CN104748946A - 光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法 - Google Patents

Abstract

光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法涉及光学测量技术领域，该方法采用四根光纤剪切的方式或者采用两根光纤加旋转的方式，对光纤衍射参考波前在两个正交方向的偏差进行评价，从而实现了从实验上完整考察光纤衍射参考波前偏差，可以解决光纤衍射参考波前偏差测量的难题。本发明通过将光纤衍射产生的两个球面波直接进行相互垂直的两个正交方向的剪切干涉，从剪切干涉图中可获得光纤衍射参考波前沿两个正交方向的偏差，克服了用更高检测设备的要求，避免了单一方向评价光纤衍射参考波前偏差的不足。

Description

光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法

技术领域

本发明涉及光学测量技术领域，具体涉及一种光纤点衍射干涉仪光纤衍射高精度参考波前偏差的测量方法。

背景技术

极紫外光刻(Extreme Ultraviolet Lithography,EUVL)是适应于22nm及以下节点数代超大规模集成电路制造的光刻工艺，采用13.5nm的曝光波长将掩膜上的电路图形成像到晶圆上。由于在EUV波段，各种材料的折射率接近于1，且吸收很大，EUVL投影曝光物镜***必须采用由镀有多层膜的光学非球面组成的全反射式光学***。

为使掩膜上的图形能近于完美地成像在晶圆上，要求投影曝光物镜***具有衍射极限的分辨率，根据Marachel判据，此时投影曝光物镜***的波像差约为1.0nm RMS。传统商用菲佐干涉仪或泰曼-格林干涉仪由于受参考元件的限制，其检测精度约为λ/20PV(λ＝632.8nm)，远远不能满足极紫外光刻投影物镜***波像差检测精度的要求。

点衍射干涉仪采用衍射产生的近于理想的球面波作为参考光，避免了采用参考元件的作法，可以实现深亚纳米精度的波像差检测。光纤点衍射干涉仪通过单模光纤衍射产生的球面波作为参考光，影响其测量精度的因素主要包括光纤衍射球面波的质量，环境因素和图像采集***。光纤衍射的球面波作为干涉测量中的参考对象，其质量直接决定着光纤点衍射干涉仪所能达到的最高测量精度，因此光纤衍射球面波的质量是影响光纤点衍射干涉仪测量精度的最重要因素。

点衍射干涉仪作为目前所能达到的精度最高的干涉仪，而其衍射参考波前的精度比其自身还高，因此，目前没有比衍射参考波前精度更高的仪器设备能对该衍射波前的质量进行直接的测量。现有技术《MeasurementAccuracyin Phase-Shifting Point Diffraction Interferometer with Two Optical Fibers》(OPTICAL REVIEW,2007,14(6):401～405)采用两根光纤衍射产生两个球面波进行干涉，通过处理干涉图后可获得两个球面波的偏差。然而，该偏差反映的是两根光纤衍射产生的球面波之间的差异，而非每根光纤衍射产生的球面波相对于理想球面的偏差。

发明内容

为了解决现有技术中存在的问题，本发明提出了一种测量整个光纤衍射参考波前偏差的方法，该方法采用四根光纤剪切的方式或者采用两根光纤加旋转的方式，对光纤衍射参考波前在两个正交方向的偏差进行评价，从而实现了实验上完整考察光纤衍射参考波前的偏差，可以解决光纤衍射参考波前偏差测量的难题。

本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：

光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，采用四根光纤进行剪切干涉测量，包括以下步骤：

步骤一：短相干长度的激光器发出的激光经过中性密度滤光片和1/2波片后，经第一偏振分光棱镜分出两路光：一路光经过第一1/4波片、第一角锥棱镜和第一平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第一偏振片后，通过第一耦合透镜耦合入第一光纤；另一路光经过第二1/4波片、第二角锥棱镜和第二平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第二偏振片后，通过第二耦合透镜耦合进入第三光纤中，第一光纤和第三光纤分别衍射产生第一球面波和第三球面波，两个球面波发生干涉叠加，直接由CCD记录干涉条纹；

