CN103809385A

CN103809385A - 曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法

Info

Publication number: CN103809385A
Application number: CN201210451840.0A
Authority: CN
Inventors: 张鸿明
Original assignee: CHIME BALL TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: CHIME BALL TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date: 2012-11-12
Filing date: 2012-11-12
Publication date: 2014-05-21

Abstract

一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法，其可调整光罩结构的水平角度，本发明利用至少三个水平向驱动部、至少三个水平向驱动源、至少三个垂直向被动部及至少三个万向接头，其中，水平向驱动部水平活动设置于曝光机且具有第一斜面连接单元，垂直向被动部垂直活动设置于曝光机且具有第二斜面连接单元以与第一斜面连接单元面对面活动连接，万向接头以一侧连接垂直向被动部，以另一侧连接光罩结构，水平向驱动源驱动水平向驱动部。因此，本发明可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行。

Description

曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法

技术领域

本发明涉及一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法，尤指具有面对面活动连接的第一斜面连接单元及第二斜面连接单元。

背景技术

曝光机的光罩结构为制作电路板电路的主要结构，一般的光罩结构通常具有承载台及设置于承载台上的光罩，当曝光机欲制作不同电路板的电路时，首先需从曝光机移出承载台以取下先前的光罩，接着再将不同的光罩设置于承载台并将承载台移回曝光机内，以制作不同的电路板电路。然而，前述更换光罩的过程却容易使得光罩与对应物的平行程度产生误差，因此，如何发明出一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法，以使其可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行，将是本发明所欲积极公开的特征。

发明内容

有鉴于上述公知技术的缺憾，发明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克服，凭其从事该项产业多年的累积经验，进而研发出一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法，以期达到可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行的目的。

为达上述目的，本发明的第一态样提供一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其包含：至少三个水平向驱动部，其水平活动设置于该曝光机，该等水平向驱动部分别具有第一斜面连接单元；至少三个水平向驱动源，其设置于该曝光机以分别驱动该等水平向驱动部；至少三个垂直向被动部，其垂直活动设置于该曝光机，该等垂直向被动部分别具有第二斜面连接单元以分别与该等第一斜面连接单元面对面活动连接；以及至少三个万向接头，其分别以一侧连接该等垂直向被动部，及分别以另一侧连接该光罩结构。

上述机构更包含至少三个水平向座体、至少三个垂直向座体或以上两者，其设置于该曝光机，该等水平向驱动部分别水平活动设置于该等水平向座体，该等垂直向驱动部分别垂直活动设置于该等垂直向座体。

上述机构的该等水平向驱动部分别具有一水平向导轨，该曝光机具有至少三个水平向导槽，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽；或，该等水平向驱动部分别具有水平向导槽，该曝光机具有至少三水平向导轨，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。

上述机构的该等水平向驱动部分别具有水平向导轨，该等水平向座体分别具有水平向导槽，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽；或，该等水平向驱动部分别具有水平向导槽，该等水平向座体分别具有水平向导轨，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。

上述机构的该等水平向驱动源设置于该曝光机，该等水平向驱动源分别具有驱动单元，该等水平向驱动部分别具有被动单元，该等驱动单元分别与该等被动单元连接。

上述机构的该等水平向驱动源设置于该曝光机或分别设置于该等水平向座体，该等水平向驱动源分别具有驱动单元，该等水平向驱动部分别具有被动单元，该等驱动单元分别与该等被动单元连接。

上述机构的该等垂直向被动部分别具有垂直向导轨，该曝光机具有至少三个垂直向导槽，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽；或，该等垂直向被动部分别具有垂直向导槽，该曝光机具有至少三个垂直向导轨，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽。

上述机构的该等垂直向被动部分别具有垂直向导轨，该等垂直向座体分别具有垂直向导槽，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽；或，该等垂直向被动部分别具有垂直向导槽，该等垂直向座体分别具有垂直向导轨，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽。

上述机构的该等第一斜面连接单元分别具有一斜向导轨，该等第二斜面连接单元分别具有斜向导槽，该等斜向导轨分别活动设置于该等斜向导槽；或，该等第一斜面连接单元分别具有斜向导槽，该等第二斜面连接单元分别具有斜向导轨，该等斜向导轨分别活动设置于该等斜向导槽。

