CN104142413A

CN104142413A - 探针模块

Info

Publication number: CN104142413A
Application number: CN201310165190.8A
Authority: CN
Inventors: 张嘉泰
Original assignee: MJC Probe Inc
Current assignee: MJC Probe Inc; MPI Corp
Priority date: 2013-05-07
Filing date: 2013-05-07
Publication date: 2014-11-12
Anticipated expiration: 2033-05-07
Also published as: CN104142413B

Abstract

一种探针模块包括一基材、一设置在该基材上的固持件以及沿一第一方向排列的至少一探针列。每一探针列在一第二方向上具有多个探针，分别具有一接触段以及一端连接于该基材上而另一端与该接触段连接的一悬臂段，该接触段与该悬臂段具有一夹角，每一探针列的探针的悬臂段设置于该固持件上而由一待测物侧向一测试机侧形成多层针层，该些探针形成至少两子集合，每一子集合内包含至少两探针，分别设置在至少两针层，同一针层的探针具有相等接触段长度，不同针层的探针接触段长度不相等，不同子集合在同一针层的探针夹角不相等，该两子集合的该至少两探针是设置在相同的该至少两针层中。

Description

探针模块

技术领域

本发明为一探针结构，尤其是指一种具有角度变化的探针配置的探针模块。

背景技术

半导体芯片进行测试时，测试机必须通过一探针卡(probe card)接触待测物(device under test,DUT)，例如：芯片，并通过信号传输以及电性信号分析，以获得待测物的测试结果。探针卡通常包含若干个尺寸精密的探针相互排列而成，每一个探针通常会对应芯片上特定的电性接点，当探针接触待测物上的对应电性接点时，可以确实传递来自测试机的测试信号；同时，配合探针卡及测试机的控制与分析程序，达到量测待测物的电性特征的目的。

然而，随着电子元件越来越精密，其尺寸越做越小使得芯片的电性接点密度越来越高，因此探针的密度与层数也随的增加。请参阅图1A与1B所示，其分别为现有技术的探针模块所具有的多层探针结构示意图。在图1A中，芯片100上具有电性接点100a与100b，该探针模块具有第一探针列以及第二探针列。其中第一探针列具有多个探针(12-1,12-2)，而第二探针列也具有多个探针(12-3,12-4)，每一探针以端部12b与电性接点100a与100b接触。每一探针的悬臂段12d与接触段12e具有夹角，各探针夹角的关系如下，对于同一列的探针而言，探针夹角并不相同，如：第二探针列，探针12-3的夹角θ₁小于与探针12-4的夹角θ₂，而第一探针列，探针12-1的夹角θ₁小于探针12-2的夹角θ₂。此外，对于不同列且相对应的探针而言，其夹角相同，例如：第一列的探针12-1的夹角与第二列的探针12-3的夹角为θ₁；第一列的探针12-2的夹角与第二列的探针12-4的夹角为θ₂。另外，在第1B图中，每一个探针的夹角相同，对于每一列探针的接触段其长度不同。

发明内容

本发明提供一种探针模块，其具有至少一的探针列结构，每一探针列中设置多个探针组，且每一个探针组具有多个探针，通过每一探针列中的相邻探针组中具有相等接触段长度的探针所具有的夹角间具有一角度差的配置，以对具有高密度与小间距(pitch)电性接点分布的芯片进行电性检测。

一种探针模块，是用以将一测试机的测试信号传输至一待测物进行电性测试，并定义该测试机所在方向为高侧，该待测物所在方向为低侧，该探针模块包括：一基材；一固持件，设置在该基材上；以及至少一探针列，是沿一第一方向排列，每一探针列在一第二方向上具有多个探针组，每一探针组包括：多个探针，每一探针分别具有一接触段以及一悬臂段，该悬臂段的一端连接于该基材上而另一端与该接触段连接，该接触段与该悬臂段具有一夹角，每一探针列的探针的悬臂段设置于该固持件上而由低侧向高侧形成多层针层，该些探针形成至少两子集合，每一子集合内包含至少两探针，其是分别设置在至少两针层，同一针层的探针具有相等接触段长度，不同针层的探针接触段长度不相等，不同子集合在同一针层的探针夹角不相等，该两子集合的该至少两探针是设置在相同的该至少两针层中。

其中，其是具有至少三探针列，每一探针组的子集合具有2支探针分别设置在相邻的两针层。

其中，其是具有至少三探针列，每一探针组的子集合具有3支探针，分别设置在相邻的三针层。

在另一实施例中，本发明提供一种探针模块，是用以将一测试机的测试信号传输至一待测物进行电性测试，并定义该测试机所在方向为高侧，该待测物所在方向为低侧，该探针模块包括：一基材；一固持件，设置在该基材上；以及至少一探针列，沿一第一方向排列，每一探针列在一第二方向上具有多个探针组，每一探针组包括：多个探针，每一探针分别具有一接触段以及一悬臂段，该悬臂段的一端连接于该基材上而另一端与该接触段连接，该接触段与该悬臂段具有一夹角，每一探针列的探针的悬臂段设置于该固持件上而由低侧向高侧形成多层针层，该些探针形成至少两子集合，每一子集合内包含至少四探针，其是分别设置在至少四针层，该至少四层中所具有的四针层根据其探针所具有的接触段长度由低而高依序为一第一针层、一第二针层、一第三针层及一第四针层，同一针层的探针具有相等接触段长度，不同针层的探针接触段长度不相等，每一子集合内的探针以该第一针层、该第三针层、该第二针层及该第四针层顺序排列，该至少两子集合的该至少四探针是设置在相同的该四针层中，不同子集合在同一针层的探针夹角不相等。

