CN104803196A - 一种真空管路*** - Google Patents

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Abstract

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种真空管路***。该真空管路***包括：干泵和真空干燥腔室，所述干泵通过真空管路与所述真空干燥腔室连接；所述真空管路上设有第一阀门和第二阀门，在所述真空管路上且位于第一阀门和第二阀门之间设有大气开放***，所述大气开放***用于向所述真空管路内输入气体，从而减少了有机物在真空管路及主阀门中附着的概率，延长主阀门的寿命，降低成本。

Description

一种真空管路***
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种真空管路***。
背景技术
目前，VCD(英文名称为Vacuum Chamber Dry，中文名称为真空干燥腔室)真空管路***如图1所示，干泵1通过真空管路3与真空干燥腔室2连接，在真空管路3上设有第一阀门4(主阀)和第二阀门5(蝶阀)；抽真空完成后，对真空管路***中的A、B、C三个点进行拍照后发现存在大量有机物附着，包括第一附着区域A、第二附着区域B及第三附着区域C。这三个区域均为有机物附着较严重的区域，而当此有机物附着于真空管路时则会导致主阀门内的O型密封圈腐蚀漏气，从而会影响VCD抽真空的效果，延长VCD的处理时间，进而导致产线节拍时间延长，同时还会有品质异常风险等问题。
至于这三个区域为何容易产生有机物附着，分析如下：VCD的主要功能是通过真空干抽的方式，用于将VCD腔室内基板表面涂布的光刻胶中的70％以上的有机挥发物抽走，以方便后续处理。但是，无论是在抽真空过程中还是在抽真空结束时，真空管路中均会充斥较多的有机物气体。此外，由于设备动作时序是一旦VCD抽真空完成，其主阀和蝶阀均会同时关闭，这样主阀与蝶阀之间的封闭管路中势必会存在一定浓度的有机物气体。工厂经验证明：这些滞留的有机物气体会附着到管路中以及主阀门内，并且会造成主阀内O-形密封圈腐蚀、漏气现象。因此，为解决此问题，必须对主阀门进行换新，每个主阀门的价格约3万人民币左右，较为昂贵。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是提供了一种真空管路***，使得能够减少有机物在真空管路及主阀门中附着的概率，延长主阀门的寿命，降低成本。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题，本发明提供一种真空管路***，其包括：干泵和真空干燥腔室，所述干泵通过真空管路与所述真空干燥腔室连接；所述真空管路上设有第一阀门和第二阀门，在所述真空管路上且位于第一阀门和第二阀门之间设有大气开放***，所述大气开放***用于向所述真空管路内输入气体。
其中，所述大气开放***包括供气管路、第三阀门和控制单元；所述供气管路的输出端与所述真空管路连接，且其输出端位于第一阀门与第二阀门之间；所述第三阀门设置于供气管路上；所述控制单元用于控制第三阀门的启闭。
其中，所述供气管路的输入端与气源连接，所述气源用于产生惰性气体。
其中，所述供气管路的输入端与大气连通。
其中，所述第三阀门为气动阀；所述控制单元包括PLC控制器、电磁阀及动力源，在所述动力源与第三阀门之间设有输气管路，所述动力源向输气管路内输入压缩空气；所述电磁阀设置于输气管路上；所述PLC控制器与所述电磁阀电连接。
其中，在所述供气管路上且位于其输出端与第三阀门之间设有过滤器。
其中，所述真空干燥腔室上设有第一通气单元和第二通气单元；所述第一通气单元用于向真空干燥腔室通入空气；所述第二通气单元用于向真空干燥腔室通入压缩空气。
其中，所述第一阀门包括壳体、驱动开关和密封件；所述壳体上设有上游阀口和下游阀口，所述上游阀口与真空干燥腔室连通，所述下游阀口与干泵连通；所述驱动开关设置于壳体内，用于使所述上游 阀口与下游阀口之间接通或断开；所述密封件设置于驱动开关与壳体之间。
其中，所述第二阀门为蝶阀，且位于所述真空干燥腔室与第一阀门之间。
(三)有益效果
本发明的上述技术方案具有以下有益效果：本发明提供一种真空管路***，在真空管路上增加大气开放***，通过大气开放***向真空管路输入气体，减少有机物在真空管路及主阀门中附着的概率，延长主阀门的寿命，降低成本。
附图说明
图1为现有真空管路***的结构示意图；
图2为本发明实施例真空管路***的结构示意图；
图3为本发明实施例第一阀门的结构示意图；
图4为本发明实施例真空管路***的时序图。
