CN104485298A - 检测采样***及检测采样方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了检测采样***及检测采样方法，该***用以对产品规格进行采样检测，产品流经预设工艺条件的预设腔体，该***的第一比较单元用以分别将每个计数器当前的计数值与计数器对应的警告值进行比较，获取第一比较结果；第二比较单元用以分别将每个计数器当前的计数值与计数器对应的上限值进行比较，获取第二比较结果；采样单元用以根据预设采样策略对流经预设腔体的产品进行采样；处理单元，用以根据比较结果控制采样单元。采用计数器对流经预设工艺条件的预设腔体的产品进行计数，通过第一比较单元和第二比较单元实现智能判断，根据判断结果对流经相应的预设腔体的产品规格进行采样检测，提高了产品规格采样的均匀性。

Description

检测采样***及检测采样方法

技术领域

本发明涉及生产控制领域，尤其涉及一种可提高多腔体工艺设备作业后产品规格的检测采样***及检测采样方法。

背景技术

在半导体产品制造中，现有检测采样的方法普遍采用固定检测采样对象的方式在整批产品中选取固定位置的个体进行检测。在多腔体设备作业后，由于每批产品的数目和作业腔体的数目都会不断变换，固定位置的采样很容易存在死角，导致个别腔体长时间没有被检测到如表1所示：

表1

表1为固定采样检测时3个批次的产品采样之后对应的抽样结果，由表1可知只有从组合工艺条件A对应的腔体编号2中流经的产品被检测到，从工艺条件A对应的其他腔体中流经的产品均没有被检测到。为了提高产品规格采样的均匀性，降低产品问题发生的可能性，可增加采样频率，但是需要增加额外的采样设备成本高，且花费的时间长。

中国专利(CN102709206A)公开了一种控制晶圆生产过程异常的自动缺陷扫描抽检方法及装置。控制晶圆生产过程异常的自动缺陷扫描抽检方法包括：在线异常检测步骤，用于执行显性异常检测和隐性异常检测，从而在晶圆的生产过程中对生产线的显性异常和隐形异常进行检查，并记录出现显性异常和/或隐形异常的晶圆；以及固定抽检步骤，用于在晶圆处理之后执行固定抽检。所述固定抽检步骤所抽检的晶圆包括在所述在线异常检测步骤记录的出现显性异常和/或隐形异常的晶圆。

该专利解决了在生产过程中，不能够全面及时准确的反应线上异常影响，反应时间慢，效率低，容易出错的问题，能够有效的减少缺陷晶圆的流出，提高产品良率。但是并没有解决产品规格采样的均匀性差，产品问题发生的可能性高的问题。

中国专利(CN1629624A)公开了一种监控晶圆缺陷的方法。该方法是首先提供一晶圆，该晶圆上存在有一缺陷，接着进行一化学处理步骤，以扩大晶圆上的缺陷，之后在晶圆上形成一共形材料层，然后使用扫描仪器找出晶圆上的缺陷。

该专利因为采用化学处理步骤，以扩大晶圆上的缺陷处，因此可以彰显晶圆上的缺陷处，突破了现有的扫描仪器的侦测极限，能够及早反应出产品上小于奈米级以下的缺陷，不需额外添购昂贵的扫描仪器，即可达到比原先只利用扫描仪器例如是亮场检知器(Brightfieldinspector)更好的效果。但是并没有解决产品规格采样的均匀性差，产品问题发生的可能性高的问题。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明提供一种旨在实现在不增加检测频率的情况下，提高产品规格采样的均匀性，降低产品问题发生的可能性的检测采样***及检测采样方法。

具体技术方案如下：

一种检测采样***，用以对产品进行采样检测，所述产品流经预设工艺条件的预设腔体，包括：

复数个计数器，所述计数器用以对经过预设工艺条件的所述预设腔体的所述产品进行累加计数，每个所述计数器分别对应一上限值和一警告值；

存储单元，连接所述计数器，用以存储复数个所述计数器对应的所述警告值；

第一比较单元，分别与复数个所述计数器和所述存储单元连接，用以分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述警告值进行比较，获取第一比较结果；

采样单元，用以根据预设采样策略对流经所述预设腔体的所述产品进行采样；

处理单元，分别与所述第一比较单元、所述计数器、所述采样单元和复数个所述计数器连接，用以根据所述第一比较结果控制所述采样单元。

优选的，所述存储单元还用以存储复数个所述计数器对应的上限值。

优选的，还包括：

第二比较单元，分别与复数个所述计数器、所述处理单元和所述存储单元连接，用以分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述上限值进行比较，获取第二比较结果。