本发明的第二态样提供一种曝光机光罩结构的水平角度调整方法，其包含下列步骤：

提供如第一态样所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构；以及

激活至少一水平向驱动源以调整该光罩结构的水平角度。

因此，本发明的曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行。

附图说明

图1为本发明较佳具体实施例的分解示意图。

图2为本发明较佳具体实施例的组合示意图。

图3为本发明较佳具体实施例动作的示意图一。

图4为本发明较佳具体实施例动作的示意图二。

图5为本发明较佳具体实施例动作的示意图三。

【主要组件符号说明】

1 曝光机

11 光罩结构

111 光罩

12 平移机构

2 水平向驱动部

21 第一斜面连接单元

211 斜向导轨

22 水平向导槽

23 被动单元

3 水平向驱动源

31 驱动单元

4 垂直向被动部

41 第二斜面连接单元

411 斜向导槽

42 垂直向导槽

5 万向接头

51 连接杆

511 球体

512 连接杆座

52 底座

521 球状槽

6 水平向座体

61 水平向导轨

7 垂直向座体

71 垂直向导轨

具体实施方式

为充分了解本发明的目的、特征及功效，现借由下述具体的实施例，并配合所附的图式，对本发明做一详细说明，说明如后：

图1及图2分别为本发明较佳具体实施例的分解示意图及组合示意图，如图所示，本发明的第一态样为一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其包含至少三个水平向驱动部2、至少三个水平向驱动源3、至少三个垂直向被动部4及至少三个万向接头5，图式中各组件的数量以三个做为例示，各组件的数量也可依实际需求而为三个以上。

该等水平向驱动部2水平活动设置于该曝光机1的同一平面的不同位置，如该曝光机1的平移机构12的同一平面的不同位置，该等水平向驱动部2也可视实际需求设置于该曝光机1的其他机构，当该曝光机1具有水平向结构时，该等水平向驱动部2便可直接设置于该曝光机1的水平向结构的不同位置，当该曝光机1未具有水平向结构时，该等水平向驱动部2便分别可先水平活动设置于至少三水平向座体6，该等水平向座体6再设置于该曝光机1，且该等水平向座体6可视实际的设置位置变换不同的形状，以使该等水平向驱动部2可水平活动设置于该曝光机1的同一平面的不同位置，该等水平向驱动部2分别具有第一斜面连接单元21。

该等水平向驱动源3分别可为电动马达、电控气压缸或电控油压缸…等且可设置于该曝光机1，或分别设置于该等水平向座体6以分别驱动该等水平向驱动部2，该等水平向驱动源3可电连接至控制单元(图未示)以控制该等水平向驱动源3的作动。

该等垂直向被动部4垂直活动设置于该曝光机1的不同位置，如该曝光机1的平移机构12的不同位置，该等垂直向被动部4亦可视实际需求设置于该曝光机1的其他机构，当该曝光机1具有垂直向结构时，该等垂直向被动部4便可直接设置于该曝光机1的垂直向结构的不同位置，当该曝光机1未具有垂直向结构时，该等垂直向被动部4便分别可先垂直活动设置于至少三垂直向座体7，该等垂直向座体7再设置于该曝光机1，且该等垂直向座体7可视实际的设置位置变换不同的形状，以使该等垂直向被动部4可垂直活动设置于该曝光机1的不同位置，该等垂直向被动部4分别具有第二斜面连接单元41以分别与该等第一斜面连接单元21面对面活动连接，另外，该等水平向驱动部2的水平移动方向上需预留活动空间以避免该等水平向驱动部2水平移动时被阻挡，该等垂直向被动部4的垂直移动方向上亦需预留活动空间以避免该等垂直向被动部4垂直移动时被阻挡，再者，该等水平向驱动部2及该等垂直向被动部4可视实际需求选择一者设置于座体或同时选择两者设置于座体。

该等万向接头5分别以一侧连接该等垂直向被动部4，及分别以另一侧连接该光罩结构11，如图所示，该等万向接头5分别可具有连接杆51及底座52，该等连接杆51分别具有球体511，该等底座52分别具有球状槽521，该等球体511活动设置于该等球状槽521。另外，该等底座52可分别与该等垂直向被动部4连接，该等连接杆51可与该光罩结构11连接，或，该等连接杆51可分别与该等垂直向被动部4连接，该等底座52可与该光罩结构11连接。再者，该等连接杆51分别可借助连接杆座512连接于该光罩结构11或该等垂直向被动部4。再者，本发明的连接杆51及底座52仅为一例示，所有可使该光罩结构11与该等垂直向被动部4万向连接的结构皆应属于本发明的范畴。

