CN104535056A - 基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构 - Google Patents

基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构 Download PDF

Info

Publication number
CN104535056A
CN104535056A CN201410784796.4A CN201410784796A CN104535056A CN 104535056 A CN104535056 A CN 104535056A CN 201410784796 A CN201410784796 A CN 201410784796A CN 104535056 A CN104535056 A CN 104535056A
Authority
CN
China
Prior art keywords
magnetic structure
coriolis force
guiding trestle
sensing device
force effect
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201410784796.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104535056B (zh
Inventor
杨斌堂
杨诣坤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Jiaotong University
Original Assignee
Shanghai Jiaotong University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Jiaotong University filed Critical Shanghai Jiaotong University
Priority to CN201410784796.4A priority Critical patent/CN104535056B/zh
Publication of CN104535056A publication Critical patent/CN104535056A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104535056B publication Critical patent/CN104535056B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
    • G01C19/5733—Structural details or topology

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

本发明提供了一种基于科里奥利力效应的微型传感装置，其中:质量体为移动磁结构体；质量体与位移驱动体之间设有导向支架体，质量体与导向支架体之间连接有至少一个位置约束弹片a，位置约束弹片a用于约束质量体的竖直位移。同时提供了上述传感装置的组合结构。本发明基于科里奥利力效应，通过将传感机构设置于壳体内或者设置于位置约束弹片上，实现装置的小型化，通过设置位置约束弹片，限制了驱动磁结构体和移动磁结构体的运动方向，实现移动磁结构体的空间运动位置稳定，方便磁电转化信号的采集，提高传感精度；提供了多种传感形式，通过对多种传感形式得到的信号量值加强平均，传感精度更高。