优选的，所述处理单元根据第二比较结果控制所述采样单元。

优选的，还包括：

检测单元，连接所述采样单元和所述处理单元，用以对采样的所述产品的规格进行检测；

当检测完成后所述处理单元将所述产品对应的所述预设工艺条件的所述预设腔体对应的所述计数器清零。

一种检测采样方法，应用于所述的检测采样***，包括下述步骤：

采用复数个计数器分别对流经预设工艺条件的所述预设腔体的所述产品进行累加计数；

分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述警告值进行比较；

当所述计数器当前的计数值等于所述计数器对应的所述警告值时，对流经所述计数器对应的所述预设腔体的产品进行采样；

当所述计数器当前的计数值小于所述计数器对应的所述警告值时，所述计数器正常工作。

优选的，还包括：

分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述上限值进行比较；

当所述计数器当前的计数值大于所述计数器对应的所述上限值时，所述计数器对应的预设工艺条件的所述预设腔体停止作业，对流经所述计数器对应的所述预设腔体的产品进行采样；

当所述计数器当前的计数值大于所述计数器对应的所述警告值且小于或等于所述计数器对应的上限值时，输出告警信号，优先对流经所述计数器对应的所述预设腔体的产品进行采样。

上述技术方案的有益效果：

本发明采用计数器对流经预设工艺条件的所述预设腔体的产品进行计数，通过第一比较单元和第二比较单元实现智能判断，根据判断结果对流经相应的预设腔体的产品规格进行采样检测，在节约资源的同时实现了采样全面覆盖，提高了产品规格采样的均匀性，降低产品问题发生的可能性。

附图说明

图1为本发明所述检测采样***的一种实施例的模块图；

图2为本发明的一种实施例的检测采样方法逻辑图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。

如图1所示，一种检测采样***，用以对产品进行采样检测，产品流经预设工艺条件的预设腔体，检测采样***可包括：复数个计数器1、存储单元3、第一比较单元2、采样单元6和处理单元5；计数器1用以对经过预设工艺条件的预设腔体的产品进行累加计数，每个计数器1分别对应一上限值和一警告值；存储单元3连接计数器1，用以存储复数个计数器1对应的警告值；第一比较单元2分别与复数个计数器1和存储单元3连接，用以分别将每个计数器1当前的计数值与计数器1对应的警告值进行比较，获取第一比较结果；采样单元6用以根据预设采样策略对流经预设腔体的产品进行采样；处理单元5分别与第一比较单元2、计数器1、采样单元6和复数个计数器1连接，用以根据第一比较结果控制采样单元6。

在本实施例中，上限值大于警告值，如图1所示，以一个计数器为例，当第一比较结果为：计数器当前的计数值等于计数器对应的警告值时，***控制采样单元6自动优先抽选流经该计数器对应的预设腔体中的产品进行采样及检测，以代替默认检测位置的产品，实现采样的一致性，检测过后计数器清零；

当第一比较结果为：计数器当前的计数值小于计数器对应的警告值时，计数器正常工作。

在本实施例中采用计数器对流经预设工艺条件的预设腔体的产品进行计数，通过第一比较单元2实现智能判断，根据判断结果对流经相应的预设腔体的产品规格进行采样检测，在节约资源的同时实现了采样全面覆盖，提高了产品规格采样的均匀性，降低产品问题发生的可能性。

进一步地，预设采样策略为：

当计数器当前的计数值大于计数器对应的警告值且小于或等于计数器对应的上限值时，且输出告警信号，***进入告警模式，采样单元6优先对流经计数器对应的预设腔体的产品进行采样；

当计数器当前的计数值小于计数器对应的警告值时，采样单元6对产品正常采样；

当计数器当前的计数值大于计数器对应的上限值时，采样单元优先对流经计数器对应的预设腔体的产品进行采样，且计数器对应的预设工艺条件的预设腔体停止作业。

在优选的实施例中，存储单元3还可用以存储复数个计数器对应的上限值。

在优选的实施例中，还可包括：第二比较单元4，第二比较单元4分别与复数个计数器、处理单元5和存储单元3连接，用以分别将每个计数器当前的计数值与计数器对应的上限值进行比较，获取第二比较结果。

在本实施例中通过第二比较单元4实现智能判断，根据判断结果对流经相应的预设腔体的产品规格进行采样检测，在节约资源的同时实现了采样全面覆盖，提高了产品规格采样的均匀性，降低产品问题发生的可能性。

在优选的实施例中，处理单元5可根据第二比较结果控制采样单元6。

在本实施例中，当第二比较结果为：计数器当前的计数值大于计数器对应的上限值时，处理单元5可控制计数器对应的预设工艺条件的预设腔体停止作业，同时计数器停止工作，控制采样单元6优先对流经计数器对应的预设工艺条件的预设腔体的产品进行采样；

