CN103703279A - 直动装置 - Google Patents

Abstract

提供一种直动装置，其能够极力抑制在滚动体滚动通道和滚动体之间产生的微粒向装置外流漏出的量，正好适合半导体制造装置或液晶显示面板制造装置等的清洁环境。在直动装置（1）中，一对密封部件（7）分别形成为这样的形状：在安装于移动部件（3）的状态下，在沿着与轨道部件（2）的轴向正交的方向进行切断时，所述一对密封部件（7）分别相对于轨道部件（2）具有0.025～0.15mm的范围的间隙（δ），在滚动体滚动通道（5）和滚动体（4）之间涂布有混合稠度在175以上且在250以下的润滑脂。

Description

直动装置

技术领域

本发明涉及一种应用于半导体制造装置或者液晶显示面板制造装置等的清洁环境中的滚珠丝杠、滚珠花键以及线性引导件等直动装置。

背景技术

半导体的晶片和液晶面板因为是超精密部件，所以非常细微的尘埃等就会导致不良的结果。因此，晶片和液晶面板的生产线或生产线的各装置内处于高清洁度的空间。另外，在半导体制造装置或液晶面板制造装置等的驱动部中，滚珠丝杠和线性引导件等直动装置被大量使用。

该滚珠丝杠或线性引导件等直动装置具备：轨道部件，其在外周面具有滚动体滚动部；移动部件，其在内周面具有与滚动体滚动部相对的负载滚动体滚动部，该运动部件相对于轨道部能够相对移动；多个滚动体，其能够滚动自如地装填在由滚动体滚动部和负载滚动体滚动部形成的滚动体滚动通道内；以及滚动体循环通道，其使滚动体滚动通道的起点和终点连通而形成环状（无终点状）的滚动体通路。

以滚珠丝杠为例进行说明，轨道部件为丝杠轴，移动部件为螺母，滚动体为滚珠。滚珠丝杠具有：丝杠轴，其在外周面具有螺旋状的滚珠滚动槽（滚动体滚动部）；螺母，其在内周面具有与丝杠轴的滚珠滚动槽（滚动体滚动部）相对的负载滚珠滚动槽（负载滚动体滚动部）；以及多个滚珠，其能够滚动自如地装填在由滚珠滚动槽（滚动体滚动部）和负载滚珠滚动槽（负载滚动体滚动部）形成的螺旋状的滚珠滚动通道（滚动体滚动通道）内。并且，当使通过滚珠与丝杠轴螺合的螺母与丝杠轴做相对旋转运动时，通过滚珠的滚动，丝杠轴和螺母在轴向上相对移动。而且，在滚珠丝杠具备滚珠循环通道（滚动体循环通道），其使滚珠滚动通道的起点和终点连通而形成环状的滚珠通路（滚动体通路）。

另外，在所述滚珠丝杠中，在螺母和丝杠轴进行相对旋转运动时，滚珠由于受到旋转方向和轴向的合成力在伴随滑动的同时进行滚动，在滚珠和滚珠滚动通道的接触部同时产生滚动摩擦和滑动摩擦。而且，由于滚珠间彼此接触时，相邻的滚珠间的旋转方向相反，因此滚珠间的相对滑动速度变为两倍而产生大的摩擦力。因此，在滚珠滚动通道和滚动体之间涂布润滑脂或油等润滑剂以实现所述摩擦力的减轻。

在此，由于滚动体的滚动运动，涂布于滚珠滚动通道和滚动体之间的润滑脂中的油分变成微粒而飞散。该飞散的微粒成为晶片和液晶面板等制品的品质不好的原因。因此，在半导体制造设备和液晶面板制造装置等的要求清洁度的情况下，清洁用的润滑脂、真空用的润滑脂（流体润滑剂）或固体润滑剂等被使用，由此，抑制了由位于滚珠和滚珠接触部的润滑剂产生的微粒（油分）的量。

然而，近年来在半导体领域，基于高生产量（高生产率）的高速运送和进一步的清洁度要求增高，通过现状的应用清洁用的润滑脂、真空用的润滑脂或固体润滑剂等方法，虽然抑制了该微粒的产生，但是其抑制量变得不充分。也就是说，近年来，在半导体领域高集成化进步，导电模式越来越微细化。在前工序（在半导体的制造工序中，从切断硅、制作晶片的工序到在晶片中形成回路、检查该回路的通电模式为止的工序）中的微粒向半导体晶片和液晶面板上的附着成为产品不合格的原因而越发被回避。而且，除了高集成化之外，对于以生产量（生产率）的提高为目的的晶片运送装置的高速化所伴随的微粒量的增加，应对方法变得不可或缺。

