CN104532338A - 哈氏合金电解抛光工艺 - Google Patents
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Abstract
一种哈氏合金电解抛光工艺,属于抛光工艺技术领域。具体步骤为:对哈氏合金电解抛光工件进行干燥洁净预处理,保证工件表面无多余水分;对干燥洁净工件直接进行电解抛光处理:将吹干后工件用钛合金夹具上挂,放入电抛槽后,立刻通电,通电方式为恒压直流,电解抛光60-120s,电流密度控制在5-7A/dm2;将电抛后工件放入38-42℃的热水中清洗2min后吹干。本发明运用通用的电解抛光药液,通过调整前处理方式及控制过程,使哈氏合金工件电解抛光表面外观良好,表面光亮度增加有明显金属光泽无花斑腐蚀,并有效保证加工质量。
Description
技术领域:
本发明属于抛光工艺技术领域,特别是涉及一种哈氏合金电解抛光工艺。
背景技术:
哈氏合金电解抛光工艺,有其特别的重要性。IC装备用哈氏合金电解抛光要求:工件表面发暗无明显金属光泽。工件表面容易形成腐蚀点或花斑,影响工件功能。哈氏合金电解抛光制程与其他不锈钢工件电解抛光不同,一般电解抛光工艺处理哈氏合金工件,会导致工件表面发暗无明显光亮度且容易形成腐蚀点及花斑,无法满足客户要求。
发明内容
针对上述存在的技术问题,解决哈氏合金工件电解抛光过程中,工件表面发暗无明显光亮度且容易形成腐蚀点及花斑等问题,本发明的目的是提供一种哈氏合金电解抛光工艺。它通过调整前处理方式及控制过程得到良好的电解抛光效果。
本发明的目的是通过如下技术方案实现的:
本发明一种哈氏合金电解抛光工艺,包括如下步骤:
(1)对哈氏合金电解抛光工件进行干燥洁净预处理,保证工件表面无多余水分;
(2)对干燥洁净工件直接进行电解抛光处理:将吹干后工件用钛合金夹具,放入电抛槽后,立刻通电,通电方式为恒压直流,电解抛光,电流密度控制在5-7A/dm2;
(3) 将电抛后工件放入38-42℃的热水中清洗2min后吹干。
进一步地,所述预处理是将工件用水洗去除表面油污,使用压缩空气吹干工件表面。
进一步地,所述电解抛光溶液为 Isopol 140电解抛光药水,过程工艺参数为:温度:50-65℃,电压:8-12V,电解抛光60-120s。
进一步地,所述电抛槽使用钛丝做阴极,极板面积为零件面积的1/3-1/5。
本发明的有益效果是:
本发明运用通用的电解抛光药液,通过调整前处理方式及控制过程得到良好的电解抛光效果,哈氏合金工件电解抛光表面外观良好,表面光亮度增加,具有明显金属光泽,无花斑腐蚀等问题,并且有效保证加工质量。
具体实施方式:
下面实施例对本发明进行详细描述。
实施例1:本发明哈氏合金电解抛光工艺,具体步骤如下:
(1)对哈氏合金电解抛光工件进行干燥洁净预处理,保证工件表面无多余水分;所述预处理是将工件用水洗去除表面油污,使用压缩空气吹干工件表面,以减少表面花斑。
(2)对干燥洁净工件直接进行电解抛光处理:将吹干后工件用钛合金夹具,放入电抛槽后,立刻通电,避免自然状态下工件在药水中腐蚀;通电方式为恒压直流,电流密度控制在5-7A/dm2;所述电解抛光溶液为 Isopol 140电解抛光药水,过程工艺参数为:温度:50-65℃,电压:8-12V,电解抛光:60-120s。所述电抛槽使用钛丝做阴极,极板面积为零件面积的1/3-1/5。
(3)将电抛后工件放入38-42℃的热水中清洗2min后吹干。
实施例2:本例与实施例1不同的是:本例中工艺参数为:电流密度控制在5A/dm2;所述电解抛光过程工艺参数为:温度:50℃,电压:8V,电解抛光:60s。所述电抛槽使用钛丝做阴极,极板面积为零件面积的1/3。将电抛后工件放入38℃的热水中清洗2min后吹干。
实施例3:本例与实施例1不同的是:本例中工艺参数为:电流密度控制在7A/dm2;所述电解抛光过程工艺参数为:温度: 65℃,电压: 12V,电解抛光: 120s。所述电抛槽使用钛丝做阴极,极板面积为零件面积的1/5。将电抛后工件放入42℃的热水中清洗2min后吹干。
实施例4:本例与实施例1不同的是:本例中工艺参数为:电流密度控制在6A/dm2;所述电解抛光过程工艺参数为:温度:60℃,电压:10V,电解抛光:100s。所述电抛槽使用钛丝做阴极,极板面积为零件面积的1/4。将电抛后工件放入40℃的热水中清洗2min后吹干。
Claims (4)
1.一种哈氏合金电解抛光工艺,其特征在于:包括如下步骤:
(1)对哈氏合金电解抛光工件进行干燥洁净预处理,保证工件表面无多余水分;
(2)对干燥洁净工件直接进行电解抛光处理:将吹干后工件用钛合金夹具,放入电抛槽后,立刻通电,通电方式为恒压直流,电解抛光,电流密度控制在5-7A/dm2;
(3)将电抛后工件放入38-42℃的热水中清洗2min后吹干。
2.如权利要求1所述哈氏合金电解抛光工艺,其特征在于:所述预处理是将工件用水洗去除表面油污,使用压缩空气吹干工件表面。
3.如权利要求1所述哈氏合金电解抛光工艺,其特征在于:所述电解抛光溶液为 Isopol 140电解抛光药水,过程工艺参数为:温度:50-65℃,电压:8-12V,电解抛光60-120s。
4.按照权利要求1所述的哈氏合金电解抛光工艺,其特征在于:所述电抛槽使用钛丝做阴极,极板面积为零件面积的1/3-1/5。
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