CN103809390B - 一种显影喷头 - Google Patents

Abstract

本发明涉及在半导体晶片上获得光刻胶图形的显影处理设备，具体地说是一种显影喷头，包括显影供液管、固定托架调节块、显影管接头、显影管固定托架及显影喷管，显影管固定托架的两端分别安装有沿其长度方向往复移动的固定托架调节块，每个固定托架调节块上均设有显影管接头；显影喷管安装在显影管固定托架上、两端分别与显影管接头的一端连通，每个显影管接头的另一端通过显影供液管与显影液源相连通；显影喷管通过固定托架调节块在显影管固定托架上的移动水平拉伸，在显影喷管上均布有多个喷孔。采用本发明的显影喷头，显影液在晶圆上的停留时间没有差异，显影喷管保证水平拉伸，使显影液均匀覆盖，提高了显影均匀性。

Description

一种显影喷头

技术领域

本发明涉及在半导体晶片上获得光刻胶图形的显影处理设备，具体地说是一种显影喷头。

背景技术

光刻后图形需要显影来获取图形，随着半导体技术的发展，对显影的要求越来越高；因此，如何将显影液均匀涂布在晶片上成为相关领域技术人员不断努力的方向，从而推动了显影喷头的不断革新。显影喷头喷到晶片上的显影液覆盖越来越均匀，促使显影效果逐渐提高；但却导致了显影喷头制造成本越来越高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种组合式显影喷头。该显影喷头在保证显影效果的情况下，提高关键部件加工精度，保证显影均匀性，降低制造成本。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种显影喷头，位于放置晶片的承片台上方，包括显影供液管、固定托架调节块、显影管接头、显影管固定托架及显影喷管，其中显影管固定托架的两端分别安装有沿其长度方向往复移动的固定托架调节块，每个固定托架调节块上均设有显影管接头；所述显影喷管安装在显影管固定托架上、两端分别与显影管接头的一端连通，每个显影管接头的另一端通过显影供液管与显影液源相连通；所述显影喷管通过固定托架调节块在显影管固定托架上的移动水平拉伸，在显影喷管上均布有多个喷孔。

其中：所述固定托架调节块上设有滑块，该滑块与显影管固定托架沿长度方向设置的滑槽相连接，并在滑槽内往复移动；所述固定托架调节块分为上下两部分，并且上部与下部交错设置，所述下部中间挖空、形成滑块；所述显影管接头位于上部的下方，显影管接头的另一端固接在上部的底面，在所述上部开有通孔，显影供液管的一端穿过该通孔与显影管接头连通，另一端连接至显影液源；所述显影管固定托架高度方向的截面为“T”形，“T”形下部的两侧为滑槽，“T”形下部的中间沿长度方向开有直孔，所述显影喷管容置在该直孔内；所述直孔的径向截面为圆形，底部开口，该直孔的孔壁与显影喷管紧 密贴合；所述显影喷头由两端的显影供液管供液。

本发明的优点与积极效果为：

1.采用本发明的显影喷头，显影液在晶圆上的停留时间没有差异，通过调整固定托架调节块的位置，可以保证显影喷管水平拉伸，使显影液均匀覆盖，提高了显影均匀性。

2.本发明的显影喷头由两端供液，使得显影供液管的内部压力更加均匀。

3.本发明的显影喷管为外购的PFA管，通过提高显影喷管上喷孔的加工精度，保证显影均匀性，降低了制造成本。

附图说明

图1为本发明的结构主视图；

图2为图1的俯视图；

图3为图1中拿掉承片台及晶片的仰视图；

图4为本发明固定托架调节块的结构主视图；

图5为图4的左视图；

图6为本发明显影管固定托架的结构主视图；

图7为图6的左视图；

其中：1为显影供液管，2为固定托架调节块，3为显影管接头，4为承片台，5为显影管固定托架，6为晶片，7为显影喷管，8为滑槽，9为滑块，10为直孔。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1～图3所示，本发明的显影喷头位于放置晶片6的承片台4上方，包括显影供液管1、固定托架调节块2、显影管接头3、显影管固定托架5及显影喷管7，其中显影管固定托架5的两端分别安装有固定托架调节块2，每个固定托架调节块2上均设有显影管接头3；显影喷管7安装在显影管固定托架5上、两端分别与显影管接头3的一端连通，每个显影管接头3的另一端通过显影供液管1与显影液源相连通；显影喷管7通过固定托架调节块2在显影管固定托架5上的移动水平拉伸，在显影喷管7上均布有多个喷孔，该喷孔向由承片台4带动旋转的晶片6上喷洒显影液。

