CN105002390A - 一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明为了解决现有的采用化学改性的方法进行碳纳米管与金属连接的方法结合力弱和利用聚焦电子束将碳纳米管与金属进行连接的方法操作复杂，设备昂贵，加工面积小的问题，而设计出一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法，包括以下步骤：基体待连接面处理，将基体的待连接面抛光，然后再将基体的待连接面用化学去膜液处理，接着清洗，最后以500eV～5000eV的Ar离子束为溅射源溅射基体的待连接面，得到处理好的基体；碳纳米管悬浊液制备；碳纳米管定向分布处理；完成连接，将完成碳纳米管定向分布的基体放入真空扩散焊机中，完成碳纳米管与金属的连接；所述基体为Au或者在表面沉积Au的金属材料。
Description
技术领域
本发明涉及新材料技术领域，具体的说，是一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法。
背景技术
碳纳米管，又名巴基管，是一种具有特殊结构（径向尺寸为纳米量级，轴向尺寸为微米量级，管子两端基本上都封口）的一维量子材料。碳纳米管（Carbon nanotube）的简称（复数为CNTs），主要由呈六边形排列的碳原子构成数层到数十层的同轴圆管。层与层之间保持固定的距离，约0.34nm，直径一般为2~20 nm。并且根据碳六边形沿轴向的不同取向可以将其分成锯齿形、扶手椅型和螺旋型三种。其中螺旋型的碳纳米管具有手性，而锯齿形和扶手椅型碳纳米管没有手性。
碳纳米管中碳原子以sp2 杂化为主，同时六角型网格结构存在一定程度的弯曲，形成空间拓扑结构，其中可形成一定的sp3杂化键，即形成的化学键同时具有sp2和sp3混合杂化状态，而这些p轨道彼此交叠在碳纳米管石墨烯片层外形成高度离域化的大π键，碳纳米管外表面的大π键是碳纳米管与一些具有共轭性能的大分子以非共价键复合的化学基础。
由于碳纳米管中碳原子采取sp2杂化，相比sp3杂化，sp2杂化中s轨道成分比较大，使碳纳米管具有高模量和高强度。
碳纳米管具有良好的力学性能，CNTs抗拉强度达到50～200GPa,是钢的100倍，密度却只有钢的1/6，至少比常规石墨纤维高一个数量级；它的弹性模量可达1TPa，与金刚石的弹性模量相当，约为钢的5倍。对于具有理想结构的单层壁的碳纳米管，其抗拉强度约800GPa。碳纳米管的结构虽然与高分子材料的结构相似，但其结构却比高分子材料稳定得多。碳纳米管是目前可制备出的具有最高比强度的材料。若将以其他工程材料为基体与碳纳米管制成复合材料, 可使复合材料表现出良好的强度、弹性、抗疲劳性及各向同性，给复合材料的性能带来极大的改善。
碳纳米管的硬度与金刚石相当，却拥有良好的柔韧性，可以拉伸。在工业上常用的增强型纤维中，决定强度的一个关键因素是长径比，即长度和直径之比。材料工程师希望得到的长径比至少是20：1，而碳纳米管的长径比一般在1000：1以上，是理想的高强度纤维材料。2000年10月，美国宾州州立大学的研究人员称，碳纳米管的强度比同体积钢的强度高100倍，重量却只有后者的1/6到1/7。碳纳米管因而被称“超级纤维”。
碳纳米管上碳原子的P电子形成大范围的离域π键，由于共轭效应显著，碳纳米管具有一些特殊的电学性质。
碳纳米管具有良好的导电性能，由于碳纳米管的结构与石墨的片层结构相同，所以具有很好的电学性能。理论预测其导电性能取决于其管径和管壁的螺旋角。当CNTs的管径大于6nm时，导电性能下降；当管径小于6nm时，CNTs可以被看成具有良好导电性能的一维量子导线。有报道说Huang通过计算认为直径为0.7nm的碳纳米管具有超导性，尽管其超导转变温度只有1.5×10-4K，但是预示着碳纳米管在超导领域的应用前景。
常用矢量Ch表示碳纳米管上原子排列的方向，其中Ch=na1+ma2，记为（n，m）。a1和a2分别表示两个基矢。（n，m）与碳纳米管的导电性能密切相关。对于一个给定（n，m）的碳纳米管，如果有2n+m=3q（q为整数），则这个方向上表现出金属性，是良好的导体，否则表现为半导体。对于n=m的方向，碳纳米管表现出良好的导电性，电导率通常可达铜的1万倍。
