CN103862845B - 印网掩模 - Google Patents

印网掩模 Download PDF

Info

Publication number
CN103862845B
CN103862845B CN201310400027.5A CN201310400027A CN103862845B CN 103862845 B CN103862845 B CN 103862845B CN 201310400027 A CN201310400027 A CN 201310400027A CN 103862845 B CN103862845 B CN 103862845B
Authority
CN
China
Prior art keywords
mask
framework
track
screen
frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201310400027.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103862845A (zh
Inventor
韩政洹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Display Co Ltd
Original Assignee
Samsung Display Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Display Co Ltd filed Critical Samsung Display Co Ltd
Publication of CN103862845A publication Critical patent/CN103862845A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103862845B publication Critical patent/CN103862845B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/34Screens, Frames; Holders therefor
    • B41F15/36Screens, Frames; Holders therefor flat
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/08Machines
    • B41F15/0881Machines for printing on polyhedral articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/16Printing tables
    • B41F15/18Supports for workpieces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/34Screens, Frames; Holders therefor
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41LAPPARATUS OR DEVICES FOR MANIFOLDING, DUPLICATING OR PRINTING FOR OFFICE OR OTHER COMMERCIAL PURPOSES; ADDRESSING MACHINES OR LIKE SERIES-PRINTING MACHINES
    • B41L13/00Stencilling apparatus for office or other commercial use
    • B41L13/02Stencilling apparatus for office or other commercial use with flat stencil carriers
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • H05K3/1225Screens or stencils; Holders therefor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Screen Printers (AREA)

Abstract

一种用于丝网印刷的印网掩模包括:掩模;以及框架,被配置为通过张力支撑所述掩模,所述框架包括:固定框架和移动框架,移动框架被配置为支撑所述掩模并可移动地安装在所述固定框架上,其中所述张力由所述移动框架控制。

