CN103823603A - Ogs触摸屏及其制作方法 - Google Patents

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CN103823603A CN201410102813.1A CN201410102813A CN103823603A CN 103823603 A CN103823603 A CN 103823603A CN 201410102813 A CN201410102813 A CN 201410102813A CN 103823603 A CN103823603 A CN 103823603A
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张明敏
方莹
吴国兴
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Nanchang OFilm Optical Technology Co Ltd
Nanchang OFilm Tech Co Ltd
Suzhou OFilm Tech Co Ltd
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Nanchang OFilm Optical Technology Co Ltd
Nanchang OFilm Tech Co Ltd
Suzhou OFilm Tech Co Ltd
Shenzhen OFilm Tech Co Ltd
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Abstract

一种OGS触摸屏的制作方法,包括如下步骤:提供玻璃基板,玻璃基板的非可视区包括周边导线区域与图案区域;采用磁控溅射的方式在图案区域形成第一金属膜;采用旋涂或辊涂的方式在第一金属膜上形成光阻层;将掩膜版置于光阻层上方,紫外线透过掩膜版照射光阻层,将掩膜版上的图案复制到光阻层上;采用显影液除去部分光阻层,以使光阻层呈现出与掩膜版上的图案对应的形状;采用刻蚀液去除裸露于光阻层外的第一金属膜,以使第一金属膜呈现出与掩膜版上的图案对应的形状;采用剥离液去除第一金属膜上的光阻层,即在图案区域形成标志图案。采用上述OGS触摸屏的制作方法制备的OGS触摸屏具有较高的良率。本发明还提供一种OGS触摸屏。

Description

OGS触摸屏及其制作方法
技术领域
本发明涉及触摸屏技术领域,特别是涉及一种OGS触摸屏及其制作方法。
背景技术
为了有效降低触控模块成本,同时满足终端消费性电子产品轻薄化市场趋势,近两年触控行业积极着手研发减少ITO薄膜或ITO玻璃用量,布局发展OGS触摸屏(one glass solution,单层一体化电容式触摸屏)。其中,OGS是一种在一块玻璃上制作遮光油墨、导电图案、导线、标志图案(例如,logo)等的技术。OGS触摸屏将导电图案玻璃(例如,ITO玻璃)与保护玻璃集成为一片玻璃,与传统电容触摸屏相比较,其具有如下三点优点:(1)节省了一层玻璃成本和减少了一次贴合成本;(2)减轻了重量;(3)增加了透光度。
传统制作OGS触摸屏的方法主要包括如下步骤:(1)先在玻璃基板上制作油墨层,形成OGS触摸屏的非可视区;(2)在油墨层上制作导线;(3)采用丝网印刷的方式,在异向导电胶膜连接区(ACF bonding区,Anisotropic ConductiveFilm),也即导线与柔性印刷电路板连接处,制作logo等标志图案。
由于制作标志图案一般采用镜面银设计,需要使用镜面银油墨。镜面银油墨中的树脂混有金属铝片,具有导电能力。标志图案与导线靠近,而采用丝网印刷制作标志图案时,镜面银油墨容易溢墨,从而会出现标志图案与导线连通,进而影响导线与柔性印刷电路板的连接良率,出现短路的情况,导致OGS触摸屏良率低下。
发明内容
基于此,有必要提供一种具有较高良率的OGS触摸屏及其制作方法。
一种OGS触摸屏的制作方法,包括如下步骤:
提供玻璃基板,所述玻璃基板具有可视区及非可视区,所述非可视区包括用于设置导线的周边导线区域与用于设置标志图案的图案区域;
采用磁控溅射的方式在所述图案区域形成第一金属膜;
采用旋涂或辊涂的方式在所述第一金属膜上形成光阻层;
将掩膜版置于所述光阻层上方,采用与所述光阻层相对应的紫外线透过所述掩膜版照射所述光阻层,将掩膜版上的图案复制到所述光阻层上;