碳纳米管具有良好的传热性能，CNTs具有非常大的长径比，因而其沿着长度方向的热交换性能很高，相对的其垂直方向的热交换性能较低，通过合适的取向，碳纳米管可以合成高各向异性的热传导材料。另外，碳纳米管有着较高的热导率，只要在复合材料中掺杂微量的碳纳米管 ,该复合材料的热导率将会可能得到很大的改善。
碳纳米管还具有光学等其他良好的性能。
在应用过程中首先要解决的就是碳纳米管与其他材料互相连接的问题。因为碳纳米管是一维纳米材料，所以普通宏观焊接的方法很难在碳纳米管的连接上得到应用。又由于材料性质之间的巨大差异，使得碳纳米管与金属材料连接较难进行。
现有的碳纳米管与金属连接的方法：或使碳纳米管“受控吸附”在经过化学改性处理的金属电极表面，然而化学改性的方法主要靠范德华力或者靠氨基与羧基的缩合反应来实现碳纳米管与其他材料的连接，这种连接结合力弱，而且容易受到环境的影响，在潮湿或者弱酸弱碱环境中化学键容易断裂，不能可靠连地接纳米装置；二是利用聚焦电子束将碳纳米管与金属进行连接，例如用扫描电镜内部的聚焦电子束把少量碳氢杂质沉积在碳纳米管上，这种被沉积杂质的碳纳米管可以粘附在原子力显微镜的探针上，然后在通过探针操作将碳纳米管和多晶硅进行连接；还有一种方法是通过聚焦电子束***将一种具有良好导电性的Au-C复合物沉积到金属电极表面的碳纳米管上，该方法原位地将碳纳米管粘附在金属电极上，使碳纳米管具有较高的导电性。尽管利用聚焦电子束可以获得碳纳米管与金属材料之间一定程度的接触，但聚焦电子束的方法操作复杂，设备昂贵，加工面积小，这种小尺寸点处理不能在较大范围得到应用。
发明内容
本发明的目的在于为了解决现有的采用化学改性的方法进行碳纳米管与金属（特别是Au金属）连接的方法结合力弱和利用聚焦电子束将碳纳米管与金属（特别是Au金属）进行连接的方法操作复杂，设备昂贵，加工面积小的问题，而设计出一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法。
本发明通过下述技术方案实现：一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法，所述碳纳米管与Au金属相结合的方法包括以下步骤：
1）基体待连接面处理，将基体的待连接面抛光至表面粗糙度≤1.5μm，然后再将基体的待连接面用化学去膜液处理，接着用酒精或丙酮清洗，最后以500eV～5000eV的Ar离子束为溅射源溅射基体的待连接面，优选的溅射源为500eV、600eV、700eV、800eV、900eV、1000eV、1100eV、1200eV、1300eV、1400eV、1500eV、1600eV、1700eV、1800eV、1900eV、2000eV、2100eV、2200eV、2300eV、2400eV、2500eV、2600eV、2700eV、2800eV、2900eV、3000eV、3100eV、3200eV、3300eV、3400eV、3500eV、3600eV、3700eV、3800eV、3900eV、4000eV、4100eV、4200eV、4300eV、4400eV、4500eV、4600eV、4700eV、4800eV、4900eV或5000eV的Ar离子束，得到处理好的基体；
2）碳纳米管悬浊液制备，按碳纳米管的浓度为0.15μg/mL～4.5μg/mL，优选的碳纳米管的浓度为0.15μg/mL、0.2μg/mL、0.3μg/mL、0.4μg/mL、0.5μg/mL、0.6μg/mL、0.7μg/mL、0.8μg/mL、0.9μg/mL、1μg/mL、1.1μg/mL、1.2μg/mL、1.3μg/mL、1.4μg/mL、1.5μg/mL、1.6μg/mL、1.7μg/mL、1.8μg/mL、1.9μg/mL、2μg/mL、2.1μg/mL、2.2μg/mL、2.3μg/mL、2.4μg/mL、2.5μg/mL、2.6μg/mL、2.7μg/mL、2.8μg/mL、2.9μg/mL、3μg/mL、3.1μg/mL、3.2μg/mL、3.3μg/mL、3.4μg/mL、3.5μg/mL、3.6μg/mL、3.7μg/mL、3.8μg/mL、3.9μg/mL、4μg/mL、4.1μg/mL、4.2μg/mL、4.3μg/mL、4.4μg/mL或4.5μg/mL，将碳纳米管加入到去离子水或者乙醇中，然后超声处理15min～25min，优选的超声处理15min、16min、17min、18min、19min、20min、21min、22min、23min、24min或25min，得到碳纳米管悬浊液；