步骤二：调节1/2波片，使第一偏振分光棱镜分出的两路光的光强基本一致，旋转第一偏振片和第二偏振片，使进入第一光纤和第三光纤的两束光波的偏振态基本一致，从而提高干涉条纹的对比度；

步骤三：调节第一角锥棱镜，使两路光的光程相等，进一步提高干涉条纹的对比度；

步骤四：调节第二角锥棱镜进行移相，由CCD记录干涉图，在计算机中进行图像处理后获得两路光的光程差，从光程差中去除第一光纤和第三光纤的间距引入的彗差和CCD倾斜引入的像散，便可获得两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上的偏差；

步骤五：改变第一光纤和第三光纤的夹角，重复步骤四，获得不同夹角下，两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上的偏差，比较两个衍射波前在不同夹角下的这些偏差，求得光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上相对于理想球面的偏差；

步骤六：将第一光纤和第三光纤拔出，重新将光路耦合入第二光纤和第四光纤，重复步骤四和步骤五，获得光纤衍射参考波前沿第二光纤和第四光纤连线方向上相对于理想球面的偏差；

步骤七：由步骤五和步骤六，便完成了光纤衍射参考波前沿两个正交方向上相对于理想球面偏差的测量。

光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，采用两根光纤进行剪切干涉测量，包括以下步骤：

步骤一：短相干长度的激光器发出的激光经过中性密度滤光片和1/2波片后，经第一偏振分光棱镜分出两路光：一路光经过第一1/4波片、第一角锥棱镜和第一平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第一偏振片后，通过第一耦合透镜耦合入第一光纤；另一路光经过第二1/4波片、第二角锥棱镜和第二平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第二偏振片后，通过第二耦合透镜耦合进入第二光纤中，第一光纤和第二光纤分别衍射产生第一球面波和第二球面波，两个球面波发生干涉叠加，直接由CCD记录干涉条纹；

步骤二：调节1/2波片，使第一偏振分光棱镜分出的两路光的光强基本一致，旋转第一偏振片和第二偏振片，使进入第一光纤和第二光纤的两束光波的偏振态基本一致，从而提高干涉条纹的对比度；

步骤三：调节第一角锥棱镜，使两路光的光程相等，进一步提高干涉条纹的对比度；

步骤四：调节第二角锥棱镜进行移相，由CCD记录干涉图，在计算机中进行图像处理后获得两路光的光程差，从光程差中去除第一光纤和第二光纤的间距引入的彗差和CCD倾斜引入的像散，便可获得两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第二光纤连线方向上的偏差；

步骤五：改变第一光纤和第二光纤的夹角，重复步骤四，获得不同夹角下，两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第二光纤连线方向上的偏差，比较两个衍射波前在不同夹角下的这些偏差，求得光纤衍射参考波前沿第一光纤和第二光纤连线方向上相对于理想球面的偏差；

步骤六：采用高精度旋转台，将第一光纤和第二光纤绕它们各自的纤芯轴线旋转90°，重复步骤四和步骤五，获得光纤衍射参考波前相对于理想球面在沿第一光纤和第二光纤连线垂直方向上的偏差；

步骤七：由步骤五和步骤六，便完成了光纤衍射参考波前沿两个正交方向上相对于理想球面偏差的测量。

本发明的有益效果是：本发明通过四根光纤或两根光纤加旋转的方式实现光纤衍射参考波前相对于理想球面偏差的测量。采用四根光纤避免了光纤末端位置在调整过程中的偏移，保证了两次测量方向的正交性，从而提高了光纤衍射参考波前偏差测量的精度。借助高精度的旋转台，在完成第一次测量后将两根光纤沿各自光轴旋转90°，避免了两根光纤末端相对位置的偏移，保证了两次测量方向的正交性，从而提高了光纤衍射参考波前偏差测量的精度。通过改变光纤之间的夹角，测得两光纤衍射参考波前在不同夹角下的偏差，真正意义上实现了光纤衍射参考波前相对于理想球面的偏差，而非两光纤衍射参考波前之间的偏差。克服了需采用更高精度检测设备进行光纤衍射参考波前偏差测量的难题。

