CN104412139A - 光纤连接器、其制造方法、光纤连接器与光纤的连接方法、光纤连接器与光纤的组装体 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种光纤连接器，其中，光纤引导部件包含构成基板的一部分的纤维引导侧基板部、纤维引导图案和盖材，光波导包含与纤维引导侧基板部邻接的光波导侧基板部、光波导侧第1下部包覆层、光信号传输用芯图案和光波导侧上部包覆层，纤维引导图案由留有间隔地并列的多根引导部件构成，相邻的2根引导部件、纤维引导侧基板部、以及纤维引导侧盖材部之间的空间形成纤维引导槽，前述纤维引导槽存在于光信号传输用芯图案的光路方向的延长线上。该光纤连接器中，光纤与光波导芯容易对位且光纤容易搭载，而且不易发生光纤的位置偏移。

Description

光纤连接器、其制造方法、光纤连接器与光纤的连接方法、光纤连接器与光纤的组装体
技术领域
本发明涉及光纤连接器、其制造方法、光纤连接器与光纤的连接方法、光纤连接器与光纤的组装体，尤其是涉及不管基板如何光纤与光波导芯都容易对位且不易发生光纤的位置偏移的光纤连接器、其制造方法、光纤连接器与光纤的连接方法、光纤连接器与光纤的组装体。
背景技术
一般而言，光缆(也称为光纤缆线)能够进行大量信息的高速通信，因此，在家庭用、产业用的信息通信中广泛应用。此外，在例如汽车上配备有各种电装设备(例如车辆导航***等)，这些电装设备的光通信也采用了光缆。作为使这样的光缆所具有的光纤的末端彼此对接而连接的光缆连接器，有专利文献1公开的光缆连接器。
此外，随着信息容量的增大，不仅干线、访问***等通信领域，路由器、服务器内的信息处理也正在进行使用光信号的光互联技术的开发。具体而言，为了在路由器、服务器装置内的板间或者板内的短距离信号传送中使用光，作为光传送路径，使用与光纤相比配线的自由度高且能够高密度化的光波导。
而且，作为将该光波导与光纤接合的方法，可以列举例如专利文献2中记载的光纤连接器。
然而，这样的光纤连接器中，需要通过切割对光纤搭载槽进行切削加工，因此操作效率差，此外，光波导芯在槽的切削工序之外的工序中通过光刻和蚀刻而制作，因此有时会发生光纤的位置偏移。进而，上述方法中，如果不是在硅晶片等尺寸稳定性好的硬基板上形成，则光纤会发生更大的位置偏移。
此外，还有专利文献3中记载的将形成了光波导的波导基板和带有光纤的光连接器分别安装于不同的支架并将各支架的端面彼此粘着那样的光纤与光波导的连接方法，但完成连接的工序数多而繁杂。
此外，关于并排设有光纤搭载槽和光波导的专利文献4中记载的光纤连接器，通过在光纤搭载槽内导入光纤固定用粘接剂和光纤并从光纤搭载侧用固定夹具进行按压的方法，使光波导和光纤对位，但存在下述课题：如果光纤固定时未能保持固定夹具水平则会发生光纤与光波导的轴偏移，导致光损失。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2010-48925
专利文献2：日本特开2001-201646
专利文献3：日本特开平7-13040
专利文献4：日本特许第4577376号
发明内容
发明所要解决的课题
本发明的目的在于，提供光纤与光波导芯容易对位且光纤容易搭载，而且不易发生光纤的位置偏移的光纤连接器、其制造方法、光纤连接器与光纤的连接方法、光纤连接器与光纤的组装体。
用于解决课题的手段
本发明人等发现，对于上述课题，利用具有光纤引导部件并将该光纤引导部件与光波导并排设置的光纤连接器，能够解决前述课题，所述光纤引导部件形成有具有用于固定光纤的槽的纤维引导图案以及覆盖该纤维引导图案的盖材。本发明是基于上述见解完成的。
即，本发明提供下面的(1)～(4)。
(1)一种光纤连接器，所述光纤连接器具有光纤引导部件和光波导，前述光纤引导部件包含构成基板的一部分的纤维引导侧基板部、前述纤维引导侧基板部上的纤维引导图案、以及覆盖前述纤维引导图案的盖材，前述光波导包含前述基板之中与前述纤维引导侧基板部邻接的光波导侧基板部、前述光波导侧基板部上的光波导侧第1下部包覆层、前述光波导侧第1下部包覆层上的光信号传输用芯图案、以及前述光信号传输用芯图案上的光波导侧上部包覆层，前述纤维引导图案由留有间隔地并列的多根引导部件构成，相邻的2根引导部件、纤维引导侧基板部、以及纤维引导侧盖材部之间的空间形成纤维引导槽，前述纤维引导槽存在于前述光信号传输用芯图案的光路方向的延长线上。
(2)一种光纤连接器的制造方法，其为上述光纤连接器的制造方法，包含：第1工序，在基板上层叠第1下部包覆层后，利用蚀刻将存在于应当形成纤维引导槽的位置的第1下部包覆层除去，形成光波导侧第1下部包覆层；第2工序，在形成了前述光波导侧第1下部包覆层的基板上层叠芯形成用树脂层后，利用蚀刻一并形成纤维引导芯图案和光信号传输用芯图案；第3工序，在形成了前述纤维引导芯图案和前述光信号传输用芯图案的基板上层叠上部包覆层形成用树脂层后，利用蚀刻将存在于应当形成前述纤维引导槽的位置的上部包覆层形成用树脂层除去，形成纤维引导侧上部包覆层、光波导侧上部包覆层和纤维引导槽；以及第4工序，形成覆盖前述纤维引导槽的盖材。
(3)一种光纤连接器与光纤的连接方法，在上述光纤连接器的纤维引导槽中填充粘接剂并***配置光纤。
(4)一种光纤连接器与光纤的组装体，其具有上述光纤连接器以及配置于前述光纤连接器的纤维引导槽中的光纤和粘接剂。
发明的效果
本发明的光纤连接器中，光纤与光波导芯容易对位且光纤容易搭载，而且不易发生光纤的位置偏移。
附图说明
图1为表示第1实施方式的光纤连接器1的平面图。
图2为表示第1实施方式的光纤连接器1的立体图。
图3为沿着图1的A-A线的端面图。
图4为沿着图1的B-B线的端面图。
图5为沿着图1的C-C线的端面图。
图6为沿着图1的D-D线的端面图。
图7为表示光纤连接器1中的基板的第1制造工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图8为表示光纤连接器1中的基板的第1制造工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图9为表示光纤连接器1中的基板的第2制造工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图10为表示光纤连接器1中的基板的第2制造工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图11为表示光纤连接器1中的基板的第3制造工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图12为表示光纤连接器1中的基板的第3制造工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图13为表示光纤连接器1的第1工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图14为表示光纤连接器1的第1工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图15为表示光纤连接器1的第1工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图16为表示光纤连接器1的第1工序的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
图17为表示光纤连接器1的第2工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图18为表示光纤连接器1的第2工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图19为表示光纤连接器1的第2工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图20为表示光纤连接器1的第2工序的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
图21为表示光纤连接器1的第3工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图22为表示光纤连接器1的第3工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图23为表示光纤连接器1的第3工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图24为表示光纤连接器1的第3工序的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
图25为表示光纤连接器1的第5工序和第6工序的立体图。
图26为表示光纤连接器1的第5工序和第6工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图27为表示光纤连接器1的第5工序和第6工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图28为表示光纤连接器1的第6工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图29为表示光纤连接器1的第6工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图30为光纤连接器1A的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图31为光纤连接器1A的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图32为光纤连接器1A的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图33为光纤连接器1A的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
