CN104551388A - 一种晶圆切割装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶圆切割装置,其特征是,包括传送带、位于所述传送带上方的切割模块;所述切割模块包括定位电缸和位于所述定位电缸上的激光切割器;所述定位电缸包括x轴电缸、y轴电缸和z轴电缸;所述激光切割器位于x轴电缸上。本发明所达到的有益效果:采用来料检测模块进行监控是否有待加工的晶圆传送过来,当CCD检料模块检测到有晶圆时,控制模块启动切割模块进行切割,可以节省一部分的能源浪费,x、y、z三轴电缸的设计可以使得激光切割器在切割的过程中更加容易定位,切割准确且效率高。
Description
技术领域
本发明涉及一种晶圆切割装置,属于晶圆切割技术领域。
背景技术
随着晶圆的使用需求越来越大,晶圆的加工生产的效率亟需提高。在现有技术中对晶圆大多是采用激光切割方式,这种方式不仅无污染而且效率高,但是在节能方面,由于激光切割本身的耗能就相对比较大,因此虽然效率高了,但是实际生产过程中的能源消耗也是很大的,给企业的生产提高了很大的成本。
发明内容
为解决现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种节省能源的晶圆切割装置。
为了实现上述目标,本发明采用如下的技术方案:
一种晶圆切割装置,其特征是,包括传送带、位于所述传送带上方的切割模块;所述切割模块包括定位电缸和位于所述定位电缸上的激光切割器;所述定位电缸包括x轴电缸、y轴电缸和z轴电缸;所述激光切割器位于x轴电缸上。
前述的一种晶圆切割装置,其特征是,所述x轴电缸的一端设置在所述z轴电缸上,所述z轴电缸设置在所述y轴电缸上。
前述的一种晶圆切割装置,其特征是,所述y轴电缸的末端设置有z轴方向的滑轨,所述滑轨用于z轴电缸的垂直滑动。
前所述的一种晶圆切割装置,其特征是,还包括来料检测模块;所述来料检测模块包括控制模块和CCD检料模块。
前述的一种晶圆切割装置,其特征是,所述控制模块用于控制传送带的传送速度和切割模块的运作。
前述的一种晶圆切割装置,其特征是,所述y轴电缸的侧面设置有启动按钮和急停开关。
本发明所达到的有益效果:采用来料检测模块进行监控是否有待加工的晶圆传送过来,当CCD检料模块检测到有晶圆时,控制模块启动切割模块进行切割,可以节省一部分的能源浪费,x、y、z三轴电缸的设计可以使得激光切割器在切割的过程中更加容易定位,切割准确且效率高。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图中附图标记的含义:
1-来料检测模块,2-传送带,3-y轴电缸,4-滑轨,5-z轴电缸,6-x轴电缸。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。
本发明涉及的一种晶圆切割装置,包括传送带2、位于传送带2上方的切割模块和来料检测模块1。
如图1,切割模块包括定位电缸和激光切割器。定位电缸包括x轴电缸6、y轴电缸3和z轴电缸5。激光切割器位于x轴电缸6上。x轴电缸6的一端设置在z轴电缸5上,z轴电缸5设置在y轴电缸3上。y轴电缸3的末端设置有z轴方向的滑轨4,滑轨4用于z轴电缸5的垂直滑动。这样z轴电缸5在滑轨4上进行垂直方向也就是z轴方向的滑动,在y轴电缸3上进行y轴方向的滑动,x轴电缸6在z轴电缸5上进行x轴方向的滑动。整个定位电缸只有y轴电缸3是固定不动的。y轴电缸3的侧面设置有启动按钮和急停开关,用作紧急状况下的备用按钮。
来料检测模块1包括控制模块和CCD检料模块。控制模块用于控制传送带2的传送速度和切割模块的运作。来料检测模块1进行监控是否有待加工的晶圆传送过来,当CCD检料模块检测到有晶圆时,控制模块启动切割模块进行切割,可以节省一部分的能源浪费,x、y、z三轴电缸的设计可以使得激光切割器在切割的过程中更加容易定位,切割准确且效率高。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变形,这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。
Claims (6)
1.一种晶圆切割装置,其特征是,包括传送带、位于所述传送带上方的切割模块;所述切割模块包括定位电缸和位于所述定位电缸上的激光切割器;所述定位电缸包括x轴电缸、y轴电缸和z轴电缸;所述激光切割器位于x轴电缸上。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置,其特征是,所述x轴电缸的一端设置在所述z轴电缸上,所述z轴电缸设置在所述y轴电缸上。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆切割装置,其特征是,所述y轴电缸的末端设置有z轴方向的滑轨,所述滑轨用于z轴电缸的垂直滑动。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置,其特征是,还包括来料检测模块;所述来料检测模块包括控制模块和CCD检料模块。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆切割装置,其特征是,所述控制模块用于控制传送带的传送速度和切割模块的运作。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割装置,其特征是,所述y轴电缸的侧面设置有启动按钮和急停开关。
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59127987A (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-23 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ切断装置 |
JPH05104365A (ja) * | 1991-10-09 | 1993-04-27 | Amada Co Ltd | プレート加工機 |
JP2008012537A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-24 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 切断加工装置 |
CN201579539U (zh) * | 2009-10-28 | 2010-09-15 | 深圳市华德激光技术有限公司 | 一种pcb/fpc激光切割机 |
CN103028845A (zh) * | 2012-12-18 | 2013-04-10 | 淄博国利新电源科技有限公司 | 电容电池的直线式激光焊接机及其焊接方法 |
CN103394916A (zh) * | 2013-08-07 | 2013-11-20 | 吴振泉 | 采用激光切割技术的开卷落料生产设备及加工方法 |
CN203427110U (zh) * | 2013-04-15 | 2014-02-12 | 东莞职业技术学院 | 一种新型自动水切割机 |
CN203426596U (zh) * | 2013-04-15 | 2014-02-12 | 东莞职业技术学院 | 一种连续送料自动激光切割机 |
CN103600171A (zh) * | 2013-04-28 | 2014-02-26 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种金属板上下料及切割的方法及*** |
CN204504515U (zh) * | 2014-12-31 | 2015-07-29 | 苏州凯锝微电子有限公司 | 一种晶圆切割装置 |
-
2014
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59127987A (ja) * | 1983-01-10 | 1984-07-23 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ切断装置 |
JPH05104365A (ja) * | 1991-10-09 | 1993-04-27 | Amada Co Ltd | プレート加工機 |
JP2008012537A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-24 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 切断加工装置 |
CN201579539U (zh) * | 2009-10-28 | 2010-09-15 | 深圳市华德激光技术有限公司 | 一种pcb/fpc激光切割机 |
CN103028845A (zh) * | 2012-12-18 | 2013-04-10 | 淄博国利新电源科技有限公司 | 电容电池的直线式激光焊接机及其焊接方法 |
CN203427110U (zh) * | 2013-04-15 | 2014-02-12 | 东莞职业技术学院 | 一种新型自动水切割机 |
CN203426596U (zh) * | 2013-04-15 | 2014-02-12 | 东莞职业技术学院 | 一种连续送料自动激光切割机 |
CN103600171A (zh) * | 2013-04-28 | 2014-02-26 | 宝山钢铁股份有限公司 | 一种金属板上下料及切割的方法及*** |
CN103394916A (zh) * | 2013-08-07 | 2013-11-20 | 吴振泉 | 采用激光切割技术的开卷落料生产设备及加工方法 |
CN204504515U (zh) * | 2014-12-31 | 2015-07-29 | 苏州凯锝微电子有限公司 | 一种晶圆切割装置 |
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