CN104293497B

CN104293497B - 洗净液组成物及清洗基板的方法

Info

Publication number: CN104293497B
Application number: CN201410314919.8A
Authority: CN
Inventors: 谢岦庭
Original assignee: Chi Mei Corp
Current assignee: Chi Mei Corp
Priority date: 2013-07-17
Filing date: 2014-07-03
Publication date: 2018-08-31
Anticipated expiration: 2034-07-03
Also published as: TW201504426A; CN104293497A; TWI496884B

Abstract

本发明涉及洗净液组成物及清洗基板的方法。一种洗净液组成物，包含碱性化合物(A)、非离子型表面活性剂(B)、式(III)所示的消泡剂(C)及水(D)，该非离子型表面活性剂选自于式(I)、式(II)或上述的组合。式(I)及式(II)中，EO表示乙氧基，AO表示PO、BO或上述的组合，PO为丙氧基，BO为丁氧基，m、n、p及q分别表示平均加成摩尔数，m及p各自表示3至100，n表示0至(0.2×m)，q表示0至(0.2×p)，x1、x2、y1、y2及y3各自独立地表示1或2。式(III)中，r表示1或2，R表示式(IV)所示的官能团，且式(IV)中，s表示3至7。该洗净液组成物特别适用于清洗玻璃基板，且具有洗净力佳及消泡性佳的优点。

Description

洗净液组成物及清洗基板的方法

技术领域

本发明涉及一种洗净液组成物及清洗基板的方法，特别涉及一种用于清洗玻璃基板的洗净液组成物及清洗基板的方法。

背景技术

目前彩色液晶显示器的制程是先将较大尺寸的玻璃基板(材质例如：钠钙玻璃、硼硅玻璃、硅玻璃、无碱玻璃等)切割成所需尺寸的小尺寸玻璃基板后，再于小尺寸玻璃基板上进行后续的制程。然而，切割时所产生的玻璃切削粉(glass cullet)常附着于玻璃基板上，而对后续的研磨制程、膜处理制程等精密的制程造成不良的影响。

除了玻璃切割时所产生的问题外，在彩色液晶显示器中的彩色滤光片制造过程中，通过先将感光性树脂以光刻制程(photolithography)于小尺寸的玻璃基板上形成黑色矩阵，再于玻璃基板上形成红、绿、蓝的彩色光致抗蚀剂。然而，上述制程中，飞散的微粒或感光性树脂的残渣等会附着于基板上，不但降低彩色滤光片的良率，且当彩色滤光片与薄膜晶体管阵列基板(TFT array substrate)贴合时，甚至有可能会造成共同短路(commonshort)的情形。

因此，为避免上述在彩色液晶显示器制程中产生的污染源附着于玻璃基板上，进而影响彩色液晶显示器的元件性能，所以现有彩色液晶显示器的制程中皆会导入清洗玻璃基板的程序，以清洗附着于玻璃基板上的污染源。

为有效清除上述附着于玻璃基板上的污染源，目前业界克服的方式之一，是采用特定的洗净液组成物清洗玻璃基板。日本专利申请特开2009-084565揭示一种碱性的洗净液组成物，包含：碱剂、非离子型表面活性剂、水，及选自于苯磺酸盐、甲苯磺酸盐、二甲基苯磺酸盐、羟基苯磺酸盐的化合物。该日本专利申请中使用的非离子型表面活性剂如下式所示：

R¹－O－(EO)_m(PO)_n－H (a)

式(a)中，R¹表示C₈至C₁₈的烷基、C₈至C₁₈的烯基、C₈至C₁₈的酰基、C₁₄至C₁₈的烷基苯基；EO表示乙氧基，PO丙氧基，EO与PO是随机或嵌段排列；m及n分别表示平均加成摩尔数，m表示1至20，n表示0至20。

