CN103983671B - 化学传感器及其制造方法 - Google Patents
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- Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
Abstract
本发明提供一种化学传感器及其制造方法。该化学传感器具有感测区且包括基材、电极材料、反应材料及盖板。基材具有至少一沟槽，且沟槽的一端延伸至感测区内。电极材料填入至少一沟槽内，以形成至少一电极。电极材料的厚度小于或等于沟槽的深度，且电极的一端延伸至感测区内。反应材料覆盖位于感测区的电极。盖板位于基材上。
Description
技术领域
本发明是有关于一种用于量测及分析化学物质的元件，且特别是有关于一种化学传感器及其制造方法。
背景技术
近年来，随着生医技术的发展，人体内的化学物质量测技术逐渐被重视，并希望可借此量测人体内的化学物质以达到早期发现与治疗的功效。因此，在生医技术方面，化学传感器的应用也渐趋广泛多元。
所谓化学传感器是指利用化学分子(如酵素、抗体…等)与标的物(如葡萄糖、胆固醇、尿素或乙酰胆碱酯…等)进行反应，并将反应结果转换成电子信号或光学信号的一种分析装置。然而，在现有的化学传感器中，当电极的线宽过大时，存在着由于电双层效应造成的扩散效率低、以及低信号噪声比(S/N ratio)所造成的低量测准确性的问题。此外，由于传统上是利用网版印刷或是微影工艺来制造化学传感器的电极，故所制造出来的化学传感器具有电极线宽不均匀而影响再现性及制造成本过高的问题。
发明内容
本发明提供一种化学传感器，其具高信号噪声比、高量测准确性以及均匀的电极线宽。
本发明提供一种化学传感器的制造方法，其具有低的工艺成本及短的工艺时间。
本发明的化学传感器具有感测区且包括基材、电极材料、反应材料及盖板。基材具有至少一沟槽，且沟槽的一端延伸至感测区内。电极材料填入至少一沟槽内，以形成至少一电极，其中电极材料的厚度小于或等于沟槽的深度，且电极的一端延伸至感测区内。反应材料覆盖位于感测区的电极。盖板位于基材上。
其中，该至少一沟槽为多个沟槽，且该电极材料填入该些沟槽内以形成多个电极，且该反应材料覆盖位于该感测区的该些电极。
其中，该电极材料的厚度小于该至少一沟槽的深度，且部分该反应材料填入该至少一沟槽内以覆盖该至少一电极，且位于相邻的两沟槽内的该反应材料彼此分离。
其中，位于相邻的该些电极上的该反应材料未分离开来。
其中，该电极材料包括多种导电材料，且位于该些沟槽内的该些导电材料不完全相同。
其中，更包括至少一突起电极，位于该至少一沟槽所在的该基材的一表面上，该至少一突起电极的一端延伸至该感测区内，该反应材料覆盖位于该感测区的该至少一突起电极。
其中，该基材为一软性基板，且该至少一沟槽位于该软性基板内且不贯穿该软性基板。
其中，该基材包括：一软性基板；以及一树脂层，位于该软性基板上，其中该些沟槽位于该树脂层内且裸露该软性基板或是不裸露该软性基板。
其中，更包括一支撑物，配置在该基材与该盖板之间并与该盖板接触，且在感测区中，该支撑物位于该基材的边缘。
其中，该至少一沟槽的宽度小于25微米。
本发明提供一种化学传感器的制造方法，其中化学传感器具有感测区。本发明的化学传感器的制造方法包括以下步骤。提供基材。在基材中形成至少一沟槽，且沟槽的一端延伸至感测区内。在沟槽内填入电极材料，以形成至少一电极，其中电极材料的厚度小于或等于沟槽的深度，且电极的端延伸至感测区内。于感测区内形成反应材料，以覆盖电极。在基材上配置盖板。
其中，在该基材形中形成该至少一沟槽的方法包括：提供一软性基板；以及对该软性基板进行一图案化程序，以于该软性基板内形成该至少一沟槽，且该至少一沟槽不贯穿该软性基板。
其中，在该基材形中形成该至少一沟槽的方法包括：提供一软性基板；在该软性基板上形成一树脂层；以及对该树脂层进行一图案化程序，以于该树脂层内形成该至少一沟槽，该至少一沟槽位于该树脂层内且裸露该软性基板或是不裸露该软性基板。
其中，该图案化程序包括一压膜程序。
其中，在该至少一沟槽内填入该电极材料包括一涂布法。
其中，更包括形成至少一突起电极，该至少一突起电极位于该至少一沟槽所在的该基材的表面上。
其中，该至少一突起电极的形成方法包括网版印刷工艺及喷墨涂布工艺。
基于上述，本发明的化学传感器具有均匀的电极线宽、高信号噪声比、以及高量测准确性与再现性。此外，本发明所提供的化学传感器制造方法能够有效降低制造成本及缩短制造所需的时间。
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。
附图说明
图1绘示本发明第一实施例的化学传感器的分解图。
图2A至图2E绘示本发明第一实施例的化学传感器的制造剖面图，其中图2E为图1沿剖面线I-I'所截取的剖面图。
图3A至图3C绘示本发明第二实施例的化学传感器的感测区的制造剖面图。
图4绘示本发明第三实施例的化学传感器的分解图。
图5A至图5C绘示本发明第三实施例的化学传感器的感测区的制造剖面图，其中图5C为图4沿剖面线II-II'所截取的剖面图。
图6绘示本发明第四实施例的化学传感器的分解图。
图7A至图7F绘示本发明第四实施例的化学传感器的制造剖面图，其中图7F为图6沿剖面线III-III'所截取的剖面图。
图8绘示本发明第五实施例的化学传感器的分解图。
图9A至图9C绘示本发明第五实施例的化学传感器的制造剖面图，其中图9C为图8沿剖面线IV-IV'所截取的剖面图。
图10为本发明实例的化学传感器的超微电极经过电性测试所得的电流-电压图。
图11为现有的化学传感器的一般网印电极经过电性测试所得的电流-电压图。
100、200、300、400、500：化学传感器
105、505：感测区
107、507：外部电路连接区
110、510：基材
112：软性基板
113：侧壁
115、315、515：沟槽
120：电极材料
121、122、123、422：电极
130、230、330、430：反应材料
140、440：支撑物
150：盖板
160、560：模具
421、423：突起电极
514：树脂层
570：紫外光
I-I'、II-II'、III-III'、IV-IV'：剖面线
具体实施方式
以下列举各种实施例以说明本发明的化学传感器的结构及其制造方法。
第一实施例
图1绘示本发明第一实施例的化学传感器的分解图。图2A至图2E绘示本发明第一实施例的化学传感器的制造剖面图，其中图2E为图1沿剖面线I-I'所截取的剖面图。请同时参照图1及图2A，提供软性基板112，以做为化学传感器100的基材110。基板112的材料可例如是聚氯乙烯(PVC)、聚丙烯(PP)、聚酰亚胺(PI)、聚碳酸酯(PC)、聚醚砜(PES)、聚氧化亚苯(PPO)、丙烯腈丁二烯苯乙烯树脂(ABS)、聚对苯二甲酸亚丁烯基酯(PBT)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚酰胺(Polyamide，PA)、聚对苯亚胺(pernigraniline，PNB)、聚醚醚酮(PEEK)或聚醚亚胺(PEI)，或其组合。接着，在软性基板112上定义出化学传感器100的感测区105及外部电路连接区107。
请同时参照图1及图2B，对软性基板112进行图案化程序，以于软性基板112内形成至少一沟槽115。沟槽115的一端延伸至感测区105内，而另一端延伸至外部电路连接区107内。沟槽115不贯穿软性基板112，且沟槽115的宽度可小于25微米。举例而言，在本实施例中，图案化程序可包括将模具160直接压置于软性基板112上的压膜程序，其中模具160具有表面图案，且可根据表面图案上的突起部分在软性基板112内形成对应的沟槽115。另外，虽然在本实施例中，为了方便说明将沟槽115绘示为三个彼此平行的线形，然而本发明不以此为限。换句话说，本发明可包括任意数目的沟槽115，且沟槽115可视化学传感器100的用途而构成其它的形状，例如是螺旋形、梳状，以将感测区105的面积做更有效率的使用。
请同时参照图1及图2C，将模具160移除后，在各沟槽115内填入电极材料120以分别形成电极121、122及123。可使用涂布法将电极材料120填入沟槽115内，且涂布法可例如是刮刀涂布法、旋涂法、辊涂法、喷墨涂布法等公知的涂布方法。在本实施例中，填入沟槽115内的电极材料120的厚度小于沟槽115的深度，但本发明不以此为限。在其它实施例中，亦可填入较多的电极材料120而使得电极材料120的厚度等于沟槽115的深度。电极121、122及123各者的一端延伸至感测区105内以用于后续化学物质的量测分析，而电极121、122及123各者的另一端位于外部电路连接区107内以连接外部电路，其中外部电路例如是计算机或其它电子分析装置。
由于沟槽115是借由压膜程序所形成，因此电极121、122及123可具有均匀的线宽而具有高的量测再现性。此外，当沟槽115的宽度小于25微米时，由于电极121、122及123的线宽也会小于25微米，故电极121、122及123可做为超微电极。在将化学传感器100用于量测化学物质含量的过程中，做为超微电极的电极121、122及123可产生较小的电双层效应，从而具有高的扩散效率、高的信号噪声比、高的量测准确性及低的电压衰退率(IR drop)。
在本发明中，电极材料120可包括多种导电材料，例如是石墨碳(graphite)、石墨烯(graphene)、硬碳(hard carbon)、软碳(soft carbon)、单壁纳米碳管(SWCNT)、多壁纳米碳管(MWCNT)、碳纤维(carbon fiber)、铜(Cu)、银(Ag)、铂(Pt)、金(Au)、钯(Pd)、镍(Ni)、钛(Ti)、钼(Mo)或它们的组合等，且填充在各个沟槽115内的导电材料120可以不完全相同。换句话说，可视使用需要而方别在各个沟槽115中填入不同的导电材料120来形成所需要的电极。另外，在其它实施例中，各沟槽115中的电极材料120亦可为单层的导电材料或多层的导电材料。
电极121、122及123可分别为工作电极(work electrode)、参考电极(referenceelectrode)及辅助电极(auxiliary electrode)。另外，虽然在本实施例中，为了方便说明而将各电极121、122及123绘示为彼此平行的线形，但在其它实施例中，各电极121、122及123也可对应沟槽115的形成而构成螺旋形或梳状等形状，以使得化学感测区100具有多样化的用途。
请同时参照图1及图2D，在基材110上形成支撑物140，并于感测区105内形成反应材料130，其中部分反应材料130填入沟槽115内以覆盖电极121、122及123，且支撑物440的高度大于反应材料130的高度。在感测区105中，支撑物140可例如是借由对位贴合的工艺而位于基材110的边缘。反应材料130可仅配置于感测区105内且覆盖电极121、122及123在感测区105内的部分，从而可降低反应材料130的使用成本。在本实施例中，反应材料130覆盖在基材110的表面，且位于相邻的两沟槽115内的反应材料130未分离开来。反应材料130例如是各种酵素，以用于量测各种物质的含量。举例而言，反应材料130可为葡萄糖氧化酵素(glucose oxidase，GOD)、胆固醇氧化酵素(cholesterol oxidase)、尿素分解酵素(urease)或是乙酰胆碱酯酵素(acetylcholinesterase)，用以分别量测血液中葡萄糖的含量、血液中胆固醇的含量、尿素含量或者是有机磷与氨基甲酸盐农药的残留量。