3）碳纳米管定向分布处理，将所述碳纳米管悬浊液滴加于处理好的基体的待连接面上，后将整个基体置于磁场强度为1.2T～1.5T的磁场中，优选的磁场强度为1.2T、1.3T、1.4T、1.45T或1.5T，放置2h～5h后将整个基体加热至50℃～70℃，使待连接面上的残余液体完全蒸发，完成碳纳米管在基体待连接面上的定向分布；
4）完成连接，将完成碳纳米管定向分布的基体放入真空扩散焊机中，在真空扩散焊接的条件是真空度为1×10-5Torr～3×10-5Torr、压力为1.0MPa～1.5MPa、温度为500℃～600℃的条件下保持20min～30min，完成碳纳米管与金属的连接，优选保持20min、21min、22min、23min、24min、25min、26min、27min、28min、29min或30min，优选的真空度为1×10-5Torr、1.1×10-5Torr、1.2×10-5Torr、1.3×10-5Torr、1.4×10-5Torr、1.5×10-5Torr、1.6×10-5Torr、1.7×10-5Torr、1.8×10-5Torr、1.9×10-5Torr、2×10-5Torr、2.1×10-5Torr、2.2×10-5Torr、2.3×10-5Torr、2.4×10-5Torr、2.5×10-5Torr、2.6×10-5Torr、2.7×10-5Torr、2.8×10-5Torr、2.9×10-5Torr或3×10-5Torr，优选的压力为1MPa、1.1MPa、1.2MPa、1.3MPa、1.4MPa或1.5MPa、，温度优选为500℃、510℃、520℃、530℃、540℃、550℃、560℃、570℃、580℃、590℃或600℃；
所述基体为Au或者在表面沉积Au的金属材料。
进一步的，为更好的实现本发明，所述的化学去膜液处理是按以下步骤进行的：配制体积分数为13％的H2SO4水溶液，得到化学去膜液，将基体的待连接面浸没于温度为65℃的化学去膜液中保持1min，完成化学去膜处理。
进一步的，为更好的实现本发明，所述碳纳米管的浓度为0.3μg/mL～4μg/mL，超声处理时间为18min～22min。
进一步的，为更好的实现本发明，所述磁场强度为1.2T～1.45T、放置时间为2.5h～5h。
进一步的，为更好的实现本发明，所述真空扩散焊接的条件为真空度为1.2×10-5Torr～2×10-5Torr、压力为1.1MPa～1.4MPa、温度为560℃～590℃的条件下保持22min～28min。
进一步的，为更好的实现本发明，所述真空扩散焊接的条件是真空度为2.1×10-5Torr～2.8×10-5Torr、压力为1.1MPa～1.4MPa、温度为520℃～550℃的条件下保持22min～28min。
进一步的，为更好的实现本发明，所述的碳纳米管是由电弧法、催化热解法或激光蒸发法制备的，或是纯化后的碳纳米管表面溅射或蒸镀铁、钴或镍制备的碳纳米管。
本发明与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：
本发明利用碳纳米管端口处磁性纳米粒子磁力性质，使碳纳米管在金属基体表面定向排布，磁性颗粒由镍、铁和钴及其氧化物构成，在连接过程中既可以对纳米管起导向作用，又可以作为中间过渡层，使碳纳米管和Au基体金属相连接，本发明实现的连接，在连接接头形成稳定的碳化物，不易受环境影响，而且结合力强，连接接头的强度与Au金属基材相同，能够可靠持久连接；采用真空扩散焊接机进行扩散连接，设备便宜，而且该方法将加在Au金属基体待连接面上的碳纳米管与Au金属基体一次、全部焊接完成，焊接的面积大，方法简单易控，便于大规模生产。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步地详细说明，但本发明的实施方式不限于此。
实施例1：
一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法，所述碳纳米管与Au金属相结合的方法包括以下步骤：