当第二比较结果为：当计数器当前的计数值大于计数器对应的警告值且小于或等于计数器对应的上限值时，输出告警信号，优先对流经计数器对应的预设腔体的产品进行采样。

在优选的实施例中，还包括：检测单元7，检测单元7连接采样单元6和处理单元5，用以对采样的产品的规格进行检测；当检测完成后处理单元5使产品对应的预设工艺条件的预设腔体对应的计数器清零。

一种检测采样方法，应用于检测采样***，包括下述步骤：

采用复数个计数器分别对流经预设工艺条件的预设腔体的产品进行累加计数；

分别将每个计数器当前的计数值与计数器对应的警告值进行比较；

当计数器当前的计数值等于(或大于)计数器对应的警告值时，对流经计数器对应的预设腔体的产品进行采样，计数器正常工作；

当计数器当前的计数值小于计数器对应的警告值时，计数器正常工作。

在本实施例中采用计数器对流经预设工艺条件的预设腔体的产品进行计数，通过比较计数器当前的计数值与计数器对应的警告值的大小实现智能判断，根据判断结果对流经相应的预设腔体的产品规格进行采样检测，在节约资源的同时实现了采样全面覆盖，提高了产品规格采样的均匀性，降低产品问题发生的可能性。

在优选的实施例中，还可包括：

分别将每个计数器当前的计数值与计数器对应的上限值进行比较；

当计数器当前的计数值大于计数器对应的上限值时，计数器对应的预设工艺条件的预设腔体停止作业，对流经计数器对应的预设腔体的产品进行采样及检测，当计数器清零后该计数器可自动开始工作；

当计数器当前的计数值大于计数器对应的警告值且小于或等于计数器对应的上限值时，输出告警信号，优先对流经计数器对应的预设腔体的产品进行采样。

如图2所示，每个计数器对应一个告警值和上限值，当计数器的当前值等于告警值时，流经工艺条件A腔体编号2的产品将被优先检测，检测完毕后，计数器将清零，重新计数；当计数器的当前值大于(达到)上限值时，流经工艺条件B腔体编号1的产品将被优先检测，同时工艺条件B腔体标号1的生产线将停止工作，当产品规格检测完毕后，计数器清零，重新开始计数。

以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (7)

1.一种检测采样***，用以对产品规格进行采样检测，所述产品流经预设工艺条件的预设腔体，其特征在于，包括：

复数个计数器，所述计数器用以对经过预设工艺条件的所述预设腔体的所述产品进行累加计数，每个所述计数器分别对应一上限值和一警告值；

存储单元，连接所述计数器，用以存储复数个所述计数器对应的所述警告值；

第一比较单元，分别与复数个所述计数器和所述存储单元连接，用以分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述警告值进行比较，获取第一比较结果；

采样单元，用以根据预设采样策略对流经所述预设腔体的所述产品进行采样；

处理单元，分别与所述第一比较单元、所述计数器、所述采样单元和复数个所述计数器连接，用以根据所述第一比较结果控制所述采样单元。

2.如权利要求1所述检测采样***，其特征在于，所述存储单元还用以存储复数个所述计数器对应的上限值。

3.如权利要求2所述检测采样***，其特征在于，还包括：

第二比较单元，分别与复数个所述计数器、所述处理单元和所述存储单元连接，用以分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述上限值进行比较，获取第二比较结果。

4.如权利要求3所述检测采样***，其特征在于，所述处理单元根据第二比较结果控制所述采样单元。

5.如权利要求1所述检测采样***，其特征在于，还包括：

检测单元，连接所述采样单元和所述处理单元，用以对采样的所述产品的规格进行检测；

当检测完成后所述处理单元将所述产品对应的所述预设工艺条件的所述预设腔体对应的所述计数器清零。

6.一种检测采样方法，应用于如权利要求1-5所述检测采样***，其特征在于，包括下述步骤：

采用复数个计数器分别对流经预设工艺条件的所述预设腔体的所述产品进行累加计数；

分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述警告值进行比较；

当所述计数器当前的计数值等于所述计数器对应的所述警告值时，对流经所述计数器对应的所述预设腔体的产品进行采样；

当所述计数器当前的计数值小于所述计数器对应的所述警告值时，所述计数器正常工作。

7.如权利要求6所述的检测采样方法，其特征在于，还包括：

分别将每个所述计数器当前的计数值与所述计数器对应的所述上限值进行比较；

当所述计数器当前的计数值大于所述计数器对应的所述上限值时，所述计数器对应的预设工艺条件的所述预设腔体停止作业，对流经所述计数器对应的所述预设腔体的产品进行采样；

当所述计数器当前的计数值大于所述计数器对应的所述警告值且小于或等于所述计数器对应的上限值时，输出告警信号，优先对流经所述计数器对应的所述预设腔体的产品进行采样。