该日本专利申请的洗净液组成物诉求在较高的温度下具有好的贮存稳定性，然而，该洗净液组成物因湿润性不佳，所以用于清洗玻璃基板时洗净力不佳，且因选择性添加的硅系消泡剂的溶解度较差，所以也有消泡性不佳的问题。

近年来，对于彩色液晶显示器的高度信赖性需求，以及彩色滤光片的高精度化发展，所以对玻璃基板清净化的要求变得愈来愈高。有鉴于此，针对改良洗净液组成物，以克服现有的洗净液组成物洗净力不佳及消泡性不佳的缺点，是此技术领域相关技术人员可再突破的课题。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种洗净液组成物。该洗净液组成物具有洗净力佳及消泡性佳的优点。

本发明洗净液组成物，包含：

碱性化合物(A)；

非离子型表面活性剂(B)，选自于式(I)所示的非离子型表面活性剂、式(II)所示的非离子型表面活性剂，或它们的组合：

式(I)及式(2)中，EO表示乙氧基，AO表示PO、BO或上述的组合，该PO为丙氧基，该BO为丁氧基，m、n、p及q分别表示平均加成摩尔数，m及p各自表示3至100，n表示0至(0.2×m)，q表示0至(0.2×p)，x1、x2、y1、y2及y3各自独立地表示1或2；

消泡剂(C)，由下式(III)所示：

式(III)中，r表示1或2，R表示式(IV)所示的官能团，

式(IV)中，s表示3至7；及

水(D)。

本发明洗净液组成物，该式(I)及式(II)中，该EO与该AO为嵌段排列或随机排列。

本发明洗净液组成物，该式(I)及式(II)中，该AO为PO与BO的组合，且PO与BO为嵌段排列或随机排列。

本发明洗净液组成物，基于该碱性化合物(A)为100重量份，该非离子型表面活性剂(B)的使用量范围为10至100重量份，该消泡剂(C)的使用量范围为1至15重量份，该水(D)的使用量范围为200至2000重量份。

本发明洗净液组成物，该非离子型表面活性剂(B)与该消泡剂(C)的用量比例(B/C)范围为3至25。

本发明洗净液组成物还包含水溶性树脂(E)。

本发明洗净液组成物，基于该碱性化合物(A)的总量为100重量份，该水溶性树脂(E)的使用量范围为1至15重量份。

本发明的第二目的在于提供一种清洗基板的方法。

本发明清洗基板的方法，包含使用上述的洗净液组成物清洗基板。

本发明的有益效果在于：通过使用该非离子型表面活性剂(B)与该消泡剂(C)，使得本发明洗净液组成物具有洗净力佳及消泡性佳的优点。

具体实施方式

[碱性化合物(A)]

本发明的碱性化合物(A)选自于无机碱性化合物(A-1)、有机碱性化合物(A-2)或上述的组合。

该无机碱性化合物(A-1)能单独或混合使用，例如但不限于：(1).碱金属氢氧化物：氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾；(2).碱金属磷酸盐类：磷酸氢二钠、磷酸氢二钾、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾等；(3).碱金属硅酸盐类：硅酸锂、硅酸钠、硅酸钾等；(4).碱金属碳酸盐类：碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾等；(5).碱金属硼酸盐类：硼酸锂、硼酸钠、硼酸钾等；(6).氢氧化铵；(7).磷酸铵盐类：磷酸氢二铵[(NH₄)₂HPO₄]、磷酸二氢铵(NH₄H₂PO₄)等。较佳地，该无机碱性化合物(A-1)为碱金属氢氧化物、磷酸铵盐类或两者的组合。更佳地，该无机碱性化合物(A-1)选自于氢氧化钾、氢氧化钠、磷酸氢二铵或它们的组合。

该有机碱性化合物(A-2)因不含金属离子，所以较不易对薄膜晶体管(TFT)等半导体元件产生残影等不良影响。该有机碱性化合物(A-2)能单独或混合使用，例如但不限于：(1).氢氧化季铵盐类化合物：氢氧化四甲铵(tetramethyl ammonium hydroxide)、氢氧化四乙铵、氢氧化四丙铵、氢氧化四丁铵、2-羟基-氢氧三甲铵(2-hydroxyl trimethylammonium hydroxide)等；(2).有机胺类：单甲胺、二甲胺、三甲胺、单乙胺、二乙胺、三乙胺、单异丙胺(monoisopropylamine)、二-异丙胺(di-isopropylamine)、单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、2-(2-氨基乙氧基)乙醇[2-(2-aminoethoxy)ethanol]、单异丙醇胺(monoisopropanolamine)、二异丙醇胺、三异丙醇胺、N-乙基乙醇胺(N-ethylethanolamine)、N-正丁基乙醇胺(N-n-butylethanolamine)、N,N-二甲基乙醇胺(N,N-dimethyl ethanolamine)、N,N-二甲基丙醇胺、N,N-二甲基异丙醇胺(N,N-dimethylisopropanolamine)、环己胺、吗啉(morpholine)等。较佳地，该有机碱性化合物(A-2)是有机胺类。更佳地，该有机碱性化合物(A-2)选自于单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、单异丙醇胺或上述的组合。

同时使用该无机碱性化合物(A-1)及有机碱性化合物(A-2)能进一步提升该洗净液组成物的洗净力，较佳地，该碱性化合物(A)是无机碱性化合物(A-1)及有机碱性化合物(A-2)。较佳的，该无机碱性化合物(A-1)与有机碱性化合物(A-2)的用量比例(A-1)/(A-2)范围为30/70至70/30。

[非离子型表面活性剂(B)]

该非离子型表面活性剂(B)选自于式(I)所示的非离子型表面活性剂、式(II)所示的非离子型表面活性剂，或上述的组合：

式(I)及式(2)中，EO表示乙氧基(oxyethylene)，AO表示PO、BO或上述的一组合，该PO为丙氧基(oxypropylene)，该BO为丁氧基(oxybutylene)，m、n、p及q分别表示平均加成摩尔数，m及p各自独立地表示3至100，n表示0至(0.2×m)，q表示0至(0.2×p)，x1、x2、y1、y2及y3各自独立地表示1或2。上述平均加成摩尔数可利用1H-核磁共振光谱仪(1H-NMRspectroscopy)测定。

较佳地，该式(I)及式(II)中，该EO与该AO为嵌段排列或随机排列。当EO与AO为嵌段排列时，只要EO与AO的平均加成摩尔数在上述范围内即可，EO的嵌段数及AO的嵌段数可为1个或2个以上。当EO的嵌段数为2个以上时，各嵌段中EO的数目可为相同或不同。

较佳地，该AO为PO与BO的组合，且PO与BO为嵌段排列或随机排列。且当AO为PO与BO的组合时，EO也可为嵌段或随机排列的方式***PO与BO的组合中，EO的嵌段数可为1个或2个以上。当EO的嵌段数为2个以上时，各嵌段中EO的数目可为相同或不同。

该式(I)及式(II)中，当AO为PO时，n及q表示PO的平均加成摩尔数。当AO为BO时，n及q表示BO的平均加成摩尔数。当该AO为PO与BO的组合时，n及q表示PO的平均加成摩尔数与BO的平均加成摩尔数的总和。

当AO为PO与BO的组合，且PO与BO为嵌段排列时，PO的平均加成摩尔数及BO的平均加成摩尔数的总和在上述n及q的范围内即可，且PO的嵌段数及BO的嵌段数可为1个或2个以上。当PO的嵌段数为2个以上时，各嵌段中PO的数目可为相同或不同。当BO的嵌段数为2个以上时，各嵌段中BO的数目可互为相同或不同。

式(I)及式(II)中构成醚键的氧原子(O)可与EO键合或与AO键合。较佳地，式(I)及式(II)中构成醚键的氧原子(O)为与EO键合，能使该非离子型表面活性剂(B)具有适当的水溶性。

为提高附着在玻璃基板上的感光性树脂污垢的剥离性，较佳地，式(I)及式(II)的m与p分别为3至70，更佳为3至50。较佳地，n为0至(0.1×m)，更佳为0。较佳地，q为0至(0.1×p)，更佳为0。

较佳地，该非离子型表面活性剂(B)选自于：m为5至50且n为0的聚乙氧基双(苯乙基)苯醚、p为5至50且q为0的聚乙氧基三(苯甲基)苯醚或上述的组合。该m为5至50且n为0的聚乙氧基二苯乙烯化苯醚例如但不限于：聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为13)、聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(Polyoxyethylene-3,5-bis(1-phenylethyl)phenylether，EO个数为19)、聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为64)，具体的商品为：花王公司制造的EMULGEN A-60、EMULGEN A-90、EMULGEN A-500，或中日合成化学公司制造的Sinopol607、Sinopol609、Sinopol610、Sinopol614、Sinopol620、Sinopol623等。该p为5至50且q为0的聚乙氧基三芐基化苯醚例如但不限于：聚乙氧基-2,4,6-三(1-苯甲基)苯醚(Polyoxyethylene-2,4,6-tris(1-phenylmethyl)phenylether，EO个数为14)，具体的商品为花王公司制造的EMULGEN B-66等。更佳地，该非离子型表面活性剂(B)选自于聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为19)、聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为64)、EMULGEN A-60、EMULGEN A-90、Sinopol607、Sinopol609、Sinopol620、Sinopol623、聚乙氧基-2,4,6-三(1-苯甲基)苯醚(EO个数为14)、EMULGEN B-66或上述的组合。于本发明的具体例中，该非离子型表面活性剂(B)选自于聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为19)、Sinopol620、聚乙氧基-2,4,6-三(1-苯甲基)苯醚(EO个数为14)或EMULGEN B-66。

较佳地，基于碱性化合物(A)为100重量份，该非离子型表面活性剂(B)的使用量范围为10至100重量份，更佳为15至80重量份，最佳为20至60重量份。若无使用该非离子型表面活性剂(B)，则会导致该洗净液组成物的湿润性不佳，进而使得该洗净液组成物的洗净力不佳。

[消泡剂(C)]

该消泡剂(C)由下式(III)所示：

式(III)中，r表示1或2，R表示下式(IV)所示的官能团：

式(IV)中，s表示3至7。

该消泡剂的具体例为：Air products制的Surfynol MD-20及SurfynolL MD-30。上述的消泡剂能单独或混合使用。

较佳地，基于该碱性化合物(A)为100重量份，该消泡剂(C)的使用量范围为1至15重量份，更佳为1.5至12重量份，最佳为2至10重量份。若无使用该消泡剂(C)，该洗净液组成物的消泡性不佳，清洗基板时会有泡沫过多的问题。

较佳地，该非离子型表面活性剂(B)与该消泡剂(C)的使用量比例(B/C)范围为3至25时，能更进一步地克服该洗净液组成物的洗净力及消泡性。更佳地，该非离子型表面活性剂(B)与该消泡剂(C)的使用量比例(B/C)范围为4至23。最佳地，该非离子型表面活性剂(B)与该消泡剂(C)的使用量比例(B/C)范围为5至20。

[水(D)]

该水(D)的种类于此并无特别限制。例如但不限于：蒸馏水、纯水(经离子交换树脂等进行脱盐处理所得的水)、超纯水(除无机离子外，不含有机物、生菌、微粒子及溶解气体)，及各种机能水等。因为金属离子会对电子控制回路有不良的影响，该水(D)较佳为纯水、超纯水或两者混用。该水(D)更佳为超纯水。超纯水可通过将自来水通过活性碳、离子交换处理、蒸馏处理后，必要时以紫外光照射杀菌，或者通过过滤器而得。根据25℃的电阻值来区分，电阻值在1MΩ·cm以上称为纯水，电阻值在10MΩ·cm以上称为超纯水。

较佳地，基于该碱性化合物(A)为100重量份，该水(D)的使用量范围为200至2000重量份，更佳为300至1800重量份，最佳为400至1500重量份。

较佳地，基于该碱性化合物(A)为100重量份，该非离子型表面活性剂(B)的使用量范围为10至100重量份，该消泡剂(C)的使用量范围为1至15重量份，该水(D)的使用量范围为200至2000重量份。

[水溶性树脂(E)]

较佳地，该洗净液组成物还包含水溶性树脂(E)，该水溶性树脂(E)能增加消泡剂的溶解度，因此能更进一步地克服洗净液组成物的消泡性。

该水溶性树脂(E)能单独或混合使用，例如但不限于羧酸类聚合物、丙烯酸系均聚物、甲基丙烯酸系均聚物、马来酸系均聚物、丙烯酸系-甲基丙烯酸系共聚物、丙烯酸系-马来酸系共聚物、甲基丙烯酸系-甲基丙烯酸二甲胺乙酯系共聚物、甲基丙烯酸系-甲基丙烯酸甲酯系共聚物、丙烯酸与2-丙烯酰氨基-2-甲基丙磺酸(2-acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid)的摩尔比范围为(91/9)至(95/5)的共聚物等。

该水溶性树脂(E)还能够是上述羧酸类聚合物的盐类，例如但不限于：(1).上述羧酸类聚合物与碱金属所形成的碱金属盐类，如钠盐、锂盐等；(2).上述羧酸类聚合物与醇胺类化合物所形成的伯铵盐，该醇胺类化合物为下述的醇胺类化合物或其经氧乙烷或氧丙烷改质的醇胺类化合物：二乙醇胺、三乙醇胺、甲基乙醇胺、单丙醇胺、二丙醇胺、三丙醇胺、丁醇胺、氨基乙基乙醇胺(amino ethyl ethanol amine)等；(3).上述羧酸类聚合物与氢氧化四甲铵、胆碱(Choline)所形成的季铵盐类。

该水溶性树脂(E)的重量平均分子量的范围为500至150,000，较佳为1,000至100,000，更佳为1,000至50,000。上述重量平均分子量是以胶体渗透层析仪(Gel PermeationChromatography，GPC)测得[管柱型号：G4000PXWL及G2500PWXL，洗提液：0.2M磷酸盐缓冲液：CH3CN＝9:1(体积比)，流量：1.0毫升/分钟，管柱温度：40℃，侦测器：R1，样品量：0.2mg/ml，标准样品：聚乙二醇]。

较佳地，基于该碱性化合物(A)的总量为100重量份，该水溶性树脂(E)的使用量范围为1至15重量份。更佳为1.5至12重量份，最佳为2至10重量份。

[添加剂(F)]

在不影响本发明功效的前提下，本发明洗净液组成物还包含添加剂(F)，例如但不限于：抗氧化剂、pH调整剂、防腐剂或有机溶剂等。

该抗氧化剂例如但不限于：(1).苯酚系抗氧化剂：2,6-二-叔丁基苯酚、2-叔丁基-4-甲氧基苯酚、2,4-二甲基-6-叔丁基苯酚等；(2).胺系抗氧化剂：单辛基二苯胺、单壬基二苯胺、4,4’-二丁基二苯胺、4,4’-二戊基二苯胺、四丁基二苯胺、四己基二苯胺、α-萘胺、苯基-α-萘胺等；(3).硫系抗氧化剂：吩噻嗪(phenothiazine)、季戊四醇四(3-月桂基硫代丙酸酯)、双(3,5-叔丁基-4-羟基芐基)硫醚[bis(3,5-t-butyl-4-hydroxybenzyl)sulfide]等；(4).磷系抗氧化剂：二亚磷酸双(2,4-二-叔丁基苯基)季戊四醇酯、亚磷酸一苯二异癸酯、亚磷酸二苯二异辛酯、亚磷酸三苯酯等。上述抗氧化剂能单独或混合使用。

该pH调整剂例如但不限于：(1).无机酸：盐酸、硫酸、硝酸、磺胺酸、磷酸等；(2).无机碱：氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾等。上述的pH调整剂能单独或混合使用。

该防腐剂例如但不限于：(1).三嗪(triazine)衍生物：六氢-1,3,5-三(羟乙基)-s-三嗪等；(2).异噻唑啉(isothiazolin)衍生物：1,2-苯并异噻唑啉-3-酮、2-甲基-4-异噻唑啉-3-酮、5-氯-2-甲基-4-异噻唑啉-3-酮等；(3).吗啉(morpholine)衍生物：4-(2-硝基丁基)吗啉、4,4-(2-乙基-2-硝基三亚甲基)二吗啉等；(4).苯并咪唑(benzimidazole)衍生物：2-(4-噻唑基)苯并咪唑等。上述的防腐剂能单独或混合使用。

该有机溶剂以在20℃时对水的溶解度为3g/100g以上者为佳，更佳为对水的溶解度为10g/100g以上者。该有机溶剂能单独或混合使用，例如但不限于：(1).亚砜类：二甲基亚砜等；(2).砜类：二甲砜、二乙砜、双(2-羟乙基)砜、环丁砜、3-甲基环丁砜、2,4-二甲基环丁砜等；(3).酰胺类：N,N-二甲基甲酰胺、N-甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基丙酰胺等；(4).内酰胺类(Lactam)：N-甲基-2-吡咯烷酮、N-乙基-2-吡咯烷酮、N-羟甲基-2-吡咯烷酮等；(5).内酯类(Lactone)：β-丙内酯、β-丁内酯、γ-丁内酯、γ-戊内酯、δ-戊内酯等；(6).醇类：甲醇、乙醇、异丙醇等；(7).二醇类：乙二醇、丙二醇、1,3-丁二醇、二乙二醇等；(8).二元醇醚类：乙二醇单甲醚、乙二醇单***、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单***、二乙二醇单正丁基醚、二乙二醇单己醚、二乙二醇单苯醚、三乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、二丙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二***、三乙二醇二甲醚、三乙二醇三***等；(8).恶唑烷酮(oxazolidinone)类：N-甲基-2-恶唑烷酮、3,5-二甲基-2-恶唑烷酮等；(9).腈(nitrile)类：乙腈、丙腈、丁腈、丙烯腈、甲基丙烯腈、苯甲腈等；(10).碳酸盐类：碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯等；(11).酮类：丙酮、二乙酮、苯乙酮、甲乙酮、环己酮、环戊酮、二丙酮醇(4-hydroxy-4-methyl-pentan-2-one)等。

于本发明洗净液组成物中，该添加剂(F)的使用量视种类而异。基于该碱性化合物(A)为100重量份，该抗氧化剂的使用量范围为10重量份以下，较佳为8重量份以下，更佳为5重量份以下。该防腐剂的使用量范围为10重量份以下，较佳为8重量份以下，更佳为5重量份以下。该pH调整剂的使用量范围为90重量份以下，较佳为85重量份以下，更佳为80重量份以下。该有机溶剂的使用量范围为500重量份以下，较佳为400重量份以下，更佳为300重量份以下。

[洗净液组成物的制备]

本发明洗净液组成物的制备并无特别限制，可采用例如将该碱性化合物(A)、非离子型表面活性剂(B)、消泡剂(C)及水(D)置于搅拌器中搅拌均匀混合以形成溶液状态，必要时可视需要加入水溶性树脂(E)及添加剂(F)，予以均匀混合，即获得本发明洗净液组成物。

[清洗基板的方法]