1）基体待连接面处理，将基体的待连接面抛光至表面粗糙度≤1.5μm，然后再将基体的待连接面用化学去膜液处理，接着用酒精或丙酮清洗，最后以500eV～5000eV的Ar离子束为溅射源溅射基体的待连接面，优选的溅射源为500eV、600eV、700eV、800eV、900eV、1000eV、1100eV、1200eV、1300eV、1400eV、1500eV、1600eV、1700eV、1800eV、1900eV、2000eV、2100eV、2200eV、2300eV、2400eV、2500eV、2600eV、2700eV、2800eV、2900eV、3000eV、3100eV、3200eV、3300eV、3400eV、3500eV、3600eV、3700eV、3800eV、3900eV、4000eV、4100eV、4200eV、4300eV、4400eV、4500eV、4600eV、4700eV、4800eV、4900eV或5000eV的Ar离子束，得到处理好的基体；
2）碳纳米管悬浊液制备，按碳纳米管的浓度为0.15μg/mL～4.5μg/mL，优选的碳纳米管的浓度为0.15μg/mL、0.2μg/mL、0.3μg/mL、0.4μg/mL、0.5μg/mL、0.6μg/mL、0.7μg/mL、0.8μg/mL、0.9μg/mL、1μg/mL、1.1μg/mL、1.2μg/mL、1.3μg/mL、1.4μg/mL、1.5μg/mL、1.6μg/mL、1.7μg/mL、1.8μg/mL、1.9μg/mL、2μg/mL、2.1μg/mL、2.2μg/mL、2.3μg/mL、2.4μg/mL、2.5μg/mL、2.6μg/mL、2.7μg/mL、2.8μg/mL、2.9μg/mL、3μg/mL、3.1μg/mL、3.2μg/mL、3.3μg/mL、3.4μg/mL、3.5μg/mL、3.6μg/mL、3.7μg/mL、3.8μg/mL、3.9μg/mL、4μg/mL、4.1μg/mL、4.2μg/mL、4.3μg/mL、4.4μg/mL或4.5μg/mL，将碳纳米管加入到去离子水或者乙醇中，然后超声处理15min～25min，优选的超声处理15min、16min、17min、18min、19min、20min、21min、22min、23min、24min或25min，得到碳纳米管悬浊液；
3）碳纳米管定向分布处理，将所述碳纳米管悬浊液滴加于处理好的基体的待连接面上，后将整个基体置于磁场强度为1.2T～1.5T的磁场中，优选的磁场强度为1.2T、1.3T、1.4T、1.45T或1.5T，放置2h～5h后将整个基体加热至50℃～70℃，使待连接面上的残余液体完全蒸发，完成碳纳米管在基体待连接面上的定向分布；
4）完成连接，将完成碳纳米管定向分布的基体放入真空扩散焊机中，在真空扩散焊接的条件是真空度为1×10-5Torr～3×10-5Torr、压力为1.0MPa～1.5MPa、温度为500℃～600℃的条件下保持20min～30min，完成碳纳米管与金属的连接，优选保持20min、21min、22min、23min、24min、25min、26min、27min、28min、29min或30min，优选的真空度为1×10-5Torr、1.1×10-5Torr、1.2×10-5Torr、1.3×10-5Torr、1.4×10-5Torr、1.5×10-5Torr、1.6×10-5Torr、1.7×10-5Torr、1.8×10-5Torr、1.9×10-5Torr、2×10-5Torr、2.1×10-5Torr、2.2×10-5Torr、2.3×10-5Torr、2.4×10-5Torr、2.5×10-5Torr、2.6×10-5Torr、2.7×10-5Torr、2.8×10-5Torr、2.9×10-5Torr或3×10-5Torr，优选的压力为1MPa、1.1MPa、1.2MPa、1.3MPa、1.4MPa或1.5MPa，温度优选为500℃、510℃、520℃、530℃、540℃、550℃、560℃、570℃、580℃、590℃或600℃；
所述基体为Au或者在表面沉积Au的金属材料。
实施例2：
本实施例是在上述实施例的基础上进一步优化，进一步的，为更好的实现本发明，所述的化学去膜液处理是按以下步骤进行的：配制体积分数为13％的H2SO4水溶液，得到化学去膜液，将基体的待连接面浸没于温度为65℃的化学去膜液中保持1min，完成化学去膜处理。
实施例3：