附图说明

图1本发明光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，采用四根光纤进行剪切干涉测量的结构示意图。

图2本发明光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，采用两根光纤加旋转的方式进行剪切干涉测量的结构示意图。

图3两球面波发生剪切干涉过程示意图。

图4实际四根光纤结构位置示意图。

图5实际四根光纤端面结构示意图。

图6实际两根光纤旋转90度后端面结构示意图。

图7实际两根光纤结构位置示意图。

图8实际两根光纤的端面结构示意图。

图中：1、激光器，2、中性密度滤光片，3、1/2波片，4、第一偏振分光棱镜，5、第一1/4波片，6、第一角锥棱镜，7、第一平面反射镜，8、第二1/4波片，9、第二平面反射镜，10、第二角锥棱镜，11、PZT，12、第二偏振分光棱镜，13、第二偏振片，14、第二耦合透镜，15、第一偏振片，16、第一耦合透镜，17a、第三光纤，17b、第四光纤，18a、第一光纤，18b、第二光纤，19、光纤17衍射球面波，20、光纤18衍射球面波，21、CCD探测器，22、计算机。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明做进一步详细说明。

如图1所示，光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，采用四根光纤进行剪切干涉测量，该方法包括如下部件：激光器1、中性密度滤光片2、1/2波片3、第一偏振分光棱镜4、第一1/4波片5、第一角锥棱镜6、第一平面反射镜7、第二1/4波片8、第二平面反射镜9、第二角锥棱镜10、压电陶瓷11、第二偏振分光棱镜12、第二偏振片13、第二耦合透镜14、第一偏振片15、第一耦合透镜16、第三光纤17a、第四光纤17b、第一光纤18a、第二光纤18b、第二光纤衍射球面波19、第一光纤衍射球面波20、CCD探测器21、计算机22。包括以下步骤：

步骤一：短相干长度的激光器1发出的激光经过中性密度滤光片2和1/2波片3后，经第一偏振分光棱镜4分出两路光：第一路s-偏振光和第二路p-偏振光；第一路s-偏振向左传播，通过第一1/4波片5后成为圆偏振光，经由第一角锥棱镜6和第一平面反射镜7后原路返回，经过第一1/4波片5成为p-偏振光后返回第一偏振分光棱镜4，透射过第一偏振分光棱镜4和第二偏振分光棱镜12成为后，p-偏振光继续向水平方向传播，通过第一偏振片15和第一耦合透镜16后耦合入第一光纤18a；第二路p-偏振光通过第二1/4波片8后成为圆偏振光，经由第二角锥棱镜10和第二平面反射镜9后原路返回，经过第二1/4波片8成为s-偏振光后返回第一偏振分光棱镜4，反射过第一偏振分光棱镜4和第二偏振分光棱镜12后，s-偏振光向下传播，通过第二偏振片13和第二耦合透镜14后耦合进入第三光纤17a中，第一光纤18a和第三光纤17a衍射产生的两个球面波第一光纤衍射球面波20和第三光纤衍射球面波19发生干涉叠加，不采用成像物镜，直接用CCD21记录干涉条纹；

步骤二：调节1/2波片3，使第二偏振分光棱镜12分出的两路光的光强基本一致，旋转第二偏振片13和第一偏振片15，使进入第一光纤18a和第三光纤17a的两束光波的偏振态基本一致，提高干涉条纹的对比度；

步骤三：调节第一角锥棱镜6，使两路光的光程相等，进一步提高干涉条纹的对比度；

步骤四：通过调节PZT11驱动第二角锥棱镜10进行移相，由CCD21记录干涉图，在计算机22中进行图像处理后获得两路光的光程差，从光程差中去除第一光纤18a和第三光纤17a的间距引入的彗差和CCD21倾斜引入的像散，便可获得两光纤衍射参考波前沿第一光纤18a和第三光纤17a连线方向上的偏差；在图3的第一幅图中，两个球面波源重合，当它们发生剪切干涉时，由于两个球面波的球面偏差较小，因此，第三光纤衍射球面波19和第一光纤衍射球面波20的干涉场是零条纹的，它们的偏差就反映了两个球面波的偏差大小。图3的第二幅图中，两个球面波源之间有一定的距离，这是实际情况。两根光纤固有的物理体积决定了它们在物理上不能重合在一起，两者的间距就决定了干涉场中条纹的数目，实际测量中需将两个球面波的间距引入的误差从测量结果中去除；