采用显影液除去部分所述光阻层,以使所述光阻层呈现出与所述掩膜版上的图案对应的形状;
采用刻蚀液去除裸露于所述光阻层外的第一金属膜,以使所述第一金属膜呈现出与所述掩膜版上的图案对应的形状;及
采用剥离液去除所述第一金属膜上的光阻层,即在所述图案区域形成标志图案。
在其中一个实施例中,在采用磁控溅射的方式在所述图案区域形成第一金属膜的步骤之前,还包括采用丝网印刷的方式在所述周边导线区域形成遮光油墨层的步骤,所述第一金属膜直接形成于所述玻璃基板上;
或者,在采用磁控溅射的方式在所述图案区域形成第一金属膜的步骤之前,还包括采用丝网印刷的方式在所述非可视区形成遮光油墨层的步骤,所述第一金属膜形成于所述遮光油墨层上。
在其中一个实施例中,还包括在所述周边导线区域上形成导线的步骤,具体步骤如下:
采用丝网印刷的方式在位于所述周边导线区域上的遮光油墨层上形成导线;
或者,采用磁控溅射的方式在所述周边导线区域上的遮光油墨层上形成第二金属膜,所述第二金属膜与所述第一金属膜的材质不同,并通过所述第二金属膜形成所述导线;
或者,在所述图案区域形成第一金属膜的同时,采用磁控溅射的方式在所述周边导线区域上的遮光油墨层上形成第二金属膜,所述第二金属膜与所述第一金属膜的材质相同,并通过所述第二金属膜形成所述导线。
在其中一个实施例中,在通过所述第二金属膜形成所述导线过程中,所述掩膜版上的图案与所述导线及所述标志图案相对应。
在其中一个实施例中,在采用丝网印刷的方式在所述周边导线区域或所述非可视区形成所述遮光油墨层的过程中,包括如下步骤:
提供丝网、网框、遮光油墨以及刮墨板,其中,丝网的材质为丝、尼龙、聚酯纤维或不锈钢;
将所述丝网绷在所述网框上,使所述丝网张紧固定,并采用手工刻漆膜或光化学制版的方法制得网版,所述网版的形状与周边导线区域或所述非可视区相对应;及
在所述网版的一端倒入所述遮光油墨,用所述刮墨板刮动所述遮光油墨,并在所述玻璃基板上形成所述遮光油墨层;
其中,在刮动所述遮光油墨的过程中,所述刮墨板与所述网版的夹角为30~45度,所述刮墨板作用于所述网版上的压力为0.3~0.5兆帕;构成所述遮光油墨层的线条宽度为100~130微米。
在其中一个实施例中,在形成所述第一金属膜的过程中,所述磁控溅射的条件为:氧气的流量为0.5~2.0sccm,氩气的流量为50~60sccm,电压为400~500伏。
在其中一个实施例中,所述第一金属膜为Ag膜或Mo-Al-Mo膜,其中,所述Ag膜的厚度为20~100纳米,所述Mo-Al-Mo膜包括厚度为20~100纳米的Al膜以及设于所述Al膜两侧的厚度为20~100纳米的Mo膜。
在其中一个实施例中,所述光阻层由正型光阻剂形成,所述掩膜版上的图案与所述标志图案相同;
或者,所述光阻层由负型光阻剂形成,所述掩膜版上的图案与所述标志图案互补。
在其中一个实施例中,构成所述标志图案的线条宽度为20~40微米。
在其中一个实施例中,所述显影液为氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液,所述氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液的质量分数为0.1%~1%;或者,所述显影液为有机碱的水溶液,所述有机碱的水溶液的质量分数为5%~10%,其中,所述有机碱为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵或四丙基氢氧化铵;
所述刻蚀液为酸性水溶液,包括磷酸与硝酸,其中,所述磷酸的质量分数为75%~80%,所述硝酸的质量分数为3%~5%;
所述剥离液为氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液,所述氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液的质量分数为0.1%~1%;或者,所述剥离液为有机碱的水溶液,所述有机碱的水溶液的质量分数为5%~10%,其中,所述有机碱为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵或四丙基氢氧化铵。
一种OGS触摸屏,包括:
玻璃基板,所述玻璃基板具有可视区及非可视区,所述非可视区包括用于设置导线的周边导线区域与用于设置标志图案的图案区域;
遮光油墨层,设于所述非可视区上;
导线,采用磁控溅射的方式或丝网印刷的方式形成于位于所述周边导线区域上的遮光油墨层上;