请同时参照图1及图2E，在基材110上配置盖板150，以使得支撑物140配置在基材110与盖板150之间并与盖板150接触。盖板150例如是亲水性材料所构成的半透明膜层，且因此盖板150可暴露出具有反应材料130的感测区105。此外，由于支撑物140可在基材110与盖板150之间隔出一间隙，且此间隙中配置有反应材料130，故在进行化学物质的量测分析时，化学物质可利用毛细现象进入具有反应材料130的沟槽115内，进而化学物质可与沟槽115内的反应材料130发生反应。此外，由于盖板150配置在基材110上，故盖板150可保护位于盖板150与基材110之间的所有元件不受到外界环境的损害而影响化学传感器100的量测准确性。接着，再利用现有的化学传感器的工艺技术完成化学传感器100的制造步骤。
在本实施例中，由于化学传感器内的沟槽是使用压膜程序所形成，因此相较于现有微影技术所形成的化学传感器的沟槽而言，本实施例具有较佳的成本优势。此外，由于本实施例是利用压膜程序来形成槽构，并使用涂布法在沟槽中填入电极材料以形成电极，故相较于现有网版印刷而言，本实施例的电极具有较均匀的线宽，且因此具有较高的量测准确性及再现性。
第二实施例
图3A至图3C绘示本发明第二实施例的化学传感器的感测区的制造剖面图。请参照图3A，使用与第一实施例相似的制造方法及材料，提供软性基板112做为化学传感器200的基材110，且于基材110内形成至少一沟槽115，其中沟槽115不贯穿软性基板112。接着，在各沟槽115内填入电极材料120以分别形成电极121、122及123，其中电极材料120的厚度小于沟槽115的深度。
请参照图3B，在基材110上形成支撑物140，并于电极材料120上形成反应材料230，其中反应材料230覆盖电极121、122及123，且反应材料230与电极材料120的厚度总合实质上等于沟槽115的深度。在本实施例中，由于反应材料230与电极材料120的厚度总合实质上等于沟槽115的深度，故反应材料230与基材110两者的表面为实质上共平面，且位于相邻的两构槽115内的反应材料230彼此分离。
请参照图3C，在基材110上配置盖板150。接着，再利用现有的化学传感器的工艺技术完成本实施例的化学传感器200的制造步骤。
在本实施例中，由于反应材料与电极材料的厚度总合实质上等于沟槽的深度，且在各构槽内的反应材料彼此分离，因此可节省反应材料的用量以降低制造成本。此外，由于反应材料与基材两者的表面为实质上共平面，故可易于控制反应材料的填入量。
第三实施例
图4绘示本发明第三实施例的化学传感器的分解图。图5A至图5C绘示本发明第三实施例的化学传感器的感测区的制造剖面图，其中图5C为图4沿剖面线II-II'所截取的剖面图。请同时参照图4及图5A，使用与第一实施例相似的制造方法及材料，提供软性基板112做为化学传感器300的基材110。接着，于基材110内形成至少一沟槽315，其中沟槽315不贯穿软性基板112。在本实施例中，沟槽315可为从基材110的外部电路连接区107延伸至感测区105的侧壁113上的开放式沟槽。接着，在各沟槽115内填入电极材料120以分别形成电极121、122及123，其中电极材料120的厚度小于沟槽115的深度。
请同时参照图4及图5B，于电极材料120上形成反应材料330，其中反应材料330填入沟槽115内并覆盖电极121、122及123。反应材料330与电极材料120的厚度总合实质上小于沟槽115的深度，且位于相邻的两构槽115内的反应材料330彼此分离。此外，在本实施例中，由于具有反应材料330的沟槽315为开放式沟槽，因此在量测分析化学物质时，可直接将待测的化学物质涂布及/或滴在侧壁113上以与沟槽315中的反应材料330发生反应。
请同时参照图4及图5C，在基材110上配置盖板150。接着，再利用现有的化学传感器的工艺技术完成本实施例的化学传感器300的制造步骤。在本实施例中，由于反应材料330与电极材料120的厚度总合实质上小于沟槽315的深度，故可直接将盖板配置在基材110上。换句话说，本实施例可省略支撑物的使用及将其对位贴合的工艺步骤，因此可更进一步减少制作的材料成本及工艺所需的时间成本。
在本实施例中，由于反应材料与电极材料的厚度总合实质上小于沟槽的深度，故可直接将基材所露出的侧壁部分做为支撑盖板所需的支撑构件，进一步减少支撑物的材料成本及将其对位贴合所需的工艺时间。
第四实施例
图6绘示本发明第四实施例的化学传感器的分解图。图7A至图7F绘示本发明第四实施例的化学传感器的制造剖面图，其中图7F为图6沿剖面线III-III'所截取的剖面图。请同时参照图6及图7A，提供软性基板112做为化学传感器400的基材110，并且于基材110上定义出感测区105及外部电路连接区107。
请同时参照图6及图7B，借由模具(未绘示)对软性基板112进行压膜程序以将软性基板112图案化，从而于软性基板112内形成至少一沟槽115。沟槽115的一端延伸至感测区105内，而另一端延伸至外部电路连接区107内，且沟槽115不贯穿软性基板112。
接着，请同时参照图6及图7C，在沟槽115内填入电极材料，以形成电极422，其中沟槽115内的电极材料的厚度小于沟槽115的深度。电极422的材料可包括多种导电材料，例如是石墨碳、石墨烯、硬碳、软碳、单壁纳米碳管、多壁纳米碳管、碳纤维、铜、银、铂、金、钯、镍、钛、钼或它们的组合等。另外，虽然在本实施例中仅绘示一个电极422，但本发明不以此为限而可包括一个以上的电极422。此外，当本发明包括多个电极422时，各电极422中的电极材料可不完全相同。
接着，请同时参照图6及图7D，在软性基板112上形成突起电极421及423。虽然在本实施例中，为了方便说明而绘示有两个突起电极421及423，但本发明并不限于此而可包括任意数目的突起电极。突起电极421及423位于沟槽115所在的基材110(软性基板112)的表面上。突起电极421及423各者的一端延伸至感测区105内，且另一端位于外部电路连接区107内。突起电极421及423的形成方法包括印刷/涂布工艺，其例如是网版印刷工艺或是喷墨涂布工艺。此外，突起电极421及423的材料可包括多种导电材料，例如是石墨碳、石墨烯、硬碳、软碳、单壁纳米碳管、多壁纳米碳管、碳纤维、铜、银、铂、金、钯、镍、钛、钼或它们的组合等，且突起电极421及423彼此之间的材料、以及突起电极421及423与电极422的材料可相同或不相同。
接着，请同时参照图6及图7E，在基材110上形成支撑物440，并于感测区105形成反应材料430，其中反应材料430覆盖感测区105内的电极422以及突起电极421及423，其中支撑物440的高度大于反应材料430与突起电极421、423的高度。
最后，请同时参照图6及图7F，在基材110上配置盖板150，以使得支撑物440配置在基材110与盖板150之间并与盖板150接触。接着，再利用现有的化学传感器的工艺技术完成本实施例的化学传感器400的制造步骤。
第五实施例
图8绘示本发明第五实施例的化学传感器的分解图。图9A至图9C绘示本发明第五实施例的化学传感器的制造剖面图，其中图9C为图8沿剖面线IV-IV'所截取的剖面图。请同时参照图8及图9A，提供软性基板112，并在软性基板112上形成树脂层514，以使得化学传感器500的基材510包括软性基板112及树脂层514。软性基板112的材料与第一实施例相同，故在此不再赘述。树脂层514的材料包括感旋光性有机材料，且例如是受紫外光照射后可硬化的树脂材料。接着，在基材510上定义出感测区505及外部电路连接区507。