Description

基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构
技术领域
本发明涉及力检测传感器技术领域，具体地，涉及一种基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构。
背景技术
根据牛顿力学的理论，以旋转体系为参照系，质点的直线运动偏离原有方向的倾向被归结为一个外加力的作用，该力即为科里奥利力，并定义为：式中为科里奥利力；m为质点质量；为质点运动速度；为旋转体系角速度。
现有的基于科里奥利力的检测传感器，例如公开号为103913158A，公开日为2014年07月09日，发明名称为《磁电式科里奥利力检测传感器》的中国专利申请，提供了一种磁电式科里奥利力检测传感器，该科里奥利力检测传感器，将质量块设置于壳体内部，基于科里奥利力效应，实现平转动体低速或高速的宽频转速的检测。
但是该专利申请提出的检测传感器，其形式无法实现小型化，移动磁体的空间运动存在位置不稳定的因素，影响磁电转化信号的采集，影响传感精度。
发明内容
本发明针对现有技术中存在的上述不足，提供了一种基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构。
本发明是通过以下技术方案实现的。
根据本发明的一个方面，提供了一种基于科里奥利力效应的微型传感装置，包括壳体以及设置于壳体内部的质量体、位移驱动体以及传感机构，所述壳体作为旋转体系，其角速度为ω，所述质量体在位移驱动体的驱动作用以及壳体的旋转作用下相对壳体运动，所述传感机构用于采集质量体的磁电转化信号；其中：
所述质量体采用如下任一种结构：
-刚性体以及设置于刚性体内部且与刚性体连为一体的移动磁结构体；
-单体结构的移动磁结构体；
所述质量体与位移驱动体之间设有导向支架体，所述质量体与导向支架体之间竖直连接有至少一个位置约束弹片a，所述位置约束弹片a用于约束质量体的竖直位移。
优选地，所述移动磁结构体采用永磁体或电磁体。
优选地，所述位移驱动体包括驱动磁结构体和位移驱动器，所述驱动磁结构体为永磁体，工作状态下，所述驱动磁结构体在位移驱动器作用下上下往复运动；或
所述位移驱动体包括驱动磁结构体，所述驱动磁结构体为电磁体，工作状态下，所述驱动磁结构体在电流作用下上下往复运动；
所述驱动磁结构体与导向支架体刚性连接。
优选地，所述驱动磁结构体上设有限位机构，所述限位机构采用如下任一种结构：
-弹簧，所述弹簧连接于驱动磁结构体和位移驱动器之间；
-位置约束弹片b，所述位置约束弹片b水平连接于驱动磁结构体与壳体之间，用于约束驱动磁结构体的水平位移。
优选地，所述导向支架体采用如下任一种结构：
-导向支架块体，所述导向支架块体的下端设有驱动磁结构体放置腔；
-导向支架框体，所述导向支架框体的下端与驱动磁结构体刚性连接；
-导向支架杆体a，所述导向支架杆体a包括刚性杆a以及水平设置于刚性杆a上的刚性梁a，所述刚性杆a的自由端与驱动磁结构体刚性连接。
优选地，所述质量体的与壳体之间设有导向支架杆体b，所述导向支架杆体b包括刚性杆b以及水平设置于刚性杆b上的刚性梁b，所述刚性杆b的自由端与壳体之间水平连接有位置约束弹片c，所述刚性梁b与质量体之间竖直连接有位置约束弹片d。
优选地，还包括如下任一个或任多个部件：
-设置于移动磁结构体和导向支架体之间的滑块结构；
-设置于导向支架体和位移驱动体的驱动磁结构体之间的磁屏蔽结构体。
优选地，移动磁结构体处的壳体侧壁内设有容纳腔，所述传感机构设置于所述容纳腔内；
所述传感机构采用如下任一种结构：
-传感机构包括相互接触的磁致应变体和力电材料，所述力电材料位于磁致应变体的上端和/或下端；
-传感机构包括相互接触的方向异型永磁结构体和力电材料，所述方向异型永磁结构体采用一个方向异型永磁单体或多个相互接触的方向异型永磁单体；所述力电材料位于方向异型永磁结构体的上端和/或下端；
-传感机构包括磁致应变体和力电材料，所述力电材料为薄膜/片体结构，并设置于磁致应变体的两侧面上，形成夹心结构；
-传感机构采用磁巨阻材料体；
所述磁致应变体包括：磁致伸缩材料、磁粒子摆动体、磁力移动体或磁巨阻材料；所述力电材料包括：压电材料、压阻材料或压磁材料。
优选地，所述传感机构为力电材料体，所述力电材料体为薄膜/片体结构，并设置于位置约束弹片a的两侧面上，形成夹心结构；
所述力电材料体包括压电材料膜片或应变材料膜片。
根据本发明的另一个方面，提供了一种基于科里奥利力效应的微型传感装置的组合结构，包括多个上述的基于科里奥利力效应的微型传感装置，多个基于科里奥利力效应的微型传感装置呈阵列结构组合连接。
