CN104973879A - 一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法 - Google Patents

一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104973879A
CN104973879A CN201510414250.4A CN201510414250A CN104973879A CN 104973879 A CN104973879 A CN 104973879A CN 201510414250 A CN201510414250 A CN 201510414250A CN 104973879 A CN104973879 A CN 104973879A
Authority
CN
China
Prior art keywords
ceramic
pottery
sealing
alloy
sealing alloy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201510414250.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104973879B (zh
Inventor
宋晓国
付伟
李玉涛
刘永江
胡胜梅
冯吉才
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology Weihai
Original Assignee
Harbin Institute of Technology Weihai
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology Weihai filed Critical Harbin Institute of Technology Weihai
Priority to CN201510414250.4A priority Critical patent/CN104973879B/zh
Publication of CN104973879A publication Critical patent/CN104973879A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104973879B publication Critical patent/CN104973879B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

本发明公开了一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法,其特征在于先采用Mo-Mn法对Al2O3陶瓷焊件进行表面金属化处理,并对表面金属化处理后的Al2O3陶瓷焊件和瓷封合金进行焊前处理;再形成钎焊结构,然后放入加热炉中加热,在真空或惰性气氛保护条件下,实现Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接,本发明Cu基钎料对瓷封合金具有良好的润湿性和填缝能力,并且具有较好的耐蚀性,Pt元素能够与大多数过渡金属形成广泛固溶体,其中与Fe、Co、Ni、Cu等形成连续固溶体,Pt合金耐腐蚀性强,对难熔合金如Mo、W及硬质合金等具有很好的润湿性,所以Cu-Pt钎料可以有效提高Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接质量。