标志图案,采用磁控溅射的方式形成于位于所述图案区域上的遮光油墨层上,且所述标志图案的材质为金属。
一种OGS触摸屏,包括:
玻璃基板,所述玻璃基板具有可视区及非可视区,所述非可视区包括用于设置导线的周边导线区域与用于设置标志图案的图案区域;
遮光油墨层,设于所述非可视区上,且所述遮光油墨层上开设有贯穿至所述非可视区的凹槽;
导线,采用磁控溅射的方式或丝网印刷的方式形成于所述遮光油墨层上;
标志图案,采用磁控溅射的方式形成于所述凹槽内,且所述标志图案的材质为金属。
采用磁控溅射的方式制作标志图案(制作标志图案材料为金属靶材)相比于传统的以丝网印刷的方式制作标志图案(制作标志图案材料为镜面银油墨),不会出现因镜面银油墨溢墨,而导致标志图案与导线连通情况。因此,上述OGS触摸屏的制作方法能有效避免导线与标志图案接触,从而使得采用上述OGS触摸屏的制作方法制得的OGS触摸屏具有较高的良率。
附图说明
图1为一实施方式的OGS触摸屏的制作方法的流程图;
图2为一实施方式的OGS触摸屏的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示,一实施方式的OGS触摸屏的制作方法,包括如下步骤:
步骤S110,提供玻璃基板,玻璃基板具有可视区及非可视区。非可视区包括用于设置导线的周边导线区域与用于设置标志图案的图案区域。
如图2所示,玻璃基板200具有可视区210及非可视区220。非可视区220包括用于设置导线的周边导线区域222与用于设置标志图案的图案区域224。
步骤S120,采用磁控溅射的方式在图案区域形成第一金属膜。
在本实施方式中,第一金属膜为Ag膜(也即磁控溅射的靶材为Ag),Ag膜的厚度为20~100纳米。磁控溅射的条件为:氧气的流量为0.5~2.0sccm,氩气的流量为50~60sccm,电压为400~500伏。可以理解,在其他实施方式中,第一金属膜也可以为Mo-Al-Mo膜(也即磁控溅射的靶材为Mo与Al)。Mo-Al-Mo膜包括厚度为20~100纳米的Al膜以及设于Al膜两侧的厚度为20~100纳米的Mo膜。
在电场和交变磁场的作用下,氧气与氩气的混合气体产生等离子体。被加速的高能粒子轰击靶材表面,能量交换后,靶材表面的原子脱离原晶格而逸出,转移到玻璃基板表面而成膜。在磁控溅射镀膜技术中,溅射出的原子是与具有数千电子伏的高能离子交换能量后飞溅出来的,其能量较高,往往比蒸发原子高出1~2个数量级,因而用磁控溅射法形成的薄膜与玻璃基板的粘附性较蒸发原子的更佳。另外,用磁控溅射法可以制备不能用蒸发工艺制备的高熔点、低蒸气压物质膜,便于制备化合物或合金的薄膜。
进一步,在本实施方式中,在形成第一金属膜的过程中,在玻璃基板上施加偏压。从而可以兼顾对玻璃基板的清洁处理,进一步增加金属膜与玻璃基板的粘附性,而且适当的偏压对生成金属薄膜的台阶覆盖也有好处。
在本实施方式中,在采用磁控溅射的方式在图案区域形成第一金属膜的步骤之前,还包括采用丝网印刷的方式在周边导线区域形成遮光油墨层的步骤。其中,第一金属膜直接形成于玻璃基板上。
进一步,在本实施方式中,在采用丝网印刷的方式在周边导线区域形成遮光油墨层的过程中,包括如下步骤:
(1)提供丝网、网框、遮光油墨以及刮墨板,其中,丝网的材质为丝、尼龙、聚酯纤维或不锈钢。(2)将丝网绷在网框上,使丝网张紧固定,并采用手工刻漆膜或光化学制版的方法制得网版,网版的形状与周边导线区域或非可视区相对应。(3)在网版的一端倒入遮光油墨,用刮墨板刮动遮光油墨,并在玻璃基板上形成遮光油墨层。其中,在刮动遮光油墨的过程中,刮墨板与网版的夹角为30~45度,刮墨板作用于网版上的压力为0.3~0.5兆帕。采用上述方法制作得到的遮光油墨层的线条宽度为100~130微米。从而使得遮光油墨层具有更好的遮光效果。
可以理解,在其他实施方式中,在采用磁控溅射的方式在图案区域形成第一金属膜的步骤之前,还包括采用丝网印刷的方式在非可视区形成遮光油墨层的步骤。其中,第一金属膜形成于遮光油墨层上。
进一步,还包括在周边导线区域上形成导线的步骤。
在本实施方式中,在采用磁控溅射的方式在图案区域形成第一金属膜的同时,在周边导线区域上的遮光油墨层上形成第二金属膜。第二金属膜与第一金属膜的材质相同,并通过第二金属膜形成导线。由于第二金属膜与第一金属膜的材质相同,在制作标志图案的同时可以制作导线,而且只需要进行一次磁控溅射镀膜,从而可以有效提高生产效率。
