CN104850290A - 触摸传感器板、图像显示设备和触摸传感器板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及触摸传感器板、图像显示设备和触摸传感器板的制造方法。本发明提供能够同时改善屏幕的清晰度和制造产率的触摸传感器板等。该触摸传感器板包括沿着第一方向延伸的多个互相平行的第一电极和沿着第二方向延伸的多个互相平行的第二电极。关于第一电极和第二电极，这些电极中的一种电极经由同层的连接图案连接到各电极元件，而另一种电极经由不同层的连接图案连接到各电极元件。同层的连接图案和不同层的连接图案经由由绝缘体形成的夹层膜而彼此重叠。此外，夹层膜从同层的连接图案和不同层的连接图案之间的重叠部分经由各电极元件之间的间隙部分而延续，且夹层膜被形成为在间隙部分中延续。

Description

触摸传感器板、图像显示设备和触摸传感器板的制造方法

相关申请的交叉引用

本申请基于2014年2月18日提交的申请号为2014-028423的日本专利申请，并要求该日本专利申请的优先权的权益，该日本专利申请的全部公开内容通过引用并入在本申请中。

技术领域

本发明涉及触摸传感器板、图像显示设备、和触摸传感器板的制造方法。更具体地，本发明涉及触摸传感器板等，利用该触摸传感器板等，可以实现高的屏幕清晰度，并且制造故障不那么容易发生。

背景技术

近年来，配备有通过将液晶显示器与作为输入/输出模块的触摸传感器板组合而形成的触摸面板的电子装置(例如智能手机、平板电脑和笔记本电脑)已变得常见。利用这种触摸面板，可以通过直接用手指(或触摸笔等)触摸显示屏来进行输入操作。因此，可以实现用户可直观且方便操作的用户界面。

在触摸传感器板中，尤其投射电容型(下文称为PCAP型)被最频繁地用于这种触摸面板。这是利用传感器电极检测用户所触摸的部分的静电容的变化的类型，在触摸传感器板上沿着纵向和横向方向延伸地设置上述传感器电极。该触摸传感器板由多个传感器电极和夹层膜形成，多个传感器电极由电绝缘的第一电极和第二电极构成，该夹层膜被提供以至少在第一电极与第二电极之间的交叉处实现层间隔离(绝缘)。

利用该***，当手指仅靠近传感器电极时，可以检测手指的位置，即使手指没有直接触摸传感器电极。这使得能够在触摸面板的表面上放置覆盖物，例如玻璃，从而该***在耐用性、环境阻力、设计等方面是优秀的。此外，该***对手指触摸位置的检测精度也是很高的，且可检测较大数量的点。因此，可以利用智能手机进行复杂的输入操作，例如滑动输入、轻击输入、手势输入等，从而可以极大地有助于改善可操作性。

另一方面，触摸传感器板需要利用无色的透明材料形成传感器电极和夹层膜，从而不妨碍液晶显示器的清晰度。通常使用ITO(铟锡氧化物)作为传感器电极的材料，且使用丙烯酸树脂或聚酰胺树脂作为夹层膜的材料。然而，这些材料都不是完全无色且透明的。

因此，产生因传感器电极和夹层膜的光学特性所导致的显示屏的清晰度的恶化。为了改进这点，之前已经尝试了许多技术实验。下文将描述那些实验中的著名实验。

总的说来，作为触摸传感器板的结构，具有单独地形成上述第一电极和第二电极的情况和利用同一单层形成上述第一电极和第二电极的情况。在那些情况中，利用电极由两层形成的结构，通过在传感器电极之间夹入层间绝缘膜，使传感器电极由分离的层形成。因此，反射光的光学路径长度在第一电极和第二电极之间发生改变，这导致光学特性的差异，从而使清晰度恶化。

日本未经审查的专利公布2009-265748(专利文献1)公开了一种利用同一单层形成传感器电极中的第一电极和第二电极的技术。通过利用同一单层形成第一电极和第二电极，至少在存在传感器电极的区域中，光学特性变为一致，从而抑制清晰度的恶化。

日本未经审查的专利公布2010-140370(专利文献2)和JP 4720857B(专利文献3)公开了一种仅在分别电连接到第一电极和第二电极的连接图案之间的交叉处中形成最小必需的夹层膜图案，从而抑制透射率的恶化的技术。利用夹层膜存在于整个表面上的结构，因夹层膜的存在导致非小量地降低透射率。尤其在为了降低第一电极和第二电极之间的耦合电容而以有机树脂等的膜厚度形成夹层膜的情况下，更突出地降低透射率。因此，可以通过仅在交叉处形成夹层膜来抑制透射率的降低。

专利文献3还公开了一种在无电极图案的区域中，即在相邻电极图案之间的间隙的一部分中，形成折射率等于电极图案的折射率的虚设图案的结构，以便抑制因具有传感器电极的部分与无传感器电极的部分的光学特性之间的差异所导致的清晰度降低，从而改善清晰度。

然而，当虚设图案与电极图案同时形成时，需要利用该技术确保虚设图案和电极图案的间隔，从而不能完全消除无电极图案的部分。因此，改善清晰度的效果很小。因此，在专利文献3中，也公开了利用与电极图案的材料不同的材料形成虚设图案。

在上述专利文献1至专利文献3中的每个专利文献中所描述的技术分别被命名成现有技术1至现有技术3，并将在以下段落中描述这些技术。

(关于现有技术1)

图16为示出专利文献1中所描述的(根据现有技术1的)触摸传感器板910的结构的平面图。触摸传感器板910为PCAP类型，其中，利用同一单层使作为传感器电极的第一电极911和第二电极912形成在透明板916上，以在同一平面上彼此相邻。利用经由同层的连接图案913的电连接来延伸第一电极911，同时利用经由不同层的连接图案914的电连接在与第一电极的方向不同的方向上延伸第二电极912，不同层的连接图案914位于与第二电极912不同的层上。

注意，同层的连接图案913和不同层的连接图案914被形成为经由夹层膜915进行层间电绝缘。同时，夹层膜915被形成为通过包括上述交叉区而变成隔离的图案，且与第二电极912没有重叠部分。

图17为沿着图16的线H–H’所截取的截面图。通过如下各个步骤制造触摸传感器板910：首先依次序在透明板916上形成不同层的连接图案914，接着形成夹层膜915；在同一层(该层称为传感器电极层)上形成第一电极911、第二电极912和同层的连接图案913；最后在传感器电极层上形成保护层917。

利用该结构，存在既不与传感器电极层的图案重叠也不与夹层膜915的图案重叠的暴露区918。在形成传感器电极层的图案时执行蚀刻处理的时候使暴露区918暴露。因此，作为传感器电极层的薄膜材料和不同层的连接图案914的薄膜材料，需要选择可选地用于传感器电极层的蚀刻处理的材料。即，薄膜材料被限制，从而考虑到光线的透射率、电阻等而不能选择最佳薄膜材料。

(关于现有技术2)

作为克服现有技术1的上述问题的技术，具有现有技术2。图18为示出专利文献2中所描述的(根据现有技术2的)触摸传感器板920的结构的平面图。

触摸传感器板920为PCAP类型，其中，利用同一单层使作为传感器电极的第一电极921和第二电极922形成在透明板926上，以在同一平面上彼此相邻。利用经由同层的连接图案923的电连接来延伸第一电极921，同层的连接图案923位于与第一电极921相同的层上，同时利用经由不同层的连接图案924的电连接来在与第一电极的方向不同的方向上延伸第二电极922，不同层的连接图案924位于与第二电极922不同的层上。