如图1所示，上述的该等水平向驱动部2分别具有一水平向导槽22，该等水平向座体6分别具有一水平向导轨61，该等水平向导轨61分别活动设置于该等水平向导槽22；而该等水平向导槽22及该等水平向导轨61也可相互置换改为该等水平向驱动部2分别具有水平向导轨61，该等水平向座体6分别具有水平向导槽22，该等水平向导轨61分别活动设置于该等水平向导槽22。另外，当该等水平向驱动部2直接设置于该曝光机1时，该曝光机1亦可设置至少三水平向导轨61或至少三水平向导槽22，以使该等水平向驱动部2的水平向导槽22或水平向导轨61活动设置。再者，本发明的水平向导轨61及水平向导槽22的截面形状可依实际需求而为T形或L形…等。再者，本发明的水平向导槽22及水平向导轨61仅为一例示，所有可使该等水平向驱动部2水平活动设置于该曝光机1的结构皆应属于本发明的范畴。

如图1所示，上述的该等水平向驱动源3分别设置于该等水平向座体6，该等水平向驱动源3分别具有驱动单元31，该等水平向驱动部2分别具有一被动单元23，该等驱动单元31分别与该等被动单元23连接。另外，该等水平向驱动源3亦可直接设置于该曝光机1。再者，本发明的驱动单元31及被动单元23可为正齿轮啮合水平向齿条、蜗齿轮啮合水平向齿条(如图所示)、气压缸(或油压缸)的伸缩柱体连接水平向驱动部的连接部…等。再者，本发明的驱动单元31及被动单元23仅为一例示，所有可使该等水平向驱动源3水平驱动该等水平向驱动部2的机构皆应属于本发明的范畴。

如图1所示，上述的该等垂直向被动部4分别具有垂直向导槽42，该等垂直向座体7分别具有垂直向导轨71，该等垂直向导轨71分别活动设置于该等垂直向导槽42；而该等垂直向导槽42及该等垂直向导轨71也可相互置换改为该等垂直向被动部4分别具有一垂直向导轨71，该等垂直向座体7分别具有一垂直向导槽42，该等垂直向导轨71分别活动设置于该等垂直向导槽42。另外，当该等垂直向被动部4直接设置于该曝光机1时，该曝光机1可设置至少三垂直向导轨71或至少三垂直向导槽42，以使该等垂直向被动部4的垂直向导槽42或垂直向导轨71活动设置。再者，本发明的垂直向导轨71及垂直向导槽42的截面形状可依实际需求而为T形或L形…等。再者，本发明的垂直向导槽42及垂直向导轨71仅为一例示，所有可使该等垂直向被动部4垂直活动设置于该曝光机1的结构皆应属于本发明的范畴。

如图1所示，上述的该等第一斜面连接单元21分别具有斜向导轨211，该等第二斜面连接单元41分别具有斜向导槽411，该等斜向导轨211分别活动设置于该等斜向导槽411；而该等斜向导轨211及该等斜向导槽411也可相互置换改为该等第一斜面连接单元21分别具有斜向导槽411，该等第二斜面连接单元41分别具有斜向导轨211，该等斜向导轨211分别活动设置于该等斜向导槽411。另外，本发明的斜向导轨211及斜向导槽411的截面形状可依实际需求而为T形或L形…等。再者，本发明的斜向导槽411及斜向导轨211仅为一例示，所有可使该等第一斜面连接单元21与该等第二斜面连接单元41面对面活动连接的结构皆应属于本发明的范畴。

本发明的第二态样为一种曝光机光罩结构的水平角度调整方法，其包含下列步骤：

提供如上所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构；以及

激活至少一水平向驱动源3以调整该光罩结构11的水平角度。

图3至图5分别为本发明较佳具体实施例动作的示意图一至三，如图所示，本实施例以该水平角度调整机构其中的一个位置作为例示，该水平角度调整机构其余位置的动作方式亦同，另外，该水平角度调整机构可依实际的需求作动一个位置、两个位置、三个位置或以上。

如图3及图4所示，当该曝光机的平行传感器(图未示)感测到该光罩结构11的某个位置需下移才可使该光罩结构11的光罩111与对应物(图未示)平行时，该控制单元(图未示)便会启动该水平向驱动源3，该水平向驱动源3便可借助该驱动单元31(如蜗齿轮)及该被动单元23(如水平向齿条)驱动该水平向驱动部2左移，而该水平向驱动部2可借助该第一斜面连接单元21及该第二斜面连接单元41的相互滑移推动该垂直向被动部4下移，该光罩结构11便可借助该万向接头5的连接杆51及底座52的配合将水平角度向下改变，进而使该光罩111与对应物平行。