可以理解,在其他实施方式中,在采用磁控溅射的方式在图案区域形成第一金属膜的同时,在周边导线区域上的遮光油墨层上形成第二金属膜。第二金属膜与第一金属膜的材质不相同,并通过第二金属膜形成导线。在其他实施方式中,也可以采用丝网印刷的方式在位于周边导线区域上的遮光油墨层上形成导线。由于第二金属膜与第一金属膜的材质不相同,需要进行两次磁控溅射镀膜,一次用于形成第一金属膜,一次用于形成第二金属膜。
步骤S130,采用旋涂或辊涂的方式在第一金属膜上形成光阻层。
在本实施方式中,由于导线也采用磁控溅射的方式制作,在第一金属膜上形成光阻层的同时还在第二金属膜上形成光阻层。
步骤S140,将掩膜版置于光阻层上方,,采用与光阻层相对应的紫外线透过掩膜版照射光阻层,将掩膜版上的图案复制到光阻层上。
在本实施方式中,光阻层由正型光阻剂形成,掩膜版上具有与标志图案相同的图案。可以理解,在其他实施方式中,光阻层可以由负型光阻剂形成,掩膜版上具有与标志图案互补的图案。
由于导线区域上的遮光油墨层上具有采用磁控溅射方式形成的第二金属膜,因此,掩膜版上具有与导线及标志图案相对应的图案。可以理解,在其他方式中,当导线是采用丝网印刷的方式形成时,掩膜版上可以只具有与标志图案相对应的图案。
步骤S150,采用显影液除去部分光阻层,以使光阻层呈现出与掩膜版上的图案对应的形状。
在本实施方式中,光阻层由正型光阻剂形成,在紫外光照射下,光阻层的光照部分性质改变,溶解度增大,在显影液的作用下溶解掉。而光阻层未被紫外光照射的部分则呈现出与掩膜版上的图案相同的形状。
而当光阻层由负型光阻剂形成,在紫外光照射下,光阻层未被紫外光照射的部分性质改变溶解度增大,在显影液的作用下溶解掉。而光阻层的光照部分则呈现出与掩膜版上的图案互补的形状。
其中,显影液为氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液,氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液的质量分数为0.1%~1%。可以理解,在其他实施方式中,显影液也可以为有机碱的水溶液,有机碱的水溶液的质量分数为5%~10%。有机碱为有机碱为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵或四丙基氢氧化铵。
步骤S160,采用刻蚀液去除裸露于光阻层外的第一金属膜,以使第一金属膜呈现出与掩膜版上的图案对应的形状。
在本实施方式中,第一金属膜呈现出的形状与掩膜版上的图案相同。在其他实施方式中,第一金属膜呈现出的形状可以与掩膜版上的图案互补。刻蚀液为酸性水溶液,包括磷酸与硝酸,其中,磷酸的质量分数为75%~80%,硝酸的质量分数为3%~5%。
步骤S170,采用剥离液去除第一金属膜上的光阻层,即在图案区域形成标志图案。
在本实施方式中,标志图案为logo。可以理解,标志图案可以为警示用语等。剥离液为氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液,氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液的质量分数为0.1%~1%。在其他实施方式中,剥离液也可以为有机碱的水溶液,有机碱的水溶液的质量分数为5%~10%,其中,有机碱为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵或四丙基氢氧化铵。
在本实施方式中,构成标志图案的线条宽度为20~40微米。相比于丝网印刷技术,磁控溅射技术可以使得制得的标志图案的线条尺寸更精确。
此外,如图2所示,在本实施方式中,还提供一种OGS触摸屏10,包括玻璃基板200、遮光油墨层300、导线(图未示)及标志图案400。
玻璃基板200具有可视区210及非可视区220。非可视区220包括用于设置导线的周边导线区域222与用于设置标志图案的图案区域224。
遮光油墨层300设于非可视区220上。
导线(图未示)采用磁控溅射的方式或丝网印刷的方式形成于位于周边导线区域222上的遮光油墨层300上。
标志图案400采用磁控溅射的方式形成于位于图案区域224上的遮光油墨层300上,且标志图案400的材质为金属。
上述OGS触摸屏10中的标志图案400采用磁控溅射的方式形成,不会出现因镜面银油墨溢墨,而导致标志图案与导线连通情况,能有效避免标志图案400与导线接触,进而不会影响导线与柔性印刷电路板500的连接良率。因此,上述OGS触摸屏具有较高的良率。