本发明的工作原理为：基于科里奥利力效应实现平转动体(壳体)低速或高速的宽频转速的基于磁电效应的检测。由于当质点(质量体)的质量m一定时，科里奥利力的值取决于质点(质量体)的运动速度和旋转体系(壳体)的角速度所以，当较小(平转动体转速慢)或较大(平转动体转速快)时，通过对应增加或减小质点运动速度即能够取得和之间优化对应的频谱关系，获得稳定的科里奥利力，使质量体相对传感机构空间位置发生变化，引起磁电信号的转换，进而对应得到平转动体慢速或快速转动的检测。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
1、本发明基于科里奥利力效应，提供了多种传感形式，适用于不同信号特征检测需求；
2、通过多种传感形式获得的检测量值的加强平均，使传感精度更高；
3、通过设置位置约束弹片，限制了驱动磁结构体和移动磁结构体的运动方向，实现移动磁结构体的空间运动位置稳定，方便磁电转化信号的采集，进一步地提高传感精度；
4、多种传感部件组合形成复合传感形式，提高传感精密度；
5、通过将传感机构设置于壳体的腔壁内，实现装置的小型化；
6、通过将传感机构设置于位置约束弹片上，将弹性环节和传感环节进行整合，使一个部件同时完成结构体和传感体两个功能，进一步实现装置的小型化。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本发明实施例1结构及工作原理示意图，其中，(a)为初始状态，(b)为工作状态；
图2为本发明实施例2结构及工作原理示意图，其中，(a)为初始状态，(b)为工作状态；
图3为本发明实施例3结构及工作原理示意图，其中，(a)为初始状态，(b)为工作状态；
图4为实施例4中传感机构示意图；
图5为实施例5中传感机构示意图；
图6为实施例6中传感机构示意图；
图7为实施例7中传感机构示意图；
图中：1为磁致应变体，2为力电材料，3为移动磁结构体，4为导向支架体，5为磁屏蔽结构体，6为驱动磁结构体，7为限位机构，8为电磁线圈，9为壳体，10为位置约束弹片，11为方向异型永磁体，V为表示施加电压，V～为力电体产生的交变电压，V0 -为初始偏置恒压，t为时间量，Vυ为质量体相对壳体竖直方向往复运动速度，Vh为质量体相对壳体水平方向往复运动速度。
具体实施方式
下面对本发明的实施例作详细说明：本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。
实施例1
本实施例提供了一种基于科里奥利力效应的微型传感装置，包括壳体以及设置于壳体内部的质量体、位移驱动体以及传感机构，所述壳体作为旋转体系，其角速度为ω，所述质量体在位移驱动体的驱动作用以及壳体的旋转作用下相对壳体运动，所述传感机构用于采集质量体的磁电转化信号；其中：
所述质量体为如下结构：
包括刚性体以及设置于刚性体内部且与刚性体连为一体的移动磁结构体；
所述质量体与位移驱动体之间设有导向支架体，所述质量体与导向支架体之间竖直连接有至少一个位置约束弹片a，所述位置约束弹片a用于约束质量体的竖直位移。
进一步地，所述移动磁结构体采用永磁体或电磁体。
进一步地，所述位移驱动体包括驱动磁结构体和位移驱动器(如电磁线圈)，所述驱动磁结构体为永磁体，工作状态下，所述驱动磁结构体在位移驱动器作用下上下往复运动；或
所述位移驱动体包括驱动磁结构体，所述驱动磁结构体为电磁体，工作状态下，所述驱动磁结构体在电流作用下上下往复运动。
进一步地，所述驱动磁结构体上设有限位机构，所述限位机构采用弹簧，所述弹簧连接于驱动磁结构体和位移驱动器之间。
进一步地，所述驱动磁结构体与导向支架体刚性连接。
进一步地，所述导向支架体采用导向支架框体，所述导向支架框体的下端与驱动磁结构体刚性连接。
进一步地，本实施例提供的基于科里奥利力效应的微型传感装置，还包括如下任一个或任多个部件：
-设置于移动磁结构体和导向支架体之间的滑块结构；
-设置于导向支架体和驱动磁结构体之间的磁屏蔽结构体。
进一步地，所述磁屏蔽结构体与导向支架体一体成型。
进一步地，移动磁结构体处的壳体侧壁内设有容纳腔，所述传感机构设置于所述容纳腔内；
所述传感机构采用如下结构：
-传感机构包括相互接触的磁致应变体(如磁致伸缩材料、磁粒子摆动体、磁力移动体或磁巨阻材料)和力电材料(如压电材料、压阻材料、压磁材料)，所述力电材料位于磁致应变体的上端和/或下端。
压磁材料是指：磁通过感应线圈产生电信号的材料。
进一步地，移动磁结构体处壳体的两侧侧壁内均设有传感机构；当其中一组传感机构中的力电材料设置于磁致应变体的下端时，另外一组传感机构中的力电材料可以设置于磁致应变体的下端，也可以设置于磁致应变体的上端，当另外一组传感机构中的力电材料设置于磁致应变体的上端时，使传感机构所受感应信号更加均匀，能够更有效的感应磁场变化。
