CN104531397A - 一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液及其应用 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种平板显示玻璃基板减薄预清洗用清洗液，按质量百分含量，其组分为：氢氧化钾1～20％，醇胺1～15％，砜、亚砜类化合物5～35％，醇类化合物1～25％，表面活性剂0.1～15％，剩余量为水。本发明的玻璃基板减薄预清洗用清洗液不仅可以除去玻璃基板表面上的有机、无机杂质和固体颗粒，而且还可以清除玻璃基板表面上的UV固化胶残余物，同时具有环境友好且可在较大的温度范围内使用。

Description

一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液及其应用

技术领域

本发明涉及一种TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器：Thin film TransistorLiquid Crystal Display)平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液，具体涉及用于清洗平板玻璃基板减薄过程中玻璃基板表面上残留的UV固化胶膜用清洗液。

背景技术

随着手机，平板电脑等对液晶屏的厚度要求高，一般初次制备好的液晶屏要进行薄型化处理，或称其为减薄处理，玻璃基板薄型化作为显示产品薄型化的核心已成为终端显示产品薄型化的前提和动力。减薄处理的方法是用氢氟酸蚀刻，其工艺过程一般为封胶——减薄——研磨，其中封胶工序是由于液晶玻璃屏采用双面粘接而成，氢氟酸蚀刻时容易从缝隙处侵入液晶屏内部，影响产品性能，所以，蚀刻之前需要对液晶玻璃的边缘进行密封处理，即用光固化封边胶通过光固硬化从而将液晶玻璃四边封止住；减薄工序包括预清洗单元、蚀刻单元、清洗单元及干燥单元等，其中的预清洗单元是将封胶过的玻璃基板在一定温度下浸入清洗液以去除表面的有机、无机杂质及固体颗粒等；最后，研磨工序是为获得光亮、平整的表面。

在减薄工艺中，其封胶工序中胶液不可避免的会外溢到玻璃基板表面，虽然经擦拭，但是还会留下一层薄薄的有机膜，这层有机膜在随后的封边胶UV固化过程中也会被固化从而粘附到玻璃基板表面，形成UV固化胶残余物，而UV固化胶残余物在玻璃基板预清洗过程中很难被清洗掉，从而在后续蚀刻工艺中会阻碍蚀刻液对玻璃基板的刻蚀，导致玻璃基板蚀刻不均一，而被UV固化胶残余物覆盖的位置会形成个凸起，如果被UV固化胶残余物覆盖的位置形成缺陷，经过刻蚀会导致缺陷扩大，最后在研磨工艺中由于这类缺陷的存在，会导致玻璃基板受力不均造成碎片，产品良率显著降低。

目前，玻璃基板减薄用的清洗液组合物主要是有强碱、表面活性剂、极性有机溶剂和水等组成，使用过程中首先将该清洗液与水按一定的比例混合，随后将封胶后的玻璃基板浸入清洗液中，在45～90℃下浸泡清洗玻璃基板，该类清洗液对表面上的有机、无机杂质及固体颗粒等有效，但是不能完全去除玻璃基板表面上的UV固化胶残余物，清洗能力不足。

强碱能够溶解UV固化胶和/或刻蚀所产生的UV固化胶残余物，强碱含量过低时，清洗液对UV固化胶残余物的去除能力不足；但是强碱含量过高时，清洗液易造成封边胶的腐蚀，对封边胶的耐酸碱性能提出更高要求，增加生产成本。

极性有机溶剂能够溶解UV固化胶残余物，提高清洗液对有机物的清洗能力。极性有机溶剂含量过低时，清洗液对UV固化胶残余物的去除能力不足；但极性有机溶剂含量过高时，清洗液中的强碱含量相应降低，使得清洗液对UV固化胶残余物的去除能力减弱。另外，若单独试用高沸点的非质子性极性溶剂，则由于其极性过强而导致固化后的封边胶被清洗掉，导致酸碱液渗入液晶屏。若单独试用芳香族烃化合物作为有机溶剂，则由于其极性偏弱难以清洗掉玻璃表面的UV固化胶残余物。

此外，对于含有阳离子类、阴离子类、非离子类表面活性剂的清洗液，其发泡性成为问题，为了得到充分的清洗效果就必须使用大量的新的清洗液，废液处理量增大，因而存在环境负荷较大的问题，对环境造成一定污染。