Description

印网掩模
技术领域
本发明涉及用于丝网印刷机的印网掩模。
背景技术
部分地通过形成用于在衬底上执行各种功能的功能层来制造平板显示器。
功能层通过薄膜工艺和厚膜工艺制造,并且厚膜可由丝网印刷工艺、喷砂工艺或干膜工艺形成。
丝网印刷工艺具有优良的生产效率和低的加工成本,因此当不需要高精度时广泛地使用丝网印刷工艺。
为了使用丝网印刷工艺形成精细的图案,在衬底上布置具有与待形成于衬底上的图案相同的图案的掩模,并且根据图案在衬底上印刷源材料,由此形成期望的图案。
在最初制造掩模之后,切割必要量的掩模并且将其附接或组装至用于丝网印刷工艺的掩模框架。
一般地,附接有掩模的掩模框架被制造成高精度的固定主体。
因此,当掩模附接至掩模框架时,一般不能增大或减小施加至掩模的张力。如果掩模错误地附接至掩模框架,那么所使用的掩模从掩模框架分离并且被再次附接至掩模框架、或者掩模被丢弃。而且,掩模中的开口的大小、均匀性和位置可在丝网印刷处理期间改变,这要求掩模被重新附接至掩模框架或被丢弃。
图5示出了用于印刷丝网的传统印网掩模的俯视图。这里,印网掩模1包括掩模3和框架2,掩模3上形成有图案,掩模2附接至框架2并且由框架2支撑,一旦掩模3附接至框架2,则通常不会向掩模3增加张力或者从掩模3减小张力。
在本发明的背景技术中公开的上述信息仅用于增强对本发明的背景技术的理解,因此它可包含不形成本领域技术人员在这个国度已知的现有技术的信息。
发明内容
实现本发明以提供一种具有精确可控的张力和用于在至少两个方向上控制张力的印网掩模。
本发明的示例性实施方式提供一种用于丝网印刷的印网掩模,所述印网掩模包括:掩模;以及框架,被配置为用张力支撑所述掩模,所述框架包括:固定框架;以及移动框架,被配置为支撑所述掩模并且能够移动地安装在所述固定框架,其中所述张力由所述移动框架控制。
多个移动框架可支撑所述掩模的边缘。
所述多个移动框架中的每个可在至少两个方向上移动。
所述多个移动框架中的每个可在彼此垂直的两个方向移动并且位于与所述掩模平行的平面上。
所述掩模可具有长方形形状,并且所述多个移动框架中的每个可在与所述掩模的两个相邻边平行的方向上移动。
所述移动框架包括:第一轨道,安置在固定框架处;第一架,可沿所述第一轨道移动,并且包括与所述第一轨道垂直的第二轨道;以及第二架,可沿所述第二轨道移动并且支撑所述掩模的一侧。
所述第一架可安装在所述第一轨道上,并且所述第二架可安装在所述第二轨道上,第二轨道位于所述第一架的顶部。
所述第一架和所述第二架可通过滚珠丝杆移动。
所述滚珠丝杆可被配置为由驱动电机驱动。
所述滚珠丝杆可被配置为手动驱动。
根据本发明的示例性实施方式,被配置为支撑所述掩模的多个移动框架可在至少两个方向上移动,由此精确地控制所述掩模的张力。
支撑所述掩模的张力可被精确地控制,由此减少或防止不期望的掩模的重新安装和/或更换。本发明的附加方面和/或特征比分在下面的描述中阐述并且部分从描述显而易见或可通过实现本发明学习到。
附图说明
图1示出了根据本发明的示例性实施方式的印网掩模的立体视图;
图2示出了根据本发明的示例性实施方式的使用印网掩模的丝网印刷工艺;
图3示出了根据本发明的示例性实施方式的印网掩模的俯视图;
图4示出了图3中示出的IV部分的放大视图;以及
图5示出了传统印网掩模的俯视图。
具体实施方式
下文将参考附图更完整地描述本发明,在附图中示出了本发明的示例性实施方式。如本领域技术人员所了解的,所公开的实施方式可以各种不同的方式改变而不背离本发明的精神或范围。
附图和说明书被认为实际上是示例性而非限制性的。整个附图中相似的参考标号表示相似的元件。附图中显示的每个配置的大小和厚度被任意地显示用于理解和方便描述,但是本发明不限于此。
图1示出了根据本发明的示例性实施方式的印网掩模的立体视图。图2示出了根据本发明的示例性实施方式的使用印网掩模的丝网印刷工艺。图3示出了根据本发明的示例性实施方式的印网掩模的俯视图。图4示出了图3中示出的IV部分的放大视图。
参考图1,根据本发明的示例性实施方式的印网掩模10用于丝网印刷工艺并且包括掩模200和框架100。
掩模200为印刷掩模,其上形成有待印刷在显示装置的衬底20上的图案,根据本发明的示例性实施方式,掩模200可通过用特定乳剂涂布一个网孔构件(或多个网孔构件)或通过形成与待印刷的图案对应的一个开口(或多个开口)进行配置。
该网孔构件(或多个网孔构件)可由金属形成。
掩模200可由框架100通过张力(例如,预定张力)支撑。
参考图2,通过框架100用张力支撑的掩模200被设置在待形成图案的衬底20上。印刷材料40通过使用加压装置30(例如,喷嘴)被沉积在(例如,提供给)掩模200上,从而印刷材料40可穿过形成于掩模200中的一个开口(或多个开口)(未示出),图案可被印在衬底20上。
在一个实施方式中和如图2中的箭头所示,印网掩模10可控制支撑掩模200的张力,因为支撑掩模200的框架120和140被配置为可移动。现在将详细描述用于(例如,被配置为)支撑掩模200的框架100。
如前所述,框架100用张力(例如,预定张力)支撑掩模200。
在一个实施方式中,框架100包括固定框架120和移动框架140以控制支撑掩模200的张力。