进一步地，所述位置约束弹片为一弹性材料体。
进一步地，所述传感机构采集的质量体的磁电转化信号，通过如下任一种方式传输：
-电缆接触式；
-永磁非接触式；
-无线射频信号传输式。
在本实施例中：
导向支架体用于实现质量体相对壳体只产生竖直方向往复运动Vυ。
磁屏蔽结构体使驱动磁结构体的磁场对传感机构的磁致应变体不产生磁场影响。
位置约束弹片a用于约束质量体数值方向的位移；同时，在初始状态下，保证质量体不发生偏摆。
移动驱动体可以采用电磁体也可以采用永磁体，当采用电磁体时，可以对磁量进行调整。
本实施例提供的基于科里奥利力效应的微型传感装置，实现了传感装置的小型化，并通过设置位置约束弹片，限制了驱动磁结构体和移动磁结构体的运动方向，实现移动磁结构体的空间运动位置稳定，方便磁电转化信号的采集，提高传感精度。
实施例2
实施例2为实施例1的变化例。
本实施例在实施例1的基础上，与实施例1的区别在于：
所述导向支架体采用导向支架块体，所述导向支架块体的下端设有驱动磁结构体放置腔。
实施例3
实施例3为实施例1的变化例。
本实施例在实施例1的基础上，与实施例1的区别在于：
所述限位机构采用位置约束弹片b，所述位置约束弹片b水平连接于驱动磁结构体与壳体之间，用于约束驱动磁结构体的水平位移。
进一步地，导向支架体采用导向支架杆体a，所述导向支架杆体a包括刚性杆a以及水平设置于刚性杆a上的刚性梁a，所述刚性杆a的自由端与驱动磁结构体刚性连接。
进一步地，所述质量体的与壳体之间设有导向支架杆体b，所述导向支架杆体b包括刚性杆b以及水平设置于刚性杆b上的刚性梁b，所述刚性杆b的自由端与壳体之间水平连接有位置约束弹片c，所述刚性梁b与质量体之间竖直连接有位置约束弹片d。
实施例4
实施例4为实施例1至实施例3的变化例。
实施例4在实施例1至实施例3中任一个实施例的基础上，采用了其他结构的传感机构：
所述传感机构包括相互接触的方向异型永磁结构体和力电材料，所述方向异型永磁结构体采用一个方向异型永磁单体或多个相互接触的方向异型永磁单体；所述力电材料位于方向异型永磁结构体的上端和/或下端。
所述力电材料包括：压电材料、压阻材料或压磁材料。
本实施例的工作原理为：
方向异型永磁结构体随外部磁场靠近或远离而偏转，挤压下部的力电材料，从而产生传感效果。
实施例5
实施例5为实施例1至实施例3的变化例。
实施例5在实施例1至实施例3中任一个实施例的基础上，采用了其他结构的传感机构：
所述传感机构包括磁致应变体和力电材料，所述力电材料为薄膜/片体结构，并设置于磁致应变体的两侧面上，形成夹心结构。
所述磁致应变体包括：磁致伸缩材料、磁粒子摆动体、磁力移动体或磁巨阻材料；所述力电材料包括：压电材料、压阻材料或压磁材料。
本实施例的工作原理为：
当中间磁致应变体变形时，因变形产生应力作用于力电材料，进而产生电信号，实现传感效应。
实施例6
实施例6为实施例1至实施例3的变化例。
实施例6在实施例1至实施例3中任一个实施例的基础上，采用了其他结构的传感机构：
所述传感机构采用磁应变材料体，例如磁巨阻材料体、永磁材料体。
当采用磁巨阻材料体时，其工作原理为：
在变化磁场激励下，传感机构采用的磁巨阻材料体的电阻发生相应变化，因而外接电压/电势发生相应变化的材料。因此，永磁体移动距离和最终的检测电压信号之间会有对应的变化关系，而实现传感效应。
实施例7
实施例7为实施例1至实施例3的变化例。
实施例7在实施例1至实施例3中任一个实施例的基础上，采用了其他结构的传感机构：
所述传感机构为力电材料体，所述力电材料体为薄膜/片体结构，并设置于位置约束弹片a的两侧面上，形成夹心结构。
进一步地，所述力电材料体包括压电材料膜片或应变材料膜片。
本实施例的工作原理为：
当中间的位置约束弹片a变形时，压电材料膜片或应变材料膜片产生应变，进而产生电信号，实现传感效应。
实施例8
本实施例提供了一种基于科里奥利力效应的微型传感装置的组合结构，包括多个实施例1至实施例7中任一项所述的基于科里奥利力效应的微型传感装置，多个基于科里奥利力效应的微型传感装置呈阵列结构组合连接。
本实施例提供的基于科里奥利力效应的微型传感装置的组合结构，可以实现多个自由度的传感检测，既可以作平动传感，又可以做转动传感。
多个微型微型传感装置可以采用不同的传感形式，适用于不同信号特征检测需求，同时通过多种传感形式获得的检测量值的加强平均，得到精度更高信号量值。
以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改，这并不影响本发明的实质内容。

