CN103839841A

CN103839841A - 嵌套工具和反应腔室

Info

Publication number: CN103839841A
Application number: CN201410098490.3A
Authority: CN
Inventors: 代勇; 王阔
Original assignee: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Current assignee: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Priority date: 2014-03-17
Filing date: 2014-03-17
Publication date: 2014-06-04

Abstract

本发明提出了一种嵌套工具和反应腔室，嵌套工具包括圆柱体和端面，两者固定在一起，将嵌套工具的圆柱体嵌入至反应腔室的开孔中，端面位于开孔外，固定嵌套工具不会落入开孔中，因此能够保护开孔的表面，在对反应腔室进行清理维护时，可以取出嵌套工具进行清理和维护，降低了清理难度，维护了整个反应腔室的洁净度，同时还能够保护开孔不被损伤。

Description

嵌套工具和反应腔室

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种嵌套工具和反应腔室。

背景技术

在半导体制造领域中，沉积薄膜、刻蚀等工艺均在反应腔室（Chamber）中进行。为了能够保持反应腔室内部反应时的工艺环境，因此，在每次进行工艺反应之前通常会进行清洁反应（Clean process），将整个反应腔室的内壁均形成一层保护涂层（Coating）之后再进行相应的工艺反应，在每次工艺反应完成之后，由于保护涂层会被有损伤，因此需要再次进行清洁反应，将受到损伤的保护涂层去除，重新形成新的保护涂层，以确保后续的工艺反应能够在符合要求的环境下进行。

然而，清洁反应形成的涂层往往在去除时会聚集在反应腔室内部的某些地方，产生聚积物（Polymer），随着时间的推移，聚积物的增多，进行工艺反应时，往往聚积物会落入晶圆的表面，形成缺陷（Defect），严重时会导致晶圆报废。

请参考图1，图1为现有技术中反应腔室的结构示意图，反应腔室10的侧壁设有旁路阀口12和气体流量计接口12，其中所述旁路阀口12用于连接一旁路阀（图未示出），通常在通入反应气体之前，先打开所述旁路阀，用于抽去反应腔室内的气体降低压强，待反应气体流量稳定之后再关闭所述旁路阀，然后再进行工艺反应；所述气体流量计接口12用于流入气体，从而由气体流量计获取气体的流量信息。

然而，在进行清洁反应后，往往会在所述旁路阀口12和气体流量计接口12内形成聚积物堆积过多时，会堵塞所述旁路阀口12和气体流量计接口12，对工艺反应造成较大影响，另一方面，聚积物也容易在晶圆表面形成缺陷，造成晶圆报废。但是由于所述旁路阀口12和气体流量计接口12较深较小，因此，技术人员在对所述反应腔室进行定期维护（PM）时，无法将所述旁路阀口12和气体流量计接口12清理干净。因此，如何避免聚积物堆积在所述旁路阀口12和气体流量计接口12内，保证晶圆进行工艺反应的环境良好，是本领域技术人员急需解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种嵌套工具和反应腔室，能够嵌入反应腔室内壁的开口中，便于拆卸和清理。

为了实现上述目的，本发明提出了一种嵌套工具，所述工具包括圆柱体和端面，所述端面固定于所述圆柱体上，所述嵌套工具设有通孔，所述通孔贯穿所述圆柱体和端面。

进一步的，在所述的嵌套工具中，所述圆柱体和端面的表面均形成有保护涂层。

进一步的，在所述的嵌套工具中，所述圆柱体和端面的材质为铝。

进一步的，在所述的嵌套工具中，所述圆柱体和端面为一体成型。

进一步的，在所述的嵌套工具中，所述端面横截面的宽度大于所述圆柱体横截面的直径。

进一步的，本发明还提出了一种反应腔室，包括反应腔体，所述反应腔体侧壁设有多个开孔，所述反应腔室还包括如上文所述的任意一种嵌套工具，所述嵌套工具的圆柱体尺寸与所述开孔的尺寸相匹配。

进一步的，在所述的反应腔室中，所述嵌套工具与所述开孔一一对应。

与现有技术相比，本发明的有益效果主要体现在：嵌套工具包括圆柱体和端面，两者固定在一起，将嵌套工具的圆柱体嵌入至反应腔室的开孔中，端面位于开孔外，固定嵌套工具不会落入开孔中，因此能够保护开孔的表面，在对反应腔室进行清理维护时，可以取出嵌套工具进行清理和维护，降低了清理难度，维护了整个反应腔室的洁净度，同时还能够保护开孔不被损伤。

附图说明

图1为现有技术中反应腔室的结构示意图；

图2为本发明一实施例中嵌套工具的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本发明的嵌套工具和反应腔室进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关***或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

请参考图2，在本实施例中，提出了一种嵌套工具，所述工具包括圆柱体110和端面120，所述端面120固定于所述圆柱体110上，所述嵌套工具设有通孔130，所述通孔130贯穿所述圆柱体110和端面120。

在本实施例中，所述圆柱体110和端面120的表面均形成有保护涂层，用于保护所述嵌套工具，同时对反应腔室内部不会造成损害；其中，所述圆柱体110和端面120的材质为铝或者铝合金；所述圆柱体110和端面120为一体成型；所述端面120横截面的宽度大于所述圆柱体110横截面的直径，采用这种设计能够在圆柱体110嵌入开孔中不会落入所述开孔内。

在本实施例中，还提出了一种反应腔室，包括反应腔体，所述反应腔体侧壁设有多个开孔，所述嵌套工具的圆柱体110尺寸与所述开孔的尺寸相匹配，使所述圆柱体110能够嵌入至所述开孔内，从而保护所述开孔。

在本实施例中，所述嵌套工具与所述开孔一一对应，所述嵌套工具的尺寸可以根据所述开孔的大小来决定，可以具有多种尺寸。

综上，在本发明实施例提供的嵌套工具和反应腔室中，嵌套工具包括圆柱体和端面，两者固定在一起，将嵌套工具的圆柱体嵌入至反应腔室的开孔中，端面位于开孔外，固定嵌套工具不会落入开孔中，因此能够保护开孔的表面，在对反应腔室进行清理维护时，可以取出嵌套工具进行清理和维护，降低了清理难度，维护了整个反应腔室的洁净度，同时还能够保护开孔不被损伤。

上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种嵌套工具，所述工具包括圆柱体和端面，所述端面固定于所述圆柱体上，所述嵌套工具设有通孔，所述通孔贯穿所述圆柱体和端面。

2.如权利要求1所述的嵌套工具，其特征在于，所述圆柱体和端面的表面均形成有保护涂层。

3.如权利要求2所述的嵌套工具，其特征在于，所述圆柱体和端面的材质为铝。

4.如权利要求3所述的嵌套工具，其特征在于，所述圆柱体和端面为一体成型。

5.如权利要求4所述的嵌套工具，其特征在于，所述端面横截面的宽度大于所述圆柱体横截面的直径。

6.一种反应腔室，包括反应腔体，所述反应腔体侧壁设有多个开孔，其特征在于所述反应腔室还包括如权利要求1至5中所述的任意一种嵌套工具，所述嵌套工具的圆柱体尺寸与所述开孔的尺寸相匹配。

7.如权利要求6所述的反应腔室，其特征在于，所述嵌套工具与所述开孔一一对应。