其中，同一探针列中，每一探针组相邻的子集合，在同一针层中的两探针，两者的夹角角度差绝对值为大于等于2度。

其中，同一探针列中，每一探针组相邻的两针层中，其中靠近该低侧的针层中具有最大夹角的探针与靠近该高侧的针层的具有最小夹角的探针，两者的夹角角度差绝对值为大于等于1度。

其中，是具有相邻的二探针列，该二探针列使用的针层是不相同。

其中，是具有相邻的二探针列，该二探针列使用的针层是不相同，该相邻的二探针列中分别具有相邻的两高低针层中，该低针层具有最大夹角的探针与该高针层具有最小夹角的探针，两者的夹角差绝对值为大于等于1度。

其中，同一探针列中，每一探针组相邻子集合在同一针层的探针夹角沿该第二方向渐增。

其中，该夹角为该接触段的中心线与该悬臂段的中心线的夹角。

其中，该等长的接触段的误差范围是大于等于0小于等于1密耳。

其中，其第一方向与第二方向为两同平面且相互垂直的方向的组合，或者是同平面且为径向与弧向的组合。

其中，该待测物为液晶显示器驱动芯片。

附图说明

图1A与1B分别为现有技术的探针模块所具有的多层探针结构示意图。

图2为本发明的探针模块实施例侧视与局部剖面示意图。

图3A为图2中局部区域放大的立体示意图。

图3B为图3A中各探针接触段俯视示意图。

图3C其是为图3A中四个探针组210-240在图2中固持件的X方向上的剖面示意图。

图3D为探针的接触段长度误差示意图。

图3E为图3A中单一探针组在Y方向侧视示意图。

图3F为图3A中两探针组在Y方向侧视示意图。

图3G为相邻探针列错位关系示意图。

图4A为本发明的探针模块另一实施例示意图。

图4B其为图4A中各探针组在图2中固持件的X方向上的剖面示意图。

图5A为本发明的探针模块又一实施例示意图。

图5B其为图5A中各探针组在图2中固持件的X方向上的剖面示意图。

图6为本发明的探针模块布设另一实施例示意图。

附图标记说明：2-探针模块；20-基材；200-通孔；201-边缘；202-***结构；21～24、21a～23a、21b～22b-探针列；25a、25c、25e、25g-第一针层探针；25a’、25c’、25e’、25g’-第一针层探针；25b、25d、25f、25h-第二针层探针；25b’、25d’、25f’、25h’-第二针层探针；25i、25l、25o、25i’、25l’、25o’-第一针层探针；25j、25m、25p、25j’、25m’、25p’-第二针层探针；25k、25n、25q、25k’、25n’、25q’-第三针层探针；25r、25v、25r’、25v’-第一针层探针；25t、25x、25t’、25x’-第二针层探针；25s、25w、25s’、25w’-第三针层探针；25u、25y、25u’、25y’-第四针层探针；250-接触段；251-悬臂段；210～240-探针组；211～231-探针组；212～222-探针组；210a～210b、220a～220b、230a～230b、240a～240b-子集合；211a～211b、221a～221b、231a～231b-子集合；212a～212b、222a～222b-子集合；26-固持件；3-局部区域；4-测试机；9-待测芯片；90-电性接点；91-第一侧；92-第二侧；93-第三侧；94-第四侧；95-高侧；96-低侧。

具体实施方式

由于本发明是揭露一种探针模块，用于探针卡上，其中探针卡上的探针模块的相关使用原理与基本功能，已为相关技术领域具有通常知识者所能明了，故以下文中的说明，不再作完整描述。同时，以下文中所对照的图式，是表达与本发明特征有关的结构示意，并未亦不需要依据实际尺寸完整绘制，合先述明。

请参阅图2所示，该图为本发明的探针模块实施例侧视与局部剖面示意图。该探针模块2是用以将一测试机4的测试信号传输至一待测物（如图2所示的待测芯片9）进行电性测试。在以下实施例的说明中，是定义在第三方向Z轴的方向上，该测试机4所在方向为高侧95，该待测物所在方向为低侧96。该探针模块包括有一基材20以及多个探针列21～24。该基材20上具有一通孔200，该通孔200具有一边缘201，该基材20具有一***结构202。该四探针列21～24，其是分别固设于该通孔200的边缘201与该基材20的***结构202间的该基材20上。在本实施例中，为了强化固持探针列21～24，在该基材20上更具有固持件26，以提供固持探针列21～24。另外，要说明的是，固持件26以后的探针针端部分，会根据基材20所具有的电性接点布局做焊接，不一定会如图2所示的一致性的排列，因此探针尾端连接于基材20上的位置是根据实际需求而定，并不以图2所示的态样为限制。

请参阅图3A所示，该图是为图2中局部区域3放大的立体示意图。探针列21-24的探针与一待测芯片9上的电性接点90电性接触，以检测待测芯片9的电性特征，其中，对于同一列的电性接点而言，相邻的电性接点90的节距(pitch)d小于等于40μm。要说明的是，在一实施例中，该待测芯片是为液晶显示器驱动芯片(LCD driver IC)，但不以此为限制。在本实施例中，该多个探针列21-24沿一第一方向X由待测芯片9的第一侧91向待测芯片9的第二侧92依序排列，每一个探针列21-24在一第二方向Y上具有多个探针组，由该第二方向的待测芯片9第三侧93向待测芯片9第四侧94排列。例如:对于探针列21其在Y方向上有多个探针组210；探针列22其在Y方向上有多个探针组220；探针列23其在Y方向上有多个探针组230；以及探针列24其在Y方向上有多个探针组240。