Claims (10)

1.一种基于科里奥利力效应的微型传感装置，包括壳体以及设置于壳体内部的质量体、位移驱动体以及传感机构，所述壳体作为旋转体系，其角速度为ω，所述质量体在位移驱动体的驱动作用以及壳体的旋转作用下相对壳体运动，所述传感机构用于采集质量体的磁电转化信号；其特征在于：
所述质量体采用如下任一种结构：
-刚性体以及设置于刚性体内部且与刚性体连为一体的移动磁结构体；
-单体结构的移动磁结构体；
所述质量体与位移驱动体之间设有导向支架体，所述质量体与导向支架体之间竖直连接有至少一个位置约束弹片a，所述位置约束弹片a用于约束质量体的竖直位移。
2.根据权利要求1所述的基于科里奥利力效应的微型传感装置，其特征在于，所述移动磁结构体采用永磁体或电磁体。
3.根据权利要求1所述的基于科里奥利力效应的微型传感装置，其特征在于，所述位移驱动体包括驱动磁结构体和位移驱动器，所述驱动磁结构体为永磁体，工作状态下，所述驱动磁结构体在位移驱动器作用下上下往复运动；或
所述位移驱动体包括驱动磁结构体，所述驱动磁结构体为电磁体，工作状态下，所述驱动磁结构体在电流作用下上下往复运动；
所述驱动磁结构体与导向支架体刚性连接。
4.根据权利要求3所述的基于科里奥利力效应的微型传感装置，其特征在于，所述驱动磁结构体上设有限位机构，所述限位机构采用如下任一种结构：
-弹簧，所述弹簧连接于驱动磁结构体和位移驱动器之间；
-位置约束弹片b，所述位置约束弹片b水平连接于驱动磁结构体与壳体之间，用于约束驱动磁结构体的水平位移。
5.根据权利要求3所述的基于科里奥利力效应的微型传感装置，其特征在于，所述导向支架体采用如下任一种结构：
-导向支架块体，所述导向支架块体的下端设有驱动磁结构体放置腔；
-导向支架框体，所述导向支架框体的下端与驱动磁结构体刚性连接；
-导向支架杆体a，所述导向支架杆体a包括刚性杆a以及水平设置于刚性杆a上的刚性梁a，所述刚性杆a的自由端与驱动磁结构体刚性连接。
6.根据权利要求5所述的基于科里奥利力效应的微型传感装置，其特征在于，所述质量体的与壳体之间设有导向支架杆体b，所述导向支架杆体b包括刚性杆b以及水平设置于刚性杆b上的刚性梁b，所述刚性杆b的自由端与壳体之间水平连接有位置约束弹片c，所述刚性梁b与质量体之间竖直连接有位置约束弹片d。
7.根据权利要求1所述的基于科里奥利力效应的微型传感装置，其特征在于，还包括如下任一个或任多个部件：
-设置于移动磁结构体和导向支架体之间的滑块结构；
-设置于导向支架体和位移驱动体之间的磁屏蔽结构体。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的基于科里奥利力效应的微型传感装置，其特征在于，移动磁结构体处的壳体侧壁内设有容纳腔，所述传感机构设置于所述容纳腔内；
所述传感机构采用如下任一种结构：
-传感机构包括相互接触的磁致应变体和力电材料，所述力电材料位于磁致应变体的上端和/或下端；
-传感机构包括相互接触的方向异型永磁结构体和力电材料，所述方向异型永磁结构体采用一个方向异型永磁单体或多个相互接触的方向异型永磁单体；所述力电材料位于方向异型永磁结构体的上端和/或下端；
-传感机构包括磁致应变体和力电材料，所述力电材料为薄膜或片体结构，并设置于磁致应变体的两侧面上，形成夹心结构；
-传感机构采用磁巨阻材料体；
所述磁致应变体包括：磁致伸缩材料、磁粒子摆动体、磁力移动体或磁巨阻材料；所述力电材料包括：压电材料、压阻材料或压磁材料。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的基于科里奥利力效应的微型传感装置，其特征在于，所述传感机构为力电材料体，所述力电材料体为薄膜或片体结构，并设置于位置约束弹片a的两侧面上，形成夹心结构；
所述力电材料体包括压电材料膜片或应变材料膜片。
10.一种基于科里奥利力效应的微型传感装置的组合结构，其特征在于，包括多个权利要求1至9中任一项所述的基于科里奥利力效应的微型传感装置，多个基于科里奥利力效应的微型传感装置呈阵列结构组合连接。
CN201410784796.4A 2014-12-16 2014-12-16 基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构 Active CN104535056B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410784796.4A CN104535056B (zh) 2014-12-16 2014-12-16 基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410784796.4A CN104535056B (zh) 2014-12-16 2014-12-16 基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104535056A true CN104535056A (zh) 2015-04-22
CN104535056B CN104535056B (zh) 2017-09-05