步骤五：改变第一光纤18a和第三光纤17a的夹角，重复步骤四，获得不同夹角下，第一光纤衍射球面波20和第三光纤衍射球面波19沿第一光纤18a和第三光纤17a连线方向上的偏差，比较第三光纤衍射球面波19和第一光纤衍射球面波20在不同夹角下的这些偏差，求得第一光纤衍射球面波20和第三光纤衍射球面波19沿第一光纤18a和第三光纤17a连线方向上相对于理想球面的偏差；

步骤六：将第一光纤18a和第三光纤17a拔出，重新将光路耦合入第二光纤18b和第四光纤17b，重复步骤四和步骤五，获得第二光纤衍射球面波和第四光纤衍射球面波沿第二光纤18b和第四光纤17b连线方向的偏差；其中如图4所示，第一光纤18a、第二光纤18b、第三光纤17a和第四光纤17b的末端紧密的靠在一起；如图5所示图中四个黑色的圆即为四根光纤的纤芯，而每个黑色圆两侧的两个白色圆为光线的熊猫眼，它们的纤芯连线构成一个正方形，且纤芯位于正方形的四个顶角上。第一光纤18a和第三光纤17a、第二光纤18b和第四光纤17b之间夹角的范围在0～4度之间，每根光纤的两个熊猫眼的连线称为应力线，且四根光纤的应力线互相平行，它们的末端经过抛光处理。

步骤七：由步骤五和步骤六，便完成了第一光纤衍射球面波20和第三光纤衍射球面波19，或者第二光纤衍射球面波和第四光纤衍射球面波，分别沿两个正交方向上相对于理想球面偏差的测量。

如图2所示，光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，采用两根根光纤加旋转的方式进行剪切干涉测量，该方法包括如下部件：激光器1、中性密度滤光片2、1/2波片3、第一偏振分光棱镜4、第一1/4波片5、第一角锥棱镜6、第一平面反射镜7、第二1/4波片8、第二平面反射镜9、第二角锥棱镜10、压电陶瓷11、第二偏振分光棱镜12、第二偏振片13、第二耦合透镜14、第一偏振片15、第一耦合透镜16、第一光纤18、第二光纤17、第二光纤衍射球面波19、第一光纤衍射球面波20、CCD探测器21、计算机22。包括以下步骤：

步骤一：短相干长度的激光器1发出的激光经过中性密度滤光片2和1/2波片3后，经第一偏振分光棱镜4分出两路光：第一路s-偏振光和第二路p-偏振光；第一路s-偏振向左传播，经过第一1/4波片5后成为圆偏振光，经由第一角锥棱镜6和第一平面反射镜7后原路返回，经过第一1/4波片5成为p-偏振光后返回第一偏振分光棱镜4，透射过第一偏振分光棱镜4和第二偏振分光棱镜12后，p-偏振光后继续向水平方向传播，通过第一偏振片15和第一耦合透镜16耦合入第一光纤18；第二路p-偏振光经过第二1/4波片8后成为圆偏振光，经由第二角锥棱镜10和第二平面反射镜9后原路返回，经过第二1/4波片8成为s-偏振光后返回第一偏振分光棱镜4，反射过第一偏振分光棱镜4和第二偏振分光棱镜12后，s-偏振光反射向下，通过第二偏振片13和第二耦合透镜14耦合进入第二光纤17中，如图3所示，第一光纤18和第二光纤17衍射产生的第一光纤衍射球面波20和第二光纤衍射球面波19发生干涉叠加，不采用成像物镜，直接用CCD21记录干涉条纹；其中，图3的第一幅图中，两个球面波源重合，当它们发生剪切干涉时，由于两个球面波的球面偏差较小，因此，第二光纤衍射球面波19和第一光纤衍射球面波20的干涉场是零条纹的，它们的偏差就反映了两个球面波的偏差大小。图3的第二幅图中，两个球面波源之间有一定的距离，这是实际情况。两根光纤固有的物理体积决定了它们在物理上不能重合在一起，两者的间距就决定了干涉场中条纹的数目，实际测量中需将两个球面波的间距引入的误差从测量结果中去除。