注意，同层的连接图案923和不同层的连接图案924彼此交叉的部分被形成为利用经由夹层膜925的层间电绝缘而交叉。夹层膜925被限制地形成在同层的连接图案923和不同层的连接图案924之间的交叉处中，且其中一部分被形成为与第二电极922重叠。

因此，不同层的连接图案924必需与传感器电极层或夹层膜925的图案重叠，从而在蚀刻处理时不产生如同图16和图17中所示的暴露区918的暴露部分。因此，不需要选择对于蚀刻处理具有可选择性的薄膜材料，从而可以选择最佳薄膜材料。

即，可以克服上述现有技术1的问题。然而，随之产生了另一问题。将描述这点。

图19为示出图18中所示的触摸传感器板920的同层的连接图案923的端部附近区域923a的放大图的透视图。如在现有技术1的情况下，触摸传感器板920的制造步骤如下。即，首先依次序在透明板926上形成不同层的连接图案924，然后接着形成夹层膜925；之后形成传感器电极层。

注意，在将夹层膜925形成为隔离的图案之后，形成作为传感器电极层的第一电极921、第二电极922和同层的连接图案923。关于同层的连接图案923和不同层的连接图案924，需要通过最小化在那些连接图案之间所形成的寄生电容而在给延伸的传感器电极布线时设置常量。因此，以相对较厚的膜厚度形成夹层膜925。

由于膜厚度所产生的台阶，使得具有沿着夹层膜925的端部所产生的传感器电极材料的残留膜928。这导致在相邻的第一电极921与第二电极922之间产生短路的问题。

在制造步骤中，将传感器电极材料沉积在已完成夹层膜925的沉积的板上，并应用用于形成第一电极921和第二电极922的图案的光阻材料。此时，在夹层膜925的高台阶的附近区域中，应用比在其它区域中厚的光阻材料，从而恶化了曝光和显影蚀刻特性。因此，沿着夹层膜925的端部产生光阻材料的残留膜。该残留膜是产生传感器电极材料的残留膜928的原因，该残留膜928形成相邻的传感器电极图案之间的短路路径。

(关于现有技术3)

作为克服现有技术2的上述问题的技术，具有现有技术3。图20为示出专利文献3中所描述的(根据现有技术3的)触摸传感器板930的结构的平面图。

触摸传感器板930为PCAP类型，其中，利用同一单层使作为传感器电极的第一电极931和第二电极932形成在透明板936上，以在同一平面上彼此相邻。利用经由同层的连接图案933的电连接来延伸第一电极931，同层的连接图案933位于与第一电极931相同的层上，同时利用经由不同层的连接图案934的电连接来在与第一电极的方向不同的方向上延伸第二电极932，不同层的连接图案934位于与第二电极932不同的层上。

注意，同层的连接图案933和不同层的连接图案934被形成为经由夹层膜935而层间电绝缘。同时，夹层膜935未被形成为隔离的图案，而是几乎形成在触摸传感器板930上除了通孔935a之外的整个表面之上，通孔935a在第二电极932和不同层的连接图案934之间的连接部分中开通。

因此，不同层的连接图案934要么与传感器电极层的图案重叠，要么与夹层膜935重叠，从而在进行蚀刻处理时不产生如同图16和图17中所示的暴露区918的暴露部分。因此，现有技术1的问题不会发生。此外，现有技术3不具有如现有技术2中的可能形成相邻的传感器电极图案之间的短路路径的图案端部。因此，现有技术2的问题不会发生。

然而，现有技术3面临因夹层膜935几乎形成在整个表面上而产生的另一问题。利用如现有技术1和现有技术2中的夹层膜仅形成在传感器电极之间的交叉处中的结构，即利用夹层膜几乎未形成在整个表面上的结构，该问题可能发生。将描述这点。

图21为沿着图18的线I–I’所截取的截面图(现有技术2)。在根据现有技术2的触摸传感器板920上，夹层膜925仅形成在同层的连接图案923和不同层的连接图案924之间的交叉处。因此，作为屏幕显示的光线透过的路径，具有两种路径，例如，路径3A“透明板926→第一电极921或第二电极922→保护膜927”和路径3B“透明板926→保护膜927”。

对于传感器电极(第一电极921或第二电极922)的透射量，在通过传感器电极的路径3A与不通过传感器电极的路径3B之间，如整个触摸传感器板920，具有在透射率上所产生的差异。注意，对于路径3A和路径3B，光线必须通过的薄膜的数量是不同的。即，薄膜界面的数量是不同的，从而难以控制反射率。这导致那些路径之间的反射特性的差异。

反射特性的差异提供了用户可至少利用特定显示亮度和特定视角在视觉上识别电极图案的状态。这导致显示质量的严重恶化。

图22为沿着图20的线J–J’所截取的截面图(现有技术3)。在根据现有技术3的触摸传感器板930中，作为屏幕显示的光线透过的路径，具有两种路径，例如，路径4A“透明板936→夹层膜935→第一电极931或第二电极932→保护膜937”和路径4B“透明板936→夹层膜935→保护膜937”。

即，在根据现有技术3的触摸传感器板930的情况下，针对几乎形成在整个表面上的夹层膜935的透射量，薄膜界面将会增加。因此，相比于现有技术2的情况，反射率的控制变得更加困难。在专利文献3中，也描述了“用与电极图案的材料不同的材料形成虚设图案作为另一层”作为对于该问题的对策。然而，这明显使制造步骤复杂化并导致大的成本增加，从而这是不实际的。

(关于现有技术的问题的总结)

作为以上内容的总结，关于现有技术中的PCAP型的触摸传感器板的问题为如下三点。

(问题1)

由于在形成传感器电极层的图案时所执行的蚀刻处理的时候所暴露的暴露区918的存在，使得最佳薄膜材料的选择变得困难。因此，使制造准备程度复杂且增加了成本(现有技术1)。

(问题2)

趋向于在隔离的夹层膜端部中产生光阻材料的残留膜。这导致传感器电极之间的短路故障，从而使制造产率降低(现有技术2)。

(问题3)

对于传感器电极的透射量，在通过传感器电极的路径与不通过传感器电极的路径之间，如整个触摸传感器板，具有在透射率上所产生的差异，从而光学特性的控制变得困难。因此，可能会使显示质量恶化，例如，用户可在视觉上识别电极图案(现有技术1、现有技术2、现有技术3)。

如上所述，利用现有技术1至现有技术3，用于克服一个问题的结构可能为导致另一问题的因素，例如关于夹层膜的结构的问题1和问题2的情况。此外，如在问题3的情况中，另一固有问题成为不可克服的问题。

因此，本发明的示例性目标是同时克服上述问题1至问题3，且提供能够同时改善屏幕的清晰度和制造产率(制造成本)的触摸传感器板、图像显示设备、和触摸传感器板的制造方法。

发明内容

为了实现以上目标，根据本发明的示例性方面的触摸传感器板为形成在透明板上的静电容型触摸传感器板，该触摸传感器板包括：多个互相平行的第一电极，通过经由连接图案沿着第一方向在透明板的同一层上连接多边形的电极元件而延伸地设置第一电极；以及多个互相平行的第二电极，通过经由连接图案沿着第二方向在与第一电极的层相同的层上连接多边形的电极元件而延伸地设置第二电极，其中：关于第一电极和第二电极的电极元件，经由同层的连接图案或不同层的连接图案来连接电性相同的各电极元件，且同层的连接图案和不同层的连接图案经由由绝缘体形成的夹层膜而彼此重叠；夹层膜从同层的连接图案和不同层的连接图案相互重叠的部分经由各电极元件之间的间隙部分而延续，且夹层膜被形成为在间隙部分中延续，以及夹层膜实际上不形成在形成第一电极和第二电极的区域中。