接着，请同时参照图8及图9B，对树脂层514进行图案化程序，以于树脂层514内形成至少一个沟槽515，其中沟槽515的一端延伸至感测区505内，而另一端延伸至外部电路连接区507内。沟槽515位于树脂层514内且可裸露软性基板512或是不裸露软性基板512。举例而言，在本实施例中，图案化程序可包括将模具560直接压置于树脂层514上的压膜程序、以及在压膜程序后再使用紫外光570照射软性基材112下方以硬化树脂层514的光硬化程序。虽然在本实施例中，为了方便说明将沟槽515绘示为三个彼此平行的线形，然而本发明不以此为限。换句话说，本发明的范围包括任意数目的沟槽515，且沟槽515可视使用上的需要而构成其它的形状，例如是螺旋形、梳状，以将感测区505的面积做更有效率的使用。
接着，请同时参照图8及图9C，将模具560移除后，在沟槽515内填入电极材料120以形成电极121、122及123，其中电极材料120的厚度小于构槽515的深度。接着，在感测区505形成反应材料130，其中部分反应材料130填入沟槽515内且覆盖电极121、122及123，且支撑物440的高度大于反应材料130的高度。最后，在基材510上形成支撑物140及盖板150，并利用现有的化学传感器的工艺技术完成本实施例的化学传感器500的制造步骤。
本实施例的化学传感器500的结构与第一实施例的化学传感器100的结构大致相同，惟两者之间的差异点在于：本实施例的化学传感器500的基材110更包括树脂层514，且沟槽515是形成于树脂层514内而非软性基板112内，其中沟槽515可裸露软性基板112或不裸露软性基板112。值得一提地是，除了上述差异点之外，由于本实施例的化学传感器500与第一实施例的化学传感器100的结构大致相同，故也可将第二实施例至第四实施例的变化及改良应用于本实施例中。亦即，可调整本实施例的化学传感器500中所填入的反应材料及电极材料的量，或者可在本实施例中省略支撑物的使用。
实例
以下将借由实例与比较例进一步说明本发明的化学传感器的性质。
<实例>
以上述第一实施例的方法制造出实例1化学传感器，其具有超微电极，其中电极线宽为21微米，小于25微米。
<比较例>
提供一个现有的化学传感器，其具有一般的网印电极，其中网印电极线宽为60微米，大于25微米。
<电性评估>
使用以下的条件，对上述本发明实例的化学传感器及现有的化学传感器分别进行电性评估，并将所量测到的电流纪录下来，分别如图10及图11所示。
溶液：100毫摩尔浓度(mM)的氯化钾(KCl)
分析物质：3毫摩尔浓度(mM)的铁氰化物(ferricyanide)
工作电极：石墨
电压范围：1伏特至-0.4伏特
扫瞄速率：每秒10毫伏特(10mV/s)
图10为本发明实例的化学传感器的超微电极经过上述电性测试所得的电流-电压图。请参照图9，依照本发明的实施例所制造出的化学传感器，当其电极的线宽小于25微米时，可具有超微电极的电性及良好的量测再现性。
图11为现有的化学传感器的一般网印电极经过上述电性测试所得的电流-电压图，其中电极的线宽大于25微米。请参照图11，当一般网印电极的线宽大于25微米时，仅具有一般电极的电化学特性。
综上所述，由于本发明的化学传感器的电极具有较均匀的线宽，因此，本发明的化学传感器具有较高的量测准确性及再现性。此外，当本发明的化学传感器中的电极为超微电极时，在将化学传感器用于量测化学物质含量的过程中，会产生较小的电双层效应，从而具有高的扩散效率、高的信号噪声比、高的量测准确性及低的电压衰退率。
此外，由于本发明的化学传感器的制造方法是使用压膜程序来形成沟槽，因此，相较于现有微影技术或网版印刷技术而言，本发明可具有较佳的成本优势，同时可制造出由于均匀线宽而具有高的准确性及再现性的电极。又，由于本发明的化学传感器的制造方法可自由调配填入沟槽内的电极材料及反应材料的量，故可进一步减少制造成本及工艺所需的时间。
虽然本发明已以较佳实施方式揭露如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视后附的权利要求书所界定的范围为准。
Claims (15)
1.一种化学传感器，其具有一个感测区，其特征在于，该化学传感器包括：
一基材，该基材具有至少一沟槽，且该至少一沟槽的一端延伸至该感测区内，该基材包括一软性基板以及一树脂层，该树脂层位于该软性基板上，其中该些沟槽位于该树脂层内且裸露该软性基板或是不裸露该软性基板；
一电极材料，填入该至少一沟槽内，以形成多个电极，其中该电极材料的厚度小于或等于该至少一沟槽的深度，且该多个电极的一端均延伸至该感测区内；
一反应材料，覆盖位于该感测区的该多个电极；以及
一盖板，位于该基材上。
2.根据权利要求1所述的化学传感器，其特征在于，该至少一沟槽为多个沟槽，且该电极材料填入该些沟槽内以形成多个电极，且该反应材料覆盖位于该感测区的该些电极。
3.根据权利要求2所述的化学传感器，其特征在于，该电极材料的厚度小于该至少一沟槽的深度，且部分该反应材料填入该至少一沟槽内以覆盖该至少一电极，且位于相邻的两沟槽内的该反应材料彼此分离。
4.根据权利要求2所述的化学传感器，其特征在于，位于相邻的该些电极上的该反应材料未分离开来。
5.根据权利要求2所述的化学传感器，其特征在于，该电极材料包括多种导电材料，且位于该些沟槽内的该些导电材料不完全相同。
6.根据权利要求1所述的化学传感器，其特征在于，更包括至少一突起电极，位于该至少一沟槽所在的该基材的一表面上，该至少一突起电极的一端延伸至该感测区内，该反应材料覆盖位于该感测区的该至少一突起电极。
7.根据权利要求1所述的化学传感器，其特征在于，该基材为一软性基板，且该至少一沟槽位于该软性基板内且不贯穿该软性基板。
8.根据权利要求1所述的化学传感器，其特征在于，更包括一支撑物，配置在该基材与该盖板之间并与该盖板接触，且在感测区中，该支撑物位于该基材的边缘。
9.根据权利要求1所述的化学传感器，其特征在于，该至少一沟槽的宽度小于25微米。
10.一种化学传感器的制造方法，该化学传感器具有一个感测区，其特征在于，该方法包括：
提供一基材；
在该基材中形成至少一沟槽，且该至少一沟槽的一端延伸至该感测区内；
在该至少一沟槽内填入一电极材料，以形成至少多个电极，其中该电极材料的厚度小于或等于该至少一沟槽的深度，且该多个电极的一端均延伸至该感测区内；
于该感测区内形成一反应材料，以覆盖该多个电极；以及
在该基材上配置一盖板；
其中，在该基材中形成该至少一沟槽的方法包括：
提供一软性基板；
在该软性基板上形成一树脂层；以及
对该树脂层进行一图案化程序，以于该树脂层内形成该至少一沟槽，该至少一沟槽位于该树脂层内且裸露该软性基板或是不裸露该软性基板。
11.根据权利要求10所述的化学传感器的制造方法，其特征在于，在该基材中形成该至少一沟槽的方法包括：
提供一软性基板；以及
对该软性基板进行一图案化程序，以于该软性基板内形成该至少一沟槽，且该至少一沟槽不贯穿该软性基板。
12.根据权利要求10或11所述的化学传感器的制造方法，其特征在于，该图案化程序包括一压膜程序。
13.根据权利要求10所述的化学传感器的制造方法，其特征在于，在该至少一沟槽内填入该电极材料包括一涂布法。
14.根据权利要求10所述的化学传感器的制造方法，其特征在于，更包括形成至少一突起电极，该至少一突起电极位于该至少一沟槽所在的该基材的表面上。
15.根据权利要求14所述的化学传感器的制造方法，其特征在于，该至少一突起电极的形成方法包括网版印刷工艺及喷墨涂布工艺。
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