在此，以往作为真空环境下使用的线性引导件，例如图7中所示的线性引导件已为公众所知（参照专利文献1）。

图7中所示的线性引导件101具备：轨道部件102，其具有滚动体滚动部102a；移动部件103，其具有包含与滚动体滚动部102a相对的负载滚动体滚动部（未图示）的滚动体循环通道，该移动部件103相对于滚动部件102能够相对移动；多个滚动体(未图示)，其排列于滚动体循环通道；以及间隙密封垫104、105，其设置于移动部件103，不与滚动部件102接触，用于阻塞滚动部件102和移动部件103之间的间隙。间隙密封垫104通过安装螺钉106安装于移动部件103的轴向端部。

而且，安装于移动部件103的轴向端部的间隙密封垫104由交替层叠的薄板状的多张第一和第二板107、108，以及安装有这些第一和第二板107、108的压板109构成。构成间隙密封垫104的第一和第二板107、213不与轨道部件102接触，而保持微小间隙地沿着导轨轨道部件102移动。对该间隙进行描述，如图8所示，第二板218与轨道部件102之间的间隙β比第一板107与轨道部件102之间的间隙α大，从而形成为凹凸形状。这样，由于间隙密封垫104和轨道部件102之间的间隙呈凹凸形状，因此，当润滑油蒸发而形成的气体在间隙密封垫104和轨道部件102之间流动时，与形成平面形状的情况相比产生较大的阻力，因此，能够更好地抑制直动导向装置内部的润滑剂汽化而向线性引导件的外部漏出。

而且，以往，作为能够在清洁环境下使用的滚珠丝杠，例如图9中所示的导轨也已为公众所知（参照专利文献2）。

在图9所示的滚珠丝杠201中，在螺母203的凹部204内，从轴向内侧依次配置了环状的隔垫205、非接触密封垫206、环状的隔垫205以及非接触密封垫206，这些通过螺栓207固定于凹部204的端面204a。由此，产生了由相邻的非接触密封垫206、隔垫205和丝杠轴202所包围的空间208，以及由内侧的非接触密封垫206、隔垫205和凹部204的端面204a所包围的空间209，这些空间208、209成为润滑脂滞留空间。

这样，将在轴向配置于螺母203的最外侧的外侧密封垫作为非接触密封垫206，设有润滑脂滞留空间208、209，与将外侧密封垫作为接触密封垫而设有润滑脂滞留空间的情况相比，接触密封垫的磨损导致的粉尘被减少。而且，与将外侧密封垫作为非接触密封垫、不设置润滑脂滞留空间的情况相比，润滑脂的飞散导致的粉尘被减少，润滑性能良好。

现有技术文件

专利文件

专利文献1：国际公开第2006/054439号小册子

专利文献2：日本专利特开2010-169114号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在图7所示的线性引导件101以及图9所示的滚珠丝杠201中存在以下问题。

即，在图7所示的线性引导件101的情况下，在间隙密封垫104安装于移动部件103的状态下，图8所示的第一板107和轨道部件102之间的间隙α，在第一板107最接近轨道部件102的位置设定为0.25mm以下。而且，由于间隙α越小，气体在通路中流动时的阻力越大，因此优选将间隙α的目标值设定在大约0.05～0.06mm或者设定在其以下。

但是，半导体领域所研究的微粒的粒子直径在超微粒等级，因此0.25mm的间隙量非常大。而且，虽优选将间隙α的目标值设定在大约0.05mm～0.06mm或者其以下，但实际上密封垫单体和轨道部件之间的间隙若设定在0.05mm或者其以下，则根据密封部件的安装（特别是在滚珠丝杠的情况下），密封部件与轨道部件接触的可能性高。密封部件与轨道部件接触时，反而存在由此产生了微粒的问题。因此，考虑到移动部件和密封部件的加工上的公差，实际上密封部件和轨道部件之间的间隙为0.05mm以上，存在半导体领域所研究的微粒向外部漏出的可能性。

而且，在图9所示的滚珠丝杠201的情况下，没有标明非接触密封垫206和丝杠轴之间的间隙量是多少。因此，即使设有润滑脂滞留空间208、209，也存在半导体领域所研究的微粒向外部漏出的可能性。

因此，本发明鉴于以上问题而完成，其目的在于提供一种直动装置，其能极力抑制在滚动体滚动通道和滚动体之间产生的微粒向装置外漏出的量，正好适用于半导体制造装置和液晶显示面板制造装置等的清洁环境。