其中，1：干泵；2：真空干燥腔室；3：真空管路；4：第一阀门；5：第二阀门；6：供气管路；7：第三阀门；8：控制单元；9：PLC控制器；10：电磁阀；11：动力源；12：过滤器；13：基板；A：第一附着区域；B：第二附着区域；C：第三附着区域；21：第一通气单元；22第二通气单元；41：壳体；42：上游阀口；43：下游阀口；44：驱动开关；45：密封件。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述， 而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可视具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图2所示，本实施例提供的真空管路***，其包括干泵1和真空干燥腔室2，干泵1通过真空管路3与真空干燥腔室2连接；在真空管路3上设有第一阀门4和第二阀门5，在真空管路3上且位于第一阀门4和第二阀门5之间设有大气开放***，大气开放***用于向真空管路3内输入气体，从而减少有机物在真空管路3中及第一阀门4(主阀门)附着的概率，延长主阀门的寿命，降低成本。
具体的，大气开放***包括供气管路6、第三阀门7和控制单元8；供气管路6的输出端与真空管路3连接，且其输出端位于第一阀门4与第二阀门5之间，通过供气管路6实现输入气体；第三阀门7设置于供气管路6上；控制单元8与第三阀门7连接，可根据需要自动控制第三阀门7的启闭，实现自动化设置。
进一步的，在供气管路6上且位于其输出端与第三阀门7之间设有过滤器12。通过过滤器12对供气管路6中的气体进行过滤，对于过滤器12而言其可采用简单的滤网，也可采用多级气体过滤设备，在此处并不局限。
此外，关于大气开放***所用的气源可选两种：惰性气体或空气；当选择将惰性气体(如氮气等)通入供气管路6时，对应的，供气管路6的输入端需要单独与气源连接，气源用于产生惰性气体，此时的 气体较为纯净，利于过滤器12长期使用。
而当选择将空气通入供气管路6时，供气管路6的输入端可直接与大气相连，不需要另引入气源，但是，需要注意的是，过滤器12需要定期更换，去除杂质。
本实施例中第三阀门7的形式并不局限，可根据实际需要灵活选择。
优选的，当第三阀门7为气动阀时，对应的，控制单元包括PLC控制器9、电磁阀10及动力源11，在动力源11与第三阀门7之间设有输气管路，动力源11用于向输气管路输入压缩空气，从而实现对该气动阀的驱动；电磁阀10设置于输气管路上且位于动力源11与第三阀门7之间，用于控制压缩空气的供给与关闭；PLC控制器9与电磁阀10通过信号线电连接，用于控制电磁阀10的启闭。
本实施例在真空干燥腔室2上还设有第一通气单元21和第二通气单元22；第一通气单元21与大气连通，用于向真空干燥腔室2通入空气，从而消除真空干燥腔室2与外部压差，待真空干燥腔室2恢复至大气压时方可打开，进而可取出基板13；
而且，第二通气单元22与气源连接，第二通气单元22通过气源向真空干燥腔室2通入压缩空气，其作用为：在当真空干燥腔室2内的气压接近大气压时，气压回升缓慢，通过第二通气单元22加注压缩空气，使真空干燥腔室2可快速复原至大气压。
如图3所示，第一阀门4作为真空管路3的主阀门，其包括壳体41、驱动开关44和密封件45；壳体41上设有上游阀口42和下游阀口43，上游阀口42与真空干燥腔室2连通，下游阀口43与干泵1连通；驱动开关44设置于壳体41内，用于使上游阀口42与下游阀口43之间接通或断开，其中的驱动开关44包括气缸、轴组等部件；密封件45设置于驱动开关44与壳体41之间，采用O-形密封圈，用于实现密封作用。
此外，第二阀门5为蝶阀，其且位于真空干燥腔室2与第一阀门4 之间，在抽真空期间用于控制快抽与慢抽。
本发明还提供一种防止有机物附着于真空管路的方法，包括如下步骤：
S1、将涂布有光刻胶的基板放入真空干燥腔室内，打开第一阀门与第二阀门对真空干燥腔室进行抽真空，第三阀门在抽真空期间处于常闭状态；
S2、抽真空完成后，同时关闭第一阀门与第二阀门；然后开启第三阀门，供气管路在压差的作用下自动向真空管路内输入气体；
S3、打开第一通气单元和第二通气单元，待真空干燥腔室恢复至大气压后取走基板。
具体的，可结合图4中的时序图进行阐述说明：
首先，当基板放入真空干燥腔室后，第一阀门(主阀门)打开，第二阀门(蝶阀)开度9°进行慢抽；当气压达到约60000Pa时，将蝶阀开度开到90°进入快抽，气压至约10Pa左右完成快抽；此过程中，第三阀门(气阀)始终处于关闭状态。
抽真空完成后，主阀门和蝶阀同时关闭，第三阀门(气阀)开启，由于压差，氮气或者空气会经过供气管路进入至主阀门和蝶阀之间的封闭空间中，降低空间内有机物气体的相对浓度，从而减少有机物在真空管路及主阀门中附着的概率，即，有机气体分子碰撞机率降低，延长主阀门的寿命，达到降低成本的目的。
同时，第一通气单元和第二通气单元开启，使真空干燥腔室破真空，在真空干燥腔室恢复至大气压后，可取出基板。
上述改造方案实施后，真空管路有机挥发物附着率会大大降低，改造后与改造前整个分厂节省成本统计如下：
其中，主阀门的更换频率会由平均1次/0.5年降低为平均1次/4年，这样使主阀每年的更换成本由3120000降低至390000，可节约成本2730000，大大节约了维护成本，利于推广与应用。
综上所述，本实施例的本发明提供一种真空管路***，在真空管路上增加大气开放***，通过大气开放***向真空管路输入气体，减少有机物在真空管路及主阀门中附着的概率，延长主阀门的寿命，降低成本。
本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (9)