固定框架120支撑移动框架140,并且它可被形成为四边形并且可由刚性材料诸如金属制成。
然而,不限于四边形形式和金属材料,固定框架120可被形成为具有各种形状和/或用各种材料形成。
支撑掩模200的移动框架140可移动地安置(例如,安装)在固定框架120上。
在此实施方式中,移动框架140可固定和支撑掩模200的边缘。
由此,固定至移动框架140的掩模200的张力可通过移动移动框架140进行控制(例如,调节)。
掩模200的边缘可通过紧固装置或方法(例如,预定的紧固装置或方法)(未示出)附接至移动框架140。
这里,紧固装置或方法可以是已知的紧固构件,诸如螺栓,或者它可以是焊接(例如,通过焊接进行配置的)。
然而,不限于此,紧固装置或方法可以允许掩模200的边缘附接至移动框架140的各种方式进行配置。
可具有许多(例如,多个)移动框架140。
如图1和图3所示,多个移动框架140可安置(例如,安装)在固定框架120上,并且多个移动框架140中的每个可单独移动。
移动框架140可在至少两个方向上(例如,两个轴上或两个轴向上)移动。
如图3所示,移动框架140可在相交的(例如,彼此交叉的)并且位于(例如,设置在)与掩模200平行的平面上的两个方向上移动。
参考图3,固定框架120和掩模200可以是长方形,并且安置在(例如,安装在)固定框架120中的移动框架140可在与固定框架120或掩模200的两个邻边平行的方向(例如,x轴方向和y轴方向)移动。
因此,印网掩模10单独地移动移动框架140,由此精确地控制(例如,调节)由框架100支撑的掩模200的张力。
当移动框架140的数量增加时,张力可被更精确地控制,并且移动框架140的数量根据掩模200和/或固定框架120的大小和所需的支撑掩模200的张力的控制程度(例如,控制程度)而可改变。
例如,掩模200(例如,长方形掩模)可配置为在掩模200的每侧(例如,每个支撑边)具有至少一个移动框架140。
对应的移动框架140可在至少两个方向上(例如,两个轴上或两个轴向上)移动,并且将描述用于实现(例如,控制)移动的移动框架140的详细配置。
参考图4,安置在印网掩模10中的多个移动框架140的每个可被配置为(例如,配置成)单个单元,从而它们可单独地在两个方向上(例如,两个轴向上)移动。
每个移动框架140包括第一架143和第二架145。每个移动框架140被配置为在第一轨道141上移动。
这里,第一轨道141形成于固定框架120的一侧上,并且它可形成笔直的(或基本笔直的)导轨。
第一导轨141在参考图4的x轴方向上安置在(例如,安装在或形成于)固定框架120上。
第一轨道141形成于与掩模200(例如,长方形掩模)的一边平行的方向上。
第一架143可沿第一轨道141移动,与第一轨道141对应的结构(例如,槽)形成于第一架143的一侧上以沿第一轨道141移动(例如,与第一轨道141相互作用),并且第二轨道142可在与第一轨道141垂直的方向上在第一架143的另一侧上形成。
第二轨道142可形成为位于第一架143顶部的笔直的(或基本笔直的)导轨,并且它可形成于与如图4所示的x轴方向垂直的y轴方向上。
第二轨道142可形成在与掩模200(例如,长方形掩模)的、与如上所述平行于第一导轨141的掩模200的一边相邻的另一边平行的方向上。
第二架145可沿形成于第一架143上的第二轨道142移动(例如,与第二轨道142相互作用),并且它可支撑掩模200(例如,长方形掩模)的一个边缘。
掩模200的一个边缘可通过已知的紧固装置或通过已知的紧固方法(诸如,焊接)附接至第二架145。
每个移动框架140包括在x轴方向上沿形成于固定框架120上的第一轨道141移动的第一架143和在y轴方向上沿形成于第一架143上的第二轨道142移动的第二架145,因此它可在两个方向上(例如,两个轴上或两个轴向上)移动并且由移动框架140支撑的掩模200的张力可被精确地控制(例如,调节)。
每个移动框架140可包括滚珠丝杆和线性导轨。
第一轨道141和第二轨道142可配置有(例如,包括或形成为)线性导轨,并且第一架143和第二架145可被配置为能够通过滚珠丝杆移动。
所描述的滚珠丝杆和线性导轨可通过驱动电机被自动地操作。
然而,不限于此,移动框架140的可操作配置可以许多方式改变,并且例如它可被配置为手动操作。
如图4所示,第一轨道141、第一架143、第二轨道142和第二架145可从下向上依次设置(例如,依次定位)。
因此,掩模200的一边可通过使用简单的配置在彼此垂直的两个方向上(例如,两个轴向上)移动。
印网掩模10被配置为使得支撑掩模200的移动框架140可在至少两个方向上(例如,两个轴上或两个轴向上)移动,由此精确地控制支撑掩模200的张力。
由此,防止了由于缺乏对张力或位置的控制而在掩模200安置在框架100中之后没有必要的重新安置或更换掩模200的问题,以节约时间和成本,并且提高了丝网印刷工序的效率。
尽管已经结合目前被认为是示例示例性实施方式描述了本发明,但是将理解,本发明不限于公开的实施方式,但是反之覆盖包括在所附权利要求及其等同的精神和范围内的各种变化和等同布置。