综上所述，现有的平板玻璃基板减薄预清洗用的清洗液对玻璃基板上的UV固化胶残余物清洗能力不足，或者清洗后产生的废液对环境造成了一定污染。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种不仅可以除去有机、无机杂质或固体颗粒，还可以去除UV固化残余物、环境友好且可在较大的温度范围内使用的平板玻璃基板减薄预清洗用的清洗液。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案为：一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液，按质量百分含量，其组分为：氢氧化钾1～20％，醇胺1～15％，砜和/或亚砜类化合物5～35％，醇类化合物1～25％，表面活性剂0.1～15％，剩余量为水。

所述的醇胺为一乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、异丙醇胺、甲基二乙醇胺、二甲基乙醇胺、羟乙基乙二胺中的一种或多种；

所述的醇胺优选百分含量为1％～8％；其百分比过低，去油污效果会不好，相容性差；百分比过高，会降低玻璃基板的防腐性。

所述的砜和/或亚砜类化合物选自下述物质中的一种或多种：2,4-二羟基二苯砜，4-羟基-4-异丙氧基二苯砜，3,3-二硝基二苯砜，三甲基碘化亚砜，4,4-双(4-氨基苯氧基)二苯砜，氟甲基苯基砜，二苯并噻吩砜，3,3-二氨基-4,4-二羟基二苯砜，甲巯基甲基对甲苯砜，3-甲氧基羰基-3-亚砜，苄基甲基砜，二[4-(2-羟基乙氧基)苯基]砜，3-氨苯基三氟甲基砜，二(对硝基苯)硫砜，3,4-二溴代环丁砜，3-甲基环丁砜，4-羟基-4-苄氧基二苯砜，2,4-二甲基环丁砜，苯基乙烯基亚砜，4-氯苯基甲基砜，对氟苯甲砜，4-甲基磺酰苄溴乙基乙烯基砜，联-(4-氯二苯砜)，甲磺酰乙酮，2,2-磺酰基双乙醇，反-1,2-双(苯基磺酰基)乙烯，4,4-双(3-氨基苯氧基)二苯基砜，苄基苯基砜，乙烯砜，氯甲基苯砜，2-氯乙基苯基砜，3-环丁烯砜，烯丙基苯砜，3,3-二氨基二苯砜，甲基甲基硫代甲砜，硫代氯甲酸苯酯三甲基氯化亚砜，正丁基亚砜，四甲基亚砜，妥曲珠利砜，异丙基甲基砜，三甲基溴化亚砜，二正十二烷基二乙基亚砜，甲乙基亚砜，2-氯乙基-4-氯苯砜，双二甲苯基砜，反式苯基肉桂砜，3-庚基硫砜，甲硫威砜，N-乙酰氨苯砜，二溴亚砜，2-氟苯基甲基砜，硝甲基苯砜，2-氯乙基4-氟苯基砜，4,4-二溴二苯砜，3-甲基-3-环丁烯砜，双[3,5-二溴-4-(2-羟乙氧基)苯基]砜，3-氨基环丁砜，苯基三甲基硅基甲砜，双(2-乙基己基)亚砜，涕灭威亚砜，2-氯乙基对甲苯基砜，乙基异丙基砜，5-(5-异唑)噻酚-2-氯砜，4-甲氧基苯急家基砜，4-硝基联苯砜，双(4-异硫氰酸苯基)砜，2-溴苄基苯基砜，4-甲苯基-二碘甲基砜，亚砜，苯胺磷砜，二正辛砜，3,3,4,4-四氯环丁砜，对甲苯基乙烯基砜，二[4-氯-3-硝基苯]砜，2-苯并恶唑酮-5-甲砜，蚜灭多亚砜，苯线磷亚砜，乙硫苯威砜，倍硫磷亚砜，硫丙磷亚砜，倍硫磷氧亚砜，甲拌磷砜，乙丙二砜，异丙嗪亚砜，叔丁基甲砜，羟胺氨苯砜，特丁磷亚砜，灭梭威亚砜，丁酮威亚砜，S-苯基硫代苯基砜，芬苯达唑砜，三氯苯达唑亚砜，特丁磷砜，2-苯基亚硫酰基乙酸甲酯氯甲基苯亚砜，甲基对甲苯亚砜，十二烷基甲基亚砜，4,4-二氟-3,3-二硝基二苯砜，乙炔基对甲苯基砜，甲基乙烯砜，硫苯咪唑砜，2-氟-5-甲基磺酰硝基苯正丁砜，苯基TRANS-苯乙烯基砜，溴甲基苯基砜，2-苯磺酰-1,3-环庚二烯1,1-双(苯基磺酰基)乙烯，1-甲基-2-[(苯磺酰)甲基]苯甲硫甲基苯基砜，苄基砜，二乙砜，3,5-二氯苯甲砜，2-氯苯基甲基砜，倍硫磷氧砜，3,3,4,4-四氯二苯砜，久效威砜，妥曲珠利亚砜，三甲基氯化亚砜，久效威亚砜，3-氯-4,4,4-三氟-2-丁烯基苯基砜，孟鲁斯特亚砜，蚜灭多砜，丙硫咪唑亚砜，比鲁卡胺亚砜，2-溴苯基甲基亚砜，4,4-二氟苯砜，三溴甲基苯硫砜，4,4-二环氧丙氧基二苯砜，4-羟基-4-苄氧基二苯砜，二氧亚砜，聚胺砜，4,4-二溴二苯砜，双-(3,4-二甲基)二苯砜，阿米氨苯砜，久效威亚砜，3,7-二氨基-2,8-二甲基二苯并噻酚砜，乙丁二砜，琥珀氨苯砜，石油亚砜，4,4-二羟乙氧基二苯砜，3-硝基-4-氯苯基甲基砜，二丙砜，地百里砜，2-溴乙基甲基砜，西维美林亚砜，4-甲氧基苯基甲基砜，3,3-二氨基-4,4-二氟二苯砜，4,4-二甲氧基二苯基亚砜，三氯苯咪唑砜，丰索磷砜，六氯三亚甲基三砜，乙酰胺苯砜，4-苄氧基-4-羟基-二苯砜，苄基苯基砜，苯基砜，4,4-二羟基-3,3,5,5-四溴二苯砜，噻唑砜，舒林砜，4-苯甲酰苯基甲基亚砜，(甲硫基)甲基P-甲苯基砜，生物素亚砜，4,4-二甲基二苯亚砜，硫丙磷砜，2-氯苯基甲基砜，3-氟苯基甲基砜，葡胺苯砜，6,6-二溴青霉烷酸砜，3-氨基苯基砜，氯杀螨砜，涕灭威亚砜，二碘甲基对甲苯基砜，胺苯砜，哒砜，对氯甲基苯甲砜，对甲基苯甲砜，2-联苯基三氟甲基亚砜，4-烯丙氧基-4-二羟基二苯砜，4,4二氯二苯砜，二甲亚砜，对甲基苯乙酸砜，4-乙酰基二苯砜，久效威亚砜，3-硝基-4-羟基苯基甲基砜，乙烯基苯基砜，甲基硫代甲基甲砜，3(4)-(乙烯苄基)-2-氯乙基砜，3,3-二氨基-4,4-二氯二苯砜，聚芳醚砜，间溴苯基甲基砜，对-氯苯基甲基亚砜，对甲苯基[2-(三甲基甲硅烷基)乙炔基]砜；