每一探针组210、220、230与240具有多个探针，每一探针组210、220、230与240所具有的该些探针分成至少两子集合，本实施例中是各分为两个子集合210a与210b、220a与220b、230a与230b以及240a与240b。每一子集合分别具有至少两探针，在本实施例中以两探针为例，其中第一探针列21的子集合210a内具有探针25a与25b，子集合210b内具有探针25a’与25b’，第二探针列22的子集合220a内具有探针25c与25d，子集合220b内具有探针25c’与25d’，第三探针列23的子集合230a内具有探针25e与25f，子集合230b内具有探针25e’与25f’，第四探针列24的子集合240a内具有探针25g与25h，子集合240b内具有探针25g’与25h’。每一探针(以探针25a为例)分别具有一接触段250以及一悬臂段251，该悬臂段251的一端连接于该基材20上而另一端向该通孔200方向延伸而与该接触段250连接，该接触段250与该悬臂段251具有一夹角θ。所谓夹角θ的定义为该接触段250的中心线与该悬臂段251的中心线的夹角θ。

请参阅图2，每一探针列的探针的悬臂段设置于该固持件26上而由低侧96向高侧95形成多层针层，不同子集合在同一针层的探针夹角不相等。在每一子集合内的相对应的同一针层的探针具有相等接触段长度，不同针层的探针接触段长度不相等。以图3A并配合图3B为例，每一子集合210a与210b、220a与220b、230a与230b以及240a与240b是具有两针层，例如：第一探针组210中所具有的子集合210a中，探针25a属于第一针层探针，而探针25b属于第二针层探针，子集合210b中，探针25a’属于第一针层探针，而探针25b’属于第二针层探针，其他以此概念类推。同一针层的探针25a与25a’或25b与25b’具有相同的接触段250长度。

请同时参阅图3A、图3B与图3C所示，其中图3B为图3A中各探针接触段俯视示意图，图3C其为图3A中四个探针组210～240在图2中固持件26的X方向上的剖面示意图。以图3B的矩形区域代表各探针接触段的位置，并以此来说明各探针间的关系。在本实施例中，以第一探针列21为例，第一探针列21的每一探针组210中的子集合210a包括有第一针层的探针25a与第二针层的探针25b，其相邻的另一子集合210b则具有第一针层的探针25a’以及第二针层的探针25b’。其中，探针25a与25a’具有相同长度的接触段250，属于第一针层；而探针25b与探针25b’间也具有相同长度的接触段250，属于第二针层。而每一探针列中的两子集合的该至少两探针是设置在相同的该至少两针层中。

要说明的是本发明中所谓长度相等是可以容许有高度差，例如：图3D所示，对于第一针层的探针25a与25a’而言，其接触段250具有一高度差Δd，其高度差Δd的绝对值是大于等于0以及小于等于1密耳(千分的一英寸)。另外，再回到图3A与3B所示，在本实施例中第二针层的探针25b与25b’的接触段250长度是分别大于第一针层的探针25a与25a’的接触段250长度。

对探针列22-24而言，同样以子集合(220a，220b)、(230a，230b)以及(240a，240b)为单位，由该第三侧93向第四侧94依序排列在该第二方向Y上。相邻探针列相应的探针组中相应的子集合的针层所使用的探针的接触段250长度是不相同，进一步来说，如同图3C所示，相邻的二探针列所使用的针层是不相同的。如同前述第一探针列各探针的设置方式，对于第二探针列22的每一探针组220中的子集合220a包括有第一针层的探针25c与第二针层的探针25d，其相邻的另一子集合220b则具有第一针层的探针25c’以及第二针层的探针25d’。第三探针列23的每一探针组230中的子集合230a包括有第一针层的探针25e与第二针层的探针25f，其相邻的另一子集合230b则具有第一针层的探针25e’以及第二针层的探针25f’。第四探针列24的每一探针组240中的子集合240a包括有第一针层的探针25g与第二针层的探针25h，其相邻的另一子集合240b则具有第一针层的探针25g’以及第二针层的探针25h’。其中，探针组220的第一针层的探针25c与25c’具有相同的接触段250长度、探针组230的第一针层的探针25e与25e’具有相同的接触段250长度以及探针组240的第一针层的探针25g与25g’具有相同的接触段250长度，以上属于对应子集合中的第一针层，当然这边要强调一点，各探针组220、230及240的第一针层，是不同的针层；而探针组220的第二针层的探针25d与25d’、探针组230的第二针层的探针25f与25f’以及探针组240的第二针层的探针25h与25h’也分别具有相同的接触段250长度，以上属于对应子集合中的第二针层，当然这边要强调一点，各探针组220、230及240的第二针层，是不同的针层。

此外，本实施例中，对每一子集合而言，第二针层的探针25b与25b’、25d与25d’、25f与25f’以及25h与25h’的接触段250长度是分别大于第一针层的探针25a与25a’、25c与25c’、25e与25e’以及25g与25g’的接触段250长度，即可以表示为：

L_25a＝L_25a’<L_25b＝L_25b’；

L_25c＝L_25c’<L_25d＝L_25d’；

L_25e＝L_25e’<L_25f＝L_25f’；

L_25g＝L_25g’<L_25h＝L_25h’；

上述的表示，也可以说明在同一探针列中，每一探针组相邻子集合在同一针层的探针夹角沿该第二方向Y渐增。

其中L为接触段250长度，右下角编号对应第3B图的探针编号。请参考图3C并配合参照图3B，各探针的接触段250长度，可以表示为：

L_25a＝L_25a’<L_25b＝L_25b’<L_25c＝L_25c’<L_25d＝L_25d’<L_25e＝L_25e’<L_25f＝L_25f’<L_25g＝L_25g’<L_25h＝L_25h’；