在其他实施方式中,还提供一种OGS触摸屏,包括玻璃基板、遮光油墨层、导线(图未示)及标志图案。
玻璃基板具有可视区及非可视区,非可视区包括用于设置导线的周边导线区域与用于设置标志图案的图案区域。
遮光油墨层设于非可视区上,且遮光油墨层上开设有贯穿至非可视区的凹槽。凹槽用于使部分非可视区裸露于遮光油墨层外。
导线采用磁控溅射的方式或丝网印刷的方式形成于遮光油墨层上。
标志图案采用磁控溅射的方式形成于凹槽内,且标志图案的材质为金属。
其中,标志图案所在的部位即为玻璃基板的图案区域。
上述OGS触摸屏中的标志图案采用磁控溅射的方式形成,不会出现因镜面银油墨溢墨,而导致标志图案与导线连通情况,能有效避免标志图案与导线接触。而且上述OGS触摸屏的标志图案与玻璃基板直接接触,而导线设于遮光油墨层上,导线通过遮光油墨层间接设置于玻璃基板,从而能进一步避免标志图案与导线接触。因此,上述OGS触摸屏具有较高的良率。
采用磁控溅射的方式制作标志图案(制作标志图案材料为金属靶材)相比于传统的以丝网印刷的方式制作标志图案(制作标志图案材料为镜面银油墨),不会出现因镜面银油墨溢墨,而导致标志图案与导线连通情况。因此,上述OGS触摸屏的制作方法能有效避免导线与标志图案接触,从而使得采用上述OGS触摸屏的制作方法制得的OGS触摸屏具有较高的良率。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (12)

1.一种OGS触摸屏的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
提供玻璃基板,所述玻璃基板具有可视区及非可视区,所述非可视区包括用于设置导线的周边导线区域与用于设置标志图案的图案区域;
采用磁控溅射的方式在所述图案区域形成第一金属膜;
采用旋涂或辊涂的方式在所述第一金属膜上形成光阻层;
将掩膜版置于所述光阻层上方,采用与所述光阻层相对应的紫外线透过所述掩膜版照射所述光阻层,将掩膜版上的图案复制到所述光阻层上;
采用显影液除去部分所述光阻层,以使所述光阻层呈现出与所述掩膜版上的图案对应的形状;
采用刻蚀液去除裸露于所述光阻层外的第一金属膜,以使所述第一金属膜呈现出与所述掩膜版上的图案对应的形状;及
采用剥离液去除所述第一金属膜上的光阻层,即在所述图案区域形成标志图案。
2.根据权利要求1所述的OGS触摸屏的制作方法,其特征在于,在采用磁控溅射的方式在所述图案区域形成第一金属膜的步骤之前,还包括采用丝网印刷的方式在所述周边导线区域形成遮光油墨层的步骤,所述第一金属膜直接形成于所述玻璃基板上;
或者,在采用磁控溅射的方式在所述图案区域形成第一金属膜的步骤之前,还包括采用丝网印刷的方式在所述非可视区形成遮光油墨层的步骤,所述第一金属膜形成于所述遮光油墨层上。
3.根据权利要求2所述的OGS触摸屏的制作方法,其特征在于,还包括在所述周边导线区域上形成导线的步骤,具体步骤如下:
采用丝网印刷的方式在位于所述周边导线区域上的遮光油墨层上形成导线;
或者,采用磁控溅射的方式在所述周边导线区域上的遮光油墨层上形成第二金属膜,所述第二金属膜与所述第一金属膜的材质不同,并通过所述第二金属膜形成所述导线;
或者,在所述图案区域形成第一金属膜的同时,采用磁控溅射的方式在所述周边导线区域上的遮光油墨层上形成第二金属膜,所述第二金属膜与所述第一金属膜的材质相同,并通过所述第二金属膜形成所述导线。
4.根据权利要求3所述的OGS触摸屏的制作方法,其特征在于,在通过所述第二金属膜形成所述导线过程中,所述掩膜版上的图案与所述导线及所述标志图案相对应。
5.根据权利要求2所述的OGS触摸屏的制作方法,其特征在于,在采用丝网印刷的方式在所述周边导线区域或所述非可视区形成所述遮光油墨层的过程中,包括如下步骤:
提供丝网、网框、遮光油墨以及刮墨板,其中,丝网的材质为丝、尼龙、聚酯纤维或不锈钢;
将所述丝网绷在所述网框上,使所述丝网张紧固定,并采用手工刻漆膜或光化学制版的方法制得网版,所述网版的形状与周边导线区域或所述非可视区相对应;及
在所述网版的一端倒入所述遮光油墨,用所述刮墨板刮动所述遮光油墨,并在所述玻璃基板上形成所述遮光油墨层;
其中,在刮动所述遮光油墨的过程中,所述刮墨板与所述网版的夹角为30~45度,所述刮墨板作用于所述网版上的压力为0.3~0.5兆帕;构成所述遮光油墨层的线条宽度为100~130微米。