步骤二：调节1/2波片3，使第二偏振分光棱镜12分出的两路光的光强基本一致，旋转第二偏振片13和第一偏振片15，使进入第一光纤18和第二光纤17的两束光波的偏振态基本一致，提高干涉条纹的对比度；

步骤三：调节第一角锥棱镜6，使两路光的光程相等，进一步提高干涉条纹的对比度；

步骤四：通过调节PZT11驱动第二角锥棱镜10进行移相，由CCD21记录干涉图，在计算机22中进行图像处理后获得两路光的光程差，从光程差中去除第一光纤18和第二光纤17的间距引入的彗差和CCD21倾斜引入的像散，如图6所示，第一光纤18和第二光纤17的末端紧密的靠在一起，之间有一定的夹角α，并且α的大小可以自由调节，它们之间的夹角的范围在0～4度之间，且两根光纤的应力线互相平行，它们的末端经过特殊抛光处理。如图7所示，便可获得沿第一光纤18和第二光纤17连线方向的光纤衍射参考波前偏差；

步骤五：改变第一光纤18和第二光纤17的夹角，重复步骤四，获得不同夹角下，第一光纤衍射球面波20和第二光纤衍射球面波19沿第一光纤18和第二光纤17连线方向上的偏差，比较第一光纤衍射球面波20和第二光纤衍射球面波19在不同夹角下的这些偏差，求得第一光纤衍射球面波20和第二光纤衍射球面波19沿第一光纤18和第二光纤17连线方向上相对于理想球面的偏差；

步骤六：如图8所示，采用精密旋转台将第一光纤18和第二光纤17绕它们各自的纤芯轴线旋转90°，重复步骤四和步骤五，获得与第一光纤18和第二光纤17旋转后的光纤衍射参考波前偏差，即获得了旋转后的第一光纤衍射球面波和第二光纤衍射球面波相对于理想球面在沿第一光纤18和第二光纤17连线垂直方向上的偏差；当第一光纤18和第二光纤17绕它们各自的轴线旋转90度后，它们的应力线位于同一直线上。

步骤七：由步骤五和步骤六，便完成了第一光纤衍射球面波20和第二光纤衍射球面波19或旋转后的第一光纤衍射球面波和第二光纤衍射球面波，分别沿两个正交方向上相对于理想球面偏差的测量。

Claims (8)

1.光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于：采用四根光纤进行剪切干涉测量，包括以下步骤：

步骤一：短相干长度的激光器发出的激光经过中性密度滤光片和1/2波片后，经第一偏振分光棱镜分出两路光：一路光经过第一1/4波片、第一角锥棱镜和第一平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第一偏振片后，通过第一耦合透镜耦合入第一光纤；另一路光经过第二1/4波片、第二角锥棱镜和第二平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第二偏振片后，通过第二耦合透镜耦合进入第三光纤中，第一光纤和第三光纤衍射分别产生的第一球面波和第二球面波，两个球面波发生干涉叠加，直接用CCD记录干涉条纹；

步骤二：调节1/2波片，使第二偏振分光棱镜分出的两路光的光强基本一致，旋转第一偏振片和第二偏振片，使进入第一光纤和第三光纤的两束光波的偏振态基本一致，从而提高干涉条纹的对比度；

步骤三：调节第一角锥棱镜，使两路光的光程相等，进一步提高干涉条纹的对比度；

步骤四：调节第二角锥棱镜进行移相，由CCD记录干涉图，在计算机中进行图像处理后获得两路光的光程差，从光程差中去除第一光纤和第三光纤的间距引入的彗差和CCD倾斜引入的像散，便可获得两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上的偏差；