要说明的是，本实施例中，探针列21～24所具有的每一个探针组210、220、230以及240所具有的探针在X与Y方向相互对应且相互对齐没有错位(offset)。

接下来说明本发明的夹角特征，本发明布设探针所具有的接触段250以及悬臂段251所具有的夹角的特征在于每一探针列21～24在该第二方向Y上所具有相邻的探针组中，其相邻的子集合，属于同一针层中的两探针，两者的夹角间具有一角度差，亦即具有相等接触段长度的探针所具有的夹角间具有一角度差，在一实施例中，两者的夹角角度差绝对值为大于等于2度。以图3E的第一探针列21为例，第一针层的探针25a’的夹角大于第一针层的探针25a的夹角；第二针层的探针25b’的夹角大于第二针层的探针25b的夹角，且上述的夹角的角度差为2度。对第二至第四探针列也是相同的规则。综合上述，探针夹角关系为θ_25a’≧θ_25a﹢2°；θ_25b’≧θ_25b﹢2°。

另外，对于同一子集合而言，第二针层的探针所具有的夹角是大于第一针层的探针所具有夹角，例如：对子集合210a而言，第二针层的探针25b所具有的夹角大于第一针层的探针25a所具有的夹角，探针夹角关系为θ_25b>θ_25a。

此外，同一探针列中，每一探针组相邻的两针层中，其中靠近该低侧的针层中具有最大夹角的探针与靠近该高侧的针层的具有最小夹角的探针，两者的夹角角度差绝对值为大于等于1度。以探针组210的两子集合210a与210b来说明，如图3E所示，其是为图3A中探针组210在Y方向侧视示意图，在图3E中是以探针的的中心线来代表探针组210内的各探针。请同时对照图3C及图3E，探针组210中相邻两子集合210a与210b共同使用相邻的两针层（第一针层及第二针层），探针组210的第一针层为靠近该低侧96的针层，探针组210的第二针层为靠近该高侧95的针层，而相邻两子集合210a与210b的间的探针是子集合210a的探针25b以及子集合210b的探针25a’，其中，探针组210的第一针层中具有最大夹角的探针25a’与探针组210的第二针层中具有最小夹角的探针25b，两者具有一角度差，在一实施例中，该夹角角度差绝对值为大于等于1度，探针夹角关系为θ_25b≧θ_25a’﹢1°。

综合上述，对于探针列21的探针组210所具有的探针夹角关系为θ_25b’>θ_25b>θ_25a’>θ_25a。同理，对于探针列22-24的各探针组220～240而言，也是相同的规则。

此外，对于不同列相对应的探针组而言，该相邻探针列使用的针层是不相同，亦即夹角大小与接触段大小并不相同。请参考图2、图3A及图3C，以探针列为单位来说明探针针层的排列，通常是探针列24的针层比探针列23高，若由该低侧96往该高侧95，则依序是探针列21、22、23及24。该相邻的二探针列21与22、22与23或23与24中分别具有相邻的两高针层与低针层中，该低针层具有最大夹角的探针与该高针层具有最小夹角的探针，两者的夹角差绝对值为大于等于1度。如图3F所示，以探针列21与22为例，对于不同列且相对应的探针组210～220而言，探针组210具有第一针层（探针25a、25a’设置其中）及第二针层（探针25b、25b’设置其中），而探针组220也具有第一针层（探针25c、25c’设置其中）及第二针层（探针25d、25d’设置其中），上述该相邻的二探针列21与22具有相邻的两高针层与低针层中，该高针层是指探针组220的第一针层，该低针层是指探针组210的第二针层。位于高针层中具有最小夹角的探针25c所具有的夹角与低针层中具有最大夹角的探针25b’，两者具有一角度差，在一实施例中，该夹角角度差绝对值为大于等于1度。

综合上述，相对应的的探针夹角关系为θ_25c≧θ_25b’﹢1°。同理，对于探针组220～230或230～240而言，也是相同的规则。

前述的实施例为各探针在X与Y方向相互对应且相互对齐没有错位的实施例，另外，如图3G所示，在本实施例中对于不同列的探针列而言，相对应的探针组间所具有的探针在第二方向Y上具有一间距，使得相邻探针列间相互错位。例如：以第一探针列21与第二探针列22为例，相对应的探针组210a与220a所具有的探针25a与25c间在第二方向Y上具有一间距D使得一探针列21与第二探针列22相互错位。虽然图3G中仅显示两探针列21与22，但不以两列为限制，例如图3B所示的四探针列的排列，也可以根据图3G所示的方式排的。

综上所述，上述的探针模块，亦可以具有至少三探针列，每一探针组的子集合可以具有2支探针分别设置在相邻的两针层；或是每一探针组的子集合可以具有3支探针分别设置在相邻的三针层(请参阅图4A与图4B所述的另一实施例)，可视实际需求而定。此外，具有至少三探针列的探针模块的所有技术特征，可为上述已揭露的技术特征或上述已揭露的规则而定。

请参阅图4A与图4B所示，该图为本发明的探针模块另一实施例示意图。图4A中所示的矩形区域代表各探针接触段的位置，并以此来说明各探针间的关系。图4B其为图4A中各探针组在图2中固持件26的X方向上的剖面示意图。在本实施例中，总共三探针列21a、22a与23a。每一个探针列21a、22a与23a具有多个探针组211～231。每一个探针组211～231中分别具有两组子集合，其是分别为211a与211b，221a与221b以及231a与231b。本实施例中，每一个子集合具有三个探针，分别设置于相邻的三针层。其中，第一探针列21a的探针组211的子集合211a包括有第一针层的探针25i、第二针层的探针25j以及第三针层的探针25k，其相邻的另一子集合211b则具有第一针层的探针25i’、第二针层的探针25j’以及第三针层的探针25k’，该探针组211的第一针层的探针25i与25i’具有相同的接触段长度；该探针组211的第二针层的探针25j与25j’间也具有相同的接触段长度；而该探针组211的第三针层的探针25k与25k’间也具有相同的接触段长度。另外，本实施例中探针组211的第二针层的探针25j与25j’的接触段长度是分别大于探针组211的第一针层的探针25i与25i’的接触段长度；探针组211的第三针层的探针25k与25k’的接触段长度是分别大于探针组211的第二针层的探针25j与25j’的接触段长度。对第一探针列21a而言，其是为子集合211a与211b为单位形成一探针组211，在该第二方向Y上，由该第三侧93向第四侧94依序排列。