为了实现以上目标，根据本发明的另一示例性方面的图像显示设备为在用于显示图像信息的显示面板的正面上包括触摸传感器板的图像显示设备，该触摸传感器板能够进行对应于显示面板上所显示的内容的输入操作，其中，该触摸传感器板为任一示例性实施方式的触摸传感器板。

为了实现以上目标，根据本发明的又一示例性方面的触摸传感器基板的制造方法为静电容型触摸传感器板的制造方法，且该方法包括：在板上用导电材料形成第一连接图案的步骤；在第一连接图案上用绝缘体形成夹层膜的步骤；在夹层膜上形成多边形的电极元件和第二连接图案、将电极元件的一部分作为多个互相平行的第一电极、以及将电极元件的剩余部分作为多个互相平行的第二电极的步骤，其中，通过沿着第一方向经由第一连接图案的连接延伸地设置第一电极，通过沿着第二方向经由第二连接图案的连接延伸地设置第二电极，第二电极通过夹层膜而与第一电极绝缘，其中，夹层膜从同层的连接图案和不同层的连接图案相互重叠的部分经由各电极元件之间的间隙部分而延续，且夹层膜被形成为在间隙部分中延续。

为了实现以上目标，根据本发明的又一示例性方面的另一触摸传感器基板的制造方法为静电容型触摸传感器板的制造方法，且该方法包括：在板上形成多边形的电极元件和第一连接图案、以及将电极元件的一部分作为多个互相平行的第一电极的步骤，其中，通过沿着第一方向经由第一连接图案的连接延伸地设置第一电极；在第一电极上用绝缘体形成夹层膜的步骤；在夹层膜上形成第二连接图案、以及将电极元件的剩余部分作为多个互相平行的第二电极的步骤，其中，通过沿着第二方向经由第二连接图案的连接延伸地设置第二电极，第二电极通过夹层膜而与第一电极绝缘，其中，夹层膜从同层的连接图案和不同层的连接图案相互重叠的部分经由各电极元件之间的间隙部分而延续，且夹层膜被形成为在间隙部分中延续。

附图说明

图1为示出根据本发明的第一示例性实施方式的触摸传感器板的平面图；

图2A为沿着图1的线A–A’所截取的截面图；

图2B为沿着图1的线B–B’所截取的截面图；

图3为示出在图1和图2A-图2B中所示的触摸传感器板的制造方法的流程图；

图4为示出波长与ITO和丙烯酸树脂的透射率的相关性的曲线图，ITO为在图1和图2A-图2B中所示的触摸传感器板上的第一电极和第二电极的典型基本材料，丙烯酸树脂为在图1和图2A-图2B中所示的触摸传感器板上的夹层膜的典型基本材料；

图5为示出根据本发明的第二示例性实施方式的触摸传感器板的平面图；

图6为示出根据本发明的第三示例性实施方式的触摸传感器板的平面图；

图7A为沿着图6的线C–C’所截取的截面图；

图7B为沿着图6的线D–D’所截取的截面图；

图8为示出在图6和图7A-图7B中所示的触摸传感器板的制造方法的流程图；

图9为示出根据本发明的第四示例性实施方式的触摸传感器板的平面图；

图10A为沿着图9的线E–E’所截取的截面图；

图10B为沿着图9的线F–F’所截取的截面图；

图11为示出根据本发明的第五示例性实施方式的触摸传感器板的平面图；

图12为沿着图11的线G–G’所截取的截面图；

图13为示出根据本发明的第六示例性实施方式的触摸传感器板的平面图；

图14为示出根据本发明的第七示例性实施方式的触摸传感器板的平面图；

图15为示出作为根据本发明的第一示例性实施方式至第七示例性实施方式的触摸传感器板的特定使用模式的图像显示设备的外观的说明图；

图16为示出专利文献1中所描述的(根据现有技术1的)触摸传感器板的结构的平面图；

图17为沿着图16的线H–H’所截取的截面图；

图18为示出专利文献2中所描述的(根据现有技术2的)触摸传感器板的结构的平面图；

图19为示出图18中所示的触摸传感器板的同层的连接图案的端部附近区域的放大透视图；

图20为示出专利文献3中所描述的(根据现有技术3的)触摸传感器板的结构的平面图；

图21为示出沿着图18的线I–I’所截取的截面形状的截面图(现有技术2)；以及

图22为示出沿着图20的线J–J’所截取的截面形状的截面图(现有技术3)。

具体实施方式

(第一示例性实施方式)

下面将参照附图1描述根据本发明的第一示例性实施方式的结构。

根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10是形成在板上的静电容型的触摸传感器板。触摸传感器板10包括多个互相平行的第一电极101和多个互相平行的第二电极102，通过经由连接图案沿着第一方向在透明板的同一层上连接多边形的电极元件而延伸地设置第一电极101，通过经由连接图案沿着第二方向在与第一电极的层相同的层上连接多边形的电极元件而延伸地设置第二电极102。关于第一电极和第二电极，这些电极中的一种电极经由同层的连接图案111连接到各电极元件，而另一种电极经由不同层的连接图案112连接到各电极元件。同层的连接图案和不同层的连接图案经由夹层膜103而彼此重叠，夹层膜103由绝缘体形成。此外，夹层膜103从同层的连接图案和不同层的连接图案之间的重叠部分经由各电极元件之间的间隙部分而继续，且夹层膜被形成为在间隙部分中继续。

注意，可以以与第一电极图案或第二电极图案重叠的状态或与第一电极图案或第二电极图案之间具有间隔的状态的形式构造夹层膜103，或者可以以具有与所有电极元件的重叠区域且填充在邻近的电极元件之间的整个间隙部分中的形式构造夹层膜103。此外，也可按照分割所有的第一电极和第二电极且围绕第一电极和第二电极延续的形式构造夹层膜103。

此外，以覆盖不同层的连接图案的形状形成夹层膜、同层的连接图案、以及第一电极的图案或第二电极的图案。此外，夹层膜可被形成为与第一电极或第二电极重叠。此外，可以用透明的导电材料形成不同层的连接图案。

通过具有上述结构，触摸传感器板10变为能够同时改善屏幕的清晰度和制造产率。

下文中将更详细地描述这点。

下文中，为了确保清晰度，在针对本发明的各示例性实施方式所描述的各图中，将各个结构元件的尺寸和缩小比例变为适当的。此外，尽管存在一些为了更易于辨别各结构元件而在各图中应用阴影的情况，但是阴影不一定指示剖面。

图1为示出根据本发明的第一示例性实施方式的触摸传感器板10的平面图。图2A为沿着图1的线A–A’所截取的截面图，图2B为沿着图1的线B–B’所截取的截面图。在触摸传感器板10中，利用同一单层使作为传感器电极的第一传感器电极101和第二传感器电极102形成在透明板105上，以在同一平面上彼此相邻且具有二者之间所提供的间隔。

图1示出第一电极101和第二电极102的电极元件都为菱形的示例。然而，其形状可以为任何其它形状，只要那些电极可以被放置且填充在一个平面上。此外，用于绝缘的夹层膜103形成在第一电极101和第二电极102之间。