所述的醇类化合物选自下述物质中的一种或多种：丁醇、异戊醇、异辛醇、糠醇、二丙酮醇、丙烯醇、乙二醇、二乙二醇、一缩二乙二醇、对甲基苯乙醇、邻甲氧基苯甲醇、间甲氧基苯甲醇、对甲氧基苯甲醇、邻甲氧基苯乙醇、正戊醇、丁基卡必醇、丙二醇、山梨醇、环己醇、丙烯醇、四氟丙醇、苯甲醇、苯乙醇、邻甲基苯甲醇、间甲基苯甲醇、对甲基苯甲醇、邻甲基苯乙醇、间甲基苯乙醇、间甲氧基苯乙醇、对甲氧基苯乙醇、邻氨基苯甲醇、木糖醇、2-巯基乙醇、间氨基苯甲醇、对氨基苯甲醇、邻氨基苯乙醇、间氨基苯乙醇、对氨基苯乙醇。

所述的醇类化合物进一步优选自二乙二醇、环己醇、一缩二乙二醇、邻甲氧基苯乙醇、邻甲基苯乙醇中的至少一种；

所述的醇胺、砜和/或亚砜类化合物及醇类化合物的总重占所述清洗液总重的百分比为1％～60％，优选10％～45％；其百分比过低，清洗效果会不好；百分比过高，玻璃基板的防腐性会降低。