如同前述第一探针列21a各探针的设置方式，对于第二探针列22a的探针组221的子集合221a包括有第一针层的探针25l、第二针层的探针25m与第三针层的探针25n，其相邻的另一子集合221b则具有第一针层的探针25l’、第二针层的探针25m’以及第三针层的探针25n’。第三探针列23a的探针组231的子集合231a包括有第一针层的探针25o、第二针层的探针25p与第三针层的探针25q，其相邻的另一子集合231b则具有第一针层的探针25o’、第二针层的探针25p’以及第三针层的探针25q’。其中，探针组221的第一针层的探针25l与25l’具有相同的接触段长度、探针组231的第一针层的探针25o与25o’具有相同的接触段长度；而探针组221的第二针层的探针25m与25m’间具有相同的接触段长度、探针组231的第二针层的探针25p与25p’间具有相同的接触段长度；而探针组221的第三针层的探针25n与25n’具有相同的接触段长度、探针组231的第三针层的探针25q与25q’间具有相同的接触段长度。

而探针组221各针层的探针接触段长度依序为探针组221的第三针层的探针（25n、25n’）的接触段长度大于探针组221的第二针层的探针（25m、25m’）的接触段长度大于探针组221的第一针层的探针（25l、25l’）的接触段长度；探针组231各针层的探针接触段长度依序为探针组231的第三针层的探针（25q、25q’）的接触段长度大于探针组231的第二针层的探针（25p、25p’）的接触段长度大于探针组231的第一针层的探针（25o、25o’）的接触段长度。在第一方向X上，探针的接触段由第一侧91向第二侧92增加；而在第二方向Y上，其探针的接触段长度是由第三侧93向第四侧94增加。此外，对探针列22a-23a而言，其是为子集合(221a，221b)、以及(231a，231b)两组为一探针组，在该第二方向Y上，由该第三侧93向第四侧94依序排列。要说明的是，本实施例中，探针列21a～23a所具有的探针在X与Y方向相互对应且相互对齐没有错位。

综上所述，以图4A及图4B各探针接触段长度关系可以表示为：

L_25i＝L_25i’<L_25j＝L_25j’<L_25k＝L_25k’；

L_25l＝L_25l’<L_25m＝L_25m’<L_25n＝L_25n’；

L_25o＝L_25o’<L_25p＝L_25p’<L_25q＝L_25q’；

上述的表示，也可以说明在同一探针列中，每一探针组相邻子集合在同一针层的探针夹角沿该第二方向Y渐增。其中L为接触段250长度，右下角编号对应图4A的探针编号。

此外，对于不同列相对应的探针组而言，该相邻探针列使用的针层是不相同，亦即夹角大小与接触段大小并不相同。图4A及图4B，以探针列为单位来说明探针针层的排列，通常是探针列23a的针层比探针列22a高，若由该低侧96往该高侧95，则依序是探针列21a、22a及23a。

综上所述，以图4A及图4B各探针接触段长度关系可以表示为:

L_25i＝L_25i’<L_25j＝L_25j’<L_25k＝L_25k’<L_25l＝L_25l’<L_25m＝L_25m’<L_25n＝L_25n’<L_25o＝L_25o’<L_25p＝L_25p’<L_25q＝L_25q’；

接下来说明本实施例的夹角特征，同一探针列中，每一探针组相邻的子集合，在同一针层中的两探针，两者的夹角角度差绝对值为大于等于2度。以图4A及图4B所示的探针列21a的探针组211为例，探针25i’的夹角大于探针25i的夹角，且夹角角度差大于等于2度，探针25j’的夹角大于探针25j的夹角，且夹角角度差大于等于2度，探针25k’的夹角大于探针25k的夹角，且夹角角度差大于等于2度。至于探针列22a与23a的针层角度关系也是相同的规则。综合上述，探针夹角关系为θ_25i’≧θ_25i﹢2°；θ_25j’≧θ_25j﹢2°；θ_25k’≧θ_25k﹢2°。

另外，对于同一子集合而言，第三针层的探针所具有的夹角是大于第二针层的探针所具有夹角，第二针层的探针所具有的夹角是大于第一针层的探针所具有夹角，例如：对子集合211a而言，第三针层的探针25k所具有的夹角大于第二针层的探针25j所具有的夹角大于第一针层的探针25i所具有的夹角，探针夹角关系为θ_25k>θ_25j>θ_25i。

此外，同一探针列中，每一探针组相邻的两针层中，其中靠近该低侧的针层中具有最大夹角的探针与靠近该高侧的针层的具有最小夹角的探针，两者的夹角角度差绝对值为大于等于1度。以探针组211的两子集合211a与211b来说明，如图4A及图4B所示，探针组211中相邻两子集合211a与211b共同使用相邻的三针层（第一针层、第二针层及第三针层），探针组211的第一针层为靠近低侧的针层，探针组211的第三针层为靠近高侧的针层（此处的高低侧与第2图的高侧95及低侧96定义相同），而探针组211的第二针层位于探针组211的第一针层及第三针层的间，探针组211相邻的两针层中（第一针层与第二针层相邻，第二针层与第三针层相邻），以探针组211的第一针层与第二针层为例，探针组211的第一针层中具有最大夹角的探针25i’与探针组211的第二针层中具有最小夹角的探针25j，两者具有一角度差，在一实施例中，该夹角角度差绝对值为大于等于1度；以第二针层与第三针层为例，探针组211的第二针层中具有最大夹角的探针25j’与探针组211的第三针层中具有最小夹角的探针25k，两者具有一角度差，在一实施例中，该夹角角度差绝对值为大于等于1度。综合上述，探针夹角关系为θ_25j≧θ_25i’﹢1°；θ_25k≧θ_25j’﹢1°。

对于探针列21a的探针组211所具有的探针夹角关系为θ_25k’>θ_25k>θ_25j’>θ_25j>θ_25i’>θ_25i。同理，对于探针列22a-23a的各探针组221～231而言，也是相同的规则。对于探针列22a的探针组221所具有的探针夹角关系为θ_25n’>θ_25n>θ_25m’>θ_25m>θ_25l’>θ_25l。对于探针列23a的探针组231所具有的探针夹角关系为θ_25q’>θ_25q>θ_25p’>θ_25p>θ_25o’>θ_25o。

此外，相邻的二探针列（21a与22a或22a与23a），该二探针列使用的针层并不相同，该相邻的二探针列中分别具有相邻的两高低针层中，该低针层具有最大夹角的探针与该高针层具有最小夹角的探针，两者的夹角差绝对值为大于等于1度，如图4A及图4B所示，对于不同列且相对应的探针组211～221而言，该相邻的二探针列21a与22a中分别具有相邻的两高低针层中，该高针层是指探针组221的第一针层，该低针层是指探针组211的第三针层。位于高针层中具有最小夹角的探针25l所具有的夹角与低针层中具有最大夹角的探针25k’，两者具有一角度差，在一实施例中，该夹角角度差绝对值为大于等于1度。

综合上述，相对应的的探针夹角关系为θ_25l≧θ_25k’﹢1°。同理，对于探针组221～231而言，也是相同的规则，相对应的的探针夹角关系为θ_25o≧θ_25n’﹢1°。

要说明的是，虽然图4A各探针间相互对齐，没有错位，但是在另一实施例中，可以类似前述如图3G所示的实施例，让探针列间相对应的探针间在第二方向Y上具有一间距，而使得探针列间距有错位的排列。

请参阅图5A及图5B所示，该图为本发明的探针模块又一实施例示意图。图5A中所示的矩形区域代表各探针接触段的位置，并以此来说明各探针间的关系。图5B其为图5A中各探针组在图2中固持件26的X方向上的剖面示意图。在本实施例中，总共两探针列21b与22b。每一个探针列21b与22b具有多个探针组212～222。每一个探针组212～222中分别具有两子集合212a-212b以及222a与222b，本实施例中，每一个子集合具有四个探针，分别设置于相邻的四针层，其中，该四针层根据其探针所具有的接触段长度由低而高依序为一第一针层、一第二针层、一第三针层及一第四针层，同一针层的探针具有相等接触段长度，不同针层的探针接触段长度不相等，每一子集合内的探针以该第一针层、该第三针层、该第二针层及该第四针层顺序排列。

以图5A及图5B的第一探针列21b为例来说明上述接触段与针层的关系，第一探针列21b的子集合212a依序设置有第一针层的探针25r、第三针层的探针25s、第二针层的探针25t以及第四针层的探针25u，其相邻的另一子集合212b则依序设置有第一针层的探针25r’、第三针层的探针25s’、第二针层的探针25t’以及第四针层的探针25u’。对第一探针列21b而言，每一子集合（212a或212b），在该第二方向Y上探针与针层由该第三侧93向第四侧94依序排列的方式，为该第一针层的探针25r（25r’）、该第三针层的探针25s（25s’）、该第二针层的探针25t（25t’）及该第四针层的探针25u（25u’）。其中，第一针层的探针25r与25r’具有相同的接触段长度；而第三针层的探针25s与25s’间也具有相同的接触段长度；而第二针层的探针25t与25t’间具有相同的接触段长度以及第四针层的探针25u与25u’间也具有相同的接触段长度。本实施例中探针组212的第二针层的探针25t与25t’的接触段长度是分别大于探针组212的第一针层的探针25r与25r’的接触段长度；探针组212的第三针层的探针25s与25s’的接触段长度是分别大于探针组212的第二针层的探针25t与25t’的接触段长度；探针组212的第四针层的探针25u与25u’的接触段长度是分别大于探针组212的第三针层的探针25s与25s’的接触段长度。同理，对于探针组222而言，也是相同的规则。另外，本实施例中，每一子集合的接触段长度关系为在第一方向上X，探针的接触段由第一侧91向第二侧92增加。

如同前述第一探针列21b各探针的设置方式，对于第二探针列22b的一子集合222a包括有第一针层的探针25v、第三针层的探针25w、第二针层的探针25x与第四针层的探针25y，其相邻的另一子集合222b则具有第一针层的探针25v’、第三针层的探针25w’、第二针层的探针25x’与第四针层的探针25y’。其中，探针组222的第一针层的探针25v与25v’具有相同的接触段长度；探针组222的第三针层的探针25w与25w’间具有相同的接触段长度；而探针组222的第二针层的探针25x与25x’间具有相同的接触段长度；以及探针组222的第四针层的探针25y与25y’间具有相同的接触段长度。

而探针组222各针层的探针接触段长度依序为探针组222的第四针层的探针（25y、25y’）的接触段长度大于探针组222的第三针层的探针（25w、25w’）的接触段长度大于探针组222的第二针层的探针（25x、25x’）的接触段长度大于探针组222的第一针层的探针（25v、25v’）的接触段长度；在第一方向X上，探针的接触段由第一侧91向第二侧92增加；而在第二方向Y上，探针与针层由该第三侧93向第四侧94依序排列的方式，为该第一针层的探针25v（25v’）、该第三针层的探针25w（25w’）、该第二针层的探针25x（25x’）及该第四针层的探针25y（25y’）。此外，对探针列22b而言，其为子集合(222a，222b)两组为一探针组，在该第二方向Y上，由该第三侧93向第四侧94依序排列。要说明的是，本实施例中，探针列21b～22b所具有的探针在X与Y方向相互对应且相互对齐没有错位。

综上所述，以图5A及图5B各探针接触段长度关系可以表示为:

L_25r＝L_25r’<L_25t＝L_25t’<L_25s＝L_25s’<L_25u＝L_25u’；

L_25v＝L_25v’<L_25x＝L_25x’<L_25w＝L_25w’<L_25y＝L_25y’；

上述的表示，也可以说明在同一探针列中，每一探针组相邻子集合在同一针层的探针夹角沿该第二方向Y渐增。其中L为接触段250长度，右下角编号对应图5A及图5B的探针编号。

此外，对于不同列相对应的探针组而言，该相邻探针列使用的针层是不相同，亦即夹角大小与接触段大小并不相同。图5A及图5B，以探针列为单位来说明探针针层的排列，通常是探针列22b的针层比探针列21b高，若由该低侧96往该高侧95，则依序是探针列21b及22b。

综上所述，以图5A及图5B各探针接触段长度关系可以表示为:

L_25r＝L_25r’<L_25t＝L_25t’<L_25s＝L_25s’<L_25u＝L_25u’<L_25v＝L_25v’<L_25x＝L_25x’<L_25w＝L_25w’<L_25y＝L_25y’

在此，要特别说明，本实施例的每一子集合内的探针以该第一针层、该第三针层、该第二针层及该第四针层顺序排列，理由在于，可以降低两探针的间的间距，由此可以达到微小间距(Fine Ptich)的目的，因此摆针的方式会与其他实施例有点差别，特此说明。

接下来说明本实施例的夹角特征，同一探针列中，每一探针组相邻的子集合，在同一针层中的两探针，两者的夹角角度差绝对值为大于等于2度。以图5A及图5B所示的探针列21b为例，探针25r’的夹角大于探针25r的夹角，且夹角角度差大于等于2度；探针25s’的夹角大于探针25s的夹角，且夹角角度差大于等于2度；探针25t’的夹角大于探针25t的夹角，且夹角角度差大于等于2度；探针25u’的夹角大于探针25u的夹角，且夹角角度差大于等于2度。至于探针列22b的针层角度关系也是相同的规则。综合上述，探针夹角关系为θ_25r’≧θ_25r﹢2°；θ_25s’≧θ_25s﹢2°；θ_25t’≧θ_25t﹢2°；θ_25u’≧θ_25u﹢2°。

另外，对于同一子集合而言，第四针层的探针所具有的夹角是大于第三针层的探针所具有夹角，第三针层的探针所具有的夹角是大于第二针层的探针所具有夹角，第二针层的探针所具有的夹角是大于第一针层的探针所具有夹角，例如：对子集合212a而言，第四针层的探针25u所具有的夹角大于第三针层的探针25s所具有的夹角大于第二针层的探针25t所具有的夹角大于第一针层的探针25r所具有的夹角，探针夹角关系为θ_25u>θ_25s>θ_25t>θ_25r。

对于探针列21b的探针组212所具有的探针夹角关系为θ_25u’>θ_25u>θ_25s’>θ_25s>θ_25t’>θ_25t>θ_25r’>θ_25r。同理，对于探针列22b的各探针组222而言，也是相同的规则。对于探针列22b的探针组222所具有的探针夹角关系为θ_25y’>θ_25y>θ_25w’>θ_25w>θ_25x’>θ_25x>θ_25v’>θ_25v。

此外，同一探针列中，每一探针组相邻的两针层中，其中靠近该低侧的针层中具有最大夹角的探针与靠近该高侧的针层的具有最小夹角的探针，两者的夹角角度差绝对值为大于等于1度，以探针组212的两子集合212a与212b来说明，以图5A及图5B所示，探针组212中相邻两子集合212a与212b共同使用相邻的四针层（第一针层、第二针层、第三针层及第四针层），探针组212的第一针层为靠近低侧的针层，探针组212的第四针层为靠近高侧的针层（此处的高低侧与图2的高侧95及低侧96定义相同），探针组212相邻的两针层中（第一针层与第二针层相邻，第二针层与第三针层相邻，第三针层与第四针层相邻），以探针组212的第一针层与第二针层为例，探针组212的第一针层中具有最大夹角的探针25r’与探针组212的第二针层中具有最小夹角的探针25t，两者具有一角度差，在一实施例中，该夹角角度差绝对值为大于等于1度；以第二针层与第三针层为例，探针组212的第二针层中具有最大夹角的探针25t’与探针组212的第三针层中具有最小夹角的探针25s，两者具有一角度差，在一实施例中，该夹角角度差绝对值为大于等于1度；以第三针层与第四针层为例，探针组212的第三针层中具有最大夹角的探针25s’与探针组212的第四针层中具有最小夹角的探针25u，两者具有一角度差，在一实施例中，该夹角角度差绝对值为大于等于1度。综合上述，探针夹角关系为θ_25t≧θ_25r’﹢1°；θ_25s≧θ_25t’﹢1；θ_25u≧θ_25s’﹢1。

此外，相邻的二探针列（21b与22b），该二探针列使用的针层并不相同，该相邻的二探针列中分别具有相邻的两高低针层中，该低针层具有最大夹角的探针与该高针层具有最小夹角的探针，两者的夹角差绝对值为大于等于1度，如图5A及图5B所示，对于不同列且相对应的探针组212～222而言，该相邻的二探针列21b与22b中分别具有相邻的两高低针层中，该高针层是指探针组222的第一针层，该低针层是指探针组212的第四针层。位于高针层中具有最小夹角的探针25v所具有的夹角与低针层中具有最大夹角的探针25u’，两者具有一角度差，在一实施例中，该夹角角度差绝对值为大于等于1度。综合上述，相对应的的探针夹角关系为θ_25v≧θ_25u’﹢1°。

要说明的是，虽然图5A各探针间相互对齐，没有错位，但是在另一实施例中，可以类似前述如图3G所示的实施例，让探针列间相对应的探针间在第二方向Y上具有一间距，而使得探针列间距有错位的排列。

前述的实施例，为具有多个探针列的实施例，但根据本发明的探针间夹角关系的精神，在另一实施例中，也可以只有一列探针列，其是同样具有多个探针组。每一个探针组中的子集合可以根据需求设置2、3、4、6或8支探针。另外，要说明的是，图3A中所示的第一方向与第二方向，并不限于同平面相互垂直的X与Y方向，在另一实施例中，如图6所示，该图是为本发明的探针模块布设另一实施例示意图，即是同平面为径向与弧向的组合。在本实施例中，探针的布设方式，第一方向为弧向(θ)，第二方向则为径向(r)。在这种弧向(θ)与径向(r)定义的坐标系下，图6的实施例，同样具有四探针列21～24，每一探针列具有多个探针组。以第一探针列21为例，其是具有多个探针组210，每一探针组210具有两子集合210a与210b，每一子集合内具有第一针层探针25a与第二针层探针25b。同样对于其他探针列22～24，也是根据前述第一探针列的排列方式为的。至于探针的夹角关系则如前所述，在此不作赘述。

以上所述的具体实施例，仅是用于例释本发明的特点及功效，而非用于限定本发明的可实施范畴，于未脱离本发明上揭的精神与技术范畴下，任何运用本发明所揭示内容而完成的等效改变及修饰，均仍应为下述的申请专利范围所涵盖。

Claims

1.一种探针模块，其特征在于，是用以将一测试机的测试信号传输至一待测物进行电性测试，并定义该测试机所在方向为高侧，该待测物所在方向为低侧，该探针模块包括：

一基材；

一固持件，设置在该基材上；以及

至少一探针列，是沿一第一方向排列，每一探针列在一第二方向上具有多个探针组，每一探针组包括：

多个探针，每一探针分别具有一接触段以及一悬臂段，该悬臂段的一端连接于该基材上而另一端与该接触段连接，该接触段与该悬臂段具有一夹角，每一探针列的探针的悬臂段设置于该固持件上而由低侧向高侧形成多层针层，该些探针形成至少两子集合，每一子集合内包含至少两探针，其是分别设置在至少两针层，同一针层的探针具有相等接触段长度，不同针层的探针接触段长度不相等，不同子集合在同一针层的探针夹角不相等，该两子集合的该至少两探针是设置在相同的该至少两针层中。

2.根据权利要求1所述的探针模块，其特征在于，其是具有至少三探针列，每一探针组的子集合具有2支探针分别设置在相邻的两针层。

3.根据权利要求1所述的探针模块，其特征在于，其是具有至少三探针列，每一探针组的子集合具有3支探针，分别设置在相邻的三针层。

4.一种探针模块，其特征在于，是用以将一测试机的测试信号传输至一待测物进行电性测试，并定义该测试机所在方向为高侧，该待测物所在方向为低侧，该探针模块包括：

一基材；

一固持件，设置在该基材上；以及

至少一探针列，沿一第一方向排列，每一探针列在一第二方向上具有多个探针组，每一探针组包括：

多个探针，每一探针分别具有一接触段以及一悬臂段，该悬臂段的一端连接于该基材上而另一端与该接触段连接，该接触段与该悬臂段具有一夹角，每一探针列的探针的悬臂段设置于该固持件上而由低侧向高侧形成多层针层，该些探针形成至少两子集合，每一子集合内包含至少四探针，其是分别设置在至少四针层，该至少四层中所具有的四针层根据其探针所具有的接触段长度由低而高依序为一第一针层、一第二针层、一第三针层及一第四针层，同一针层的探针具有相等接触段长度，不同针层的探针接触段长度不相等，每一子集合内的探针以该第一针层、该第三针层、该第二针层及该第四针层顺序排列，该至少两子集合的该至少四探针是设置在相同的该四针层中，不同子集合在同一针层的探针夹角不相等。

5.根据权利要求1或4所述的探针模块，其特征在于，同一探针列中，每一探针组相邻的子集合，在同一针层中的两探针，两者的夹角角度差绝对值为大于等于2度。

6.根据权利要求1或4所述的探针模块，其特征在于，同一探针列中，每一探针组相邻的两针层中，其中靠近该低侧的针层中具有最大夹角的探针与靠近该高侧的针层的具有最小夹角的探针，两者的夹角角度差绝对值为大于等于1度。

7.根据权利要求1或4所述的探针模块，其特征在于，是具有相邻的二探针列，该二探针列使用的针层是不相同。

8.根据权利要求1或4所述的探针模块，其特征在于，是具有相邻的二探针列，该二探针列使用的针层是不相同，该相邻的二探针列中分别具有相邻的两高低针层中，该低针层具有最大夹角的探针与该高针层具有最小夹角的探针，两者的夹角差绝对值为大于等于1度。

9.根据权利要求1或4所述的探针模块，其特征在于，同一探针列中，每一探针组相邻子集合在同一针层的探针夹角沿该第二方向渐增。

10.根据权利要求1或4所述的探针模块，其特征在于，该夹角为该接触段的中心线与该悬臂段的中心线的夹角。

11.根据权利要求1或4所述的探针模块，其特征在于，该等长的接触段的误差范围是大于等于0小于等于1密耳。

12.根据权利要求1或4所述的探针模块，其特征在于，其第一方向与第二方向为两同平面且相互垂直的方向的组合，或者是同平面且为径向与弧向的组合。

13.根据权利要求1或4所述的探针模块，其特征在于，该待测物为液晶显示器驱动芯片。