用于解决课题的技术手段

为解决上述问题，本发明的实施方式涉及的直动装置具备：轨道部件，其沿轴向延伸，并在外周面具有滚动体滚动部；移动部件，其在内周面具有与所述滚动体滚动部相对的负载滚动体滚动部，该移动部件相对于所述轨道部件能够相对移动；多个滚动体，其能够滚动自如地装填在由所述滚动体滚动部和所述负载滚动体滚动部形成的滚动体滚动通道内；滚动体循环通道，其使所述滚动体滚动通道的起点和终点连通而形成环状的滚动体通路；以及一对密封部件，其安装于所述移动部件的轴向两端，所述直动装置的特征在于，所述一对密封部件分别形成为这样的形状：在安装于所述移动部件的状态下，在沿着与所述轨道部件的轴向正交的方向进行切断时，所述一对密封部件分别相对于所述轨道部件具有0.025～0.15mm的范围的间隙，在所述滚动体滚动通道和所述滚动体之间涂布有混合稠度为175以上且在250以下的润滑脂。

而且，在该直动装置中，优选所述一对密封部件各自的沿所述轨道部件的轴向的厚度在0.1mm以上且不足1.2mm。

而且，在该直动装置中，优选所述一对密封部件各自的材质为树脂材料或金属材料。

另外，在该直动装置中，也可以是，所述一对密封部件分别由多片密封体构成，该多片密封体沿所述移动部件的轴向以空开所述各密封体的厚度以上的间隔的间距进行配置。

发明效果

通过本发明涉及的直动装置，所述一对密封部件分别形成为这样的形状：在安装于移动部件的状态下，在沿着与轨道部件的轴向正交的方向进行切断时，所述一对密封部件分别相对于轨道部件具有0.025～0.15mm的范围的间隙，在滚动体滚动通道和滚动体之间涂布有混合稠度在175以上且在250以下的润滑脂，因此，当移动部件和轨道部件隔着滚动体做相对旋转运动时，在轨道部件和密封部件之间形成硬的润滑脂层（密封膜）。因此，与在密封部件单体相对轨道部件设有间隙的情况相比，密封部件和轨道部件之间的间隙极小，能够将在滚动体滚动通道和滚动体之间产生的微粒密封在移动部件内，能够极力抑制在滚动体滚动通道和滚动体之间产生的微粒向装置外漏出的量。因此，能够形成正好适合半导体制造装置或液晶显示面板制造装置等的清洁环境的直动装置。

在使用混合稠度大于250的润滑脂作为润滑脂时，润滑脂柔软，难以在轨道部件和密封部件之间形成润滑脂层（密封膜）。因此，使用混合稠度在250以下的润滑脂。另一方面，使用混合稠度小于175的润滑脂时，润滑脂过硬，难以在轨道部件和密封部件之间形成润滑脂层（密封膜）。因此，使用混合稠度为175以上的润滑脂。

而且，在使用混合稠度在175以上且在250以下的润滑脂时，在密封部件和轨道部件之间的间隙为0到0.025mm时，向装置外漏出的微粒的量减少，当该间隙在0.025mm到0.15mm的状态时，向外漏出的微粒的量大致没有变动，当该间隙大于0.15mm时，向装置外漏出的微粒的量与间隙量的增加大致成比例增长。因此，将密封部件分别形成为这样的形状：在安装于移动部件的状态下，在以与轨道部件的轴向正交的切断面进行切断时，密封部分分别相对于轨道部件具有0.025mm～0.15mm的范围的间隙。另外，密封部件和轨道部件之间的间隙比0.025mm小时，考虑到密封部件等的加工精度和装配精度，密封部件与轨道部件接触的可能性高，若密封部件与轨道部件接触，则存在由此产生微粒的危险。

而且，在该直动装置中，所述一对密封部件各自的沿所述轨道部件的轴向的厚度在0.1mm以上且不足1.2mm时，在直动装置为滚珠丝杠、轨道部件为丝杠轴的情况下，能够使密封部件和丝杠轴的槽底之间的间隙维持适当大小，并且，密封部件的加工容易，能够确保适度的刚性，密封性也稳定。也就是说，在密封部件各自的厚度比1.2mm厚时，密封部件和丝杠轴的槽底之间的间隙变得比0.15mm大。另一方面，密封部件各自的厚度比0.1mm薄时，密封部件的加工变得困难，并且其刚性也降低，密封性不稳定。

而且，在该直动装置中，所述一对密封部件各自的材质为树脂材料或金属材料时，考虑到机械强度、耐热性、耐磨损性、耐药品性、机械加工性以及成本方面，适当选定树脂材料或金属材料即可。

