CN104360639A - 基于vme自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法 - Google Patents
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104950768A (zh) * | 2015-06-24 | 2015-09-30 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的光刻机双工件台控制***多板卡通信方法 |
CN105004264A (zh) * | 2015-07-22 | 2015-10-28 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的多路激光干涉仪数据的同步读取方法 |
CN105137873A (zh) * | 2015-08-22 | 2015-12-09 | 哈尔滨工业大学 | 多板卡同步顺序读取多路传感器数据的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5590372A (en) * | 1992-07-14 | 1996-12-31 | International Business Machines Corporation | VME bus transferring system broadcasting modifiers to multiple devices and the multiple devices simultaneously receiving data synchronously to the modifiers without acknowledging the modifiers |
CN1588235A (zh) * | 2004-09-15 | 2005-03-02 | 上海微电子装备有限公司 | 步进扫描光刻机连续扫描同步控制方法和*** |
CN1648890A (zh) * | 2005-02-05 | 2005-08-03 | 上海微电子装备有限公司 | 步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线及总线平台 |
CN102147603A (zh) * | 2011-05-23 | 2011-08-10 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的多轴运动控制装置 |
CN102621826A (zh) * | 2012-04-23 | 2012-08-01 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的步进扫描光刻机的同步控制***及该***的同步控制方法 |
CN102739486A (zh) * | 2011-03-31 | 2012-10-17 | 上海微电子装备有限公司 | 一种同步数据传输总线***及方法 |
-
2014
- 2014-09-16 CN CN201410469166.8A patent/CN104360639A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5590372A (en) * | 1992-07-14 | 1996-12-31 | International Business Machines Corporation | VME bus transferring system broadcasting modifiers to multiple devices and the multiple devices simultaneously receiving data synchronously to the modifiers without acknowledging the modifiers |
CN1588235A (zh) * | 2004-09-15 | 2005-03-02 | 上海微电子装备有限公司 | 步进扫描光刻机连续扫描同步控制方法和*** |
CN1648890A (zh) * | 2005-02-05 | 2005-08-03 | 上海微电子装备有限公司 | 步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线及总线平台 |
CN102739486A (zh) * | 2011-03-31 | 2012-10-17 | 上海微电子装备有限公司 | 一种同步数据传输总线***及方法 |
CN102147603A (zh) * | 2011-05-23 | 2011-08-10 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的多轴运动控制装置 |
CN102621826A (zh) * | 2012-04-23 | 2012-08-01 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的步进扫描光刻机的同步控制***及该***的同步控制方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
耿长青: "工件台掩膜台运动控制卡设计及同步方法研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库(电子期刊)信息科技辑》 * |
谷林: "光刻机工件台与掩模台同步控制研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库(电子期刊)信息科技辑》 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104950768A (zh) * | 2015-06-24 | 2015-09-30 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的光刻机双工件台控制***多板卡通信方法 |
CN105004264A (zh) * | 2015-07-22 | 2015-10-28 | 哈尔滨工业大学 | 基于vme总线的多路激光干涉仪数据的同步读取方法 |
CN105137873A (zh) * | 2015-08-22 | 2015-12-09 | 哈尔滨工业大学 | 多板卡同步顺序读取多路传感器数据的方法 |
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