Claims (7)

1.一种用于丝网印刷的印网掩模,所述印网掩模包括:
掩模;以及
框架,被配置为通过张力支撑所述掩模,所述框架包括:
固定框架;以及
多个移动框架,所述多个移动框架被配置为支撑所述掩模并且能够移动地安装在所述固定框架上,其中所述张力由所述移动框架控制,所述多个移动框架中的每个相对于所述固定框架均能够在至少两个方向上移动,所述至少两个方向彼此垂直,并且
所述多个移动框架支撑所述掩膜的边缘。
2.如权利要求1所述的印网掩模,其中
所述掩模具有长方形形状;以及
所述多个移动框架中的每个能够在与所述掩模的两个相邻边平行的方向上移动。
3.如权利要求1所述的印网掩模,其中所述移动框架包括:
第一轨道,安置在固定框架处;
第一架,能够沿所述第一轨道移动,并且包括与所述第一轨道垂直的第二轨道;以及
第二架,能够沿所述第二轨道移动并且支撑所述掩模的一侧。
4.如权利要求3所述的印网掩模,其中
所述第一架安装在所述第一轨道上,所述第二架安装在所述第二轨道上,所述第二轨道位于所述第一架的顶部。
5.如权利要求3所述的印网掩模,其中
所述第一架和所述第二架通过滚珠丝杆移动。
6.如权利要求5所述的印网掩模,其中
所述滚珠丝杆被配置为由驱动电机驱动。
7.如权利要求5所述的印网掩模,其中
所述滚珠丝杆被配置为手动驱动。
CN201310400027.5A 2012-12-17 2013-09-05 印网掩模 Active CN103862845B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120147541A KR102063832B1 (ko) 2012-12-17 2012-12-17 스크린 마스크
KR10-2012-0147541 2012-12-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103862845A CN103862845A (zh) 2014-06-18
CN103862845B true CN103862845B (zh) 2017-11-17

Family

ID=50902138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310400027.5A Active CN103862845B (zh) 2012-12-17 2013-09-05 印网掩模

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9193145B2 (zh)
JP (1) JP6385652B2 (zh)
KR (1) KR102063832B1 (zh)
CN (1) CN103862845B (zh)
TW (1) TWI616348B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104191807B (zh) * 2014-08-04 2017-01-18 深圳劲嘉集团股份有限公司 一种丝网印刷设备
KR102352280B1 (ko) * 2015-04-28 2022-01-18 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체 제조 장치 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체 제조 방법
KR102352279B1 (ko) 2015-05-13 2022-01-18 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체와 그 제조방법
JP2017217874A (ja) * 2016-06-09 2017-12-14 株式会社コベルコ科研 スクリーン印刷用メッシュ部材及びスクリーン印刷版
KR20210107217A (ko) * 2020-02-21 2021-09-01 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조장치, 마스크 어셈블리의 제조방법, 및 표시 장치의 제조방법
KR102245885B1 (ko) * 2020-07-09 2021-04-29 주식회사 주영지앤에프 섬유 인쇄물 및 이의 제조 방법