而且，在该直动装置中，所述一对密封部件分别由多片密封体构成，该多片密封体沿所述移动部件的轴向以空开所述各密封体的厚度以上的间隔的间距进行配置时，能够进一步抑制在滚动体滚动通道和滚动体之前产生的微粒向装置外漏出的量。

附图说明

图1为沿表示本发明涉及的直动装置的实施方式的轨道部件的轴向进行切断的剖视图。

图2为沿图1中的2-2线进行切断（沿与轨道部件的轴向正交的方向切断）的状态的剖视图。

图3为示意性地表示密封部件和轨道部件之间的间隙附近的图。

图4为表示密封部件和轨道部件之间的间隙量、与向装置外漏出的微粒的量的关系的曲线图。

图5为表示因密封部件的厚度的差异而造成的密封部件和轨道部件之间的间隙量的差异，其中，（A）为密封部件较厚的情况下的示意图，（B）为密封部件较薄的情况下的示意图。

图6表示密封部件的安装方法，其中，（A）为密封部件借助挡圈安装于移动部件的情况下的剖视图，（B）为密封部件借助止动螺钉安装于移动部件的情况的剖视图。

图7为表示以往例子中的在真空环境下使用的线性引导件的分解立体图。

图8为表示图7所示的在线性引导件中的密封部件和轨道部件之间的间隙的状态的图。

图9为以往例子的能够在清洁环境下使用的滚珠丝杠的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式作以说明。图1为沿表示本发明涉及的直动装置的实施方式的轨道部件的轴向进行切断的剖视图。图2为沿图1中的2-2线进行切断（沿与轨道部件的轴向正交的方向切断）的状态的剖视图。图3为示意性地表示密封部件和轨道部件之间的间隙附近的图。

图1所示的直动装置1为正好适合半导体制造装置和液晶显示面板制造装置等的清洁环境的滚珠丝杠，其具备：轨道部件（丝杠轴）2、移动部件（螺母）3以及多个滚动体（滚珠）4。

轨道部件2为沿中心轴线CL在轴向延伸的圆筒状，在其外周面2b形成有具有预定的导程的滚动体滚动部（滚动体滚动槽）2a。在滚动体滚动部（滚动体滚动槽）2a的槽底，优选不设置退刀槽。

移动部件3呈大致圆筒状，其内径形成为比滚动部件2的外径大，移动部件3以预定的间隙外套于移动部件2。在移动部件3的内周面，形成有负载滚动体滚动部(负载滚动体滚动槽)3a，该负载滚动体滚动部(负载滚动体滚动槽)3a与滚动体滚动部2a相对，并具有与轨道部件2的滚动体滚动部2a相同的导程。而且，通过轨道部件2的滚动体滚动部2a和移动部件3的负载滚动体滚动部3a形成截面呈大致圆形的滚动体滚动通道5。在该滚动体滚动通道5内，能够滚动填充配置有多个滚动体4。在移动部件3设有用于向滚动体滚动通道5提供润滑脂的供脂孔3b。

而且，直动装置1具有使滚动体滚动通道5的起点和终点连通而形成环状的滚动体通路的滚动体循环通道6。该滚动体循环通道6由以下部分构成：形成于移动部件3的内部并沿轴向呈直线状延伸的截面为圆形的循环通道6a；形成于设置在循环通道6a的轴向一端的舀起部件6b的通路6c；以及形成于设置在循环通道6a的轴向另一端的舀起部件6b的通路6c。形成于设置在循环通道6a的轴向一端的舀起部件6b的通路6c与滚动体滚动通道5的起点连接，形成于设置在循环通道6a的轴向另一端的舀起部件6b的通路6c与滚动体滚动通道5的终点相连接。通过该滚动体循环通道6，朝向滚动体滚动通道5的终点滚动来的滚动体4在滚动部件2的径方向被舀起，而且，越过轨道部件2的螺纹而返回滚动体滚动通道5的起点，由此，使滚动体4能够循环。而且，通过该滚动体滚动通道5以及滚动体循环通道6，在轨道部件2的外侧形成大致无限循环通道。由此，随着轨道部件2相对于移动部件3的相对旋转，多个滚动体4在无限循环通道内做无限循环，由此，移动部件3能够相对轨道部件2在轨道部件2的轴向做直线运动。