所述的表面活性剂为烷基糖苷(APG)，是由可再生资源天然脂肪醇和葡萄糖合成的，是一种性能较全面的新型非离子表面活性剂，兼具普通非离子和阴离子表面活性剂的特性，具有高表面活性、良好的生态安全性和相溶性，是国际公认的首选“绿色”功能性表面活性剂。APG类化合物均为天然脂肪醇和葡萄糖在酸性催化剂作用下，经缩醛脱水而生成的化合物。所述的表面活性剂优选比例为2～10％；其百分比过低，清洗效果会下降；百分比过高，清洗效果改进不明显，清洗液本身的洗除能力下降而且会增加成本。

所述的水优选为去离子水，是经离子交换树脂过滤的水，所述水的电阻率至少为15兆欧。

本申请技术方案中所用试剂及原料均市售可得。

本申请所述的一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液的制备方法，其步骤为：将上述组分混合均匀，即得到平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液。

本申请公开的光刻胶清洗液的使用方法可参照如下步骤：将配制好的清洗液与纯水按照一定的比例混合搅拌均匀，将封胶后的玻璃基板浸入稀释后温度25～60℃的清洗液中10～15min，然后经去离子水浸泡后进入蚀刻槽中刻蚀。

本发明所要解决的第二技术问题是：提供一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液的应用。

为解决第二个技术问题，采用的技术方案是：一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液在液晶显示(LCD)用玻璃基板、触摸屏(TP)显示用玻璃基板、有机电致发光(OLED)显示用玻璃基板或其他显示用玻璃基板减薄预清洗中的应用。

有益效果：本申请提供的清洗液，不仅能有效除去玻璃基板上面的有机、无机杂质和固体粒子，而且还能有效除去玻璃基板表面上UV固化胶残余物，其清洗能力强，且对环境无污染，清洗温度范围广泛。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步阐述，但本发明并不限于以下实施例。所述方法如无特别说明均为常规方法。所述原料如无特别说明均能从公开商业途径而得。

实施例1

将如下重量百分比的各组分在室温下搅拌均匀，得到本申请提供的清洗液：氢氧化钾15％、三乙醇胺10％、表面活性剂化合物5％、有机溶剂乙二醇15％、二甲基亚砜15％、剩余量为去离子水；该去离子水的电阻率为18兆欧。

将上述清洗液与纯水按2.5：97.5的比例配制，升温至50℃，将封胶后的平板玻璃基板浸泡在清洗液中，清洗15分钟，接着将洗净的玻璃面板在25℃的纯水中浸渍15分钟，其后取出面板，氮气流干燥。

用电子显微镜(尼康，ECLIPSE L300)放大100倍观测结果，手指印和油污的去除率可达100％，UV固化胶残余物的去除率可达100％。满足清洗后下续工序的要求。

实施例2

将如下重量百分比的各组分在室温下搅拌均匀，得到本申请提供的清洗液：氢氧化钾10％、三乙醇胺10％、表面活性剂化合物8％、有机溶剂乙二醇20％、二甲基亚砜20％、剩余量为去离子水；该去离子水的电阻率为18兆欧。

将上述清洗液与纯水按5：95的比例配制，升温至50℃，将封胶后的平板玻璃基板浸泡在清洗液中，清洗15分钟，接着将洗净的玻璃面板在25℃的纯水中浸渍15分钟，其后取出面板，氮气流干燥。

用电子显微镜(尼康，ECLIPSE L300)放大100倍观测结果，手指印和油污的去除率可达100％，UV固化胶残余物的去除率可达100％。满足清洗后下续工序的要求。

实施例3

将如下重量百分比的各组分在室温下搅拌均匀，得到本发明提供的清洗液：氢氧化钾12％、二乙醇胺5％、三乙醇胺5％、表面活性剂化合物8％、有机溶剂一缩二乙二醇10％、苯乙醇10％、二乙砜10％、二甲基亚砜10％、剩余量为去离子水；该去离子水的电阻率为18兆欧。

将上述清洗液与纯水按3：97的比例配制，升温至50℃，将封胶后的平板玻璃基板浸泡在清洗液中，清洗15分钟，接着将洗净的玻璃面板在25℃的纯水中浸渍15分钟，其后取出面板，氮气流干燥。

