CN104259869B - 一种双层双相反应式线性精密调整滑台 - Google Patents
一种双层双相反应式线性精密调整滑台 Download PDFInfo
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Abstract
一种双层双相反应式线性精密调整滑台,包括:反相定板、直线滑轨、正相定板和动板;反相定板和正相定板为硅钢片制成的齿形板,且分别被数个线圈缠绕,所述线圈包括:A相线圈和B相线圈,同相线圈在反相定板和正相定板上对应的N极、S极的极性相反,同相线圈齿形对齐,且任一线圈与其相邻线圈的距离分别为3/2齿距和1/2齿距;动板设置在反相定板和正相定板的中间,其下方设有直线滑轨;动板与直线滑轨组成移动副;本发明可实现滑台轴向的高精密调整,控制方式简单、外形紧凑。
Description
技术领域
本发明涉及一种线性精密调整滑台,尤其涉及一种双层双相反应式线性精密调整滑台。
背景技术
如今直线调整机构多采用的是丝杠螺母机构,电机驱动丝杠旋转,螺母将旋转运动转化为直线运动。由于梯形丝杠的间隙造成了回程误差,为了解决回程误差,诞生了滚珠丝杠。虽然滚珠丝杠可以解决回程误差的问题,但是当设备使用过一定时间后,滚珠丝杠同样会产生间隙,从而影响调整精度;此外由于滚珠丝杠工艺复杂,使用中需要配合体积相对庞大的电机,不适合用于小型精密滑台。
发明内容
为了解决上述问题,本发明提供了一种双层双相反应式线性精密调整滑台,提高了设备的空间使用效率,不存在回程误差,解决了小体积高精密滑台的驱动问题。
为了实现上述目的,本发明采用的技术方案如下:
一种双层双相反应式线性精密调整滑台,包括:反相定板、直线滑轨、正相定板和动板;反相定板和正相定板为硅钢片制成的齿形板,且分别被数个线圈缠绕,所述线圈包括:A相线圈和B相线圈,同相线圈在反相定板和正相定板上对应的N极、S极的极性相反,同相线圈齿形对齐,且任一线圈与其相邻线圈的距离分别为3/2齿距和1/2齿距;动板设置在反相定板和正相定板的中间,其下方设有直线滑轨;动板与直线滑轨组成移动副;
所述的动板是由齿形软磁材料制成,且齿距与反相定板和正相定板的齿距相同;
本发明的双层双相反应式线性精密调整滑台,其工作流程为:
a、对反相定板和正相定板上的A相绕组通电,在电磁力作用下,动板上的齿与A相绕组上的齿对齐;
b、对反相定板和正相定板上的B相向绕组通电,受电磁力作用下,动板上的齿被牵引至与B相绕组上的齿对其的位置,此时动板向前移动了1/2齿距;
c、重复a、b步骤实现连续运动。
如要改变运动方向,交换AB相的通电顺序即可。
本发明的有益效果在于:可实现滑台轴向的高精密调整,控制方式简单、外形紧凑;解决了小体积高精密滑台的驱动问题,利用电磁驱动原理,无需传统调整滑台的电机和丝杠,提高了设备的空间使用率;由于不使用丝杠螺母传动结构,故不存在回程误差。
附图说明
本发明共有附图1幅。
图1为本发明的结构示意图。
图中序号说明:1、反相定板,2、直线滑轨,3、正相定板,4、动板。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明:
一种双层双相反应式线性精密调整滑台,包括:反相定板1、直线滑轨2、正相定板3和动板4;反相定板1和正相定板3为硅钢片制成的齿形板,且分别被数个线圈缠绕,所述线圈包括:A相线圈和B相线圈,同相线圈在反相定板1和正相定板3上对应的N极、S极的极性相反,同相线圈齿形对齐,且任一线圈与其相邻线圈的距离分别为3/2齿距和1/2齿距(所述的齿距在附图中用“d”表示);动板4设置在反相定板1和正相定板3的中间,其下方设有直线滑轨2;动板4与直线滑轨3组成移动副;
所述的动板4是由齿形软磁材料制成,且齿距与反相定板1和正相定板3的齿距相同;
一种双层双相反应式线性精密调整滑台,其工作流程为:
a、对反相定板1和正相定板3上的A相绕组通电,在电磁力作用下,动板4上的齿与A相绕组上的齿对齐;
b、对反相定板1和正相定板3上的B相向绕组通电,受电磁力作用下,动板4上的齿被牵引至与B相绕组上的齿对其的位置,此时动板4向前移动了1/2d;
c、重复a、b步骤实现连续运动。
本实施例采用齿距为0.2mm的齿形硅钢片(为普通精细度,高精度的齿形硅钢片齿距可以达到0.1mm以下),若采用两相步进电机驱动器,即通电相续为A-B-A-B-A-B……,定位精度为0.1mm;若可采用具有细分算法的驱动器,实现32、64、128、256精度细分,可以实现更高的运动精度。
如要改变运动方向,交换AB相的通电顺序即可。采用两相步进电机驱动器,典型驱动脉冲频率为800Hz,等效运动速度为80mm/s,适合短行程,需要精密调整的场合使用,如相机垂直方向的物距调整。
Claims (1)
1.一种双层双相反应式线性精密调整滑台的工作方法,其特征在于,包括如下步骤:
a、对反相定板(1)和正相定板(3)上的A相绕组通电,在电磁力作用下,动板(4)上的齿与A相绕组上的齿对齐;
b、对反相定板(1)和正相定板(3)上的B相向绕组通电,受电磁力作用下,动板(4)上的齿被牵引至与B相绕组上的齿对齐的位置,此时动板(4)向前移动了1/2齿距;
c、重复a、b步骤实现连续运动;
如要改变运动方向,交换AB相的通电顺序即可;
上述方法还包括:反相定板(1)、直线滑轨(2)、正相定板(3)和动板(4);反相定板(1)和正相定板(3)为硅钢片制成的齿形板,且分别被数个线圈缠绕,所述线圈包括:A相线圈和B相线圈,同相线圈在反相定板(1)和正相定板(3)上对应的N极、S极的极性相反,同相线圈齿形对齐,且任一线圈与其相邻线圈的距离分别为3/2齿距和1/2齿距;动板(4)设置在反相定板(1)和正相定板(3)的中间,其下方设有直线滑轨(2);动板(4)与直线滑轨(2)组成移动副;所述的动板(4)是由齿形软磁材料制成,且齿距与反相定板(1)和正相定板(3)的齿距相同;所述齿距为0.2mm。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0905869A2 (en) * | 1997-09-24 | 1999-03-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor mechanism for exposure apparatus, and device manufacturing method using the same |
US6037680A (en) * | 1995-10-09 | 2000-03-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage apparatus and linear motor, and exposure apparatus and device production method using the stage apparatus |
CN1930765A (zh) * | 2004-03-19 | 2007-03-14 | 株式会社安川电机 | 移动磁铁型线性滑台 |
CN1961470A (zh) * | 2004-06-11 | 2007-05-09 | 株式会社安川电机 | 动磁铁型线性滑台 |
CN1965460A (zh) * | 2004-05-14 | 2007-05-16 | 株式会社安川电机 | 动磁铁型线性滑台 |
CN101931307A (zh) * | 2009-06-19 | 2010-12-29 | 株式会社安川电机 | 直线电动机的电枢以及直线电动机 |
CN102195437A (zh) * | 2010-03-11 | 2011-09-21 | 株式会社安川电机 | 直线电动机以及工作台进给装置 |
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2014
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6037680A (en) * | 1995-10-09 | 2000-03-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Stage apparatus and linear motor, and exposure apparatus and device production method using the stage apparatus |
EP0905869A2 (en) * | 1997-09-24 | 1999-03-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Linear motor mechanism for exposure apparatus, and device manufacturing method using the same |
CN1930765A (zh) * | 2004-03-19 | 2007-03-14 | 株式会社安川电机 | 移动磁铁型线性滑台 |
CN1965460A (zh) * | 2004-05-14 | 2007-05-16 | 株式会社安川电机 | 动磁铁型线性滑台 |
CN1961470A (zh) * | 2004-06-11 | 2007-05-09 | 株式会社安川电机 | 动磁铁型线性滑台 |
CN101931307A (zh) * | 2009-06-19 | 2010-12-29 | 株式会社安川电机 | 直线电动机的电枢以及直线电动机 |
CN102195437A (zh) * | 2010-03-11 | 2011-09-21 | 株式会社安川电机 | 直线电动机以及工作台进给装置 |
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