如图3及图5所示，当该曝光机的平行传感器(图未示)感测到该光罩结构11的某个位置需上移才可使该光罩结构11的光罩111与对应物(图未示)平行时，该控制单元(图未示)便会启动该水平向驱动源3，该水平向驱动源3便可借助该驱动单元31(如蜗齿轮)及该被动单元23(如水平向齿条)驱动该水平向驱动部2右移，而该水平向驱动部2可通过该第一斜面连接单元21及该第二斜面连接单元41的相互滑移带动该垂直向被动部4上移，该光罩结构11便可借助该万向接头5的连接杆51及底座52的配合将水平角度向上改变，进而使该光罩111与对应物平行。

如上所述，本发明借助该等水平向驱动源3、该等水平向驱动部2的第一斜面连接单元21、该等垂直向被动部4的第二斜面连接单元41及该等万向接头5而使该光罩结构11可调整水平角度，进而使该光罩结构11的光罩111可与对应物平行。

本发明在上文中已以较佳实施例公开，然熟习本领域的技术人员应理解的是，该实施例仅用于描绘本发明，而不应解读为限制本发明的范围。应注意的是，所有与该实施例等效的变化与置换，均应设为涵盖于本发明的范畴内。因此，本发明的保护范围当以下文的权利要求所界定者为准。

Claims

1.一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，其包含：

至少三个水平向驱动部，其水平活动设置于该曝光机，该等水平向驱动部分别具有第一斜面连接单元；

至少三个水平向驱动源，其设置于该曝光机以分别驱动该等水平向驱动部；

至少三个垂直向被动部，其垂直活动设置于该曝光机，该等垂直向被动部分别具有第二斜面连接单元以分别与该等第一斜面连接单元面对面活动连接；以及

至少三个万向接头，其分别以一侧连接该等垂直向被动部，及分别以另一侧连接该光罩结构。

2.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，还包含至少三个水平向座体、至少三个垂直向座体或以上两者，其设置于该曝光机，该等水平向驱动部分别水平活动设置于该等水平向座体，该等垂直向驱动部分别垂直活动设置于该等垂直向座体。

3.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等水平向驱动部分别具有水平向导轨，该曝光机具有至少三个水平向导槽，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽；或，该等水平向驱动部分别具有水平向导槽，该曝光机具有至少三个水平向导轨，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。

4.如权利要求2所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等水平向驱动部分别具有水平向导轨，该等水平向座体分别具有水平向导槽，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽；或，该等水平向驱动部分别具有水平向导槽，该等水平向座体分别具有一水平向导轨，该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。

5.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等水平向驱动源设置于该曝光机，该等水平向驱动源分别具有一驱动单元，该等水平向驱动部分别具有被动单元，该等驱动单元分别与该等被动单元连接。

6.如权利要求2所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等水平向驱动源设置于该曝光机或分别设置于该等水平向座体，该等水平向驱动源分别具有驱动单元，该等水平向驱动部分别具有一被动单元，该等驱动单元分别与该等被动单元连接。

7.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等垂直向被动部分别具有垂直向导轨，该曝光机具有至少三个垂直向导槽，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽；或，该等垂直向被动部分别具有垂直向导槽，该曝光机具有至少三个垂直向导轨，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽。

8.如权利要求2所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等垂直向被动部分别具有垂直向导轨，该等垂直向座体分别具有一垂直向导槽，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽；或，该等垂直向被动部分别具有垂直向导槽，该等垂直向座体分别具有垂直向导轨，该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽。

9.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构，其特征在于，该等第一斜面连接单元分别具有斜向导轨，该等第二斜面连接单元分别具有斜向导槽，该等斜向导轨分别活动设置于该等斜向导槽；或，该等第一斜面连接单元分别具有斜向导槽，该等第二斜面连接单元分别具有斜向导轨，该等斜向导轨分别活动设置于该等斜向导槽。

10.一种曝光机光罩结构的水平角度调整方法，其特征在于其包含下列步骤：

提供如权利要求1至9中任一项所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构；以及

激活至少一水平向驱动源以调整该光罩结构的水平角度。