用电子显微镜(尼康，ECLIPSE L300)放大100倍观测结果，手指印和油污的去除率可达100％，UV固化胶残余物的去除率可达100％。满足清洗后下续工序的要求。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液，按质量百分含量，其组分为：氢氧化钾1～20％，醇胺1～15％，砜和/或亚砜类化合物5～35％，醇类化合物1～25％，表面活性剂0.1～15％，余量为水。

2.根据权利要求1所述的一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液，其特征在于：所述的醇胺为一乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、异丙醇胺、甲基二乙醇胺、二甲基乙醇胺、羟乙基乙二胺中的一种或多种；所述的醇胺质量百分含量为1％～8％。

3.根据权利要求1所述的一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液，其特征在于：所述的砜和/或亚砜类化合物选自下述物质中的一种或多种：2，4-二羟基二苯砜，4-羟基-4-异丙氧基二苯砜，3,3-二硝基二苯砜，三甲基碘化亚砜，4,4-双(4-氨基苯氧基)二苯砜，氟甲基苯基砜，二苯并噻吩砜，3,3-二氨基-4,4-二羟基二苯砜，甲巯基甲基对甲苯砜，3-甲氧基羰基-3-亚砜，苄基甲基砜，二[4-(2-羟基乙氧基)苯基]砜，3-氨苯基三氟甲基砜，二(对硝基苯)硫砜，3,4-二溴代环丁砜，3-甲基环丁砜，4-羟基-4-苄氧基二苯砜，2,4-二甲基环丁砜，苯基乙烯基亚砜，4-氯苯基甲基砜，对氟苯甲砜，4-甲基磺酰苄溴乙基乙烯基砜，联-(4-氯二苯砜)，甲磺酰乙酮，2,2-磺酰基双乙醇，反-1,2-双(苯基磺酰基)乙烯，4,4-双(3-氨基苯氧基)二苯基砜，苄基苯基砜，乙烯砜，氯甲基苯砜，2-氯乙基苯基砜，3-环丁烯砜，烯丙基苯砜，3,3-二氨基二苯砜，甲基甲基硫代甲砜，硫代氯甲酸苯酯三甲基氯化亚砜，正丁基亚砜，四甲基亚砜，妥曲珠利砜，异丙基甲基砜，三甲基溴化亚砜，二正十二烷基二乙基亚砜，甲乙基亚砜，2-氯乙基-4-氯苯砜，双二甲苯基砜，反式苯基肉桂砜，3-庚基硫砜，甲硫威砜，N-乙酰氨苯砜，二溴亚砜，2-氟苯基甲基砜，硝甲基苯砜，2-氯乙基4-氟苯基砜，4,4-二溴二苯砜，3-甲基-3-环丁烯砜，双[3,5-二溴-4-(2-羟乙氧基)苯基]砜，3-氨基环丁砜，苯基三甲基硅基甲砜，双(2-乙基己基)亚砜，涕灭威亚砜，2-氯乙基对甲苯基砜，乙基异丙基砜，5-(5-异唑)噻酚-2-氯砜，4-甲氧基苯急家基砜，4-硝基联苯砜，双(4-异硫氰酸苯基)砜，2-溴苄基苯基砜，4-甲苯基-二碘甲基砜，亚砜，苯胺磷砜，二正辛砜，3,3,4,4-四氯环丁砜，对甲苯基乙烯基砜，二[4-氯-3-硝基苯]砜，2-苯并恶唑酮-5-甲砜，蚜灭多亚砜，苯线磷亚砜，乙硫苯威砜，倍硫磷亚砜，硫丙磷亚砜，倍硫磷氧亚砜，甲拌磷砜，乙丙二砜，异丙嗪亚砜，叔丁基甲砜，羟胺氨苯砜，特丁磷亚砜，灭梭威亚砜，丁酮威亚砜，S-苯基硫代苯基砜，芬苯达唑砜，三氯苯达唑亚砜，特丁磷砜，2-苯基亚硫酰基乙酸甲酯氯甲基苯亚砜，甲基对甲苯亚砜，十二烷基甲基亚砜，4,4-二氟-3,3-二硝基二苯砜，乙炔基对甲苯基砜，甲基乙烯砜，硫苯咪唑砜，2-氟-5-甲基磺酰硝基苯正丁砜，苯基TRANS-苯乙烯基砜，溴甲基苯基砜，2-苯磺酰-1,3-环庚二烯1,1-双(苯基磺酰基)乙烯，1-甲基-2-[(苯磺酰)甲基]苯甲硫甲基苯基砜，苄基砜，二乙砜，3,5-二氯苯甲砜，2-氯苯基甲基砜，倍硫磷氧砜，3,3,4,4-四氯二苯砜，久效威砜，妥曲珠利亚砜，三甲基氯化亚砜，久效威亚砜，3-氯-4,4,4-三氟-2-丁烯基苯基砜，孟鲁斯特亚砜，蚜灭多砜，丙硫咪唑亚砜，比鲁卡胺亚砜，2-溴苯基甲基亚砜，4,4-二氟苯砜，三溴甲基苯硫砜，4,4-二环氧丙氧基二苯砜，4-羟基-4-苄氧基二苯砜，二氧亚砜，聚胺砜，4,4-二溴二苯砜，双-(3,4-二甲基)二苯砜，阿米氨苯砜，久效威亚砜，3,7-二氨基-2,8-二甲基二苯并噻酚砜，乙丁二砜，琥珀氨苯砜，石油亚砜，4,4-二羟乙氧基二苯砜，3-硝基-4-氯苯基甲基砜，二丙砜，地百里砜，2-溴乙基甲基砜，西维美林亚砜，4-甲氧基苯基甲基砜，3,3-二氨基-4,4-二氟二苯砜，4,4-二甲氧基二苯基亚砜，三氯苯咪唑砜，丰索磷砜，六氯三亚甲基三砜，乙酰胺苯砜，4-苄氧基-4-羟基-二苯砜，苄基苯基砜，苯基砜，4,4-二羟基-3,3,5,5-四溴二苯砜，噻唑砜，舒林砜，4-苯甲酰苯基甲基亚砜，(甲硫基)甲基P-甲苯基砜，生物素亚砜，4,4-二甲基二苯亚砜，硫丙磷砜，2-氯苯基甲基砜，3-氟苯基甲基砜，葡胺苯砜，6,6-二溴青霉烷酸砜，3-氨基苯基砜，氯杀螨砜，涕灭威亚砜，二碘甲基对甲苯基砜，胺苯砜，哒砜，对氯甲基苯甲砜，对甲基苯甲砜，2-联苯基三氟甲基亚砜，4-烯丙氧基-4-二羟基二苯砜，4,4二氯二苯砜，二甲亚砜，对甲基苯乙酸砜，4-乙酰基二苯砜，久效威亚砜，3-硝基-4-羟基苯基甲基砜，乙烯基苯基砜，甲基硫代甲基甲砜，3(4)-(乙烯苄基)-2-氯乙基砜，3,3-二氨基-4,4-二氯二苯砜，聚芳醚砜，间溴苯基甲基砜，对-氯苯基甲基亚砜，对甲苯基[2-(三甲基甲硅烷基)乙炔基]砜。