可以按照一定尺寸简单地设计第一电极101和第二电极102之间的间隔，利用该间隔，在正常的TFT阵列生产线的制造步骤中因具有杂质而导致的短路故障不太可能发生。即，可以通过将该间隔设计成约20μm或更大来实现高产量的生产。因此，可以减小板检验频率，从而可以实现低成本和高生产量。

此外，两种连接图案，例如同层的连接图案111和不同层的连接图案112，电连接到各电极元件(其为菱形等)，使得第一电极101和第二电极102的各元件沿着彼此不同的方向延伸。彼此相邻的第一电极101的元件经由在同一层上所形成的同层的连接图案111而电连接，而彼此相邻的第二电极102的元件经由在不同层上所形成的不同层的连接图案112而电连接。

同层的连接图案111和不同层的连接图案112通过利用夹层膜103的电绝缘而彼此交叉。夹层膜103由绝缘材料形成，并被形成为延伸到同层的连接图案111和不同层的连接图案112之间的交叉处且也延伸到通过电绝缘而邻近彼此形成的传感器电极图案之间的间隔部分，同层的连接图案111和不同层的连接图案112分别连接到第一电极101和第二电极102。

注意，“传感器电极之间的间隔部分”指的是从未形成传感器电极的区域中去除掉包括同层的连接图案111和不同层的连接图案112之间的交叉区的区域而得到的区域，且主要指的是形成几乎平行的传感器电极(第一电极101和第二电极102)的图案端部的间隔区。

此外，当夹层膜103被形成为不与传感器电极(第一电极101和第二电极102)的图案重叠时，夹层膜103实际上未形成在形成传感器电极的图案的区域中。即，至少针对为避免因制造误差(例如当形成图案且将线宽变厚/变窄时在重叠中所产生的差异)所导致的图案彼此重叠的结构和图案之间具有间隔的结构的同时存在所需的量，以重叠方式形成传感器电极图案和夹层膜图案。

此外，不同层的连接图案112由导电材料形成。特别地，当首先在透明板105上形成不同层的连接图案112时，希望形成被经由不同层的连接图案112所连接的夹层膜103、同层的连接图案111和第二电极102的组合区域所完全覆盖的不同层的连接图案112。

在本示例性实施方式中，通过执行第一步骤、第二步骤和第三步骤形成触摸传感器板10，在第一步骤中，形成不同层的连接图案112，在第二步骤中，形成夹层膜103，在第三步骤中，在传感器电极(第一电极101和第二电极102)和同层的连接图案111上进行光刻处理(Photo-Etching Processing，PEP)。因此，不太可能通过在第三步骤中所执行的蚀刻处理消除掉在第一步骤中所形成的不同层的连接图案112。

(第一示例性实施方式：制造步骤)

图3为示出在图1和图2A-图2B中所示的触摸传感器板10的制造方法的流程图。首先，在透明板105上形成不同层的连接图案112(步骤S101：第一步骤)。透明板105为无色透明材料，例如玻璃或塑料。在其上沉积金属材料以利用PEP形成包括与同层的连接图案111交叉的位置的图案。

注意，对于用作不同层的连接图案112的材料的金属，不具有特定限制。然而，为了降低因屏幕上的强光所导致的屏幕显示的清晰度的恶化且降低触摸传感器板的透射率，希望使用透明的导电材料，例如ITO。

此外，自然地，不同层的连接图案112用于电桥接不同层上所形成的电极图案。因此，其可以形成在层叠结构中，用以利用待桥接的目标图案获取良好的连接属性。层叠结构的示例为用钼合金和铝合金的叠加层形成不同层的连接图案的结构，用以使用钼合金作为被连接到传感器电极的材料。

随后，在透明板105上所形成的不同层的连接图案112上形成夹层膜103(步骤S102：第二步骤)。将作为绝缘膜的绝缘材料沉积或应用在透明板105上所形成的不同层的连接图案112上，以通过利用PEP形成图案而形成夹层膜103，从而包括同层的连接图案111与不同层的连接图案112将彼此交叉的位置，使不同层的连接图案112暴露在连接到第二电极102的部分中，以及包括相邻的第一电极101和第二电极102之间的间隔部分。

注意，希望利用介电常数低的材料形成厚的夹层膜103，以便尽可能多地减小同层的连接图案111与不同层的连接图案112之间的交叉处中所形成的寄生电容。此外，也希望是为了抑制传感器板的透射率的降低而呈现高透射性的且考虑到为了准备进行厚膜处理而选择的材料。例如，选择有机夹层膜，例如丙烯酸树脂或聚酰亚胺树脂，并将膜厚度设置成1μm至3μm。

随后，在透明板105上所形成的不同层的连接图案112和夹层膜103上形成作为传感器电极图案的第一电极101和第二电极102以及同层的连接图案111(步骤S103：第三步骤)。将作为传感器电极的导电材料沉积或应用在夹层膜103上，并且利用PEP形成那些图案。

通过在相邻的第一电极101和第二电极102之间设置间隔而使二者彼此电绝缘，并且传感器电极图案被形成为与夹层膜103的图案重叠。传感器电极图案与夹层膜103之间的重叠量至少确保如下尺寸：该尺寸使得能够避免因制造公差所导致的传感器电极图案与夹层膜103之间的重叠状态或间隙的发生。

此外，希望使用低阻且高透射率的薄膜形成传感器电极图案，从而使用在可见光波长区域中呈现透射率的导电材料(例如ITO)形成传感器电极图案。为了均衡触摸传感器板内的透射率，希望按照一定膜厚度形成传感器电极图案，利用该膜厚度，传感器电极图案的膜透射率与夹层膜图案的膜透射率在400nm至700nm的可见光波长区域中可以是相等的。

例如，通过用膜厚度约为20nm的ITO形成第一电极101和第二电极102，且用膜厚度为2μm的丙烯酸树脂膜形成夹层膜103，可以使波长400nm至700nm中的膜透射率差为约1％。然而，考虑到在制造步骤中所产生的误差等，实际上按照使透射率差落在约百分之几的范围内的膜厚度形成第一电极101、第二电极102和夹层膜103。

在因触摸传感器板的增大的尺寸等而要求传感器电极材料的低阻的情况下，可以形成厚的ITO膜，并且可以透射率等于ITO膜的透射率的方式形成丙烯酸树脂膜的膜厚度。

此外，为了使触摸传感器板内的反射特性近乎一致，希望使传感器电极图案的折射率等于夹层膜103的折射率。例如，用聚酰亚胺树脂(其折射率高达1.7)形成夹层膜103。在透明板105为液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)中所使用的典型玻璃(日本电气硝子株式会社(Nippon Electric Glass Co.,Ltd.)的产品OA-10；折射率为1.47)且传感器电极材料为ITO(其折射率高达2.0)的情况下，通过在不具有传感器电极图案的区域中用聚酰亚胺树脂形成夹层膜103，关于传感器电极的折射率的偏差变得很小，且可使反射特性的差异很小。

最后，在已形成的第一电极101、第二电极102和同层的连接图案111上形成保护膜106(步骤S104：第四步骤)。利用PEP形成保护膜106，以至少覆盖形成传感器电极的区域，并且可用透明且使各层电绝缘的材料形成保护膜106。具体地，保护膜106是无机膜(例如氮化硅膜或氧化硅膜)或有机膜(例如丙烯酸树脂膜等)。可替选地，可经由呈现绝缘特性的胶粘剂放置例如玻璃盖板的透明板来替代保护膜106。此外，可以既使用保护膜106，又使用玻璃盖板等。(第一示例性实施方式：效果)