Description

一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法
技术领域
本发明涉及一种钎焊技术,具体地说是一种封接强度高的Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法。
背景技术
Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接结构广泛的应用于航空航天领域。随着电真空器件向着大功率方向的发展,对封接质量,如气密性、封接强度、稳定性等提出了更高的要求。目前,钎焊是实现陶瓷与金属封接最为常用的方法。
Al2O3陶瓷与瓷封合金的钎焊一般采用Ag基钎料,然而Ag基钎料的钎焊界面的抗腐蚀性较差而且其高温使用性能较差。而且由于Al2O3陶瓷与瓷封合金在物理化学性能方面存在着较大的差异,造成接头的封接强度较低,不能满足工业应用的条件。
发明内容
本发明的目的是:提出一种操作简单、满足工业应用要求的Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法。
本发明是通过如下技术方案实现的:
一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法,其特征在于步骤如下:
步骤一、采用Mo-Mn法对Al2O3陶瓷焊件进行表面金属化处理,并对表面金属化处理后的Al2O3陶瓷焊件和瓷封合金进行焊前处理;
步骤二、将Cu-Pt钎料置于Al2O3陶瓷与瓷封合金之间,形成钎焊结构,并用石墨夹具对所需的封接结构进行固定,Al2O3陶瓷与瓷封合金之间的间隙为30-100μm。
步骤三、将组合好的钎焊结构放入加热炉中加热,在真空或惰性气氛保护条件下,实现Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接。
本发明步骤一中的金属化处理过程为:用丙酮对Al2O3陶瓷进行超声清洗15-30min,然后在其表面涂抹厚度为50μm的金属化浆料,
本发明步骤一中金属化浆料由Mo93%,Mn2.5%,Al2O31.5%,SiO21.5%,CaO1%,MgO0.5%组成,将配料的粉末按照比例称好,加入硝棉溶液、草酸二乙酯、醋酸丁酯后经球磨后涂覆。然后将Al2O3陶瓷放入加热炉中进行金属化处理,温度为1450oC,时间为30min。金属化的目的是提高钎料在Al2O3陶瓷表面的润湿性,有利于良好封接结构的形成。
本发明所述的焊前处理对瓷封合金的待焊面用1000#砂纸进行打磨,将待焊件放入丙酮中进行超声清洗15-30min,随后空冷风干。
本发明实现Al2O3陶瓷与瓷封合金封接的温度条件是:在真空或惰性气氛保护环境中,以30℃/min的速率加热到1100℃,保温20min,使待焊构件均匀受热,然后以5℃/min的速率加热到1170℃,保温60s,停止加热,随炉冷至室温。
本发明Al2O3陶瓷与瓷封合金在钎焊过程中,加热炉内的真空度不小于5×10-3Pa。
本发明Al2O3陶瓷与瓷封合金在钎焊过程中,通入的惰性气体为氩气或氮气。
其中先采用Mo-Mn法对Al2O3陶瓷进行金属化处理,然后用Cu-Pt钎料实现Al2O3陶瓷与瓷封合金之间的封接。Cu基钎料对瓷封合金具有良好的润湿性和填缝能力,并且具有较好的耐蚀性。Pt元素能够与大多数过渡金属形成广泛固溶体,其中与Fe、Co、Ni、Cu等形成连续固溶体,Pt合金耐腐蚀性强,对难熔合金如Mo、W及硬质合金等具有很好的润湿性。所以Cu-Pt钎料可以有效提高Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接质量。
附图说明
图1为实施例二的装配示意图。
图2为实施例二中封接结构的微观组织照片。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步描述。
实施例一:
步骤一:采用Mo-Mn法对Al2O3陶瓷进行表面金属化处理,其中Al2O3陶瓷的尺寸为5mm×5mm×5mm:
用丙酮对Al2O3陶瓷进行超声清洗30min,然后在其表面涂抹厚度为50μm的金属化浆料,将Al2O3陶瓷放入加热炉中进行金属化处理。金属化浆料由Mo93%,Mn2.5%,Al2O31.5%,SiO21.5%,CaO1%,MgO0.5%组成,将配料的粉末按照比例称好,加入硝棉溶液、草酸二乙酯、醋酸丁酯后经球磨后涂覆。然后将Al2O3陶瓷放入加热炉中进行金属化处理,温度为1450oC,时间为30min。
步骤二、对待焊件进行焊前处理,然后将厚度为50μm的75Cu25Pt(wt.%)钎料置于Al2O3陶瓷与瓷封合金4J34之间,形成钎焊结构:
1) 用1000#砂纸对待焊面进行打磨,得到一定粗糙度的待焊面,然后用丙酮进行超声清洗30min,随后空冷风干,得到待焊件。
2) 对所需的封接结构进行装配,并用石墨夹具进行固定,以保证装配间隙为50μm。
步骤三、进行钎焊焊接:
1) 将装配好的待焊构件放入加热炉中,关闭炉门;
2) 将加热炉内真空抽至5×10-3Pa以下,以30℃/min的速率加热到1100℃,保温20min,使待焊构件均匀受热,然后以5℃/min的速率加热到1170℃,保温60s,停止加热,随炉冷至室温。
实施例二:
步骤一:采用Mo-Mn法对Al2O3陶瓷进行表面金属化处理,其中Al2O3陶瓷1为空心圆柱体,其外径为4.5mm,内径为2.5mm,高为12mm;
用丙酮对Al2O3陶瓷1进行超声清洗30min,然后在其表面涂抹厚度为50μm的金属化浆料,将Al2O3陶瓷1放入加热炉中进行金属化处理。金属化浆料由Mo93%,Mn2.5%,Al2O31.5%,SiO21.5%,CaO1%,MgO0.5%组成,将配料的粉末按照比例称好,加入硝棉溶液、草酸二乙酯、醋酸丁酯后经球磨后涂覆。
步骤二、对待焊件3进行焊前处理,然后将尺寸为14mm×2mm×50μm的75Cu25Pt(wt.%)钎料2围在Al2O3陶瓷外侧,钎焊结构装配示意图如图1所示:
1) 用1000#砂纸对待焊面进行打磨,得到一定粗糙度的待焊面,然后用丙酮进行超声清洗30min,随后空冷风干,得到待焊件3。
2) 对所需的封接结构进行装配,并用石墨夹具进行固定,以保证装配间隙为80μm。
步骤三、进行钎焊焊接:
将装配好的待焊构件放入加热炉中;
将加热炉内真空抽至5×10-3Pa以下,以30℃/min的速率加热到1100℃,保温20min,使待焊构件均匀受热,然后以5℃/min的速率加热到1170℃,保温60s,停止加热,随炉冷至室温,得到结合良好的Al2O3陶瓷/瓷封合金4J34封接结构,图2为封接结构微观组织照片。
实施例三:
步骤一:采用Mo-Mn法对Al2O3陶瓷进行表面金属化处理,其中Al2O3陶瓷为空心圆柱体,其外径为4.5mm,内径为2.5mm,高为12mm;
用丙酮对Al2O3陶瓷进行超声清洗30min,然后在其表面涂抹厚度为50μm的金属化浆料,将Al2O3陶瓷放入加热炉中进行金属化处理。金属化浆料由Mo93%,Mn2.5%,Al2O31.5%,SiO21.5%,CaO1%,MgO0.5%组成,将配料的粉末按照比例称好,加入硝棉溶液、草酸二乙酯、醋酸丁酯后经球磨后涂覆。
步骤二、对待焊件进行焊前处理,然后将尺寸为14mm×2mm×50μm的75Cu25Pt(wt.%)钎料围在Al2O3陶瓷外侧:
1) 用1000#砂纸对待焊面进行打磨,得到一定粗糙度的待焊面,然后用丙酮进行超声清洗30min,随后空冷风干,得到待焊件。
2) 对所需的封接结构进行装配,并用石墨夹具进行固定,以保证装配间隙为80μm。
步骤三、进行钎焊焊接:
将装配好的待焊构件放入加热炉中;
向加热炉中通入氩气,并充满整个炉腔,以30℃/min的速率加热到1100℃,保温20min,使待焊构件均匀受热,然后以5℃/min的速率加热到1170℃,保温60s,停止加热,随炉冷至室温,得到结合良好的Al2O3陶瓷/瓷封合金4J34封接结构。

Claims (9)

1.一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法,其特征在于步骤如下:
步骤一、采用Mo-Mn法对Al2O3陶瓷焊件进行表面金属化处理,并对表面金属化处理后的Al2O3陶瓷焊件和瓷封合金进行焊前处理;
步骤二、将Cu-Pt钎料置于Al2O3陶瓷与瓷封合金之间,形成钎焊结构,并用石墨夹具对所需的封接结构进行固定,Al2O3陶瓷与瓷封合金之间的间隙为30-100μm。
2.步骤三、将组合好的钎焊结构放入加热炉中加热,在真空或惰性气氛保护条件下,实现Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接。
3.根据权利要求1所述的一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法,其特征在于步骤一中的金属化处理过程为:用丙酮对Al2O3陶瓷进行超声清洗15-30min,然后在其表面涂抹厚度为50μm的金属化浆料,金属化浆料由Mo93%,Mn2.5%,Al2O31.5%,SiO21.5%,CaO1%,MgO0.5%组成,将配料的粉末按照比例称好,加入硝棉溶液、草酸二乙酯、醋酸丁酯后经球磨后涂覆。
4.然后将Al2O3陶瓷放入加热炉中进行金属化处理,温度为1450oC,时间为30min。
5.金属化的目的是提高钎料在Al2O3陶瓷表面的润湿性,有利于良好封接结构的形成。
6.根据权利要求1所述的一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法,其特征在于步骤一中的焊前处理过程为:对瓷封合金的待焊面用1000#砂纸进行打磨,将待焊件放入丙酮中进行超声清洗15-30min,随后空冷风干。
7.根据权利要求1所述的一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法,其特征在于Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接的温度条件是:在真空或惰性气氛保护环境中,以30℃/min的速率加热到1100℃,保温20min,使待焊构件均匀受热,然后以5℃/min的速率加热到1170℃,保温60s,停止加热,随炉冷至室温。
8.根据权利要求1所述的一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法,其特征在于Al2O3陶瓷与瓷封合金在钎焊过程中,加热炉内的真空度不小于5×10-3Pa。
9.根据权利要求1所述的一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法,其特征在于Al2O3陶瓷与瓷封合金在钎焊过程中,通入的惰性气体为氩气或氮气。
CN201510414250.4A 2015-07-15 2015-07-15 一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法 Active CN104973879B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510414250.4A CN104973879B (zh) 2015-07-15 2015-07-15 一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510414250.4A CN104973879B (zh) 2015-07-15 2015-07-15 一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104973879A true CN104973879A (zh) 2015-10-14
CN104973879B CN104973879B (zh) 2018-05-25