4.根据权利要求1所述的一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液，其特征在于：所述的醇类化合物选自下述物质中的一种或多种：丁醇、异戊醇、异辛醇、糠醇、二丙酮醇、丙烯醇、乙二醇、二乙二醇、一缩二乙二醇、对甲基苯乙醇、邻甲氧基苯甲醇、间甲氧基苯甲醇、对甲氧基苯甲醇、邻甲氧基苯乙醇、正戊醇、丁基卡必醇、丙二醇、山梨醇、环己醇、丙烯醇、四氟丙醇、苯甲醇、苯乙醇、邻甲基苯甲醇、间甲基苯甲醇、对甲基苯甲醇、邻甲基苯乙醇、间甲基苯乙醇、间甲氧基苯乙醇、对甲氧基苯乙醇、邻氨基苯甲醇、木糖醇、2-巯基乙醇、间氨基苯甲醇、对氨基苯甲醇、邻氨基苯乙醇、间氨基苯乙醇、对氨基苯乙醇。

5.根据权利要求4所述的一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液，其特征在于：所述的醇类化合物选自二乙二醇、环己醇、一缩二乙二醇、邻甲氧基苯乙醇、邻甲基苯乙醇中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液，其特征在于：所述的表面活性剂为烷基糖苷。

7.根据权利要求1所述的一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液，其特征在于：所述的水为去离子水，所述水的电阻率至少为15兆欧。

8.权利要求1所述的一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液在液晶显示用玻璃基板、触摸屏显示用玻璃基板、有机电致发光显示用玻璃基板减薄预清洗中的应用。