如图6、图7所示，显影管固定托架5高度方向的截面为“T”形，“T”形下部的两侧为滑槽8，“T”形下部的中间沿长度方向开有直孔10，该直孔10的径向截面为圆形，底部开口；显影喷管7容置在该直孔10内，直孔10的孔壁与显影喷管7紧密贴合，防止显影喷管7窜动。

如图4、图5所示，固定托架调节块2分为上下两部分，并且上部与下部交错设置，其中下部中间挖空、形成与显影管固定托架5沿长度方向设置的滑槽8相对应的滑块9，固定托架调节块2通过滑块9在滑槽8内往复移动；显影管接头3位于上部的下方，显影管接头3的另一端固接在上部的底面，在上部开有通孔，显影供液管1的一端穿过该通孔与显影管接头3连通，另一端连接至显影液源。

本发明由显影管固定托架2将显影供液管1固定，防止其窜动；显影喷管7为市购的PFA(特氟龙)管，购置于日本SMC公司，型号为TL0604-20。

本发明的工件原理为：

本发明的显影方式为显影喷头通过晶片6旋转而显影喷头不动来进行，当显影喷头移动到晶片6的中心位置上方时，显影液依次经过显影供液管1、显影管接头3、显影喷管7，然后由喷孔喷洒显影液；同时晶片6转动，保证显影液的均匀覆盖，图2中的箭头为晶片6的旋转方向。

本发明可通过调整固定托架调节块2从而带动两端的显影管接头3和显影供液管1，沿滑槽8向外移动，保证显影喷管7水平拉伸，提高显影均匀性。另外，显影供液管1与显影管接头3从两端供液，使显影供液管1的内部压力更加均匀，保证显影液的均匀覆盖。

Claims (6)

1.一种显影喷头，位于放置晶片的承片台上方，其特征在于：所述显影喷头包括显影供液管（1）、固定托架调节块（2）、显影管接头（3）、显影管固定托架（5）及显影喷管（7），其中显影管固定托架（5）的两端分别安装有沿其长度方向往复移动的固定托架调节块（2），每个固定托架调节块（2）上均设有显影管接头（3）；所述显影喷管（7）安装在显影管固定托架（5）上、两端分别与显影管接头（3）的一端连通，每个显影管接头（3）的另一端通过显影供液管（1）与显影液源相连通；所述显影喷管（7）通过固定托架调节块（2）在显影管固定托架（5）上的移动水平拉伸，在显影喷管（7）上均布有多个喷孔。

2.按权利要求1所述的显影喷头，其特征在于：所述固定托架调节块（2）上设有滑块（9），该滑块（9）与显影管固定托架（5）沿长度方向设置的滑槽（8）相连接，并在滑槽（8）内往复移动。

3.按权利要求2所述的显影喷头，其特征在于：所述固定托架调节块（2）分为上下两部分，并且上部与下部交错设置，所述下部中间挖空、形成滑块（9）；所述显影管接头（3）位于上部的下方，显影管接头（3）的另一端固接在上部的底面，在所述上部开有通孔，显影供液管（1）的一端穿过该通孔与显影管接头（3）连通，另一端连接至显影液源。

4.按权利要求1所述的显影喷头，其特征在于：所述显影管固定托架（5）高度方向的截面为“T”形，“T”形下部的两侧为滑槽（8），“T”形下部的中间沿长度方向开有直孔（10），所述显影喷管（7）容置在该直孔（10）内。

5.按权利要求4所述的显影喷头，其特征在于：所述直孔（10）的径向截面为圆形，底部开口，该直孔（10）的孔壁与显影喷管（7）紧密贴合。

6.按权利要求1所述的显影喷头，其特征在于：所述显影喷头由两端的显影供液管（1）供液。