6.根据权利要求1所述的OGS触摸屏的制作方法,其特征在于,在形成所述第一金属膜的过程中,所述磁控溅射的条件为:氧气的流量为0.5~2.0sccm,氩气的流量为50~60sccm,电压为400~500伏。
7.根据权利要求1所述的OGS触摸屏的制作方法,其特征在于,所述第一金属膜为Ag膜或Mo-Al-Mo膜,其中,所述Ag膜的厚度为20~100纳米,所述Mo-Al-Mo膜包括厚度为20~100纳米的Al膜以及设于所述Al膜两侧的厚度为20~100纳米的Mo膜。
8.根据权利要求1所述的OGS触摸屏的制作方法,其特征在于,所述光阻层由正型光阻剂形成,所述掩膜版上的图案与所述标志图案相同;
或者,所述光阻层由负型光阻剂形成,所述掩膜版上的图案与所述标志图案互补。
9.根据权利要求1所述的OGS触摸屏的制作方法,其特征在于,构成所述标志图案的线条宽度为20~40微米。
10.根据权利要求1所述的OGS触摸屏的制作方法,其特征在于,
所述显影液为氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液,所述氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液的质量分数为0.1%~1%;或者,所述显影液为有机碱的水溶液,所述有机碱的水溶液的质量分数为5%~10%,其中,所述有机碱为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵或四丙基氢氧化铵;
所述刻蚀液为酸性水溶液,包括磷酸与硝酸,其中,所述磷酸的质量分数为75%~80%,所述硝酸的质量分数为3%~5%;
所述剥离液为氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液,所述氢氧化钾或氢氧化钠的水溶液的质量分数为0.1%~1%;或者,所述剥离液为有机碱的水溶液,所述有机碱的水溶液的质量分数为5%~10%,其中,所述有机碱为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵或四丙基氢氧化铵。
11.一种OGS触摸屏,其特征在于,包括:
玻璃基板,所述玻璃基板具有可视区及非可视区,所述非可视区包括用于设置导线的周边导线区域与用于设置标志图案的图案区域;
遮光油墨层,设于所述非可视区上;
导线,采用磁控溅射的方式或丝网印刷的方式形成于位于所述周边导线区域上的遮光油墨层上;
标志图案,采用磁控溅射的方式形成于位于所述图案区域上的遮光油墨层上,且所述标志图案的材质为金属。
12.一种OGS触摸屏,其特征在于,包括:
玻璃基板,所述玻璃基板具有可视区及非可视区,所述非可视区包括用于设置导线的周边导线区域与用于设置标志图案的图案区域;
遮光油墨层,设于所述非可视区上,且所述遮光油墨层上开设有贯穿至所述非可视区的凹槽;
导线,采用磁控溅射的方式或丝网印刷的方式形成于所述遮光油墨层上;
标志图案,采用磁控溅射的方式形成于所述凹槽内,且所述标志图案的材质为金属。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104834401A (zh) * 2015-05-08 2015-08-12 南昌欧菲光科技有限公司 电子设备、触摸显示面板及其触摸屏
CN105373283A (zh) * 2015-12-04 2016-03-02 宜昌南玻显示器件有限公司 电容式触摸屏的制备方法
CN106201036A (zh) * 2015-04-29 2016-12-07 南昌欧菲光科技有限公司 内嵌式触摸显示屏及触摸显示屏模组
CN106325628A (zh) * 2015-07-02 2017-01-11 南昌欧菲光科技有限公司 一种触摸屏logo制作方法及触摸屏
CN108545964A (zh) * 2018-06-08 2018-09-18 深圳市骏达光电股份有限公司 手机玻璃后盖制作方法
CN109808325A (zh) * 2019-03-26 2019-05-28 信利光电股份有限公司 一种改善丝印图案边缘锯齿效果的方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101149749B1 (ko) * 2010-05-11 2012-06-01 주식회사 모린스 장식부에 미러 문양의 효과를 갖는 윈도우 일체형 정전용량방식 터치스크린 패널