图34为表示光纤连接器1A的第5A工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图35为表示光纤连接器1A的第5A工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图36为表示光纤连接器1A的第5A工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图37为表示光纤连接器1A的第5A工序的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
图38为表示光纤连接器1A的第6工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图39为表示光纤连接器1A的第6工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图40为表示光纤连接器1A的第4工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图41为表示光纤连接器1A的第4工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图42为表示光纤连接器1A的第4工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图43为表示光纤连接器1A的第4工序的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
图44为光纤连接器1B的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图45为光纤连接器1B的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图46为光纤连接器1C的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图47为光纤连接器1C的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图48为表示光纤连接器1与光纤的组装体70和光纤连接器与光纤的连接方法的截面图。
图49为表示光纤连接器1A与光纤的组装体70A和光纤连接器与光纤的连接方法的截面图。
图50为表示光纤连接器1B与光纤的组装体70B和光纤连接器与光纤的连接方法的截面图。
图51为表示光纤连接器1C与光纤的组装体70C和光纤连接器与光纤的连接方法的截面图。
图52为图4的局部放大图。
图53为图6的局部放大图。
图54为光纤连接器1D的、相当于图1的A-A线位置的端面图。
图55为光纤连接器1D的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
具体实施方式
本发明的光纤连接器为具有光纤引导部件和光波导的光纤连接器，前述光纤引导部件包含构成基板的一部分的纤维引导侧基板部、前述纤维引导侧基板部上的纤维引导图案、以及覆盖前述纤维引导图案的盖材，前述光波导包含前述基板之中与前述纤维引导侧基板部邻接的光波导侧基板部、前述光波导侧基板部上的光波导侧第1下部包覆层、前述光波导侧第1下部包覆层上的光信号传输用芯图案、以及前述光信号传输用芯图案上的光波导侧上部包覆层，前述纤维引导图案由留有间隔地并列的多根引导部件构成，相邻的2根引导部件、纤维引导侧基板部、以及纤维引导侧盖材部之间的空间形成纤维引导槽，前述纤维引导槽存在于前述光信号传输用芯图案的光路方向的延长线上。
此外，本发明的光纤连接器的制造方法是上述光纤连接器的制造方法，包含：第1工序，在基板上层叠第1下部包覆层后，利用蚀刻将存在于应当形成纤维引导槽的位置的第1下部包覆层除去，形成光波导侧第1下部包覆层；第2工序，在形成了前述光波导侧第1下部包覆层的基板上层叠芯形成用树脂层后，利用蚀刻一并形成纤维引导芯图案和光信号传输用芯图案；第3工序，在形成了前述纤维引导芯图案和前述光信号传输用芯图案的基板上层叠上部包覆层形成用树脂层后，利用蚀刻将存在于应当形成前述纤维引导槽的位置的上部包覆层形成用树脂层除去，形成光纤引导部件侧上部包覆层、光波导侧上部包覆层和纤维引导槽；以及第4工序，形成覆盖前述纤维引导槽的盖材。
本发明的光纤连接器与光纤的连接方法包含在上述光纤连接器的纤维引导槽中填充粘接剂并***配置光纤的工序。
本发明的光纤连接器与光纤的组装体具有上述光纤连接器以及配置于前述光纤连接器的纤维引导槽中的光纤和粘接剂。
根据该光纤连接器，由于光纤引导部件和光波导并排设置，因此，通过将光纤固定于光纤引导部件，能够容易地进行光纤与光波导芯的对位。此外，由于光纤被纤维引导图案和盖材引导，因此，不易发生光纤的位置偏移。进而，仅通过将光纤***纤维引导槽中就能够简便地对光纤和光波导进行固定。
[第1实施方式]
(光纤连接器的结构)
以下，参照附图对第1实施方式的光纤连接器1进行说明。图1为表示第1实施方式的光纤连接器1的平面图，图2为表示第1实施方式的光纤连接器的立体图，图3为沿着图1的A-A线的端面图，图4为沿着图1的B-B线的端面图，图5为沿着图1的C-C线的端面图，图6为沿着图1的D-D线的端面图。
第1实施方式的光纤连接器1是并排设有光纤引导部件2和光波导3的光纤连接器。
光纤引导部件2由构成基板10的一部分(图3中的左侧)的纤维引导侧基板部10a、纤维引导侧基板部10a上的纤维引导图案26(图3)、以及覆盖纤维引导图案26的盖材40构成。
此外，光波导3包含基板10之中与前述纤维引导侧基板部10a邻接的光波导侧基板部10b、光波导侧基板部10b上的光波导侧第1下部包覆层22b、光波导侧第1下部包覆层22b上的光信号传输用芯图案23b、以及光信号传输用芯图案23b上的光波导侧上部包覆层24b。
下面，对该光纤引导部件2和光波导3更详细地进行说明。
基板10由俯视形状为长方形的基板主体11、配置于基板主体11的背面的金属配线12、以及存在于基板主体11的表面的大体整个面上的粘接层13构成。该粘接层13优选作为第2下部包覆层发挥作用。其中，粘接层13可以省略。
该基板10的一部分(图3中的左侧)形成纤维引导侧基板部10a，剩余部分(图3中的右侧)形成光波导侧基板部10b。
此外，盖材40由盖材主体41、存在于盖材主体41背面的粘接层42构成。该粘接层42也可以省略。
在本实施方式中，盖材40从光纤引导部件2开始在整个光波导3延伸。因此，该盖材40具有覆盖光纤引导部件2的纤维引导侧盖材部40a和覆盖光波导3的光波导侧盖材部40b。其中，该盖材40也可以不延伸至光波导3。
纤维引导图案26存在于该纤维引导侧基板部10a上。该纤维引导图案26具有相互留有间隔地平行存在的多根(在本实施方式中为5根)引导部件126(图1和图2)。该多根引导部件126与基板10的长边平行地延伸。相邻的2根引导部件126之间的空间形成纤维引导槽32。
该纤维引导图案26由存在于纤维引导侧基板部10a上的纤维引导侧第1下部包覆层22a、存在于该纤维引导侧第1下部包覆层22a上的纤维引导芯图案23a、以及存在于该纤维引导芯图案23a上的纤维引导侧上部包覆层24a构成。
如图2所示，上述纤维引导侧第1下部包覆层22a由相互留有间隔地平行存在的多根(在本实施方式中为5根)纤维引导侧第1下部包覆片122构成。同样地，上述纤维引导芯图案23a由相互留有间隔地平行存在的多根(在本实施方式中为5根)纤维引导芯片123构成。同样地，上述纤维引导侧上部包覆层24a由相互留有间隔地平行存在的多根(在本实施方式中为5根)纤维引导侧上部包覆片124构成。
上述引导部件126由该纤维引导侧第1下部包覆片122、纤维引导芯片123、和纤维引导侧上部包覆片124构成。
如图2所示，中央的3根引导部件126中，纤维引导芯片123覆盖纤维引导侧第1下部包覆片122的上表面和侧面并延伸至纤维引导侧基板部10a的表面。换言之，形成下述结构：纤维引导侧基板部10a上竖直设有纤维引导芯片123，该纤维引导芯片123的内部存在纤维引导侧第1下部包覆片122。此外，两端的2根引导部件126中，纤维引导芯片123与纤维引导侧第1下部包覆片122相比更向纤维引导槽32侧突出，覆盖纤维引导侧第1下部包覆片122的侧面，并延伸至纤维引导侧基板部10a。
此外，在该5根纤维引导芯片123的上表面存在纤维引导侧上部包覆片124。由该纤维引导芯片123和纤维引导侧上部包覆片124形成纤维引导槽32的侧面。如图6所示，该纤维引导芯片123的侧面与其上方的纤维引导侧上部包覆片124的侧面相比更向纤维引导槽32侧突出。由此，与纤维引导槽32的光路正交方向的截面形成T形。即，纤维引导槽32形成如下形状：由相邻的引导部件126的纤维引导芯片123形成的窄幅部和由该相邻的引导部件126的相邻的纤维引导侧上部包覆片124形成的窄幅部相连。这样，纤维引导槽32形成T形形状，纤维引导芯片123与纤维引导侧上部包覆片124相比更向纤维引导槽32侧突出，因此，光纤的侧部实质上由引导部件126的纤维引导芯片123保持。由此，能够利用纤维引导芯图案23a将光纤的侧部固定，因此，能够使光信号传输用芯图案23b与光纤高精度地进行对位。进而发挥下述的优异效果：在制造时即使上部包覆层和下部包覆层的形成位置与芯图案稍有偏移，也能够避免在纤维引导槽中形成上部包覆层和下部包覆层从而妨碍光纤***。此外，如上所述，光纤的侧部由纤维引导芯片123保持，因此，通过与光信号传输用芯使用同一掩模来设计该纤维引导芯片123，从而发挥能够对光纤与光信号传输用芯更高精度地进行定位的优异效果。
此外，纤维引导侧上部包覆层24a填埋了纤维引导芯图案23a与后述的纤维引导侧盖材部40a之间的空间。由此，能够利用纤维引导图案26支撑纤维引导侧盖材部40a。此外，纤维引导图案26的上端被固定于纤维引导侧盖材部40a，因此，能够利用纤维引导图案26将光纤牢固地固定。
另外，如图2所示，外侧的2根引导部件126中，纤维引导侧上部包覆片124从纤维引导芯片123的上表面开始存在于外侧的整个侧面。
上述纤维引导芯图案23a是用于对光纤进行固定的导轨，并非作为光信号传输用的芯发挥作用。
该纤维引导图案26上存在覆盖纤维引导图案26的纤维引导侧盖材部40a。利用该纤维引导侧盖材部40a将纤维引导槽32的上端密闭。
此外，上述光波导侧基板部10b上存在光波导侧第1下部包覆层22b。该光波导侧第1下部包覆层22b存在于光波导侧基板部10b的表面的大体整个面上。
该光波导侧第1下部包覆层22b上存在光信号传输用芯图案23b。如图1所示，该光信号传输用芯图案23b具有留有间隔地配置的多根(在本实施方式中为4根)芯部件23c(图1)。如图1所示，芯部件23c整体在基板10的长边方向上延伸。芯部件23c包括一端侧部、中央部和另一端侧部。一端侧部是光纤引导部件2侧的部分，在基板10的长边方向上延伸，相邻的一端侧部彼此的间隔变窄。中央部与前述一端侧部相连，相对于基板10的长边方向在基板10的外侧呈一定角度延伸。另一端侧部与前述中央部相连，在基板10的长边方向上延伸，相邻的另一端侧部彼此的间隔比前述一端侧部彼此的间隔更宽。这样，在本实施方式中，光波导3具有芯图案23b的间距转换功能。由此，能够使应当被光纤连接器1固定的光纤的纤维带的纤维间距与应当设定于光纤连接器的光路转换镜31的上方的光学元件阵列的间距一致。
其中，该间距转换功能不是必须的。例如，芯图案23b也可以为直线、S形弯曲、反S形弯曲。
该光信号传输用芯图案23b上存在光波导侧上部包覆层24b。如图5所示，形成该光波导侧上部包覆层24b内埋设有光信号传输用芯图案23b的结构。
从该光波导侧上部包覆层24b开始在整个光信号传输用芯图案23b上设有V形槽30。该V形槽30可以在基板10的短边方向的整个长度上延伸，只要存在于至少1根光信号传输用芯图案23b的光路上即可。光信号传输用芯图案23b的折射率与空气的折射率不同，因此通过利用该折射率差，能够将该V形槽30的光纤引导部件2侧的面作为光路转换镜31。此外，如图所示，也可以在V形槽30的2个侧面之中至少光纤引导部件2侧的面上设置由蒸镀金属层形成的光路转换镜31。
在本实施方式中，该光路转换镜31设于光信号传输用芯图案23b(芯部件23c)的前述另一端侧部，也可以设于一端侧部或中央部。不过，从避免从相邻的芯部件23c接收信号的观点出发，优选设于芯部件23c彼此的间隔变宽的另一端侧部。
该光波导侧上部包覆层24b的表面上存在光波导侧盖材部40b。该光波导侧盖材部40b形成V形槽30的加强部。
如图3所示，在该光纤引导部件2与光波导3的边界存在狭缝槽25。该狭缝槽25存在于盖材40的下表面至基材10(粘接层13)的厚度方向的中间。此外，该狭缝槽25至少存在于光信号传输用芯图案23b与光纤引导部件2的边界即可，也可以在基板10的短边方向的整个长度上延伸。在将该狭缝槽25设于基板10的短边方向的一部分的情况下，可以通过激光加工适当地形成。在基板10的短边方向的整个长度上设置该狭缝槽25的情况下，可以通过激光加工或切割锯适当地形成。
如图1所示，前述纤维引导槽32存在于前述光信号传输用芯图案23b的各芯部件23c的光路方向的延长线上。
如此构成的光纤连接器1中，光纤被***纤维引导槽32，光纤的端面与光信号传输用芯图案23b的端面进行面接触，并通过粘接剂进行固定(参照后述图48)。这样，仅通过***光纤就能够进行光纤与光波导3的对位。
此时，纤维引导槽32的宽度方向(图6的左右方向)的对位可以通过纤维引导图案26进行，纤维引导槽32的高度方向(图3的上下方向)的对位可以通过基板10和盖材40进行。如果将粘接剂导入纤维引导槽32，则粘接剂分别填充至光纤与基板10的间隙、光纤与盖材40的间隙以及光纤与纤维引导图案26的间隙，能够减少光波导3与光纤的轴偏移。通过这样设置间隙，粘接剂的液体巡回性也提高。
(光纤连接器的制造方法)
以下，参照附图对第1实施方式的光纤连接器1的制造方法进行说明。
图7为表示光纤连接器1中的基板的第1制造工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图8为表示光纤连接器1中的基板的第1制造工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图9为表示光纤连接器1中的基板的第2制造工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图10为表示光纤连接器1中的基板的第2制造工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图11为表示光纤连接器1中的基板的第3制造工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图12为表示光纤连接器1中的基板的第3制造工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图。
图13为表示光纤连接器1的第1工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图14为表示光纤连接器1的第1工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图，图15为表示光纤连接器1的第1工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图，图16为表示光纤连接器1的第1工序的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
图17为表示光纤连接器1的第2工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图18为表示光纤连接器1的第2工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图，图19为表示光纤连接器1的第2工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图，图20为表示光纤连接器1的第2工序的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
图21为表示光纤连接器1的第3工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图22为表示光纤连接器1的第3工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图，图23为表示光纤连接器1的第3工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图，图24为表示光纤连接器1的第3工序的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
图25为表示光纤连接器1的第5工序和第6工序的立体图，图26为表示光纤连接器1的第5工序和第6工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图27为表示光纤连接器1的第5工序和第6工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
图28为表示光纤连接器1的第7工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图29为表示光纤连接器1的第7工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
第1实施方式的光纤连接器的制造方法包含下述第1工序、第2工序、第3工序和第4工序。此外，也可以包含下述的基板的第1制造工序、基板的第2制造工序、第5工序、第6工序和第7工序。
＜基板的第1制造工序(图7、图8)＞
在本工序中，在基板主体11的背面形成金属层12a。该金属层12a可以通过蒸镀等形成。
＜基板的第2制造工序(图9、图10)＞
在本工序中，利用蚀刻等将不需要的部分从金属层12a除去，形成金属配线12。作为蚀刻溶液，可以列举氯化铜水溶液、氯化铁水溶液、双氧水、硫酸水溶液、盐酸、硝酸水溶液等。
＜基板的第3制造工序(图11、图12)＞
然后，在基板主体11的表面形成粘接层13。该粘接层13的形成方法没有特别限制，可以通过与后述的第1下部包覆层同样的方法适当地形成。
＜第1工序(图13～图16)＞
第1工序是在基板10上层叠第1下部包覆层后，利用蚀刻将存在于应当形成纤维引导槽32的位置的第1下部包覆层除去，从而形成光波导侧第1下部包覆层22b的工序。
第1下部包覆层的形成方法没有特别限定，例如利用包覆层形成用树脂组合物的涂布或包覆层形成用树脂膜的层压形成即可。
在利用涂布的情况下，其方法没有限定，利用常规方法涂布包覆层形成用树脂组合物即可。此外，层压所使用的包覆层形成用树脂膜例如可以通过将包覆层形成用树脂组合物溶解在溶剂中后涂布在载体膜上，并将溶剂除去而容易地制造。另外，后述的纤维引导侧第1下部包覆层22a也可以通过与第1下部包覆层同样的方法适当地形成。
在本实施方式中，如图14和图16所示，利用蚀刻仅将第1下部包覆层形成用树脂膜之中存在于应当形成纤维引导槽32的位置的第1下部包覆层形成用树脂膜除去。因此，纤维引导侧基板部10a的表面形成有纤维引导侧第1下部包覆层22a。不过，也可以不形成该光纤引导部件侧第1下部包覆层22a，而是将光纤引导部件侧的第1下部包覆层形成用树脂膜全部除去。
＜第2工序(图17～图20)＞
第2工序是在形成了前述光波导侧第1下部包覆层22b的基板10上层叠芯形成用树脂层后，利用蚀刻一并形成纤维引导芯图案23a和光信号传输用芯图案23b的工序。该芯形成用树脂层也可以通过与第1下部包覆层同样的方法适当地形成。
＜第3工序(图21～图24)＞
第3工序是在形成了前述纤维引导芯图案23a和前述光信号传输用芯图案23b的基板10上层叠上部包覆层形成用树脂层后，利用蚀刻将存在于前述应当形成纤维引导槽32的位置的上部包覆层形成用树脂层除去，从而形成纤维引导侧上部包覆层24a、光波导侧上部包覆层24b和纤维引导槽32的工序。该上部包覆层形成用树脂层也可以通过与第1下部包覆层同样的方法适当地形成。
＜第5工序(图25～图27)＞
第5工序是沿着前述纤维引导槽32与前述光波导侧下部包覆层22b的边界在基板10表面形成狭缝槽25的工序。该狭缝槽25优选利用切割锯形成。
形成该狭缝槽25的主要理由如下所述。图22中，由光波导侧第1下部包覆层22b、光信号传输用芯图案23b和光波导侧上部包覆层24b的光纤引导部件2侧的端部构成的光纤接合端面垂直于基板10。但是，实际上，在通过蚀刻等形成该光纤接合端面的情况下，有时该光纤接合端面不垂直于基板10，或该光纤接合端面上产生凹凸。因此，通过以将该光纤接合端面形成为平面的方式形成狭缝槽25，从而使该光纤接合端面成为垂直于基板10的平面。由此，该光纤接合端面与光纤端面充分进行面接触，能够防止或抑制该接合位置的光损失。此外，如图27所示，该狭缝槽25直至基板10的粘接层13。因此，能够防止光纤的端面的下部被光波导侧第1下部包覆层22b的端部的垂部推向上方，能够防止或抑制该光纤接合端面与光纤端面接合时该接合位置的光损失。
在本实施方式中，第5工序时形成由光波导侧上部包覆层24b至光信号传输用芯图案23b的V形槽30。该V形槽30优选利用切割锯形成。
＜第6工序(图28～图29)＞
第6工序是在V形槽30的光纤引导部件2侧的面上形成由金属层构成的光路转换镜31。该光路转换镜31可以通过在V形槽30的光纤引导部件2侧的面上蒸镀金属而适当地形成。
＜第4工序(图1～图6)＞
第4工序是形成覆盖前述纤维引导槽32的盖材40的工序。
该盖材40可以通过下述方法适当地形成：准备由盖材主体41与其背面的粘接层42形成的层叠体，使粘接层42粘接在纤维引导侧上部包覆层24a和光波导侧上部包覆层24b的表面上。
该盖材40由覆盖纤维引导槽32的纤维引导侧盖材部40a和覆盖光波导侧上部包覆层24b的光波导侧盖材部40b构成。该光波导侧盖材部40b作为光波导2的光路转换镜31形成部分的加强部件发挥作用。
盖材的形成方法根据盖材的材质适当确定，优选使用辊式层压机、真空层压机等形成。
(光纤连接器的各部件的说明)
以下，对构成本发明的光纤连接器的各部件进行说明。
(下部包覆层和上部包覆层)
本说明书中，有时将纤维引导侧上部包覆层24a和光波导侧上部包覆层24b合称为上部包覆层、将纤维引导侧第1下部包覆层22a和光波导侧第1下部包覆层22b合称为第1下部包覆层、将第1下部包覆层和粘接层13合称为下部包覆层。
作为下部包覆层和上部包覆层，可以使用包覆层形成用树脂或包覆层形成用树脂膜。
作为构成包覆层形成用树脂膜的树脂组合物，只要是折射率比光信号传输用芯图案23b低且利用光或热进行固化的树脂组合物就没有特别限定，可以适当使用热固性树脂组合物、感光性树脂组合物。关于包覆层形成用树脂膜所使用的树脂组合物，在下部包覆层和上部包覆层中该树脂组合物中含有的成分可以相同也可以不同，该树脂组合物的折射率可以相同也可以不同。此外，关于第2下部包覆层，优选具有作为粘接层的功能，无需折射率、光固化性的性质，也可以使用后述粘接剂、芯形成用树脂膜。
关于下部包覆层和上部包覆层的厚度，没有特别限定，以干燥后的厚度计，优选为5～500μm的范围。如果为大于或等于5μm，则能够确保光的封闭所必需的包覆厚度，如果为小于或等于500μm，则容易控制膜厚均匀。从以上的观点出发，下部包覆层和上部包覆层的厚度进一步更优选为10～100μm的范围。此外，为了使光纤的中心与光信号传输用芯图案23b的中心一致，第1下部包覆层进一步优选使用固化后的膜厚为[(光纤的半径)-(第1下部包覆层3上形成的光信号传输用芯图案23b厚度)/2]的厚度的膜。
作为具体例，例示使用光纤的直径80μm、光纤的芯直径50μm的光纤时优选的下部包覆层的厚度。首先，关于构成光信号传输用芯图案23b的各芯部件23c的芯直径，在由光纤向光信号传输用芯图案23b传输光信号时，外切于光纤的芯直径的正方形能够无光损失地进行传输。在这种情况下，芯部件23c为50μm×50μm(芯高度；50μm)。如果套用上述式子，则最适的下部包覆层的厚度为15μm。此外，在使用与上述相同的光纤，由光纤向光信号传输用芯图案23b传输光信号时，内切于光纤的芯直径的正方形能够无光损失地进行传输。在这种情况下，芯部件23c为25√2μm×25√2μm(芯高度；25√2μm)。如果套用上述式子，则最适的下部包覆层的厚度为(40-25√2)μm。
此外，光波导3中，用于包埋光信号传输用芯图案23b的上部包覆层的厚度优选设为大于或等于光信号传输用芯图案23b的厚度，从基板10表面至上部包覆层上表面的高度适当调整为大于或等于光纤的直径即可。
(芯层形成用树脂和芯层形成用树脂膜)
本说明书中，有时将纤维引导芯图案23a和光信号传输用芯图案23b合称为芯图案、将进行蚀刻从而形成芯图案前的状态称为芯层。
本发明中，芯图案的形成方法没有特别限定，例如，通过芯层形成用树脂的涂布或芯层形成用树脂膜的层压形成芯层，并通过蚀刻形成芯图案即可。
本发明中，通过在光波导3和光纤引导部件2中分别形成芯层后同时进行蚀刻从而同时形成光信号传输用芯图案23b和纤维引导芯图案23a，能够高效制造光纤连接器1。
芯层形成用树脂、尤其是光信号传输用芯图案23b中使用的芯层形成用树脂，设计为折射率比包覆层高，优选使用能够利用活性光线形成芯图案的树脂组合物。进行图案化前的芯层的形成方法没有限定，可以列举利用常规方法涂布前述芯层形成用树脂组合物的方法等。
关于芯层形成用树脂膜的厚度，没有特别限定，干燥后的芯层厚度通常调整为10～100μm。如果该膜完成后的光信号传输用芯图案23b的厚度为大于或等于10μm，则有在与光波导3形成后的受发光元件或光纤的耦合中能够增大对位容差的优点，如果为小于或等于100μm，则有在与光波导3形成后的受发光元件或光纤的耦合中耦合效率提高的优点。从以上的观点出发，该膜的厚度进一步优选为30～90μm的范围，为了获得该厚度，只要适当调整膜厚即可。
此外，在从光纤向光信号传输用芯图案23b传输光的情况下，如果光信号传输用芯图案23b固化后的厚度大于或等于光纤的芯直径则光的损失少，在从光信号传输用芯图案23b向光纤传输光的情况下，更优选以由光信号传输用芯图案23b的厚度与宽度构成的矩形在光纤的芯直径内侧的方式进行调整。
(基板)
作为基板10的材质，没有特别限制，可以列举例如玻璃环氧树脂基板、陶瓷基板、玻璃基板、硅基板、塑料基板、金属基板、带树脂层的基板、带金属层的基板、塑料膜、带树脂层的塑料膜、带金属层的塑料膜、电气配线板等。
其中，通过使用具有柔软性和强韧性的基材例如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚乙烯、聚丙烯、聚酰胺、聚碳酸酯、聚苯醚、聚醚硫化物、聚芳酯、液晶聚合物、聚砜、聚醚砜、聚醚醚酮、聚醚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺作为基板10，可以制成柔性光纤连接器。作为基板10的厚度，可以根据板的翘曲、尺寸稳定性适当变更，优选为10μm～10.0mm。在利用光路转换镜进行了光路转换的光信号透过基板10的情况下，使用对光信号的波长透明的基板10为好。不过，也可以如后所述省略光路转换镜，在这种情况下，可以使用透明基板以外的基板。
此外，电气配线板没有特别限定，可以是FR-4上形成有金属配线12的电气配线板，也可以是聚酰亚胺、聚酰胺膜上形成有金属配线12的柔性配线板。其中，金属配线12可以由金属层12a形成。
作为粘接层13的种类没有特别限定，可适当列举双面胶带、UV或热固化性粘接剂、预浸料、积层材料、电气配线板制造用途中使用的各种粘接剂。在光信号透过基板10的情况下，只要在光信号波长下为透明即可，此时，优选使用与基板10具有粘接力的包覆层形成用树脂膜、芯层形成用树脂膜制成粘接层13。
(盖材)
本发明的光纤连接器1具有盖材40。这样的具有盖材40的形态中，纤维引导槽32的高度和宽度均大于或等于固定在纤维引导槽32中的光纤的直径是重要的。即，必须是纤维引导槽32的高度大于光纤的直径且纤维引导槽32的宽度大于光纤的直径。通过满足该条件，能够容易地将光纤***由纤维引导槽32和盖材40形成的空间。而且，在以这种方式***了光纤的状态下，并排设有光纤引导部件2和光波导3，以使该光纤在能够将光信号传输至光波导3的光信号传输用芯图案23b的位置接合。
作为盖材40的材质，没有特别限定，在上部包覆层有粘接性的情况下，可列举玻璃环氧树脂基板、陶瓷基板、玻璃基板、硅基板、塑料基板、金属基板、塑料膜，这些基板上可以设置树脂层、金属层等。此外，还可以使用电气配线板作为盖材40。
尤其是作为具有柔软性和强韧性的盖材40，可适当列举例如聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯、聚乙烯、聚丙烯、聚酰胺、聚碳酸酯、聚苯醚、聚醚硫化物、聚芳酯、液晶聚合物、聚砜、聚醚砜、聚醚醚酮、聚醚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺等。其中，从耐热性、尺寸稳定性的观点出发，特别优选聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺。
此外，在上部包覆层没有粘接性的情况下，优选在上述列举的盖材主体41上设置粘接层42而制成带粘接层的盖材40。
作为盖材40的厚度，可以根据板的翘曲、尺寸稳定性适当变更，优选为10μm～10.0mm。此外，作为形成于盖材40上的粘接层42的厚度，通常0.1μm～50μm是合适的范围，更优选为0.1μm～20μm。这是由于：如果粘接层42的厚度为小于或等于20μm，则能够抑制粘接剂流入纤维引导槽32，容易对从基板10表面至盖材40底面的距离进行控制。
进一步，本发明中的光波导3优选具有光路转换镜31，在这种情况下，优选该盖材40兼具光路转换镜31的加强部。
(粘接剂)
作为填充在纤维引导槽32内而用于粘接光纤与光纤引导部件2的粘接剂，只要是能够粘接光纤与光纤引导部件2的物质就没有特别限制，可列举光学用粘接剂、光路耦合用粘接剂、光学部件用密封材料、透明粘接剂、折射率调节材料兼粘接剂、包覆层形成用树脂清漆、芯层形成用树脂清漆等光固化型粘接剂、热固化型粘接剂、光热固化型粘接剂、2液混合固化型粘接剂，其中，在基板10、盖材40不透过用于固化的电磁波的情况下，优选热固化型粘接剂或2液混合固化型粘接剂。
[第1实施方式的变形例]
下部包覆层和上部包覆层也可以分别形成多层并制成期望的厚度。
上述光纤连接器1中，光路转换镜31设为形成有金属膜的光路转换镜，也可以是利用空气层与芯层的折射率差的光路转换镜。
此外，也可以省略V形槽30和光路转换镜31。
此外，尤其在基板主体11具有密合性的情况下，可以省略基板10的粘接层13。此外，该粘接层13可以在下部包覆层的一部分形成，作为第2下部包覆层。
上述光纤连接器1中，纤维引导侧第1下部包覆层22a存在于基板10上，纤维引导芯图案23a存在于纤维引导侧第1下部包覆层22a上，纤维引导侧上部包覆层24a存在于纤维引导芯图案23a上，也可以省略纤维引导侧第1下部包覆层22a。
[第2实施方式]
(光纤连接器的结构)
第2实施方式的光纤连接器是在第1实施方式的光纤连接器中，代替狭缝槽25或与狭缝槽25同时具有连通光纤引导部件2的外部和纤维引导槽32的粘接剂导入狭缝的光纤连接器。
第2实施方式的光纤连接器中，纤维引导槽32通过纤维引导槽32的光纤***口与外部连通，同时通过粘接剂导入狭缝与外部连通。因此，在由光纤***口和粘接剂导入狭缝中的一方导入粘接剂时，纤维引导槽32内的空气由光纤***口和粘接剂导入狭缝中的另一方流出。由此，能够容易地将粘接剂导入纤维引导槽32内。此外，在导入了粘接剂的纤维引导槽32内导入粘接剂和光纤而对光纤进行固定时，过剩的粘接剂通过粘接剂导入狭缝流出至纤维引导槽32的外侧。由此，能够容易地在纤维引导槽32内导入光纤并进行固定。
(第2实施方式的光纤连接器及其制造方法的第1优选例)
以下，参照附图对第2实施方式的光纤连接器的第1优选例进行说明。图30为光纤连接器1A的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图31为光纤连接器1A的、相当于图1的B-B线位置的端面图，图32为光纤连接器1A的、相当于图1的C-C线位置的端面图，图33为光纤连接器1A的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
＜光纤连接器的结构＞
光纤连接器1A是在第1实施方式的光纤连接器1中代替狭缝槽25而设有连通光纤引导部件2的外部和纤维引导槽32的粘接剂导入狭缝25A的光纤连接器。
光纤连接器1A之中，与光纤连接器1相同的符号表示相同的部分。
该粘接剂导入狭缝25A存在于光纤引导部件2与光波导3的边界。该粘接剂导入狭缝25A从盖材40的粘接层42的厚度方向的中间开始，直至基板10的背面。此外，该粘接剂导入狭缝25A在基板10的短边方向的整个长度上延伸，也可以存在于短边方向的一部分。
＜光纤连接器的制造方法＞
第2实施方式的光纤连接器的制造方法，在第3工序之前可以适当实施与第1实施方式的光纤连接器的制造方法同样的方法。因此，对第3工序的后续工序进行说明。
《第5A工序(图34～图37)》
图34为表示第5A工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图；图35为表示第5A工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图；图36为表示第5A工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图；图37为表示第5A工序的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
第5A工序除了不进行狭缝槽25的形成以外，实施与前述第5工序同样的工序。
即，在第5A工序中，形成从光波导侧上部包覆层24b直至光信号传输用芯图案23b的V形槽30。该V形槽30优选利用切割锯形成。
《第6工序(图38～图39)》
图38为表示第6工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图；图39为表示第6工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
第6工序与第2实施方式的第6工序同样。
即，在V形槽30的光纤引导部件2侧的面上形成由金属层构成的光路转换镜31。该光路转换镜31可以通过在V形槽30的光纤引导部件2侧的面上蒸镀金属而适当地形成。
《第4工序(图40～图43)》
图40为表示第4工序的、相当于图1的A-A线位置的端面图；图41为表示第4工序的、相当于图1的B-B线位置的端面图；图42为表示第4工序的、相当于图1的C-C线位置的端面图；图43为表示第4工序的、相当于图1的D-D线位置的端面图。
第4工序与第2实施方式的第4工序同样。
即，在第4工序中，形成覆盖前述纤维引导槽32的盖材40。
该盖材40可以通过下述方法适当地形成：准备由盖材主体41与其背面的粘接层42构成的层叠体，使粘接层42粘接在纤维引导侧上部包覆层24a和光波导侧上部包覆层24b的表面上。
该盖材40由覆盖纤维引导槽32的纤维引导侧盖材部40a和覆盖光波导侧上部包覆层24b的光波导侧盖材部40b构成。该光波导侧盖材部40b作为光波导2的光路转换镜31形成部分的加强部件发挥作用。
《粘接剂导入狭缝的形成工序(图30～图33)》
第4工序之后，形成粘接剂导入狭缝25A。该粘接剂导入狭缝25A从基板10的下表面开始，直至纤维引导槽32。此外，该粘接剂导入狭缝25A在基板的短边方向的整个长度上延伸。该粘接剂导入狭缝25A优选利用切割锯形成。此外，在利用切割锯形成该粘接剂导入狭缝25A时，优选切割光波导侧第1下部包覆层22b、光信号传输用芯图案23b和光波导侧上部包覆层24b的光纤引导部件2侧的端面从而形成粘接剂导入狭缝25A。
(第2实施方式的光纤连接器及其制造方法的第2优选例)
以下，参照附图对第2实施方式的光纤连接器的第2优选例进行说明。图44是光纤连接器1B的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图45是光纤连接器1B的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
光纤连接器1B是在上述光纤连接器1B中代替粘接剂导入狭缝25A而设有连通光纤引导部件2的外部和纤维引导槽32的粘接剂导入狭缝25B的光纤连接器。
光纤连接器1B之中，与光纤连接器1相同的符号表示相同的部分。
该粘接剂导入狭缝25B存在于光纤引导部件2与光波导3的边界。该粘接剂导入狭缝25B从基板10的粘接层13的厚度方向的中间开始，直至盖材40的表面。此外，该粘接剂导入狭缝25B在基板10的短边方向的整个长度上延伸，也可以存在于短边方向的一部分。
该粘接剂导入狭缝25B也可以利用切割锯适当形成。
(第2实施方式的光纤连接器及其制造方法的第3优选例)
以下，参照附图对第2实施方式的光纤连接器的第3优选例进行说明。图46是光纤连接器1C的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图47是光纤连接器1C的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
光纤连接器1C是在上述光纤连接器1中进一步设有连通光纤引导部件2的外部和纤维引导槽32的粘接剂导入狭缝25C的光纤连接器。
该粘接剂导入狭缝25C相对于光纤引导部件2与光波导3的边界存在于光纤引导部件2侧。该粘接剂导入狭缝25C从基板10的粘接层13的厚度方向的中间开始，直至盖材40的表面。此外，该粘接剂导入狭缝25C在基板10的短边方向的整个长度上延伸，也可以存在于短边方向的一部分。
该粘接剂导入狭缝25C也可以利用切割锯适当形成。
(第2实施方式的光纤连接器及其制造方法的第4优选例)
以下，参照附图对第2实施方式的光纤连接器的第3优选例进行说明。图54为光纤连接器1D的、相当于图1的A-A线位置的端面图，图55为光纤连接器1D的、相当于图1的B-B线位置的端面图。
光纤连接器1D是在上述光纤连接器1中进一步设有连通光纤引导部件的外部和纤维引导槽32的粘接剂导入狭缝25D的光纤连接器。
该粘接剂导入狭缝25D相对于光纤引导部件2与光波导3的边界存在于光纤引导部件2侧。该粘接剂导入狭缝25D从基板10开始，直至纤维引导槽32。此外，该粘接剂导入狭缝25D在基板10的短边方向的整个长度上延伸，也可以存在于短边方向的一部分。
该粘接剂导入狭缝25D也可以利用切割锯适当形成。
[本发明的光纤连接器与光纤的连接方法和组装体]
本发明的光纤连接器与光纤的连接方法是在本发明的光纤连接器的纤维引导槽中填充粘接剂并***配置光纤的连接方法。
此外，本发明的光纤连接器与光纤的组装体具有本发明的光纤连接器、以及置于该光纤连接器的纤维引导槽中的光纤和粘接剂。
图48～图51是表示本发明的光纤连接器与光纤的组装体70、70A、70B、70C和光纤连接器与光纤的连接方法的端面图。
组装体70、70A、70B、70C分别由光纤连接器1、1A、1B、1C与配置于各光纤连接器1、1A、1B、1C的纤维引导槽32中的光纤50和粘接剂60构成。该组装体70、70A、70B、70C可以通过在光纤连接器1、1A、1B、1C的纤维引导槽32中填充粘接剂60并***配置光纤50来制造。
作为粘接剂，只要是能够粘接光纤50与光纤引导部件2的物质就没有特别限制，可列举光学用粘接剂、光路耦合用粘接剂、光学部件用密封材料、透明粘接剂、折射率调节材料兼粘接剂、包覆层形成用树脂清漆、芯层形成用树脂清漆等光固化型粘接剂、热固化型粘接剂、光热固化型粘接剂、2液混合固化型粘接剂，其中，在基板10、盖材40不透过用于固化的电磁波的情况下，优选热固化型粘接剂或2液混合固化型粘接剂。
粘接剂在25℃下的粘度优选为150～400mPa·s，更优选为200～350mPa·s，进一步优选为250～300mPa·s。如果在该范围内，则能够使光纤50的中心线与纤维引导槽32的光纤***方向的中心线大体一致。该25℃下的粘度可以通过后述实施方式中记载的测定方法进行测定。
[光纤连接器和光纤的尺寸]
使用图52和图53对本发明的光纤连接器、其制造方法、光纤连接器与光纤的连接方法、以及光纤连接器与光纤的组装体中光纤连接器和光纤的优选尺寸进行说明。
图52和图53分别为图4和图6的局部放大图。另外，使用光纤连接器1对该尺寸进行说明，使用后述的光纤连接器1A～1D时的尺寸也同样。
本发明中，对光纤没有限制，“光纤的直径”是指光纤的包覆层外径，以该包覆层被保护层被覆的状态***配置于纤维引导槽时，是指带保护层的光纤的外径。此外，“光纤的半径”是指基于上述定义的“光纤的直径”的一半长度。
从容易控制芯形成用树脂膜的膜厚的观点出发，优选光纤的直径为小于或等于200μm，进一步优选使用直径125μm、直径80μm的光纤。
优选纤维引导槽32的宽度W大于或等于固定于光纤引导部件2的光纤50的直径R，前述纤维引导槽32的高度D1大于或等于光纤的直径R。由此，能够将光纤50良好地***配置于纤维引导槽32内。
从基板10与光信号传输用芯图案23b的高度方向的中心之间的距离D2减去固定于光纤引导部件2的光纤50的半径r而得的值α1优选为0.5～15μm，从纤维引导槽32的高度D1减去光纤50的直径R而得的值α2优选为1.0～30μm。由此，光纤50与基板10的间隔和光纤50与盖材40的间隔变窄，由于粘接剂的表面张力、粘接剂的流动性，光纤50被配置于纤维引导槽32的高度方向的大体中央，因此，能够高精度地进行光纤50与光传输用芯图案23b的中心对准。
从上述观点出发，值α1更优选为0.5～7.5μm，进一步优选为0.5～5μm。此外，值α2更优选为1.0～15μm，进一步优选为1.0～10μm。
同样地，从前述光信号传输用芯图案23b的高度方向的中心与盖材40之间的距离D3减去固定于光纤引导部件2的光纤50的半径r而得的值α3优选为0.5～15μm，更优选为0.5～7.5μm，进一步优选为0.5～5μm。由此，光纤50与基板10的间隔和光纤50与盖材40的间隔变窄，由于粘接剂的表面张力、粘接剂的流动性，光纤50被配置于纤维引导槽32的高度方向的大体中央，因此，能够高精度地进行光纤50与光传输用芯图案23b的中心对准。
从同样的观点出发，值α3与值α1之差的绝对值α4优选为0～7.5μm，更优选为0～5μm，进一步优选为0～3μm。
从光纤的安装性和容差的观点出发，从纤维引导槽32的宽度W减去光纤的直径R而得的值α5更优选为1.0μm～30μm，进一步优选为1.0～15μm，更进一步优选为1.0～10μm。
此外，优选纤维引导槽32的光纤插通方向的中心线与光信号传输用芯图案23b的光路方向的中心线一致。在通过同一工序利用光刻加工形成光信号传输用芯图案23b和纤维引导芯图案23a时，只要以上述纤维引导槽32的中心线与光信号传输用芯图案23b(芯部件23c)的中心线彼此一致的方式设计光掩模形状即可。所使用的光纤优选为芯直径大于或等于数十μm的多模用光纤。
纤维引导槽32的长度L优选为100μm～30mm，更优选为300μm～10mm，进一步优选为1mm～5mm。如果为大于或等于100μm，则能够充分防止光纤相对于纤维引导槽32的长度L方向的倾斜，如果为小于或等于30mm，则能够使光纤连接器小型化。
实施例
以下，通过实施例对本发明更进一步详细地进行说明，在不超出其主旨的范围内，本发明不限于以下的实施例。
[包覆层形成用树脂膜的制作]
＜(A)基础聚合物：(甲基)丙烯酸聚合物(A-1)的制作＞
在具备搅拌机、冷却管、气体导入管、滴液漏斗和温度计的烧瓶中，称量丙二醇单甲醚乙酸酯46质量份和乳酸甲酯23质量份，边导入氮气边进行搅拌。使液温上升至65℃，用3小时滴加甲基丙烯酸甲酯47质量份、丙烯酸丁酯33质量份、甲基丙烯酸2-羟基乙酯16质量份、甲基丙烯酸14质量份、2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)3质量份、丙二醇单甲醚乙酸酯46质量份、以及乳酸甲酯23质量份的混合物后，在65℃搅拌3小时，进一步在95℃继续搅拌1小时，获得(甲基)丙烯酸聚合物(A-1)溶液(固体成分45质量％)。
＜重均分子量的测定＞
使用GPC(东曹(株)制“SD-8022”、“DP-8020”和“RI-8020”)对(A-1)的重均分子量(换算成标准聚苯乙烯)进行测定，结果为3.9×104。其中，柱子使用日立化成工业(株)制“Gelpack GL-A150-S”和“Gelpack GL-A160-S”。
＜酸值的测定＞
对(A-1)的酸值进行测定，结果为79mgKOH/g。其中，酸值由中和(A-1)溶液所需的0.1mol/L氢氧化钾水溶液的量算出。此时，将作为指示剂添加的酚酞由无色变为粉色的点作为中和点。
＜粘接剂的粘度测定＞
对于粘接剂，使用E型粘度计(东机产业(株)制、商品名VISCONIC ELD)，将测定温度设为25℃、试样设为0.4mL、转数设为20min-1，对粘度进行测定。
＜包覆层形成用树脂清漆A的调和＞
将作为(A)基础聚合物的前述A-1溶液(固体成分45质量％)84质量份(固体成分38质量份)、作为(B)光固化成分的具有聚酯骨架的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(新中村化学工业(株)制“U-200AX”)33质量份和具有聚丙二醇骨架的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(新中村化学工业(株)制“UA-4200”)15质量份、作为(C)热固化成分的六亚甲基二异氰酸酯的异氰脲酸酯型三聚物经甲基乙基酮肟保护而得的多官能封端异氰酸酯溶液(固体成分75质量％)(住化拜耳聚氨酯(株)制“SUMIDUR BL3175”)20质量份(固体成分15质量份)、作为(D)光聚合引发剂的1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮(汽巴日本(株)制“IRGACURE 2959”)1质量份、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦(汽巴日本(株)制“IRGACURE 819”)1质量份、以及作为稀释用有机溶剂的丙二醇单甲醚乙酸酯23质量份边搅拌边混合。使用孔径2μm的Polyfron过滤器(ADVANTEC东洋(株)制“PF020”)加压过滤后，减压脱泡，获得包覆层形成用树脂清漆A。
用涂布机(MULTI-COATER TM-MC、株式会社HIRANO TECSEED制)将上述获得的包覆层形成用树脂清漆A涂布在PET膜(东洋纺织(株)制“COSMOSHINE A4100”、厚度50μm)的非处理面上，在100℃干燥20分钟后，粘贴表面脱模处理PET膜(帝人杜邦膜(株)制“PUREX A31”、厚度25μm)作为保护膜，获得包覆层形成用树脂膜。此时树脂层的厚度可以通过调节涂布机的间隙而任意调整，关于本实施例中使用的第1下部包覆层和第2下部包覆层(粘接层)的厚度，记载于实施例中。此外，第1下部包覆层和第2下部包覆层的固化后的膜厚与涂布后的膜厚相同。关于本实施例中使用的上部包覆层形成用树脂膜的膜厚，也记载于实施例中。实施例中记载的上部包覆层形成用树脂膜的膜厚设为涂布后的膜厚。
[芯层形成用树脂膜的制作]
作为(A)基础聚合物，使用苯氧树脂(商品名：PHENOTOHTO YP-70、东都化成(株)制)26质量份，作为(B)光聚合性化合物，使用9,9-双[4-(2-丙烯酰氧基乙氧基)苯基]芴(商品名：A-BPEF、新中村化学工业(株)制)36质量份和双酚A型环氧丙烯酸酯(商品名：EA-1020、新中村化学工业(株)制)36质量份，作为(C)光聚合引发剂，使用双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦(商品名：IRGACURE 819、汽巴日本(株)社制)1质量份和1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮(商品名：IRGACURE 2959、汽巴日本(株)制)1质量份，作为有机溶剂，使用丙二醇单甲醚乙酸酯40质量份，除此以外，在与上述包覆层形成用树脂清漆A的制造例同样的方法和条件下调和芯层形成用树脂清漆B。然后，在与上述包覆层形成用树脂清漆A的制造例同样的方法和条件下加压过滤，进一步减压脱泡。
通过与上述制造例同样的方法将上述获得的芯层形成用树脂清漆B涂布在PET膜(商品名：COSMOSHINE A1517、东洋纺织(株)制、厚度：16μm)的非处理面上并进行干燥，接着，以脱模面成为树脂侧的方式粘贴脱模PET膜(商品名：PUREX A31、帝人杜邦膜(株)制、厚度：25μm)作为保护膜，获得芯层形成用树脂膜。此时树脂层的厚度可以通过调节涂布机的间隙而任意调整，关于本实施例中使用的芯层形成用树脂膜厚度，记载于以下的各实施例中。实施例中记载的芯层形成用树脂膜的膜厚设为涂布后的膜厚。
[基板的制作]
(通过减去法进行的电气配线形成)
使用辊式层压机(日立化成TECHNO PLANT(株)制、HLM-1500)，以压力0.4MPa、温度110℃、层压速度0.4m/min的条件在一面带铜箔作为金属层的聚酰亚胺膜((聚酰亚胺：UPILEX VT(宇部日东化成(株)制)、厚度：25μm)、(铜箔：NA-DFF(三井金属矿业(株)制)、厚度：9μm))的铜箔面上粘贴感光性干膜抗蚀剂(商品名：Photek、日立化成工业(株)制、厚度：25μm)，接着，利用紫外线曝光机((株)ORC制作所制、EXM-1172)，隔着宽度50μm的负型光掩模，从感光性干膜抗蚀剂侧照射120mJ/cm2紫外线(波长365nm)，用35℃的0.1～5重量％碳酸钠的稀溶液将未曝光部分的感光性干膜抗蚀剂除去。然后，使用氯化铁溶液，通过蚀刻将感光性干膜抗蚀剂被除去而露出的部分的铜箔除去，使用35℃的1～10重量％氢氧化钠水溶液将曝光部分的感光性干膜抗蚀剂除去，形成L(线宽)/S(间隙宽)＝60/65μm的电气配线，从而获得柔性配线板。
(Ni/Au镀层的形成)
然后，对柔性配线板进行脱脂、软蚀刻、酸洗涤，在无电解镀Ni用增感剂(商品名：SA-100、日立化成工业(株)制)中于25℃浸渍5分钟后进行水洗，在83℃的无电解镀Ni液(奥野制药(株)制、ICP NICORON GM-SD溶液、pH4.6)中浸渍8分钟形成3μm的Ni被膜，然后用纯水进行洗涤。
然后，在置换镀金液(用100mL HGS-500和1.5g氰化金钾/L建浴)(商品名：HGS-500、日立化成工业(株)制)中于85℃浸渍8分钟，在Ni被膜上形成0.06μm的置换金被膜。由此，获得无掩护膜(Cover Lay Film)的电气配线部分被Ni和Au的镀层被覆的柔性配线板。
将上述获得的10μm厚的包覆层形成用树脂膜裁断成大小100×100mm，将作为保护膜的脱模PET膜(PUREX A31)剥离，使用作为平板型层压机的真空加压式层压机((株)名机制作所制、MVLP-500)，在抽真空至小于或等于500Pa后，以压力0.4MPa、温度100℃、加压时间30秒的条件加热压接在上述形成的柔性配线板的聚酰亚胺面上作为粘接层13，从而形成带第2下部包覆层的电气配线板。利用紫外线曝光机((株)制作所制、EXM-1172)从载体膜侧照射4J/cm2紫外线(波长365nm)，接着，将载体膜剥离，在170℃加热处理1小时，从而形成带厚度10μm的第2下部包覆层的基板10。
实施例1
[光纤连接器1A的制作]
(第1工序)
将上述获得的20μm厚的下部包覆层形成用树脂膜裁断成大小100×100μm，将保护膜剥离，在与上述同样的条件下，利用真空层压机层叠在第2下部包覆层面侧。利用紫外线曝光机((株)ORC制作所制、EXM-1172)，隔着具有95μm×3.0mm×4根非曝光部的负型光掩模从载体膜侧照射250mJ/cm2紫外线(波长365nm)。然后，将载体膜剥离，用显影液(1％碳酸钾水溶液)对第1下部包覆层进行蚀刻。接着，用水洗涤，在170℃加热干燥和固化1小时，在纤维引导槽形成部分形成95μm×3.0mm的开口部。由此，成为在光波导3形成部分形成有光波导侧第1下部包覆层22b、在光纤引导部件2侧形成有纤维引导侧第1下部包覆层22a的状态。
(第2工序)
然后，使用辊式层压机(日立化成TECHNO PLANT(株)制、HLM-1500)以压力0.4MPa、温度50℃、层压速度0.2m/min的条件在上述第1下部包覆层面上层叠剥离掉保护膜后的50μm厚的上述芯层形成用树脂膜，接着，使用上述真空加压式层压机(株式会社名机制作所制、MVLP-500)，抽真空至小于或等于500Pa后，以压力0.4MPa、温度70℃、加压时间30秒的条件进行加热压接。然后，以光信号传输用芯图案23b形成于第1下部包覆层上、由纤维引导芯图案23a形成的纤维引导槽32形成于基板上的方式进行对位，利用上述紫外线曝光机，隔着光信号传输用芯图案宽度50μm(光纤连接部分的图案间距：125μm、光路转换镜形成部(距离光纤连接部分5mm的位置)的图案间距：250μm、4根)、纤维引导芯图案宽度40μm(纤维槽间距：125μm、4根、仅两端的纤维引导芯图案150μm)的负型光掩模照射700mJ/cm2紫外线(波长365nm)，接着，在80℃曝光5分钟后进行加热。然后，将作为载体膜的PET膜剥离，使用显影液(丙二醇单甲醚乙酸酯/N,N-二甲基乙酰胺＝8/2、质量比)蚀刻出芯图案。接着，用洗涤液(异丙醇)洗涤，在100℃加热干燥10分钟，形成光信号传输用芯图案23b和纤维引导芯图案23a，同时，形成85μm宽的纤维引导槽32。其中，纤维引导芯图案23a中各图案的大小设计为，在将光纤固定于纤维引导槽32时，光纤接合于能够向光信号传输用芯图案23b进行光信号收发的位置。
(第3工序)
然后，使用上述真空加压式层压机((株)名机制作所制、MVLP-500)，抽真空至小于或等于500Pa后，以压力0.35MPa、温度110℃、加压时间30秒的条件将剥离掉保护膜后的70μm厚的上部包覆层树脂膜从芯图案形成面侧加热压接并层压。进一步使用形成第1下部包覆层时所使用的负型光掩模照射150mJ/cm2紫外线(波长365nm)后，将载体膜剥离，使用显影液(1％碳酸钾水溶液)对上部包覆层形成用树脂膜进行蚀刻。接着，用水洗涤，在170℃加热干燥和固化1小时。
如上操作，制作125μm间距、纤维直径80μm、4通道用的光纤连接器主体。
获得的光纤连接器主体中，纤维引导槽32的横向宽度为85μm，纤维引导芯图案23a的高度(距离第2下部包覆层表面的高度)为70μm，从基板面至上部包覆层上表面的高度为90μm，光信号传输用芯图案23b的厚度为50μm。
(第5A工序和第6工序)
＜光路转换镜的形成＞
使用切割锯(DAC552、(株)DISCO社制)从获得的光纤连接器主体的上部包覆层侧形成45°的V形槽30。接着，将对镜形成部分进行了开口的金属掩模设置于带镜的光纤连接器主体，使用蒸镀装置(RE-0025、FIRST GIKEN制)蒸镀0.5μm的Au作为蒸镀金属层，从而形成光路转换镜31。
(第4工序)
＜盖材的形成＞
将上述获得的10μm厚的包覆层形成用树脂膜的保护膜剥离，在与上述同样的条件下，利用真空层压机层叠在聚酰亚胺膜(UPILEX RN(宇部日东化成(株)制)、厚度：25μm)上作为粘接层42，形成带粘接层42的盖材40。然后，将盖材40上层叠的包覆层形成用树脂膜的载体膜剥离，在与上述同样的条件下，利用真空层压机从上述光纤连接器的上部包覆层形成面侧进行加热压接。然后，在180℃加热固化1小时，形成带盖材40的光纤连接器1A。
纤维引导槽32的从基板10(第2下部包覆层13)表面至盖材40的底面(盖材的粘接层42的底面)的高度为90μm。
获得的光纤连接器1A的下部包覆层的厚度为20μm，光信号传输用芯图案23b的厚度为50μm，从光信号传输用芯图案23b上表面至盖材40底面的上部包覆层的厚度为20μm，纤维槽32宽度为80μm。
(粘接剂导入狭缝的形成工序)
为了使获得的光波导3的光纤连接端面平滑化，使用切割锯(DAC552、(株)DISCO社制)形成40μm宽的、兼用作狭缝槽的粘接剂导入狭缝25A。并且将基板10相对于纤维引导芯图案23a平行地切断(距离光波导端面3mm的位置)，以基板端面出现纤维引导槽32的方式进行外形加工。
由如上操作获得的光纤连接器1A的粘接剂导入狭缝25A滴加作为粘接剂的上述芯层形成用树脂清漆，在由纤维引导槽32和盖材40形成的空间部***125μm间距、4通道的光纤50(芯直径：50μm、包覆层直径：80μm)，在180℃加热固化1小时，从而接合于光波导3的光信号传输用芯图案23b的光传输面，从光纤50传输光信号时，光损失为1.53dB。将其结果示于表1。
实施例2～19
在实施例1中，适当调整下部包覆层树脂膜的厚度、芯层形成用树脂膜的厚度、上部包覆层树脂膜的厚度、芯图案形成用负型光掩模的形状，将光纤连接器1A的各部分尺寸设为如表1所示，除此以外，进行与实施例1同样的操作。此外，与实施例1同样地测定光损失的值。将其结果示于表1和表2。
[表1]
[表2]
实施例20
[光纤连接器1的制作]
(第1工序)
使用15μm厚的下部包覆层形成用树脂膜代替20μm厚的下部包覆层形成用树脂膜，除此以外，进行与实施例1的第1工序同样的操作。
(第2工序)
进行与实施例1的第2工序同样的操作。
(第3工序)
使用85μm厚的上部包覆层形成用树脂膜代替70μm厚的上部包覆层形成用树脂膜，并将加压压接时的压力设为0.4MPa以代替0.35MPa，除此以外，进行与实施例1的第3工序同样的操作。
(第5工序和第6工序)
＜狭缝槽的形成＞
为了使获得的光纤连接器主体的光纤连接端面平滑化，使用切割锯(DAC552、(株)DISCO社制)形成40μm宽的狭缝槽25。并且将基板相对于纤维引导侧芯图案23a平行地切断(距离光波导端面3mm的位置)，以基板端面出现纤维引导槽32的方式进行外形加工。
＜光路转换镜的形成＞
使用切割锯(DAC552、(株)DISCO社制)从获得的光纤连接器主体的上部包覆层侧形成45°的V形槽30。接着，将对镜形成部分进行了开口的金属掩模设于带镜的光纤连接器，使用蒸镀装置(RE-0025、FIRST GIKEN制)蒸镀0.5μm的Au作为蒸镀金属层12a，从而形成光路转换镜31。
(第4工序)
将从基板10表面至盖材40的底面(盖材40的粘接层的底面)的高度设为82μm以代替90μm，除此以外，进行与实施例1的第4工序同样的操作。
由如上操作获得的光纤连接器1的纤维引导槽32滴加上述芯层形成用树脂清漆，在由纤维引导槽32和盖材40形成的空间部***125μm间距、4通道的光纤50(芯直径：50μm、包覆层直径：80μm)，在180℃加热固化1小时，从而接合于光波导3的光信号传输用芯图案23b的光传输面，能够从光纤50传输光信号，并且光纤50也没有偏移。
实施例21
[光纤连接器1A的制作]
(第1工序)
使用15μm厚的下部包覆层形成用树脂膜代替20μm厚的下部包覆层形成用树脂膜，除此以外，进行与实施例1的第1工序同样的操作。
(第2工序)
进行与实施例1的第2工序同样的操作。
(第3工序)
使用85μm厚的上部包覆层形成用树脂膜代替70μm厚的上部包覆层形成用树脂膜，并将加压压接时的压力设为0.4MPa以代替0.35MPa，除此以外，进行与实施例1的第3工序同样的操作。
(第5A工序、第6工序)
进行与实施例1的第5A工序和第6工序同样的操作。
(第4工序)
将从基板10表面至盖材40的底面(盖材40的粘接层的底面)的高度设为82μm以代替90μm，除此以外，进行与实施例1的第4工序同样的操作。
(粘接剂导入狭缝的形成工序)
进行与实施例1中的粘接剂导入狭缝的形成工序同样的操作，获得光纤连接器1A。
由如上操作获得的光纤连接器1A的粘接剂导入狭缝25A滴加上述芯层形成用树脂清漆，在由纤维引导槽32和盖材40形成的空间部***125μm间距、4通道的光纤50(芯直径：50μm、包覆层直径：80μm)，在180℃加热固化1小时，从而接合于光波导3的光信号传输用芯图案23b的光传输面，能够从光纤50传输光信号，并且光纤50也没有偏移。
实施例22
[光纤连接器1B的制作]
将粘接剂导入狭缝的形成工序设为如下所述，除此以外，进行与实施例21同样的操作。
(粘接剂导入狭缝的形成工序)
为了使获得的光波导3的光纤连接端面平滑化，使用切割锯(DAC552、(株)DISCO社制)形成40μm宽的、兼用作狭缝槽的粘接剂导入狭缝25B。并且将盖材40相对于纤维引导芯图案23a平行地切断(距离光波导端面3mm的位置)，以盖材端面出现纤维引导槽32的方式进行外形加工。
由如上操作获得的光纤连接器1B的粘接剂导入狭缝25B滴加上述芯层形成用树脂清漆，在由纤维引导槽32和盖材40形成的空间部***125μm间距、4通道的光纤50(芯直径：50μm、包覆层直径：80μm)，在180℃加热固化1小时，从而接合于光波导3的光信号传输用芯图案23b的光传输面，能够从光纤50传输光信号，并且光纤50也没有偏移。
实施例23
[光纤连接器1C的制作]
第4工序之后，进行下述的粘接剂导入狭缝的形成工序，除此以外，进行与实施例20同样的操作。
(粘接剂导入狭缝的形成工序)
使用切割锯(DAC552、(株)DISCO社制)形成40μm宽的粘接剂导入狭缝25C。该粘接剂导入狭缝25C通过下述方法形成：将盖材40相对于纤维引导芯图案23a平行地切断(距离光波导端面3mm的位置)，以盖材端面出现纤维引导槽32的方式进行外形加工。
由如上操作获得的光纤连接器1C的粘接剂导入狭缝25C滴加上述芯层形成用树脂清漆，在由纤维引导槽32和盖材40形成的空间部***125μm间距、4通道的光纤50(芯直径：50μm、包覆层直径：80μm)，在180℃加热固化1小时，从而接合于光波导3的光信号传输用芯图案23b的光传输面，能够从光纤50传输光信号，并且光纤50也没有偏移。
实施例24
[光纤连接器1D的制作]
第4工序之后，进行下述的粘接剂导入狭缝的形成工序，除此以外，进行与实施例20同样的操作。
(粘接剂导入狭缝的形成工序)
为了使获得的光波导3的光纤连接端面平滑化，使用切割锯(DAC552、(株)DISCO社制)形成40μm宽的、兼用作狭缝槽的粘接剂导入狭缝25D。该粘接剂导入狭缝25D通过下述方法形成：将基板10相对于纤维引导芯图案23a平行地切断(距离光波导端面3mm的位置)，以盖材端面出现纤维引导槽32的方式进行外形加工。
从如上操作获得的光纤连接器1D的粘接剂导入狭缝25D滴加上述芯层形成用树脂清漆，在由纤维引导槽32和盖材40形成的空间部***125μm间距、4通道的光纤50(芯直径：50μm、包覆层直径：80μm)，在180℃加热固化1小时，从而接合于光波导3的光信号传输用芯图案23b的光传输面，能够从光纤50传输光信号，并且光纤50也没有偏移。
产业可利用性
如以上详细说明的那样，本发明的光纤连接器不管基板如何，光纤与光波导芯都容易对位且不易产生光纤的位置偏移。而且，可以仅通过将光纤***由槽和盖材形成的空间来简便地使光纤与光波导耦合。
因此，作为光纤用光电气转换基板等是有用的。
符号说明
1、1A、1B、1C、1D：光纤连接器
2：光纤引导部件
3：光波导
10：基板
22a：纤维引导侧第1下部包覆层
22b：光波导侧第1下部包覆层
23a：纤维引导芯图案
23b：光信号传输用芯图案
24a：纤维引导侧上部包覆层
24b：光波导侧上部包覆层
25：狭缝槽
25A、25B、25C、25D：粘接剂导入狭缝
30：V形槽
31：光路转换镜
32：纤维引导槽
40：盖材
50：光纤

Claims (18)

1.一种光纤连接器，
所述光纤连接器具有光纤引导部件和光波导，
所述光纤引导部件包含构成基板的一部分的纤维引导侧基板部、所述纤维引导侧基板部上的纤维引导图案、以及覆盖所述纤维引导图案的盖材，
所述光波导包含所述基板之中与所述纤维引导侧基板部邻接的光波导侧基板部、所述光波导侧基板部上的光波导侧第1下部包覆层、所述光波导侧第1下部包覆层上的光信号传输用芯图案、以及所述光信号传输用芯图案上的光波导侧上部包覆层，
所述纤维引导图案由留有间隔地并列的多根引导部件构成，
相邻的2根引导部件、纤维引导侧基板部、以及纤维引导侧盖材部之间的空间形成纤维引导槽，
所述纤维引导槽存在于所述光信号传输用芯图案的光路方向的延长线上。
2.根据权利要求1所述的光纤连接器，
所述纤维引导图案由所述纤维引导侧基板部上的纤维引导侧第1下部包覆层、所述纤维引导侧基板部上的纤维引导芯图案、以及所述纤维引导芯图案上的纤维引导侧上部包覆层构成。
3.根据权利要求1或2所述的光纤连接器，所述光纤引导部件具有连通所述光纤引导部件的外部与所述纤维引导槽的粘接剂导入狭缝。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的光纤连接器，所述基板之中，存在所述光波导侧第1下部包覆层和所述纤维引导侧第1下部包覆层的一侧的表面层为粘接层。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的光纤连接器，所述粘接层为第2下部包覆层。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的光纤连接器，
所述光波导在所述光信号传输用芯图案的光路上具有光路转换镜，
所述盖材具有覆盖所述纤维引导图案侧的纤维引导侧盖材部和覆盖光路转换镜的光波导侧盖材部，
所述光波导侧盖材部形成所述光路转换镜加强部。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的光纤连接器，所述基板为电气配线板。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的光纤连接器，所述纤维引导槽的宽度大于或等于所述光纤引导部件上固定的光纤的直径，所述纤维引导槽的高度大于或等于所述光纤的直径。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的光纤连接器，
所述基板与所述光信号传输用芯图案的高度方向的中心之间的距离减去所述光纤引导部件上固定的光纤的半径后的值α1为0.5～15μm，
所述纤维引导槽的高度减去所述光纤的直径后的值α2为1.0～30μm。
10.根据权利要求9所述的光纤连接器，所述光信号传输用芯图案的高度方向的中心与所述盖材之间的距离减去所述光纤引导部件上固定的光纤的半径后的值α3为0.5～15μm。
11.根据权利要求9或10所述的光纤连接器，所述光信号传输用芯图案的高度方向的中心与所述盖材之间的距离减去所述光纤引导部件上固定的光纤的半径后的值α3与值α1之差的绝对值α4为0～7.5μm。
12.根据权利要求1～11中任一项所述的光纤连接器，所述纤维引导槽的宽度减去所述光纤的直径后的值α5为1.0μm～30μm。
13.一种光纤连接器的制造方法，
其为权利要求1～12中任一项所述的光纤连接器的制造方法，包含：
第1工序，在基板上层叠第1下部包覆层后，利用蚀刻将存在于应当形成纤维引导槽的位置的第1下部包覆层除去，形成光波导侧第1下部包覆层；
第2工序，在形成了所述光波导侧第1下部包覆层的基板上层叠芯形成用树脂层后，利用蚀刻统一形成纤维引导芯图案和光信号传输用芯图案；
第3工序，在形成了所述纤维引导芯图案和所述光信号传输用芯图案的基板上层叠上部包覆层形成用树脂层后，利用蚀刻将存在于应当形成所述纤维引导槽的位置的上部包覆层形成用树脂层除去，形成纤维引导侧上部包覆层、光波导侧上部包覆层和纤维引导槽；以及
第4工序，形成覆盖所述纤维引导槽的盖材。
14.根据权利要求13所述的光纤连接器的制造方法，包含第5工序，所述第5工序是在第3工序之后，沿着所述纤维引导槽与所述光波导侧下部包覆层的边界在基板表面上形成狭缝槽。
15.根据权利要求13或14所述的光纤连接器的制造方法，在第3工序之后或第4工序之后，形成贯穿基板的厚度方向并连通至纤维引导槽的粘接剂导入狭缝。
16.根据权利要求13～15中任一项所述的光纤连接器的制造方法，在第4工序之后，形成贯穿盖材的厚度方向并连通至纤维引导槽的粘接剂导入狭缝。
17.一种光纤连接器与光纤的连接方法，其包含在权利要求1～12中任一项所述的光纤连接器的纤维引导槽中填充粘接剂并***配置光纤的工序。
18.一种光纤连接器与光纤的组装体，其具有权利要求1～12中任一项所述的光纤连接器以及配置于所述光纤连接器的纤维引导槽中的光纤和粘接剂。
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