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1892268A (en) * 1930-12-13 1932-12-27 Flockhart James Screen stencil frame
DE3042893A1 (de) * 1980-11-13 1982-06-09 Elmar Dipl.-Kfm. Dr. 8000 München Messerschmitt Verfahren und vorrichtung zur behandlung von siebdruckgewebe
JPS6036232U (ja) * 1983-08-22 1985-03-13 有限会社 マイクロシステムズ スクリ−ン紗張り装置
JPH05131332A (ja) * 1991-11-07 1993-05-28 Hitachi Ltd 移動案内装置
JP4059305B2 (ja) * 1997-07-04 2008-03-12 株式会社日立プラズマパテントライセンシング スクリーン印刷装置
JPH11240129A (ja) * 1998-02-24 1999-09-07 Sanee Giken Kk スクリーン印刷装置
KR100383042B1 (ko) 2001-02-13 2003-05-09 주식회사 엘지이아이 개선된 형광면 제조용 스크린마스크
KR100402743B1 (ko) 2001-03-13 2003-10-17 삼성에스디아이 주식회사 스크린 인쇄장치와 이를 채용하여 제조된 평판표시장치
US6878208B2 (en) * 2002-04-26 2005-04-12 Tohoku Pioneer Corporation Mask for vacuum deposition and organic EL display manufactured by using the same
JP2004006257A (ja) * 2002-04-26 2004-01-08 Tohoku Pioneer Corp 真空蒸着用マスク及びこれを用いて製造された有機elディスプレイパネル
KR100761766B1 (ko) * 2005-10-17 2007-09-28 삼성전자주식회사 프린팅 장치, 이의 제어방법과 이를 이용한 평판표시장치의제조방법
JP4951960B2 (ja) * 2005-12-22 2012-06-13 大日本印刷株式会社 メタルマスク、メタルマスク位置アラインメント方法及び装置
KR100708323B1 (ko) * 2006-02-09 2007-04-17 엔티엠 주식회사 마스크 장치 및 그 제어 방법
JP2008110533A (ja) * 2006-10-31 2008-05-15 Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd スクリーンマスク
JP5050561B2 (ja) * 2007-02-23 2012-10-17 株式会社ボンマーク 紗張り装置
DE102007060916B3 (de) * 2007-12-14 2009-06-25 Kba-Metronic Ag Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Siebspannung des Siebgewebes in einem Siebrahmen
JP5344694B2 (ja) * 2009-07-01 2013-11-20 Nke株式会社 張力付加装置
JP5123970B2 (ja) 2010-03-15 2013-01-23 株式会社ボンマーク スクリーン印刷版の製造方法
JP5381830B2 (ja) * 2010-03-16 2014-01-08 パナソニック株式会社 スクリーン印刷機及びスクリーン印刷機におけるマスク設置方法
CN101979248B (zh) * 2010-09-08 2012-03-07 东莞市凯格精密机械有限公司 平面任意位置调整平台及全自动视觉印刷机
TWM442273U (en) * 2012-05-30 2012-12-01 Der-Mu Wu Screen aluminum frame capable of adjusting transverse tension and vertical horizon

Also Published As

Publication number Publication date
JP2014117949A (ja) 2014-06-30
TW201425052A (zh) 2014-07-01
KR102063832B1 (ko) 2020-01-09
KR20140078310A (ko) 2014-06-25
JP6385652B2 (ja) 2018-09-05
US20140165863A1 (en) 2014-06-19
US9193145B2 (en) 2015-11-24
TWI616348B (zh) 2018-03-01
CN103862845A (zh) 2014-06-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103862845B (zh) 印网掩模
CN103866229B (zh) 用于薄膜气相沉积的掩模组件及其制造方法
KR101026426B1 (ko) 디스펜서 및 이를 이용한 실런트 등의 도포 방법
US20160372343A1 (en) Substrate support device, substrate support method and vacuum drying equipment
US20080121124A1 (en) Screen Printer
JP4315295B2 (ja) ペースト塗布装置
CN104726821B (zh) 蒸镀装置
JP4656886B2 (ja) 金属薄板の枠貼り方法及び装置
KR20130030209A (ko) 인쇄 회로 기판 상에 솔더 페이스트를 인쇄하기 위한 고정 프레임 및 조립된 고정 장치
CN107215096A (zh) 涂胶设备
US9773600B2 (en) Magnet plate assembly, deposition apparatus including the same, and deposition method using the same
CN104372289B (zh) 一种用于oled金属掩模板绷网用的位置调整机构
CN104043886A (zh) 焊球印刷机及焊球印刷方法
TWI422270B (zh) Method and apparatus for sealing sheet of metal thin plate for manufacturing step of organic EL element
CN106004000A (zh) 剥离装置
JP5902525B2 (ja) 基板の貼り合わせ方法及び貼り合わせ装置
CN203451604U (zh) 一种用于oled 金属掩模板绷网用的位置调整机构
JP2011161810A (ja) 印刷装置のアライメント方法及び装置
CN102249554A (zh) 一种薄膜压合机构
TWI531834B (zh) 塗佈機之平台以及控制塗佈機之平台及塗佈頭單元移動之方法
KR102433592B1 (ko) 듀얼 레인 컨베이어의 폭 조절 장치
JP5745152B1 (ja) 貼合機用液剤塗布装置及び貼合機用液剤塗布方法
JP6968550B2 (ja) マスク製造装置及びマスク製造方法
JP2010197434A (ja) 貼付装置および電気光学装置の製造方法
CN103962275B (zh) 涂布单元、使用该涂布单元的涂布装置及涂布方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant