CN104267756A - 一种水平超长精密装备微振动控制*** - Google Patents
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104699114A (zh) * | 2015-02-17 | 2015-06-10 | 中国科学院国家天文台 | 一种带舱外微调机构的真空光学实验*** |
CN105334883A (zh) * | 2015-10-21 | 2016-02-17 | 中国电子工程设计院 | 一种振动控制***中的智能前馈信号分析方法 |
CN106402261A (zh) * | 2016-08-08 | 2017-02-15 | 中国电子工程设计院 | 一种穿透式微振动空气弹簧隔振*** |
CN108380248A (zh) * | 2018-03-02 | 2018-08-10 | 中科院南京天文仪器有限公司 | 一种用于深冷真空环境模拟***的温度阻隔装置 |
CN109932150A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-06-25 | 中国机械工业集团有限公司 | 一种高耸悬浮检测结构微振动控制装置 |
CN110031027A (zh) * | 2019-03-22 | 2019-07-19 | 中国科学院微电子研究所 | 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置 |
CN110925356A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-03-27 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种调压减振致稳光学平台装置 |
CN111609079A (zh) * | 2020-05-28 | 2020-09-01 | 中国电子工程设计院有限公司 | 一种隔振密封*** |
CN113565920A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-10-29 | 兰州理工大学 | 一种减弱振动对精密设备影响的隔振***及确定方法 |
CN113981409A (zh) * | 2021-12-27 | 2022-01-28 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 无负压应力真空光学气密舱 |
WO2022262006A1 (zh) * | 2021-06-18 | 2022-12-22 | 中国电子工程设计院有限公司 | 一体化控制的大型精密装备隔振*** |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5100096A (en) * | 1987-04-17 | 1992-03-31 | Bridgestone Corporation | Vibration free container for transportation |
JP2005127460A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 免震除振床システム |
JP2008121328A (ja) * | 2006-11-14 | 2008-05-29 | Shimizu Corp | 3次元免震装置 |
CN101581347A (zh) * | 2009-06-23 | 2009-11-18 | 上海微电子装备有限公司 | 减振支撑装置及采用该减振支撑装置的光刻机 |
CN101701615A (zh) * | 2009-11-20 | 2010-05-05 | 南京航空航天大学 | 波纹管式混合介质隔振减振器 |
US20110056582A1 (en) * | 2007-11-02 | 2011-03-10 | Witzenmann Gmbh | Exhaust-gas conduction component |
CN102207240A (zh) * | 2010-03-31 | 2011-10-05 | 上海微电子装备有限公司 | 具有减振装置的精密运动平台 |
-
2014
- 2014-09-19 CN CN201410479654.7A patent/CN104267756B/zh active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5100096A (en) * | 1987-04-17 | 1992-03-31 | Bridgestone Corporation | Vibration free container for transportation |
JP2005127460A (ja) * | 2003-10-27 | 2005-05-19 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 免震除振床システム |
JP2008121328A (ja) * | 2006-11-14 | 2008-05-29 | Shimizu Corp | 3次元免震装置 |
US20110056582A1 (en) * | 2007-11-02 | 2011-03-10 | Witzenmann Gmbh | Exhaust-gas conduction component |
CN101581347A (zh) * | 2009-06-23 | 2009-11-18 | 上海微电子装备有限公司 | 减振支撑装置及采用该减振支撑装置的光刻机 |
CN101701615A (zh) * | 2009-11-20 | 2010-05-05 | 南京航空航天大学 | 波纹管式混合介质隔振减振器 |
CN102207240A (zh) * | 2010-03-31 | 2011-10-05 | 上海微电子装备有限公司 | 具有减振装置的精密运动平台 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
俞渭雄等: "IC工厂的防微振设计", 《洁净与空调技术CC&AC》 * |
廖飞红等: "精密主动减振器技术研究现状与进展", 《机械科学与技术》 * |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104699114B (zh) * | 2015-02-17 | 2017-07-14 | 中国科学院国家天文台 | 一种带舱外微调机构的真空光学实验*** |
CN104699114A (zh) * | 2015-02-17 | 2015-06-10 | 中国科学院国家天文台 | 一种带舱外微调机构的真空光学实验*** |
CN105334883A (zh) * | 2015-10-21 | 2016-02-17 | 中国电子工程设计院 | 一种振动控制***中的智能前馈信号分析方法 |
CN106402261A (zh) * | 2016-08-08 | 2017-02-15 | 中国电子工程设计院 | 一种穿透式微振动空气弹簧隔振*** |
CN108380248A (zh) * | 2018-03-02 | 2018-08-10 | 中科院南京天文仪器有限公司 | 一种用于深冷真空环境模拟***的温度阻隔装置 |
CN108380248B (zh) * | 2018-03-02 | 2020-12-01 | 中科院南京天文仪器有限公司 | 一种用于深冷真空环境模拟***的温度阻隔装置 |
CN109932150A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-06-25 | 中国机械工业集团有限公司 | 一种高耸悬浮检测结构微振动控制装置 |
CN109932150B (zh) * | 2018-12-28 | 2020-11-10 | 中国机械工业集团有限公司 | 一种高耸悬浮检测结构微振动控制装置 |
CN110031027B (zh) * | 2019-03-22 | 2021-07-13 | 中国科学院微电子研究所 | 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置 |
CN110031027A (zh) * | 2019-03-22 | 2019-07-19 | 中国科学院微电子研究所 | 一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置 |
CN110925356A (zh) * | 2019-12-12 | 2020-03-27 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种调压减振致稳光学平台装置 |
CN111609079A (zh) * | 2020-05-28 | 2020-09-01 | 中国电子工程设计院有限公司 | 一种隔振密封*** |
CN111609079B (zh) * | 2020-05-28 | 2022-07-12 | 中国电子工程设计院有限公司 | 一种隔振密封*** |
WO2022262006A1 (zh) * | 2021-06-18 | 2022-12-22 | 中国电子工程设计院有限公司 | 一体化控制的大型精密装备隔振*** |
CN113565920A (zh) * | 2021-07-26 | 2021-10-29 | 兰州理工大学 | 一种减弱振动对精密设备影响的隔振***及确定方法 |
CN113981409A (zh) * | 2021-12-27 | 2022-01-28 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 无负压应力真空光学气密舱 |
CN113981409B (zh) * | 2021-12-27 | 2022-03-15 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 无负压应力真空光学气密舱 |
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Publication number | Publication date |
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CN104267756B (zh) | 2017-03-22 |
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