03 | 2013-01-23 | 杭州金马能源科技有限公司 | 一种石英管式均匀焙烧炉 |
CN102936093A (zh) * | 2012-11-09 | 2013-02-20 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种制备硫系玻璃套管的设备及方法 |
CN204825118U (zh) * | 2015-08-06 | 2015-12-02 | 河南鸿昌电子有限公司 | 具有翻转装置的拉晶炉 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN204825118U (zh) | 具有翻转装置的拉晶炉 | |
CN105019016A (zh) | 具有翻转装置的拉晶炉 | |
CN204513948U (zh) | 一种烘干箱 | |
CN204258545U (zh) | 一种电机降温装置 | |
CN203457748U (zh) | 简易面条机 | |
CN105063290A (zh) | 一种立式退火炉 | |
CN204630371U (zh) | 一种小型箱式旋转高温加热炉 | |
CN211802853U (zh) | 一种电力管道加工用清洗装置 | |
CN204290110U (zh) | 一种具有散热窗口的开关柜 | |
CN201762382U (zh) | 一种高频局部退火装置 | |
CN206173383U (zh) | 一种轮毂轴管调质加热均匀的高温箱式电阻炉 | |
CN213327486U (zh) | 一种高热值生物成型燃料制造设备装置 | |
CN203756882U (zh) | 一种皮带传动机构 | |
CN204513947U (zh) | 一种新型烘干箱 | |
CN104864708A (zh) | 一种小型箱式旋转高温加热炉 | |
CN202131334U (zh) | 一种调速推进式旋转淬火机 | |
CN203018651U (zh) | 热电偶校直机 | |
CN204685710U (zh) | 一种平口铜线热滚压装置 | |
CN103921033A (zh) | 用于数控焊机上驱动焊头360度圆周旋转的驱动装置 | |
CN203947189U (zh) | 一种化纤材料的下料器 | |
CN204702650U (zh) | 一种超薄玻璃钢化冷却装置 | |
CN203837049U (zh) | 一种多层旋转箱式微波炉 | |
CN220583090U (zh) | 铝棒加热装置 | |
CN204312628U (zh) | 减速机 | |
CN202647912U (zh) | 旋转式微波炉 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20151104 |