Family

ID=52850631

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410784796.4A Active CN104535056B (zh) 2014-12-16 2014-12-16 基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104535056B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105526927A (zh) * 2016-01-20 2016-04-27 上海交通大学 基于科里奥利力效应的平动速度或加速度传感装置及结构
CN106291406A (zh) * 2015-06-11 2017-01-04 南京理工大学 一种无线圈磁传感器

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060272428A1 (en) * 2005-05-18 2006-12-07 Endress + Hauser Flowtec Ag In-line measuring devices and method for compensation measurement errors in in-line measuring devices
CN102386801A (zh) * 2011-10-21 2012-03-21 上海交通大学 内置传感装置大位移精密驱动机构
CN202549531U (zh) * 2012-02-21 2012-11-21 上海交通大学 磁力控制位移驱动装置
CN102946164A (zh) * 2012-10-17 2013-02-27 上海交通大学 基于永磁体和电磁体相互作用的位移驱动装置及其组合
CN203798360U (zh) * 2014-03-14 2014-08-27 上海交通大学 磁电式科里奥利力检测传感器
CN204461439U (zh) * 2014-12-16 2015-07-08 上海交通大学 基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060272428A1 (en) * 2005-05-18 2006-12-07 Endress + Hauser Flowtec Ag In-line measuring devices and method for compensation measurement errors in in-line measuring devices
CN102386801A (zh) * 2011-10-21 2012-03-21 上海交通大学 内置传感装置大位移精密驱动机构
CN202549531U (zh) * 2012-02-21 2012-11-21 上海交通大学 磁力控制位移驱动装置
CN102946164A (zh) * 2012-10-17 2013-02-27 上海交通大学 基于永磁体和电磁体相互作用的位移驱动装置及其组合
CN203798360U (zh) * 2014-03-14 2014-08-27 上海交通大学 磁电式科里奥利力检测传感器
CN204461439U (zh) * 2014-12-16 2015-07-08 上海交通大学 基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
邵亮: ""光学天文望远镜用微位移驱动器机构研究综述"", 《天文学进展》 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106291406A (zh) * 2015-06-11 2017-01-04 南京理工大学 一种无线圈磁传感器
CN106291406B (zh) * 2015-06-11 2019-02-22 南京理工大学 一种无线圈磁传感器
CN105526927A (zh) * 2016-01-20 2016-04-27 上海交通大学 基于科里奥利力效应的平动速度或加速度传感装置及结构

Also Published As

Publication number Publication date
CN104535056B (zh) 2017-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102914394B (zh) Mems巨磁阻式高度压力传感器
CN102175887A (zh) 移动式超声波风速风向仪及测量风速风向的方法
WO2013127311A1 (zh) 一种平面电机动子位移的测量方法
CN101871801B (zh) 采用tmr磁性传感器的智能流量计
CN104535056A (zh) 基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构
CN202853817U (zh) Mems隧道磁阻高度压力传感器
CN204461439U (zh) 基于科里奥利力效应的微型传感装置及其组合结构
CN105526927A (zh) 基于科里奥利力效应的平动速度或加速度传感装置及结构
CN202853815U (zh) Mems巨磁阻式高度压力传感器
CN107449415A (zh) 纳米光栅微机械陀螺
CN203705281U (zh) 数显式混凝土回弹仪
CN204694201U (zh) 非接触式位移传感器
CN211955543U (zh) 适用于流速测量的装置
CN203798360U (zh) 磁电式科里奥利力检测传感器
CN202041589U (zh) 振动屏蔽式电场传感器
CN102095358A (zh) 精密位移传感装置
CN205642391U (zh) 基于科里奥利力效应的平动速度或加速度传感装置及结构
CN108871384B (zh) 基于磁力驱动的磁电式精密变量传感装置以及阵列与方法
CN101477139B (zh) 基于磁致伸缩与压电效应的无功耗加速度计
CN203249935U (zh) 一种压阻式三向加速度传感器
CN202734750U (zh) 磁伸缩位移传感器
CN104764393A (zh) 高精度磁致伸缩位移传感器
CN104976987B (zh) 一种克服静力水准仪静摩擦力提高精度的装置及方法
CN103913158B (zh) 磁电式科里奥利力检测传感器
CN104296651A (zh) 基于柔性织物的多支臂多关节角度一体化并行检测***

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant