CN104167496B - 倒置式顶发射器件及其制备方法 - Google Patents

倒置式顶发射器件及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104167496B
CN104167496B CN201410378135.1A CN201410378135A CN104167496B CN 104167496 B CN104167496 B CN 104167496B CN 201410378135 A CN201410378135 A CN 201410378135A CN 104167496 B CN104167496 B CN 104167496B
Authority
CN
China
Prior art keywords
layer
ito
thickness
emitting device
type top
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201410378135.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104167496A (zh
Inventor
李艳虎
林信志
张斌
李贵芳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd
Original Assignee
EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd filed Critical EverDisplay Optronics Shanghai Co Ltd
Priority to CN201410378135.1A priority Critical patent/CN104167496B/zh
Priority to JP2014191522A priority patent/JP5994146B2/ja
Priority to TW103132365A priority patent/TW201607093A/zh
Priority to US14/494,061 priority patent/US9214645B1/en
Publication of CN104167496A publication Critical patent/CN104167496A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104167496B publication Critical patent/CN104167496B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/805Electrodes
    • H10K50/82Cathodes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01DCOMPOUNDS OF ALKALI METALS, i.e. LITHIUM, SODIUM, POTASSIUM, RUBIDIUM, CAESIUM, OR FRANCIUM
    • C01D7/00Carbonates of sodium, potassium or alkali metals in general
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/805Electrodes
    • H10K50/81Anodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/60Organic compounds having low molecular weight
    • H10K85/649Aromatic compounds comprising a hetero atom
    • H10K85/657Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons
    • H10K85/6572Polycyclic condensed heteroaromatic hydrocarbons comprising only nitrogen in the heteroaromatic polycondensed ring system, e.g. phenanthroline or carbazole
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2101/00Properties of the organic materials covered by group H10K85/00
    • H10K2101/10Triplet emission
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/10Transparent electrodes, e.g. using graphene
    • H10K2102/101Transparent electrodes, e.g. using graphene comprising transparent conductive oxides [TCO]
    • H10K2102/103Transparent electrodes, e.g. using graphene comprising transparent conductive oxides [TCO] comprising indium oxides, e.g. ITO
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/301Details of OLEDs
    • H10K2102/302Details of OLEDs of OLED structures
    • H10K2102/3023Direction of light emission
    • H10K2102/3026Top emission
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/301Details of OLEDs
    • H10K2102/321Inverted OLED, i.e. having cathode between substrate and anode
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K2102/00Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
    • H10K2102/301Details of OLEDs
    • H10K2102/351Thickness
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/11OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/14Carrier transporting layers
    • H10K50/15Hole transporting layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/14Carrier transporting layers
    • H10K50/16Electron transporting layers
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/60Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/30Coordination compounds
    • H10K85/341Transition metal complexes, e.g. Ru(II)polypyridine complexes
    • H10K85/342Transition metal complexes, e.g. Ru(II)polypyridine complexes comprising iridium
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/60Organic compounds having low molecular weight
    • H10K85/631Amine compounds having at least two aryl rest on at least one amine-nitrogen atom, e.g. triphenylamine
    • H10K85/633Amine compounds having at least two aryl rest on at least one amine-nitrogen atom, e.g. triphenylamine comprising polycyclic condensed aromatic hydrocarbons as substituents on the nitrogen atom

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

本发明提供了一种倒置式顶发射器件,包括依次层叠的ITO/Ag/ITO基板、阴极、电子注入层、电子传输层、发光层、空穴传输层以及阳极,其中所述阴极的材料为碳酸铯。本发明所提供的倒置式顶发射器件及其制备方法,在现有ITO/Ag/ITO/HTL/EML/ETL/Mg:Ag结构的基础上,把器件结构改为:ITO/Ag/ITO/Cs2CO3/ETL/EML/HTL/MoO3/Ag,这样避免使用了低功函数金属Mg,在这种情况下,即便出现封装不理想的情况的,也可以保证器件不易受水氧氧化,从而保证获得较理想的器件寿命。

Description

倒置式顶发射器件及其制备方法
技术领域
本发明属于有机电致发光器件(OLED)领域,具体涉及一种倒置式顶发射器件及其制备方法。
背景技术
最近几年,OLED的发展得到科研界和工业界的广泛关注,OLED显示屏已经步入人们的生活,但是它的寿命依然是存在的一个重要问题,如今的OLED器件一般采用高功函数的金属为阳极,低功函数的金属为阴极,但是低功函数的金属存在容易被氧化的问题,并且在封装中,一般封装面在低功函数处,器件密封显得尤为重要,即便如此,OLED器件的寿命依然很低。
有机发光二极管如今得到广泛的发展,在现行的工业化生产器件结构中,如图1所示,一般采用ITO/Ag/ITO为阳极,以低功函数的金属Mg和高功函数且化学性能比较稳定的金属Ag共蒸形成的Mg:Ag合金作为阴极的顶发射器件结构,然后再进行封装,其中ITO/Ag/ITO基板由前面Array段制程完成,然后进入OLED蒸镀段进行空穴注入层,空穴传输层,发光层,电子传输层,电子注入层等修饰层的蒸镀,最后进行阴极Mg:Ag合金的蒸镀,然后进行器件的封装。由于Mg为低功函数活泼金属,容易与水氧发生反应从而损坏器件阴极,使得OLED器件的使用寿命低下。
发明内容
本发明的目的在于提供一种倒置式顶发射器件及其制备方法,通过把器件结构改为:ITO/Ag/ITO/Cs2CO3/ETL/EML/HTL/MoO3/Ag,避免使用易氧化的Mg,从而解决了OLED器件的使用寿命低下的问题。
本发明所要解决的技术问题采用以下技术方案来实现:
一种倒置式顶发射器件,包括依次层叠的ITO/Ag/ITO基板、阴极层、电子传输层、发光层、空穴传输层以及阳极层,其中所述阴极的材料为碳酸铯。
优选地,所述阴极层中还掺杂碱金属盐,所述碱金属盐包括氟化铯、叠氮铯或者氟化锂。
优选地,碳酸铯的厚度为1nm至5nm。
优选地,所述电子传输层所用材料为1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯;所述发光层所用材料为:4,4'-N,N'-二咔唑联苯掺杂Ir(ppy)3;其中,Ir(ppy)3的掺杂比例为2%;所述空穴传输层所用材料为:N,N′-二(1-萘基)-N,N′-二苯基-1,1′-联苯-4-4′-二胺。
优选地,所述阳极层所用材料为:氧化钼/银。
优选地,所述电子传输层的厚度在30nm至35nm,所述发光层的厚度为35nm至40nm,所述空穴传输层的厚度为55nm至60nm,氧化钼的厚度在1nm至20nm,银的厚度为10nm至20nm。
一种倒置式顶发射器件的制备方法,包括以下步骤:(1)制作ITO/Ag/ITO基板;(2)在ITO/Ag/ITO基板上以碳酸铯为材料制作阴极层;(3)在所述阴极层上依序形成电子传输层、发光层、以及空穴传输层;(4)在所述空穴传输层上形成阳极层。
优选地,在步骤(1)中,所述ITO/Ag/ITO基板先用洗洁精、去离子水超声清洗,然后干燥处理后备用;在步骤(2)中,所述碳酸铯以蒸镀的方式蒸镀在所述备用的ITO/Ag/ITO基板上,所述碳酸铯的厚度为1nm至5nm;所述阴极层中还掺杂碱金属盐,所述碱金属盐包括氟化铯、叠氮铯或者氟化锂。
优选地,,在步骤(3)中,所述电子传输层的材料为:1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯;所述电子传输层的厚度为30nm至35nm;所述发光层材料为:4,4'-N,N'-二咔唑联苯掺杂Ir(ppy)3,其中Ir(ppy)3的掺杂比例为2%;所述发光层的厚度为35nm至40nm;所述空穴传输层材料为:N,N′-二(1-萘基)-N,N′-二苯基-1,1′-联苯-4-4′-二胺;所述空穴传输层的厚度为55nm至60nm。
优选地,在步骤(4)中,所述阳极层材料为氧化钼/银;其中,氧化钼的厚度在1nm至20nm,银的厚度为10nm至20nm。
本发明所提供的倒置式顶发射器件及其制备方法,在现有ITO/Ag/ITO/HTL/EML/ETL/Mg:Ag结构的基础上,把器件结构改为:ITO/Ag/ITO/Cs2CO3/ETL/EML/HTL/MoO3/Ag,这样避免使用了低功函数金属Mg,在这种情况下,即便出现封装不理想的情况的,也可以保证器件不易受水氧氧化,从而保证获得较理想的器件寿命。
附图说明
图1为现有技术顶发射器件的结构示意图;
图2为本发明倒置式顶发射器件的结构示意图;以及
图3为本发明倒置式顶发射器件的制备流程图。
具体实施方式
为利于对本发明的结构的了解,以下结合附图及实施例进行说明。
图2为本发明倒置式顶发射器件的结构示意图。
结合图2所示,一种倒置式顶发射器件,包括依次层叠的ITO/Ag/ITO基板10、阴极层20、电子传输层30、发光层40、空穴传输层50以及阳极60,其中所述阴极层20的材料为碳酸铯。
其中,ITO/Ag/ITO基板10为多层复合薄膜结构,利用透明导电ITO和高反射、高电导的金属Ag多层复合而成,该ITO/Ag/ITO基板10顺次包括内层ITO薄膜、银膜以及外层ITO薄膜,由于银易氧化,将银膜夹持于两层ITO薄膜之间,该银膜的一面附着在内层ITO薄膜上,并由外层ITO薄膜充当银膜的另一面的保护层,所以能够避免氧化的发生。
阴极层20采用的是碳酸铯(Cs2CO3),由于碳酸铯的电子注入原理为在阴极处形成偶极层,因此能够实现较好的电子注入,同样,碳酸铯蒸镀在ITO上,从而降低ITO的功函数而获得理想的电子注入性能,且这里我们利用碳酸铯蒸镀在ITO/Ag/ITO基板10上作为器件的阴极层20,这样可以避免使用低功函数金属Mg,从而减少水氧的侵蚀,提高使用寿命。在本实施例中,碳酸铯的厚度为1nm至5nm,优选厚度为3nm。
进一步地,阴极层20中还掺杂碱金属盐,以供作为阴极层的电子注入材料,该碱金属盐选自氟化铯(CsF)、叠氮铯(CsN3)或者氟化锂(LiF),本实施例优选为LiF;电子注入层的厚度为0.5nm至10nm,优选厚度为1nm;
电子传输层30所用材料英文缩写为TPBI,其全称为:1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯。
发光层所用材料40为:4,4'-N,N'-二咔唑联苯(CBP)掺杂Ir(ppy)3;其中,Ir(ppy)3的掺杂比例为2%。
本实施例中,Ir(ppy)3为一种磷光配合物,其中文名称为:磷光染料三(2-苯基吡啶)铱,具体为一种发光性能好的发光材料。
空穴传输层50所用材料为:
N,N′-二(1-萘基)-N,N′-二苯基-1,1′-联苯-4-4′-二胺。
阳极60所用材料为:MoO3/Ag,该材料中文名称为氧化钼/银。具体为一种复合薄膜层:在氧化钼薄膜上附着一层银膜。
本实施例中,电子传输层的厚度在30nm至35nm,所述发光层的厚度为35nm至40nm,所述空穴传输层的厚度为55nm至60nm,MoO3的厚度在1nm至20nm,银的厚度为10nm至20nm。作为一最佳实施例,优选电子传输层30的厚度为30nm,发光层40的厚度为40nm,空穴传输层50的厚度为60nm,MoO3的厚度为10nm,Ag的厚度为15nm。
图3为本发明倒置式顶发射器件的制备流程图。
如图3所示,上述倒置式顶发射器件的制备方法,包括如下步骤:
S1、制作ITO/Ag/ITO基板;
本实施例中,优选用洗洁精、先去离子水超声清洗ITO/Ag/ITO基板,然后干燥处理后备用。
S2、在ITO/Ag/ITO基板上以碳酸铯为材料制作阴极层;
本实施例中,以蒸镀的方式将碳酸铯蒸镀在ITO/Ag/ITO基板上,并掺杂CsF,LiF碱金属盐作为电子注入材料,所述碳酸铯的厚度为1nm至5nm,进一步地,优选碳酸铯厚度为5nm。
进一步地,阴极层中还掺杂碱金属盐,以供作为阴极层的电子注入材料,该碱金属盐选自氟化铯(CsF)、叠氮铯(CsN3)或者氟化锂(LiF),本实施例优选为LiF;电子注入层的厚度为0.5nm至10nm,优选厚度为1nm;
S3、在所述阴极层上依序形成电子传输层、发光层、以及空穴传输层;
具体地,电子传输层、发光层、以及空穴传输层以蒸镀的方式层叠,其中电子传输层材料为:1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯;所述电子传输层的厚度为30nm至35nm;
发光层材料为:4,4'-N,N'-二咔唑联苯掺杂Ir(ppy)3,其中Ir(ppy)3的掺杂比例为2%;所述发光层的厚度为35nm至40nm;
空穴传输层材料为:N,N′-二(1-萘基)-N,N′-二苯基-1,1′-联苯-4-4′-二胺;所述空穴传输层的厚度为55nm至60nm。
S4在所述空穴传输层上形成阳极层。
本实施例中,蒸镀MoO3/Ag作为阳极,其中,MoO3的厚度在1-20 nm之间,Ag的厚度为10-20nm左右;
下面结合图1和图2,对本发明的较佳实施例作进一步详细说明。
如图1和图2所示:分别为现有技术所用器件结构和改进后的器件结构。在这两种器件结构中,其中空穴传输材料HTL为N,N′-二(1-萘基)-N,N′-二苯基-1,1′-联苯-4-4′-二胺,发光层为4,4'-N,N'-二咔唑联苯(CBP)掺杂Ir(ppy)3,其中客体的掺杂比例为2%,电子传输层为1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯。由于我们主要设计的是器件的阴阳极结构,因此,除阴阳极外的其他层的材料选取不是唯一的,现有技术中常用的材料都可以进行置换。在倒置的器件结构中,Cs2CO3的厚度在1-5nm左右,此处优选Cs2CO3的厚度为3nm,Cs2CO3是一种有效的电子注入材料,广泛应用在正装OLED器件中,由于其电子注入原理为在阴极处形成偶极层,因此能够实现较好的电子注入,同样,它也可以蒸镀在ITO上,从而降低ITO的功函数而获得理想的电子注入性能,因此这里我们以ITO/Ag/ITO/Cs2CO3作为器件的阴极,这样可以避免使用低功函数金属Mg,从而减少水氧的侵蚀,提高寿命,在两种器件结构中,ETL的厚度为30nm,EML的厚度为40nm,HTL的厚度为60nm,MoO3的厚度优选为10nm,Ag的厚度优选为15nm。进一步地,出光面选为MoO3/Ag面,因为MoO3在可见光区域吸收比较少,因此不会对出光率造成较大的影响。
本发明所提供的倒置式顶发射器件及其制备方法,在现有ITO/Ag/ITO/HTL/EML/ETL/Mg:Ag结构的基础上,把器件结构改为:ITO/Ag/ITO/Cs2CO3/ETL/EML/HTL/MoO3/Ag,这样避免使用了低功函数金属Mg,在这种情况下,即便出现封装不理想的情况的,也可以保证器件不易受水氧氧化,从而保证获得较理想的器件寿命。
以上结合附图实施例对本发明进行了详细说明,本领域中普通技术人员可根据上述说明对本发明做出种种变化例。因而,实施例中的某些细节不应构成对本发明的限定,本发明将以所附权利要求书界定的范围作为保护范围。