CN102508584A (zh) * 2011-09-30 2012-06-20 汕头超声显示器(二厂)有限公司 具有装饰图案的单片式电容触摸屏及其制造方法
CN102945096A (zh) * 2012-11-19 2013-02-27 天津市中环高科技有限公司 一种单层玻璃电容式触摸屏上金属logo的制作方法
CN103092390A (zh) * 2011-10-27 2013-05-08 瀚宇彩晶股份有限公司 触控感测装置及其制造方法
TW201329808A (zh) * 2011-09-06 2013-07-16 Toppan Printing Co Ltd 一體型觸控感測器基板、具備它的顯示裝置、及一體型觸控感測器基板的製造方法
KR101295251B1 (ko) * 2012-12-04 2013-08-09 주식회사 라온이노텍 투명 디스플레이부 이미지 멀티 증착 방법
JP2013171128A (ja) * 2012-02-20 2013-09-02 Dainippon Printing Co Ltd 配線付き表示装置用前面保護板とその製造方法、及び表示装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101149749B1 (ko) * 2010-05-11 2012-06-01 주식회사 모린스 장식부에 미러 문양의 효과를 갖는 윈도우 일체형 정전용량방식 터치스크린 패널
TW201329808A (zh) * 2011-09-06 2013-07-16 Toppan Printing Co Ltd 一體型觸控感測器基板、具備它的顯示裝置、及一體型觸控感測器基板的製造方法
CN102508584A (zh) * 2011-09-30 2012-06-20 汕头超声显示器(二厂)有限公司 具有装饰图案的单片式电容触摸屏及其制造方法
CN103092390A (zh) * 2011-10-27 2013-05-08 瀚宇彩晶股份有限公司 触控感测装置及其制造方法
JP2013171128A (ja) * 2012-02-20 2013-09-02 Dainippon Printing Co Ltd 配線付き表示装置用前面保護板とその製造方法、及び表示装置
CN102945096A (zh) * 2012-11-19 2013-02-27 天津市中环高科技有限公司 一种单层玻璃电容式触摸屏上金属logo的制作方法
KR101295251B1 (ko) * 2012-12-04 2013-08-09 주식회사 라온이노텍 투명 디스플레이부 이미지 멀티 증착 방법

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106201036A (zh) * 2015-04-29 2016-12-07 南昌欧菲光科技有限公司 内嵌式触摸显示屏及触摸显示屏模组
CN104834401A (zh) * 2015-05-08 2015-08-12 南昌欧菲光科技有限公司 电子设备、触摸显示面板及其触摸屏
CN104834401B (zh) * 2015-05-08 2018-03-16 南昌欧菲光科技有限公司 电子设备、触摸显示面板及其触摸屏
CN106325628A (zh) * 2015-07-02 2017-01-11 南昌欧菲光科技有限公司 一种触摸屏logo制作方法及触摸屏
CN105373283A (zh) * 2015-12-04 2016-03-02 宜昌南玻显示器件有限公司 电容式触摸屏的制备方法
CN105373283B (zh) * 2015-12-04 2019-01-11 宜昌南玻显示器件有限公司 电容式触摸屏的制备方法
CN108545964A (zh) * 2018-06-08 2018-09-18 深圳市骏达光电股份有限公司 手机玻璃后盖制作方法
CN108545964B (zh) * 2018-06-08 2021-08-20 深圳市骏达光电股份有限公司 手机玻璃后盖制作方法
CN109808325A (zh) * 2019-03-26 2019-05-28 信利光电股份有限公司 一种改善丝印图案边缘锯齿效果的方法

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