在上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10中，夹层膜103的端部形成在相邻的第一电极101或第二电极102的间隔部分中。因此，夹层膜103的端部不横跨相邻的第一电极101和第二电极102之间的部分。因此，可以极大地降低沿夹层膜103的端部的短路故障的发生。此外，通过使传感器电极的图案之间的间隔变窄，也可以改善显示屏的清晰度。

在上述图2B中，示出路径1“透明板105→第一电极101或第二电极102→保护膜106”和路径2“透明板105→夹层膜103→保护膜106”作为屏幕显示的光线在触摸传感器板10上透过的路径。

在两条路径中，在透明板105和保护膜106之间***作为传播光线的物质的“第一电极101或第二电极102”或“夹层膜103”。即，仅需要考虑“第一电极101和第二电极102”与“夹层膜103”之间所使用的材料的折射率和膜厚度，从而变得易于控制反射率和透射率。对于电极，需要通过考虑传导性和光学特性而确定最佳膜厚度。然而，对于夹层膜，可以通过仅考虑光学特性而确定膜厚度。因此，如将在下文中所述，仍然更易于控制光学特性。

图4为示出波长与ITO和丙烯酸树脂的透射率的相关性的曲线图，ITO为在图1和图2A-图2B中所示的触摸传感器板10上的第一电极101和第二电极102的典型基本材料，丙烯酸树脂为在图1和图2A-图2B中所示的触摸传感器板10上的夹层膜103的典型基本材料。

ITO膜和丙烯酸树脂膜均呈现在短波长侧透射率降低的特性。因此，假设ITO膜的膜厚度为约20nm，则可通过将丙烯酸树脂膜的膜厚度形成为约2μm而使膜透射率相等。如所述，可通过使***透明板105和保护膜106之间的“第一电极101和第二电极102”与“夹层膜103”的透射率相等，而使对于第一路径和第二路径来说可见光的传播特性相等。这使得能够抑制因屏幕内的透射率差而导致的显示屏的清晰度的恶化。

现在，将如上述现有技术2和现有技术3中的夹层膜图案仅位于传感器电极之间的交叉处中的现有技术的结构与示例性实施方式的触摸传感器板10相比较。相比于现有技术2和现有技术3的结构，在触摸传感器板10的结构中，夹层膜103的占用面积更大。

利用现有技术，夹层膜形成在传感器电极的交叉处中，用以最小化因夹层膜的存在而导致的触摸传感器板的透射率的降低。相比于这种情况，在示例性实施方式的触摸传感器板10中，夹层膜103的占用面积更大。因此，必定降低了触摸传感器板的透射率。

然而，在示例性实施方式中，传感器电极图案区域占用大部分透射区域，且夹层膜103位于没有传感器电极图案的部分中，即位于具有小的占用面积的部分中。因此，由此而导致的板透射率的降低是非常小的。

例如，在单个传感器元件的尺寸为5mm×5mm且电极间的间隔为0.050mm的情况下，夹层膜图案的占用面积的增长率约为2.5％。假设夹层膜图案的膜透射率为90％，则可计算出比触摸传感器板的透射率低约0.25％。这是与在典型的触摸传感器板的制造步骤中所产生的制造变化的级别相等的级别。因此，根据示例性实施方式的板的透射率的降低不是引起特定问题的级别，从而可以改善显示屏的清晰度，而不影响板的透射率。

作为根据本发明的示例性优势，本发明被设计成具有夹层膜实际上未形成在形成第一电极和第二电极的区域中的结构。因此，不容易形成因光阻材料在夹层膜端部中的残留膜而产生的电短路路径，并且可以很容易地进行根据夹层膜的材料和厚度的光学特性的控制。

这使得能够同时克服上述问题1至问题3，且提供同时良好改善屏幕的清晰度和制造产率(制造成本)的触摸传感器板、图像显示设备、和触摸传感器板的制造方法。

(第二示例性实施方式)

图5为示出根据本发明的第二示例性实施方式的触摸传感器板20的平面图。在基本构思方面，触摸传感器板20的结构等同于上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10的结构，从而本文中将描述相对于第一示例性实施方式的不同点。

在触摸传感器板20中，利用同一层使第一电极201和第二电极202形成在透明板上，以在同一平面上彼此相邻且具有二者之间所设置的间隔。用于绝缘的夹层膜203形成在第一电极201和第二电极202之间。此外，同层的连接图案211和不同层的连接图案212电连接各电极元件(其为菱形等)，从而形成第一电极201和第二电极202。上述元件中的各元件与上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10中相同名字下的元件相同，除了下文中将要描述的不同点。

触摸传感器板20被设计成在一结构中，利用该结构，当延伸第一电极201或第二电极202时，对于使用同层的连接图案211或不同层的连接图案212，没有特定限制设置。这点不同于第一示例性实施方式的情况。同层的连接图案211和不同层的连接图案212的截面形状等同于图2A至图2B中所示的第一示例性实施方式的情况。此外，制造步骤等也与图3中所示的第一示例性实施方式的制造步骤相同。

当传感器电极(第一电极201和第二电极202)由ITO等形成时，阻值随着膜厚度的增大而减小，从而可以很容易地使电流流经传感器电极。然而同时，光透射率变小，从而不能很容易地透过光线。因此，需要以均衡的方式确定用于获取高透射率和低阻的膜厚度。利用与传感器电极相同的材料和膜厚度形成同层的连接图案211，从而同层的连接图案211的阻值变成与传感器电极的阻值相同。

同时，在图3中所示的制造步骤的“步骤S101”中形成不同层的连接图案212。这是与“步骤S103”不同的步骤，在步骤S103中，共同地形成第一电极201、第二电极202和同层的连接图案211。因此，可以利用与第一电极201、第二电极202和同层的连接图案211的膜厚度和膜材料不同的膜厚度和膜材料单独地形成不同层的连接图案212，从而可以获得仍然较低的阻值。因此，通过将不同层的连接图案212设计成低阻且用在较长的布线距离中，可使整个布线电阻很低。

此外，如图5所示，通过采用交替地放置且连接电极元件(为菱形等)-同层的连接图案211-电极元件-不同层的连接图案212的第一电极201的结构且采用以相同方式交替地放置且连接上述组件的第二电极202的结构，可使每个单位面积的布线阻值相等。

即，利用示例性实施方式，可以同时实现能够“使整个布线阻值很低”的结构和能够“使每个单位面积的布线阻值相等”的结构。可以根据位置检测电路的情况等选择和采用两个结构中的任何一个。

图6为示出根据本发明的第三示例性实施方式的触摸传感器板30的平面图。在基本构思方面，触摸传感器板30的结构等同于上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10的结构，从而本文中将描述相对于第一示例性实施方式的不同点。

在触摸传感器板30中，利用同一层使第一电极301和第二电极302形成在透明板305上，以在同一平面上彼此相邻且具有二者之间所设置的间隔。用于绝缘的夹层膜303形成在第一电极301和第二电极302之间。此外，同层的连接图案311和不同层的连接图案312电连接各电极元件(其为菱形等)，从而形成第一电极301和第二电极302。上述元件中的各元件与上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10中相同名字下的元件相同，除了下文中将要描述的不同点。

图7A为沿着图6的线C–C’所截取的截面图，图7B为沿着图6的线D–D’所截取的截面图。图8为示出在图6和图7A-图7B中所示的触摸传感器板30的制造方法的流程图。在触摸传感器板30中，以与根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10不同的次序形成各层。

首先，在透明板305上形成作为传感器电极图案的第一电极301和第二电极302以及同层的连接图案311(步骤S201：第一步骤)。然后，在已形成的第一电极301、第二电极302和同层的连接图案311上形成夹层膜303(步骤S202：第二步骤)。如在第一示例性实施方式的情况中，以传感器电极图案与夹层膜303重叠的方式形成夹层膜303。

随后，在已形成的夹层膜303上形成不同层的连接图案312(步骤S203：第三步骤)。当利用PEP形成不同层的连接图案312时，使在步骤S201中所形成的传感器电极图案暴露。因此，利用对于步骤S203中所执行的蚀刻处理来说具有可选择性的材料形成传感器电极图案。

例如，当在步骤S201中使用ITO时，通过使用不蚀刻ITO的蚀刻溶液，通过在步骤S203中使用例如铬、钼合金或铝合金的导电材料，来执行第三步骤中的蚀刻处理。

这使得能够保持在步骤S201中获得的原始ITO图案，即使其未被绝缘膜覆盖。因此，仅步骤S203中的膜被蚀刻以形成预期的不同层的连接图案。

此外，步骤S201和步骤S203中所形成的膜可以都被形成为ITO膜。在这种情况下，利用如下事实：对于以常温所沉积的ITO膜和对于加热的ITO膜，蚀刻速度是变化的。即，当以常温沉积ITO时，ITO是非结晶的。与此同时，当加热ITO时，ITO的结晶度变高且ITO转化成多晶体。因此，蚀刻速度变低。

因此，可以通过进行约200℃至300℃的热沉积而形成步骤S201的ITO图案，可以给利用常温沉积所形成的ITO图案增加退火处理，或者可以在步骤S202中，在丙烯酸树脂的煅烧步骤中将其加热到200℃至250℃，以使其在高结晶状态下形成。在这种状态下，在步骤S203中，在利用常温沉积所形成的ITO膜上进行蚀刻处理。

因此，可以颠倒膜结构的次序，而不增加制造步骤或膜结构。利用这点，也可获得与第一示例性实施方式的效果相同的效果。最后，按照与图3的步骤S104(第四步骤)的方式相同的方式，在已形成的不同层的连接图案312上形成保护膜306。由此实现触摸传感器板30。

(第四示例性实施方式)

在根据本发明的第四示例性实施方式的触摸传感器板40中，通过叠置多个透明的绝缘材料而形成夹层膜。更具体地，通过叠置用透明的绝缘材料制成的第一夹层膜403和第二夹层膜404而形成夹层膜，并且在比屏幕的触摸侧更远的一侧，第一夹层膜的膜厚度被形成为比第二夹层膜的膜厚度厚。

此外，第二夹层膜由氮化硅膜形成，且第一电极和第二电极由铟锡氧化物形成。此外，第二夹层膜的膜厚度被形成为等于第一电极和第二电极的膜厚度。

通过具有上述结构，触摸传感器板40变得能够不仅改善传感器电极与夹层膜之间的透射特性的差异，而且改善因反射特性的差异而导致的屏幕的清晰度的恶化。

在下文中将更详细地描述这点。

图9为示出根据本发明的第四示例性实施方式的触摸传感器板40的平面图。在基本构思方面，触摸传感器板40的结构等同于上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10的结构，从而本文中将描述相对于第一示例性实施方式的不同点。

在触摸传感器板40中，利用同一层使第一电极401和第二电极402形成在透明板405上，以在同一平面上彼此相邻且具有二者之间所设置的间隔。用于绝缘的夹层膜形成在第一电极401和第二电极402之间。此外，同层的连接图案411和不同层的连接图案412电连接各电极元件(其为菱形等)，从而形成第一电极401和第二电极402。上述元件中的各元件与上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10中相同名字下的元件相同，除了下文中将要描述的不同点。

图10A为沿着图9的线E–E’所截取的截面图，图10B为沿着图9的线F–F’所截取的截面图。通过叠置第一夹层膜403和第二夹层膜404这两层而形成夹层膜，由此触摸传感器板40与第一示例性实施方式的板不同。利用例如丙烯酸树脂或聚酰亚胺树脂的透明的绝缘材料，以仍然较厚的膜厚度形成第一夹层膜403，作为下层。利用例如氮化硅(SiNx)的透明的绝缘材料形成第二夹层膜404，作为上层。

在上述第一示例性实施方式至第三示例性实施方式中，示出了通过达到等同的透射特性来克服因传感器电极与夹层膜之间的光学特性的差异而导致的显示屏的清晰度恶化的问题的方法。然而，关于传感器电极与夹层膜之间的反射特性的差异，在那些示例性实施方式中未提及。第四示例性实施方式被设计成克服该问题。

即，如在第一示例性实施方式的情况中，第一电极401和第二电极402的膜透射率与第一夹层膜403和第二夹层膜404的膜透射率被设置成相等。此外，选择第二夹层膜404的材料和厚度，使得第一电极401和第二电极402的折射率与第二夹层膜404的折射率可变为相等。

作为示例的方式，考虑如下情况：由ITO形成膜厚度为20nm至40nm的第一电极401和第二电极402，由丙烯酸树脂形成膜厚度约为2μm的第一夹层膜403。在这种情况下，对于第二夹层膜404，最好选择在约300nm至700nm波长的可见光区域中不呈现波长依赖性的、透明的、且折射率等于ITO的折射率的材料。

ITO的折射率为2.1至2.2。因此，作为用于第二夹层膜404的材料，例如可以使用折射率约为2.0的氮化硅膜。此外，为了降低二次反射及其后续反射的特性的影响，希望形成膜厚度等于第一电极401和第二电极402的膜厚度的第二夹层膜404。

注意，触摸传感器板40的制造步骤与第一示例性实施方式的情况相同，除了在图3的形成夹层膜的步骤S102中连续地形成第一夹层膜403和第二夹层膜404。

(第五示例性实施方式)

图11为示出根据本发明的第五示例性实施方式的触摸传感器板50的平面图。图12为沿着图11的线G–G’所截取的截面图。在基本构思方面，触摸传感器板50的结构等同于上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10的结构，从而本文中将描述相对于第一示例性实施方式的不同点。

在触摸传感器板50中，利用同一层使第一电极501和第二电极502形成在透明板上，以在同一平面上彼此相邻且具有二者之间所设置的间隔。用于绝缘的夹层膜503形成在第一电极501和第二电极502之间。此外，同层的连接图案511和不同层的连接图案512电连接各电极元件(其为菱形等)，从而形成第一电极501和第二电极502。上述元件中的各元件与上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10中相同名字下的元件相同，除了下文中将要描述的不同点。

相对于第一示例性实施方式的区别在于：夹层膜503形成在同层的连接图案511与不同层的连接图案512之间的交叉处中，以及形成在通过电绝缘而彼此邻近形成的第一电极501和第二电极502之间的间隔中；以在其间隔(该间隔具有在传感器电极(第一电极501或第二电极502)之间设置的间隙)内延续的图案的方式形成夹层膜503，使得夹层膜503的图案端部不横跨第一电极501和第二电极502之间的间隔。

在第五示例性实施方式中，夹层膜503的端部存在于传感器电极(第一电极501或第二电极502)之间的间隔中。然而，夹层膜503的端部被形成为不横跨相邻的传感器电极之间的间隔。因此，可以获得如下效果：短路不会发生，即使具有沿着夹层膜的图案端部所残留的膜。

(第六示例性实施方式)

图13为示出根据本发明的第六示例性实施方式的触摸传感器板60的平面图。在基本构思方面，触摸传感器板60的结构等同于上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10的结构，从而本文中将描述相对于第一示例性实施方式的不同点。

在触摸传感器板60中，利用同一层使第一电极601和第二电极602形成在透明板上，以在同一平面上彼此相邻且具有二者之间所设置的间隔。用于绝缘的夹层膜603形成在第一电极601和第二电极602之间。此外，同层的连接图案611和不同层的连接图案612电连接各电极元件(其为菱形等)，从而形成第一电极601和第二电极602。上述元件中的各元件与上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10中相同名字下的元件相同，除了下文中将要描述的不同点。

相对于第一示例性实施方式的区别在于：夹层膜603形成在同层的连接图案611与不同层的连接图案612之间的交叉处中，以及形成在通过电绝缘而彼此邻近形成的第一电极601和第二电极602之间的间隔中；按照如下方式形成夹层膜603：夹层膜603的图案端部不横跨第一电极601和第二电极602之间的间隔，且不与经由不同层的连接图案612所电连接的第二电极602重叠。

在第六示例性实施方式中，夹层膜603的端部存在于传感器电极(第一电极601或第二电极602)之间的间隔中。夹层膜603的端部被形成为不横跨第一传感器电极601和第二传感器电极602之间的间隔。因此，夹层膜603被形成为从连接到同层的连接图案611的传感器电极横跨到不同层的连接图案612。

因此，当沿着夹层膜的图案端部残留膜时，形成漏电路径。然而，横跨路径至少不是最短路径，从而漏电路径的电阻变高，且漏电路径也变为长路径。此外，该路径为用于连接到不同层的连接图案612的路径，从而也增加了接触电阻。因此，漏电路径几乎不产生影响，且具有降低第一电极601和第二电极602之间所产生的短路的效果。

(第七示例性实施方式)

图14为示出根据本发明的第七示例性实施方式的触摸传感器板70的平面图。在基本构思方面，触摸传感器板70的结构等同于上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10的结构，从而本文中将描述相对于第一示例性实施方式的不同点。

在触摸传感器板70中，利用同一层使第一电极701和第二电极702形成在透明板上，以在同一平面上彼此相邻且具有二者之间所设置的间隔。用于绝缘的夹层膜703形成在第一电极701和第二电极702之间。此外，同层的连接图案711和不同层的连接图案712电连接各电极元件(其为菱形等)，从而形成第一电极701和第二电极702。上述元件中的各元件与上述根据第一示例性实施方式的触摸传感器板10中相同名字下的元件相同，除了下文中将要描述的不同点。

第七示例性实施方式与上述第六示例性实施方式相同。相对于第六示例性实施方式的不同之处在于，位于传感器电极(第一电极701和第二电极702)之间的间隔中的夹层膜703被形成为具有与经由同层的连接图案711所电连接的第一电极701的重叠区域。利用该结构，也可以获得与第六示例性实施方式的效果相同的效果。

(使用方式)

图15为示出作为根据本发明的第一示例性实施方式至第七示例性实施方式的触摸传感器板10-70的特定使用方式的图像显示设备80的外观的说明图。图像显示设备80的结构如下：触摸传感器板802被层压在液晶显示面板801的表面上，通过对应于在液晶显示面板801上所显示的内容，液晶显示面板801可以利用触摸传感器板802接受用户所做的输入操作。触摸传感器板802为上述根据本发明的第一示例性实施方式至第七示例性实施方式的触摸传感器板10-70中的一者。

用于处理通过触摸传感器板802所输入的信息和在液晶显示面板801上显示已处理的结果的处理模块可以被构建在图像显示设备80之内，或可以为图像显示设备80的外部设备。因此在图15中未示出处理模块。

一般原则是将触摸传感器板802放置在液晶显示面板801的正面上。然而，也可采用上嵌(on-cell)型或内嵌(in-cell)型，在上嵌型中，触摸传感器板形成在液晶显示面板801上，在内嵌型中，触摸传感器板形成在液晶显示面板801之内。此外，可以在用户触摸的一侧的表面上设置保护构件，例如保护膜或覆盖玻璃。同时，液晶显示面板可以为使用例如有机电致发光(electroluminescence，EL)的其它显示面板。

尽管之前已参照附图中所示的特定示例性实施方式描述了本发明，但是本发明不限于附图中所示的示例性实施方式。可以采用任何其它已知的结构，只要利用该结构可以实现本发明的效果即可。

以上所公开的全部或部分示例性实施方式可被描述成但不限于以下补充注释：

(补充注释1)

一种形成在透明板上的静电容型触摸传感器板，包括：

多个互相平行的第一电极，通过经由连接图案沿着第一方向在所述透明板的同一层上连接多边形的电极元件而延伸地设置所述第一电极；以及多个互相平行的第二电极，通过经由连接图案沿着第二方向在与所述第一电极的层相同的层上连接多边形的电极元件而延伸地设置所述第二电极，其中：

关于所述第一电极和所述第二电极的所述电极元件，经由同层的连接图案或不同层的连接图案来连接电性相同的各所述电极元件，且所述同层的连接图案和所述不同层的连接图案经由由绝缘体形成的夹层膜而彼此重叠；和

所述夹层膜从所述同层的连接图案和所述不同层的连接图案相互重叠的部分经由各所述电极元件之间的间隙部分而延续，且所述夹层膜被形成为在所述间隙部分中延续，以及所述夹层膜实际上不形成在形成所述第一电极和所述第二电极的区域中。

(补充注释2)

如补充注释1所述的触摸传感器板，其中：

在与所述第一电极的图案或所述第二电极的图案重叠的状态下形成所述夹层膜，或者在与所述第一电极的图案或所述第二电极的图案之间具有间隔的状态下形成所述夹层膜。

(补充注释3)

如补充注释2所述的触摸传感器板，其中：

以包括与所有所述电极元件重叠的区域的形状且以填充在彼此邻近的所述电极元件之间的整个间隙部分中的形状形成所述夹层膜。

(补充注释4)

如补充注释2所述的触摸传感器板，其中：

以分割所有的所述第一电极和所述第二电极且围绕所述第一电极和所述第二电极而延续的形状形成所述夹层膜。

(补充注释5)

如补充注释1、2和4中任一项所述的触摸传感器板，其中：

以覆盖所述不同层的连接图案的形状形成所述第一电极的图案和所述第二电极的图案中的一者、所述夹层膜以及所述同层的连接图案。

(补充注释6)

如补充注释1或2所述的触摸传感器板，其中：

所述夹层膜被形成为仅与所述第一电极和所述第二电极中的任一者重叠。(补充注释7)

如补充注释1-6中任一项所述的触摸传感器板，其中：

通过叠置多个透明的绝缘材料来形成所述夹层膜。

(补充注释8)

如补充注释7所述的触摸传感器板，其中：

通过叠置由所述透明的绝缘材料构成的第一夹层膜和第二夹层膜来形成所述夹层膜；在比用户触摸侧更远的一侧，所述第一夹层膜的膜厚度比所述第二夹层膜的膜厚度厚。

(补充注释9)

如补充注释8所述的触摸传感器板，其中：

所述第二夹层膜由氮化硅膜形成，所述第一电极和所述第二电极由铟锡氧化物形成。

(补充注释10)

如补充注释9所述的触摸传感器板，其中：

所述第二夹层膜的所述膜厚度被形成为等于所述第一电极和所述第二电极的膜厚度。

(补充注释11)

如补充注释1-10中任一项所述的触摸传感器板，其中：

所述不同层的连接图案由透明的导电材料形成。

(补充注释12)

一种图像显示设备，所述图像显示设备在用于显示图像信息的显示面板的正面上包括触摸传感器板，所述触摸传感器板能够进行对应于所述显示面板上所显示的内容的输入操作，其中：

所述触摸传感器板为如补充注释1-11中任一项所述的触摸传感器板。

(补充注释13)

一种静电容型触摸传感器板的制造方法，所述方法包括：

在所述板上用导电材料形成第一连接图案的步骤；

在所述第一连接图案上用绝缘体形成夹层膜的步骤；

在所述夹层膜上形成多边形的电极元件和第二连接图案、将所述电极元件的一部分作为多个互相平行的第一电极、以及将所述电极元件的剩余部分作为多个互相平行的第二电极的步骤，其中，通过沿着第一方向经由所述第一连接图案的连接延伸地设置所述第一电极，通过沿着第二方向经由所述第二连接图案的连接延伸地设置所述第二电极，所述第二电极通过所述夹层膜而与所述第一电极绝缘，其中：

所述夹层膜从所述第一连接图案和所述第二连接图案相互重叠的部分经由各所述电极元件之间的间隙部分而延续，且所述夹层膜被形成为在所述间隙部分中延续。

(补充注释14)

一种静电容型触摸传感器板的制造方法，所述方法包括：

在所述板上形成多边形的电极元件和第一连接图案、以及将所述电极元件的一部分作为多个互相平行的第一电极的步骤，其中，通过沿着第一方向经由所述第一连接图案的连接延伸地设置所述第一电极；

在所述第一电极上用绝缘体形成夹层膜的步骤；

在所述夹层膜上形成第二连接图案、以及将所述电极元件的剩余部分作为多个互相平行的第二电极的步骤，其中，通过沿着第二方向经由所述第二连接图案的连接延伸地设置所述第二电极，所述第二电极通过所述夹层膜而与所述第一电极绝缘，其中：

所述夹层膜从所述第一连接图案和所述第二连接图案相互重叠的部分经由各所述电极元件之间的间隙部分而延续，且所述夹层膜被形成为在所述间隙部分中延续。

工业实用性

本发明可以广泛地应用在具有通过层压液晶显示面板和触摸传感器板所形成的触摸面板的电子装置中。更具体地，本发明可以应用于例如智能手机、平板电脑、笔记本型的个人电脑、桌面型的个人电脑、功能手机(与智能手机相对的传统的翻盖式移动电话)、移动音乐播放器、移动游戏机、移动电视、汽车导航***和手表的电子装置。

Claims (14)

1.一种形成在透明板上的静电容型触摸传感器板，包括：

多个互相平行的第一电极，通过经由连接图案沿着第一方向在所述透明板的同一层上连接多边形的电极元件而延伸地设置所述第一电极；以及多个互相平行的第二电极，通过经由连接图案沿着第二方向在与所述第一电极的层相同的层上连接多边形的电极元件而延伸地设置所述第二电极，其中：

关于所述第一电极和所述第二电极的所述电极元件，经由同层的连接图案或不同层的连接图案来连接电性相同的各所述电极元件，且所述同层的连接图案和所述不同层的连接图案经由由绝缘体形成的夹层膜而彼此重叠；和

所述夹层膜从所述同层的连接图案和所述不同层的连接图案相互重叠的部分经由各所述电极元件之间的间隙部分而延续，所述夹层膜被形成为在所述间隙部分中延续，以及所述夹层膜实际上不形成在形成所述第一电极和所述第二电极的区域中。

2.如权利要求1所述的触摸传感器板，其中：

在与所述第一电极的图案或所述第二电极的图案重叠的状态下形成所述夹层膜，或者在与所述第一电极的图案或所述第二电极的图案之间具有间隔的状态下形成所述夹层膜。

3.如权利要求2所述的触摸传感器板，其中：

以包括与所有所述电极元件重叠的区域的形状且以填充在彼此邻近的所述电极元件之间的整个间隙部分中的形状形成所述夹层膜。

4.如权利要求2所述的触摸传感器板，其中：

以分割所有的所述第一电极和所述第二电极且围绕所述第一电极和所述第二电极而延续的形状形成所述夹层膜。

5.如权利要求1所述的触摸传感器板，其中：

以覆盖所述不同层的连接图案的形状形成所述第一电极的图案和所述第二电极的图案中的一者、所述夹层膜以及所述同层的连接图案。

6.如权利要求1所述的触摸传感器板，其中：

所述夹层膜被形成为仅与所述第一电极和所述第二电极中的任一者重叠。

7.如权利要求1所述的触摸传感器板，其中：

通过叠置多种透明的绝缘材料来形成所述夹层膜。

8.如权利要求7所述的触摸传感器板，其中：

通过叠置由所述透明的绝缘材料构成的第一夹层膜和第二夹层膜来形成所述夹层膜；在比用户触摸侧更远的一侧，所述第一夹层膜的膜厚度比所述第二夹层膜的膜厚度厚。

9.如权利要求8所述的触摸传感器板，其中：

所述第二夹层膜由氮化硅膜形成，所述第一电极和所述第二电极由铟锡氧化物形成。

10.如权利要求9所述的触摸传感器板，其中：

所述第二夹层膜的所述膜厚度被形成为等于所述第一电极和所述第二电极的膜厚度。

11.如权利要求1所述的触摸传感器板，其中：

所述不同层的连接图案由透明的导电材料形成。

12.一种图像显示设备，所述图像显示设备在用于显示图像信息的显示面板的正面上包括触摸传感器板，所述触摸传感器板能够进行对应于所述显示面板上所显示的内容的输入操作，其中：

所述触摸传感器板为如权利要求1所述的触摸传感器板。

13.一种静电容型触摸传感器板的制造方法，所述方法包括：

在所述板上用导电材料形成第一连接图案的步骤；

在所述第一连接图案上用绝缘体形成夹层膜的步骤；

在所述夹层膜上形成多边形的电极元件和第二连接图案、将所述电极元件的一部分作为多个互相平行的第一电极、以及将所述电极元件的剩余部分作为多个互相平行的第二电极的步骤，其中，通过沿着第一方向经由所述第一连接图案的连接延伸地设置所述第一电极，通过沿着第二方向经由所述第二连接图案的连接延伸地设置所述第二电极，所述第二电极通过所述夹层膜而与所述第一电极绝缘，其中：

所述夹层膜从所述第一连接图案和所述第二连接图案相互重叠的部分经由各所述电极元件之间的间隙部分而延续，且所述夹层膜被形成为在所述间隙部分中延续。

14.一种静电容型触摸传感器板的制造方法，所述方法包括：

在所述板上形成多边形的电极元件和第一连接图案、以及将所述电极元件的一部分作为多个互相平行的第一电极的步骤，其中，通过沿着第一方向经由所述第一连接图案的连接延伸地设置所述第一电极；

在所述第一电极上用绝缘体形成夹层膜的步骤；

在所述夹层膜上形成第二连接图案、以及将所述电极元件的剩余部分作为多个互相平行的第二电极的步骤，其中，通过沿着第二方向经由所述第二连接图案的连接延伸地设置所述第二电极，所述第二电极通过所述夹层膜而与所述第一电极绝缘，其中：

所述夹层膜从所述第一连接图案和所述第二连接图案相互重叠的部分经由各所述电极元件之间的间隙部分而延续，且所述夹层膜被形成为在所述间隙部分中延续。