本发明清洗基板的方法包含：使用上述的洗净液组成物以清洗法清洗基板。较佳地，该基板是玻璃基板。该玻璃基板的材质例如但不限于：钠钙玻璃、硼硅玻璃、二氧化硅玻璃或无碱玻璃等。该清洗法例如但不限于：浸泡法、冲淋法、刷洗法、超音波洗净法或泡沫洗净法等。更具体地说，浸泡法是将该洗净液组成物注入于浸泡槽内，再将基板浸泡在洗净液组成物中。冲淋法是以冲淋、喷雾、喷射等方式将该洗净液组成物与基板接触来清洗基板。刷洗法是利用已沾取该洗净液组成物的海绵、刷子等工具来清洗基板。

本发明将就以下实施例来作进一步说明，但应了解的是，该实施例只为例示说明之用，而不应被解释为本发明实施之限制。

<实施例>

[实施例1]洗净液组成物

将100重量份的氢氧化钾(以下简称A-1-1)、10重量份的聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为19，以下简称B-1)、15重量份的Surfynol MD-20(Air products社制，以下简称C-1)，及200重量份的水(以下简称D-1)置于摇动式搅拌器中搅拌混合均匀以形成溶液，即为实施例1洗净液组成物。

[实施例2至11及比较例1至4]洗净液组成物

实施例2至11及比较例1至4以与实施例1相同的步骤来制备洗净液组成物，不同的地方在于：依据表1，改变各原料的种类及使用量。

[性质测试]

为方便描述测量过程，以下以实施例1洗净液组成物进行说明，其余实施例及比较例皆依照该方式进行测量。性质测试结果由表1所示。

1.洗净力测试

将表面有凹凸微结构氧化锡的太阳能电池用玻璃基板[旭硝子制，型号：A180U80，尺寸：350mm×300mm，均方根粗糙(Root Mean Square roughness)：30nm]浸泡在实施例1的洗净液组成物中，以恒温水槽控制浸泡时的温度为40℃，并以超音波(功率：135W，频率：42kHz)震荡1分钟后取出该太阳能电池用玻璃基板，再以500ml的纯水润洗该太阳能电池用基板后，以高压空气吹干该太阳能电池用基板。

接着，以接触角分析仪(KSV Instruments制，型号：CAM100)测量纯水在清洗过的太阳能电池用基板上的接触角，接触角越小代表洗净液组成物的洗净力越好。洗净力的评价方式为：

◎：接触角<5度。

○：5度≤接触角≤10度。

△：10度≤接触角≤20度。

╳：接触角>20度。

2.消泡性测试

取50ml的洗净液组成物倒入100ml的量筒中，上下震荡20回后，测量泡沫的高度(T1)，静置30秒后，再次测量泡沫的高度(T2)，并根据下式进行评价：

消泡率(％)＝(T1－T2)÷(T1)×100％

◎：90％≤消泡率。

○：80％≤消泡率<90％。

△：50％≤消泡率<80％。

╳：消泡率<50％

注：「--」：表示未添加；A-1-1：氢氧化钾；A-1-2：氢氧化钠；A-1-3：磷酸氢二铵；A-2-1：单乙醇胺；A-2-2：氢氧化四甲铵；A-2-3：2-羟基-氢氧三甲铵；B-1：聚乙氧基-3,5-双(1-苯乙基)苯醚(EO个数为19)；B-2：Sinopol620(中日合成化学制)；B-3：聚乙氧基-2,4,6-三(1-苯甲基)苯醚(EO个数为14)；B-4：EMULGEN B-66(花王制)；其他非离子型表面活性剂：聚乙氧基2-乙基己基醚(Polyoxyethylene2-Ethylhexyl ether)、商品名：Sinopol E8008(中日合成化学制)；C-1：如式(III)所示，r＝1，s＝4；C-2：如式(III)所示，r＝1，s＝6；C-3：如式(III)所示，r＝2，s＝5；D-1：水；E-1：聚丙烯酸；E-2：丙烯酸及甲基丙烯酸的共聚物；E-3：聚丙烯酸钠；F-1：磷酸；F-2：γ-戊内酯。

由表1可知，实施例1至11的洗净液组成物因同时使用该非离子型表面活性剂(B)与该消泡剂(C)，而具有良好的洗净力及消泡性。比较例1至4的洗净液组成物因未同时使用该非离子型表面活性剂(B)与该消泡剂(C)，所以洗净力及消泡性皆不佳。值得一提的是，比较例4的洗净液组成物使用的非离子型表面活性剂即为背景技术段中式(a)所示的非离子型表面活性剂，而在洗净力及消泡性的表现皆很不理想，由此可知，使用该非离子型表面活性剂(B)能达到较佳的洗净力及消泡性。

比较皆没有使用水溶性树脂(E)的实施例1、3、7、9及10，可发现当该非离子型表面活性剂(B)与该消泡剂(C)的用量比例(B/C)范围在3至25时，洗净液组成物在洗净力及消泡性的表现上更加优异(即实施例3及9)。另比较皆有使用水溶性树脂(E)的实施例2、4至6、8及11，也可发现上述同样情形。

比较实施例1与2或比较实施例7及8，可发现实施例2及8的洗净液组成物因使用该水溶性树脂(E)，而能达到更佳的消泡性。

由只使用无机碱性化合物(A-1)的实施例1至4中，能够发现使用水溶性树脂(E)并同时让B/C范围在3至25时(实施例4)，能够使洗净液组成物具有更优异的洗净力及消泡性。于只使用有机碱性化合物(A-2)的实施例5至8中，也可发现上述同样情形，即实施例5及6使用水溶性树脂(E)并同时让(B)/(C)范围在3至25，因此使得洗净液组成物具有更优异的洗净力及消泡性。然而，比较实施例1、7及10，能够发现同时使用无机碱性化合物(A-1)及有机碱性化合物(A-2)的实施例10能够获得较佳的洗净力。且在同时使用无机碱性化合物(A-1)及有机碱性化合物(A-2)的情况下，进一步控制(B)/(C)范围在3至25(也就是实施例9及11)，更可获得较优异的洗净力及消泡性。

综上所述，本发明洗净液组成物因包含该非离子型表面活性剂(B)及该消泡剂(C)，而具有良好的洗净力及消泡性，能有效清洁玻璃基板。

只是以上所述，为本发明的较佳实施例而已，当不能用此限定本发明实施的范围，也就是说通常依本发明权利要求范围及发明说明内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖的范围内。

Claims

1.一种洗净液组成物，其特征在于其包含：

碱性化合物(A)；

非离子型表面活性剂(B)，选自于式(I)所示的非离子型表面活性剂、式(II)所示的非离子型表面活性剂，或上述的组合：

式(I)及式(2)中，EO表示乙氧基，AO表示PO、BO或上述的组合，该PO为丙氧基，该BO为丁氧基，m、n、p及q分别表示平均加成摩尔数，m及p各自独立地表示3至100，n表示0至(0.2×m)，q表示0至(0.2×p)，x1、x2、y1、y2及y3各自独立地表示1或2；

消泡剂(C)，由下式(III)所示：

式(III)中，r表示1或2，R表示式(IV)所示的官能团，

式(IV)中，s表示3至7；

水(D)；及

水溶性树脂(E)；

该非离子型表面活性剂(B)与该消泡剂(C)的用量比例(B/C)范围为3至25，且基于该碱性化合物(A)的总量为100重量份，该水溶性树脂(E)的使用量范围为1至15重量份。

2.根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，该式(I)及式(II)中，该EO与该AO为嵌段排列或随机排列。

3.根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，该式(I)及式(II)中，该AO为PO与BO的组合，且PO与BO为嵌段排列或随机排列。

4.根据权利要求1所述的洗净液组成物，其特征在于，基于该碱性化合物(A)为100重量份，该非离子型表面活性剂(B)的使用量范围为10至100重量份，该消泡剂(C)的使用量范围为1至15重量份，该水(D)的使用量范围为200至2000重量份。

5.一种清洗基板的方法，其特征在于其包含：

使用权利要求1至4中任一项所述的洗净液组成物清洗基板。