步骤五：改变第一光纤和第三光纤的夹角，重复步骤四，获得不同夹角下，两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上的偏差，比较两个衍射波前在不同夹角下的这些偏差，求得光纤衍射参考波前沿第一光纤和第三光纤连线方向上相对于理想球面的偏差；

步骤六：将第一光纤和第三光纤拔出，重新将光路耦合入第二光纤和第四光纤，重复步骤四和步骤五，获得光纤衍射参考波前沿第二光纤和第四光纤连线方向上相对于理想球面的偏差；

步骤七：由步骤五和步骤六，便完成了光纤衍射参考波前沿两个正交方向上相对于理想球面偏差的测量。

2.根据权利要求1所述的光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于，所述第一光纤、第二光纤、第三光纤和第四光纤的末端紧密的靠在一起，它们的纤芯连线构成一个正方形，且纤芯位于正方形的四个顶角上，即第一光纤和第三光纤的连线与第二光纤和第四光纤的连线相互垂直。

3.根据权利要求2所述的光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于，所述第一光纤和第三光纤、第二光纤和第四光纤之间夹角的范围0°～4°，且四根光纤的应力线互相平行，它们的末端经过抛光处理。

4.根据权利要求1所述的光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于，所述第二角锥棱镜通过PZT驱动进行移相。

5.光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于：采用两根光纤加旋转的方式进行剪切干涉测量，包括以下步骤：

步骤一：短相干长度的激光器经过中性密度滤光片和1/2波片后，经第一偏振分光棱镜分出两路光：一路光经过第一1/4波片、第一角锥棱镜和第一平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第一偏振片后，通过第一耦合透镜耦合入第一光纤；另一路光经过第二1/4波片、第二角锥棱镜和第二平面反射镜后，原路返回第一偏振分光棱镜，再经过第二偏振分光棱镜和第二偏振片后，通过第二耦合透镜耦合进入第三光纤中，第一光纤和第三光纤衍射分别产生的第一球面波和第二球面波，两个球面波发生干涉叠加，直接用CCD记录干涉条纹；

步骤二：调节1/2波片，使第二偏振分光棱镜分出的两路光的光强基本一致，旋转第一偏振片和第二偏振片，使进入第一光纤和第二光纤的两束光波的偏振态基本一致，从而提高干涉条纹的对比度；

步骤三：调节第一角锥棱镜，使两路光的光程相等，进一步提高干涉条纹的对比度；

步骤四：调节第二角锥棱镜进行移相，由CCD记录干涉图，在计算机中进行图像处理后获得两路光的光程差，从光程差中去除第一光纤和第二光纤的间距引入的彗差和CCD倾斜引入的像散，便可获得两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第二光纤连线方向上的偏差；

步骤五：改变第一光纤和第二光纤的夹角，重复步骤四，获得不同夹角下，两光纤衍射参考波前沿第一光纤和第二光纤连线方向上的偏差，比较两个衍射波前在不同夹角下的这些偏差，求得光纤衍射参考波前沿第一光纤和第二光纤连线方向上相对于理想球面的偏差；

步骤六：采用高精度旋转台，将第一光纤和第二光纤绕它们各自的纤芯轴线旋转90°，重复步骤四和步骤五，获得光纤衍射参考波前相对于理想球面在沿第一光纤和第二光纤连线垂直方向上的偏差；

步骤七：由步骤五和步骤六，便完成了光纤衍射参考波前沿两个正交方向上相对于理想球面偏差的测量。

6.根据权利要求5所述的光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于，第一光纤和第二光纤的末端紧密的靠在一起，它们之间的夹角的范围是0°～4°，且两根光纤的应力线互相平行，它们的末端经过特殊抛光处理。

7.根据权利要求5所述的光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于，当第一光纤和第二光纤绕它们各自的轴线旋转90度后，它们的应力线位于同一直线上。

8.根据权利要求5所述的光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法，其特征在于，所述第二角锥棱镜通过PZT驱动进行移相。