1.一种真空管路***，其特征在于，包括：干泵和真空干燥腔室，所述干泵通过真空管路与所述真空干燥腔室连接；所述真空管路上设有第一阀门和第二阀门，在所述真空管路上且位于第一阀门和第二阀门之间设有大气开放***，所述大气开放***用于向所述真空管路内输入气体。
2.根据权利要求1所述的真空管路***，其特征在于，所述大气开放***包括供气管路、第三阀门和控制单元；所述供气管路的输出端与所述真空管路连接，且其输出端位于第一阀门与第二阀门之间；所述第三阀门设置于供气管路上；所述控制单元用于控制第三阀门的启闭。
3.根据权利要求2所述的真空管路***，其特征在于，所述供气管路的输入端与气源连接，所述气源用于产生惰性气体。
4.根据权利要求2所述的真空管路***，其特征在于，所述供气管路的输入端与大气连通。
5.根据权利要求2所述的真空管路***，其特征在于，所述第三阀门为气动阀；
所述控制单元包括PLC控制器、电磁阀及动力源，在所述动力源与第三阀门之间设有输气管路，所述动力源向输气管路内输入压缩空气；所述电磁阀设置于输气管路上，所述PLC控制器与所述电磁阀电连接。
6.根据权利要求2所述的真空管路***，其特征在于，在所述供气管路上且位于其输出端与第三阀门之间设有过滤器。
7.根据权利要求1所述的真空管路***，其特征在于，所述真空干燥腔室上设有第一通气单元和第二通气单元；所述第一通气单元用于向真空干燥腔室通入空气；所述第二通气单元用于向真空干燥腔室通入压缩空气。
8.根据权利要求1所述的真空管路***，其特征在于，所述第一阀门包括壳体、驱动开关和密封件；所述壳体上设有上游阀口和下游阀口，所述上游阀口与真空干燥腔室连通，所述下游阀口与干泵连通；所述驱动开关设置于壳体内，用于使所述上游阀口与下游阀口之间接通或断开；所述密封件设置于驱动开关与壳体之间。
9.根据权利要求1所述的真空管路***，其特征在于，所述第二阀门为蝶阀，且位于所述真空干燥腔室与第一阀门之间。
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