本实施例是在上述任一实施例的基础上进一步优化，进一步的，为更好的实现本发明，所述碳纳米管的浓度为0.3μg/mL～4μg/mL，优选的碳纳米管的浓度为0.3μg/mL、0.5μg/mL、0.8μg/mL、1μg/mL、1.1μg/mL、1.2μg/mL、1.5μg/mL、1.6μg/mL、2μg/mL、2.1μg/mL、2.5μg/mL、2.7μg/mL、3μg/mL、3.5μg/mL或4μg/mL，超声处理时间为18min～22min，优选的超声处理18min、20min或22min。
实施例4：
本实施例是在上述任一实施例的基础上进一步优化，进一步的，为更好的实现本发明，所述磁场强度为1.2T～1.45T、放置时间为2.5h～5h，优选的磁场强度为1.2T或1.45T，放置时间优选为2.5h、3h、4h或5h。
实施例5：
本实施例是在上述任一实施例的基础上进一步优化，进一步的，为更好的实现本发明，所述真空扩散焊接的条件为真空度为1.2×10-5Torr～2×10-5Torr、压力为1.1MPa～1.4MPa、温度为560℃～590℃的条件下保持22min～28min，优选保持22min、25min或28min，优选的真空度为1.2×10-5Torr、1.5×10-5Torr、1.8×10-5Torr或2×10-5Torr，优选的压力为1.1MPa、1.2MPa、或1.4MPa、，温度优选为560℃或590℃。
实施例6：
本实施例是在上述任一实施例的基础上进一步优化，进一步的，为更好的实现本发明，所述真空扩散焊接的条件是真空度为2.1×10-5Torr～2.8×10-5Torr、压力为1.1MPa～1.4MPa、温度为520℃～550℃的条件下保持22min～28min，优选保持22min、24min、25min或28min，优选的真空度为2.1×10-5Torr、2.4×10-5Torr、2.5×10-5Torr或2.8×10-5Torr，优选的压力为1.1MPa、或1.4MPa，温度优选为520℃、540℃或550℃。
实施例7：
本实施例是在上述任一实施例的基础上进一步优化，进一步的，为更好的实现本发明，所述的碳纳米管是由电弧法、催化热解法或激光蒸发法制备的，或是纯化后的碳纳米管表面溅射或蒸镀铁、钴或镍制备的碳纳米管。
实施例8：
本实施例是在上述任一实施例的基础上进一步优化，一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法，所述碳纳米管与Au金属相结合的方法包括以下步骤：
1）基体待连接面处理，将基体的待连接面在抛光机上用800#、2000#、3000#金相砂纸逐级抛光，使基体的表面粗糙度≤1.5μm，然后再将基体的待连接面用化学去膜液处理，接着用酒精或丙酮清洗，最后以4500eV的Ar离子束为溅射源溅射基体的待连接面，得到处理好的基体；
所述的化学去膜液处理是按以下步骤进行的：配制体积分数为13％的H2SO4水溶液，得到化学去膜液，将基体的待连接面浸没于温度为65℃的化学去膜液中保持1min，完成化学去膜处理；
2）碳纳米管悬浊液制备，按碳纳米管的浓度为2.2μg/mL，将碳纳米管加入到去离子水或者乙醇中，然后超声处理18min，得到碳纳米管悬浊液；
所述的碳纳米管是由电弧法、催化热解法或激光蒸发法制备的，或是纯化后的碳纳米管表面溅射或蒸镀铁、钴或镍制备的碳纳米管；
3）碳纳米管定向分布处理，将所述碳纳米管悬浊液滴加于处理好的基体的待连接面上，后将整个基体置于磁场强度为1.45T的磁场中，放置2.5h后将整个基体加热至50℃～70℃，使待连接面上的残余液体完全蒸发，完成碳纳米管在基体待连接面上的定向分布；
4）完成连接，将完成碳纳米管定向分布的基体放入真空扩散焊机中，在真空扩散焊接的条件是真空度为2.5×10-5Torr、压力为1.2MPa、温度为550℃的条件下保持22min，完成碳纳米管与金属的连接；
所述基体为Au或者在表面沉积Au的金属材料。