Claims (7)

1.一种倒置式顶发射器件,其特征在于,包括依次层叠的ITO/Ag/ITO基板、阴极层、电子传输层、发光层、空穴传输层以及阳极层,其中所述阴极层的材料为碳酸铯,碳酸铯的厚度为1nm至5nm,所述阴极层中还掺杂碱金属盐,所述碱金属盐包括氟化铯、叠氮铯或者氟化锂,所述阳极层材料为氧化钼层及银层。
2.根据权利要求1所述的倒置式顶发射器件,其特征在于,所述电子传输层所用材料为1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯;
所述发光层所用材料为:4,4'-N,N'-二咔唑联苯掺杂Ir(ppy)3;
其中,Ir(ppy)3的掺杂比例为2%;
所述空穴传输层所用材料为:
N,N′-二(1-萘基)-N,N′-二苯基-1,1′-联苯-4-4′-二胺。
3.根据权利要求1所述的倒置式顶发射器件,其特征在于,所述电子传输层的厚度在30nm至35nm,所述发光层的厚度为35nm至40nm,所述空穴传输层的厚度为55nm至60nm,氧化钼的厚度在1nm至20nm,银的厚度为10nm至20nm。
4.一种倒置式顶发射器件的制备方法,包括以下步骤:
(1)制作ITO/Ag/ITO基板;
(2)在ITO/Ag/ITO基板上以碳酸铯为材料制作阴极层,所述碳酸铯的厚度为1nm至5nm;所述阴极层中还掺杂碱金属盐,所述碱金属盐包括氟化铯、叠氮铯或者氟化锂;
(3)在所述阴极层上依序形成电子传输层、发光层、以及空穴传输层;
(4)在所述空穴传输层上形成阳极层,所述阳极层材料为氧化钼层及银层。
5.根据权利要求4所述倒置式顶发射器件的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,所述ITO/Ag/ITO基板先用洗洁精、去离子水超声清洗,然后干燥处理后备用;
在步骤(2)中,所述碳酸铯以蒸镀的方式蒸镀在所述备用的ITO/Ag/ITO基板上。
6.根据权利要求4所述倒置式顶发射器件的制备方法,其特征在于,在步骤(3)中,
所述电子传输层的材料为:
1,3,5-三(1-苯基-1H-苯并咪唑-2-基)苯;所述电子传输层的厚度为30nm至35nm;
所述发光层材料为:
4,4'-N,N'-二咔唑联苯掺杂Ir(ppy)3,其中Ir(ppy)3的掺杂比例为2%;所述发光层的厚度为35nm至40nm;
所述空穴传输层材料为:
N,N′-二(1-萘基)-N,N′-二苯基-1,1′-联苯-4-4′-二胺;所述空穴传输层的厚度为55nm至60nm。
7.根据权利要求5所述倒置式顶发射器件的制备方法,其特征在于,在步骤(4)中,所述氧化钼层的厚度在1nm至20nm,银层的厚度为10nm至20nm。
CN201410378135.1A 2014-08-01 2014-08-01 倒置式顶发射器件及其制备方法 Active CN104167496B (zh)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410378135.1A CN104167496B (zh) 2014-08-01 2014-08-01 倒置式顶发射器件及其制备方法
JP2014191522A JP5994146B2 (ja) 2014-08-01 2014-09-19 逆構造トップエミッション型デバイス及びその製造方法
TW103132365A TW201607093A (zh) 2014-08-01 2014-09-19 倒置式頂發射器件及其製備方法
US14/494,061 US9214645B1 (en) 2014-08-01 2014-09-23 Inverted top emitting device and method for producing same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410378135.1A CN104167496B (zh) 2014-08-01 2014-08-01 倒置式顶发射器件及其制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104167496A CN104167496A (zh) 2014-11-26
CN104167496B true CN104167496B (zh) 2018-02-23

Family

ID=51911231

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410378135.1A Active CN104167496B (zh) 2014-08-01 2014-08-01 倒置式顶发射器件及其制备方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9214645B1 (zh)
JP (1) JP5994146B2 (zh)
CN (1) CN104167496B (zh)
TW (1) TW201607093A (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105070845B (zh) * 2015-07-17 2017-12-26 京东方科技集团股份有限公司 一种有机电致发光器件及其制作方法、显示装置
KR102522667B1 (ko) 2016-06-13 2023-04-17 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR102387859B1 (ko) * 2016-09-30 2022-04-15 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20180066320A (ko) * 2016-12-07 2018-06-19 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
CN108777265A (zh) * 2018-06-13 2018-11-09 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种电极及其制备方法和有机电致发光器件
CN109659439B (zh) * 2018-11-26 2020-04-03 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种有机电致发光器件及其制备方法
CN112366039B (zh) * 2020-11-10 2022-02-01 安徽熙泰智能科技有限公司 一种自限制湿法刻蚀制备高精度银电极的方法
JP2022084143A (ja) * 2020-11-26 2022-06-07 株式会社ジャパンディスプレイ 表示装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102217025A (zh) * 2008-10-17 2011-10-12 盛敏赛思有限责任公司 透明的偏振光发射器件
CN102983285A (zh) * 2012-12-10 2013-03-20 南京邮电大学 一种高效率有机发光二极管及其制备方法
CN103165727A (zh) * 2013-03-15 2013-06-19 中国科学院半导体研究所 N型注入的红外至可见波长上转换装置及其制备方法
CN103165816A (zh) * 2011-12-14 2013-06-19 海洋王照明科技股份有限公司 一种倒置顶发射有机电致发光二极管及其制备方法
CN103804333A (zh) * 2012-11-01 2014-05-21 三星显示有限公司 杂环化合物以及包含该杂环化合物的有机发光装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2839829B2 (ja) * 1993-10-18 1998-12-16 株式会社東芝 透明導電膜、その形成方法および透明導電膜の加工方法
US7342356B2 (en) * 2004-09-23 2008-03-11 3M Innovative Properties Company Organic electroluminescent device having protective structure with boron oxide layer and inorganic barrier layer
JP4305425B2 (ja) * 2005-07-20 2009-07-29 セイコーエプソン株式会社 電子デバイスおよび電子機器
TW200935639A (en) * 2007-11-28 2009-08-16 Fuji Electric Holdings Organic EL device
WO2011013393A1 (ja) * 2009-07-29 2011-02-03 シャープ株式会社 有機エレクトロルミネセンス表示装置
KR101271827B1 (ko) * 2010-07-22 2013-06-07 포항공과대학교 산학협력단 탄소 박막 제조 방법
EP2787552A4 (en) * 2011-11-28 2015-07-29 Oceans King Lighting Science ELECTROLUMINESCENT POLYMERS DEVICE AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
CN104025332A (zh) * 2011-11-28 2014-09-03 海洋王照明科技股份有限公司 掺杂有机电致发光器件及其制备方法
CN103311446A (zh) * 2012-03-06 2013-09-18 海洋王照明科技股份有限公司 倒置顶发射有机电致发光器件及其制备方法
US20150027541A1 (en) * 2012-03-16 2015-01-29 Osram Opto Semiconductors Gmbh Electronic component with moisture barrier layer

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102217025A (zh) * 2008-10-17 2011-10-12 盛敏赛思有限责任公司 透明的偏振光发射器件
CN103165816A (zh) * 2011-12-14 2013-06-19 海洋王照明科技股份有限公司 一种倒置顶发射有机电致发光二极管及其制备方法
CN103804333A (zh) * 2012-11-01 2014-05-21 三星显示有限公司 杂环化合物以及包含该杂环化合物的有机发光装置
CN102983285A (zh) * 2012-12-10 2013-03-20 南京邮电大学 一种高效率有机发光二极管及其制备方法
CN103165727A (zh) * 2013-03-15 2013-06-19 中国科学院半导体研究所 N型注入的红外至可见波长上转换装置及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016035888A (ja) 2016-03-17
JP5994146B2 (ja) 2016-09-21
CN104167496A (zh) 2014-11-26
TW201607093A (zh) 2016-02-16
US9214645B1 (en) 2015-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104167496B (zh) 倒置式顶发射器件及其制备方法
TWI445445B (zh) 有機發光裝置及其製造方法
CN104701459B (zh) 一种有机发光二极管器件及显示面板、显示装置
WO2011010696A1 (ja) 有機エレクトロルミネッセント素子
US10164207B2 (en) Organic light-emitting device and method for manufacturing same
JP4364201B2 (ja) 有機エレクトロルミネッセンス素子
US11018314B2 (en) Organic electroluminescent diode and manufacturing method thereof, display panel and display device
TW201345314A (zh) 有機發光二極體及包含其之顯示裝置
WO2015000242A1 (zh) Oled器件及其制造方法、显示装置
KR20090132004A (ko) 유기 발광 표시장치
KR20100073417A (ko) 유기전계발광소자
KR100844788B1 (ko) 유기발광소자의 제조방법 및 이에 의하여 제조된유기발광소자
US20180166646A1 (en) Organic light-emitting device and display device
JP6280234B2 (ja) 有機電界発光素子及びその制作方法
CN102916132A (zh) 一种白光有机电致发光器件及其制备方法
KR101973207B1 (ko) 금속 산화물이 함유된 양극 및 상기 양극을 포함하는 유기발광소자
TWI601445B (zh) 有機電激發光元件
WO2022062156A1 (zh) Oled器件及其制备方法、显示基板及显示装置
CN103165825B (zh) 有机电致发光器件及其制备方法
WO2015192591A1 (zh) 一种有机电致发光器件、有机电致发光显示装置
CN104218156A (zh) 一种有机电致发光器件及其制备方法
CN104051653A (zh) 倒置型有机电致发光器件及其制备方法
TW201129241A (en) System for displaying images
CN108281561A (zh) 一种电极及应用其的有机电致发光器件
US8790937B2 (en) Zinc oxide-containing transparent conductive electrode

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: 201506, No. nine, No. 1568, Jinshan Industrial Zone, Shanghai, Jinshan District

Patentee after: Shanghai Hehui optoelectronic Co., Ltd

Address before: 201508, building two, building 100, 1, Jinshan Industrial Road, 208, Shanghai, Jinshan District

Patentee before: EverDisplay Optronics (Shanghai) Ltd.