Family

ID=54270904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510414250.4A Active CN104973879B (zh) 2015-07-15 2015-07-15 一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104973879B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105290646A (zh) * 2015-12-08 2016-02-03 哈尔滨工业大学 一种多元高温钎料
CN105948779A (zh) * 2016-04-25 2016-09-21 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 一种氮化硅陶瓷/金属复合板的制备方法
CN105948778A (zh) * 2016-04-25 2016-09-21 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 一种氧化铝陶瓷与金属活性封接材料的制备方法
CN108422058A (zh) * 2018-05-04 2018-08-21 中国航发北京航空材料研究院 用于Al2O3陶瓷与金属连接的金基钎料及其焊接方法
CN113968748A (zh) * 2021-11-02 2022-01-25 株洲湘瓷科艺封接制造有限公司 基于热沉材料的陶瓷封接方法
CN114014683A (zh) * 2021-11-16 2022-02-08 西安赛尔电子材料科技有限公司 一种提高金属引线与陶瓷绝缘子封接强度的钎焊方法
CN117623807A (zh) * 2023-11-28 2024-03-01 湖南省新化县长江电子有限责任公司 一种新能源领域应用真空封接陶瓷及其制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1919515A (zh) * 2004-09-30 2007-02-28 太原理工大学 表面合金化陶瓷的应用方法
CN101468799A (zh) * 2007-09-11 2009-07-01 西安交通大学 一种ZrO2陶瓷与Al2O3陶瓷无压钎焊的方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1919515A (zh) * 2004-09-30 2007-02-28 太原理工大学 表面合金化陶瓷的应用方法
CN101468799A (zh) * 2007-09-11 2009-07-01 西安交通大学 一种ZrO2陶瓷与Al2O3陶瓷无压钎焊的方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105290646A (zh) * 2015-12-08 2016-02-03 哈尔滨工业大学 一种多元高温钎料
CN105290646B (zh) * 2015-12-08 2017-06-06 哈尔滨工业大学 一种多元高温钎料
CN105948779A (zh) * 2016-04-25 2016-09-21 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 一种氮化硅陶瓷/金属复合板的制备方法
CN105948778A (zh) * 2016-04-25 2016-09-21 东莞市联洲知识产权运营管理有限公司 一种氧化铝陶瓷与金属活性封接材料的制备方法
CN108422058A (zh) * 2018-05-04 2018-08-21 中国航发北京航空材料研究院 用于Al2O3陶瓷与金属连接的金基钎料及其焊接方法
CN113968748A (zh) * 2021-11-02 2022-01-25 株洲湘瓷科艺封接制造有限公司 基于热沉材料的陶瓷封接方法
CN114014683A (zh) * 2021-11-16 2022-02-08 西安赛尔电子材料科技有限公司 一种提高金属引线与陶瓷绝缘子封接强度的钎焊方法
CN117623807A (zh) * 2023-11-28 2024-03-01 湖南省新化县长江电子有限责任公司 一种新能源领域应用真空封接陶瓷及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN104973879B (zh) 2018-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104973879A (zh) 一种Al2O3陶瓷与瓷封合金的封接方法
CN102689109B (zh) 钎焊非氧化物陶瓷及其复合材料的高熵钎料的制备方法
AU2016413863B2 (en) Tempered vacuum glass
CN110330356B (zh) 一种碳化硅陶瓷钎焊连接方法
CN102489813B (zh) 钼铜合金与不锈钢的真空活性钎焊工艺
CN103331499B (zh) 一种使用Pd-Co-Ni钎料钎焊ZrB2-SiC复合陶瓷材料的方法
CN103934534B (zh) 一种厚膜基板与功率外壳的真空焊接方法
CN105499833A (zh) 一种用于钎焊钨铜合金与铜或铜合金的高温钎焊材料及其钎焊方法
CN105643038B (zh) 钎焊多孔Si3N4陶瓷与Invar合金的方法
CN102189261A (zh) 一种多孔制件的致密化方法
CN104475898A (zh) 多孔中间层结构钎缝的异种材料钎焊方法
CN103056553A (zh) 一种钎料及其制备方法和利用钎料连接蓝宝石与铌或铌合金的方法
CN111185686A (zh) 一种采用Zr合金端塞原位连接SiC/SiC核包壳管的方法
CN104711457B (zh) 一种高温焊料及其应用
CN101733583A (zh) 用于氮化硼陶瓷与金属封接的焊料及其使用方法
CN104741722A (zh) TiNi钎料真空钎焊TZM合金与ZrC/W复合材料的方法
CN107081517B (zh) 一种TZM和WRe异种合金的低温连接方法
CN103341675A (zh) 一种利用Ti-Co-Nb钎料钎焊Cf/SiC复合材料和金属Nb的方法
CN105195921A (zh) 一种连接Cf/LAS复合材料与钛合金的复合钎料及钎焊方法
CN102485698B (zh) 黄铜与碳化硅陶瓷的连接方法及其连接件
CN105522245A (zh) 一种W-Cu合金同种材料的高强度连接工艺
CN114178640A (zh) 一种耐热冲击的石墨与金属的钎焊方法
CN107838575A (zh) 一种陶瓷与金属封接用低银含量银钎料
CN106736034A (zh) 钎焊3d打印不锈钢和氧化铝陶瓷的钎料及制备和钎焊方法
RU2336980C2 (ru) Способ пайки керамики с металлами и неметаллами

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CB03 Change of inventor or designer information
CB03 Change of inventor or designer information

Inventor after: Song Xiaoguo

Inventor after: Fu Wei

Inventor after: Li Yutao

Inventor after: Liu Yongjiang

Inventor after: Hu Shengpeng

Inventor after: Feng Jicai

Inventor before: Song Xiaoguo

Inventor before: Fu Wei

Inventor before: Li Yutao

Inventor before: Liu Yongjiang

Inventor before: Hu Shengmei

Inventor before: Feng Jicai

GR01 Patent grant
GR01 Patent grant