本发明的原理如下：不同金属与碳具有不同的反应。过渡金属与碳原子键合的能力随其未充满d轨道数增加。金没有d空轨道，因而与碳的亲和力很小，可以忽略。镍、铁和钴等有少量d空轨道的金属在某些温度范围内对碳有一定的亲和能力。采用电弧法、催化热解法、激光蒸发法制备出的碳纳米管的端口处含有催化剂颗粒，催化剂颗粒为铁、钴、镍或其氧化物等磁性颗粒，经过纯化后的碳纳米管再经过改性也在碳纳米管端口处携带磁性颗粒，将这种端***有磁性颗粒的碳纳米管材料制成悬浊液，滴于金属的等待连接面上，然后置于强磁场中，在磁场作用下，碳纳米管形成定向排列，然后再在温度为500℃～600℃的条件下保温加压真空扩散焊接，碳纳米管端口处的磁性颗粒与碳纳米管本身、磁性颗粒与金属基体之间充分扩散，最后在使碳纳米管与金属材料表面形成可靠连接。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例，并非对本发明做任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化，均落入本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法，其特征在于：所述碳纳米管与Au金属相结合的方法包括以下步骤：
1）基体待连接面处理，将基体的待连接面抛光至表面粗糙度≤1.5μm，然后再将基体的待连接面用化学去膜液处理，接着用酒精或丙酮清洗，最后以500eV～5000eV的Ar离子束为溅射源溅射基体的待连接面，得到处理好的基体；
2）碳纳米管悬浊液制备，按碳纳米管的浓度为0.15μg/mL～4.5μg/mL，将碳纳米管加入到去离子水或者乙醇中，然后超声处理15min～25min，得到碳纳米管悬浊液；
3）碳纳米管定向分布处理，将所述碳纳米管悬浊液滴加于处理好的基体的待连接面上，后将整个基体置于磁场强度为1.2T～1.5T的磁场中，放置2h～5h后将整个基体加热至50℃～70℃，使待连接面上的残余液体完全蒸发，完成碳纳米管在基体待连接面上的定向分布；
4）完成连接，将完成碳纳米管定向分布的基体放入真空扩散焊机中，在真空扩散焊接的条件是真空度为1×10-5Torr～3×10-5Torr、压力为1.0MPa～1.5MPa、温度为500℃～600℃的条件下保持20min～30min，完成碳纳米管与金属的连接；
所述基体为Au或者在表面沉积Au的金属材料。
2.根据权利要求1所述的一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法，其特征在于：所述的化学去膜液处理是按以下步骤进行的：配制体积分数为13％的H2SO4水溶液，得到化学去膜液，将基体的待连接面浸没于温度为65℃的化学去膜液中保持1min，完成化学去膜处理。
3.根据权利要求1所述的一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法，其特征在于：所述碳纳米管的浓度为0.3μg/mL～4μg/mL，超声处理时间为18min～22min。
4.根据权利要求1所述的一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法，其特征在于：所述磁场强度为1.2T～1.45T、放置时间为2.5h～5h。
5.根据权利要求1所述的一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法，其特征在于：所述真空扩散焊接的条件为真空度为1.2×10-5Torr～2×10-5Torr、压力为1.1MPa～1.4MPa、温度为560℃～590℃的条件下保持22min～28min。
6.根据权利要求1所述的一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法，其特征在于：所述真空扩散焊接的条件是真空度为2.1×10-5Torr～2.8×10-5Torr、压力为1.1MPa～1.4MPa、温度为520℃～550℃的条件下保持22min～28min。
7.根据权利要求1-6任一项所述的一种低成本易操作的碳纳米管与Au金属相结合的方法，其特征在于：所述的碳纳米管是由电弧法、催化热解法或激光蒸发法制备的，或是纯化后的碳纳米管表面溅射或蒸镀铁、钴或镍制备的碳纳米管。
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| CN115353095A (zh) * | 2022-08-29 | 2022-11-18 | 北京大学 | 碳纳米管表面聚合物的去除方法和电子器件 |
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