而且，在移动部件3的轴向的两端，安装有一对密封部件7，通过所述一对密封部件7来抑制来自移动部件3的内部的粉尘。特别地，在滚动体4和滚动体滚动通道5之间，由滚动体4在公转时的摩擦导致润滑剂（润滑脂或润滑油）被卷起而产生直动装置1的微粒（particle）。如何将移动部件3内的微粒密封在移动部件3内，对清洁度的提高来说不可或缺。特别是在半导体制造装置或液晶显示面板制造装置等的清洁环境下使用的直动装置中非常重要。

在此，各密封部件7由一片密封体构成，如图2所示，各密封部件7形成为这样的形状：在各密封部件7安装于移动部件3的状态下，在沿着与轨道部件2的轴向正交的方向切断时，各密封部件7相对轨道部件2具有0.025～0.15mm的范围的间隙δ。即，各密封部件7形成为圆环状，在各密封部件7内部具有轨道部件2所贯穿的贯通孔7a，该贯通孔7a为这样的形状：在密封部件7安装于移动部件3的状态下，在沿着与轨道部件2的轴向正交的方向切断时，相对轨道部件2具有0.025～0.15mm的范围的间隙δ。

在此，如图3所示，所述间隙δ意思是从轨道部件2（在图3的情况下，为轨道部件2的滚动体滚动部2a的槽面）到密封部件7的末端的任一角部为止的距离中的几何学最小距离。

这样，由于密封部件7和轨道部件2之间的间隙δ在0.025mm以上，因此密封部件7不与轨道部件2接触，不会产生来自密封部件7自身的微粒。在密封部件7和轨道部件2之间的间隙δ比0.025mm小时，考虑到密封部件7等的加工精度和装配精度，密封部件7与轨道部件2接触的可能性高，若密封部件7与轨道部件2接触，则存在因此而产生微粒的危险。

而且，在直动装置1中，在滚动体滚动通道5和滚动体4之间涂布了混合稠度在175以上且在250以下的润滑脂。该润滑脂以使用例如清洁用的润滑脂或者真空用的润滑脂为宜。这样，当在滚动体滚动通道5和滚动体4之间涂布混合稠度在175以上且在250以下的润滑脂时，移动部件3和轨道部件2隔着滚动体4做相对旋转运动时，如图3所示，在轨道部件2和密封部件7之间形成硬的润滑脂层（密封膜）G。由此，与在密封部件7单体相对轨道部件2设置间隙δ的情况相比，密封部件7和轨道部件2之间的间隙如图3所示，减小了与润滑脂层G相应的部分而变为Δ。由此，能够将在滚动体滚动通道5和滚动体4之间产生的微粒密封在移动部件3内，并能够极力抑制滚动体滚动通道5和滚动体4之间产生的微粒向装置外漏出的量。因此，能够成为正好适合半导体制造装置或液晶显示面板制造装置等的清洁环境的直动装置1。

在使用混合稠度大于250的润滑脂时，润滑脂柔软，难以在轨道部件2和密封部件7之间形成润滑脂层（密封膜）G。因此，使用混合稠度在250以下的润滑脂。另一方面，使用混合稠度小于175的润滑脂时，润滑脂过硬，难以在轨道部件和密封部件之间形成润滑脂层（密封膜）。因此，使用混合稠度为175以上的润滑脂。

接下来，参照图4对密封部件7和轨道部件2之间的间隙δ量、与向装置外漏出的微粒的量的关系作以说明。图4为表示密封部件和轨道部件之间的间隙量、与向装置外漏出的微粒的量之间的关系的曲线图。

图4中，表示使用混合稠度为280的润滑脂且该间隙量为0mm、0.025mm、0.050mm、0.10mm、0.15mm、0.20mm、0.30mm、0.50mm时，以及使用混合稠度为250的润滑脂且该间隙量为0mm、0.025mm、0.050mm、0.10mm、0.15mm、0.20mm、0.30mm、0.50mm时的该间隙量和向装置外漏出的微粒的量的关系。

参照图4，使用混合稠度为280的润滑脂时，比使用混合稠度为250的润滑脂时向装置外漏出的微粒的量多，该间隙量增大的话，微粒的量成比例增加。与此相对，使用混合稠度为250的润滑脂时，当该间隙量从0到0.025mm，向装置外漏出的微粒的量减少，当该间隙为从0.025mm到0.15mm的状态，向装置外漏出的微粒的量大致没有变动，当该间隙大于0.15mm时，与使用混合稠度为280的润滑脂时一样，向装置外漏出的微粒的量与间隙量的增加大致成比例增长。这种趋势不仅是对混合稠度为250的润滑脂，在使用混合稠度在175以上且在250以下的润滑脂的情况下也得到了同样的结果。因此，将密封部件7分别形成为如下形状：在将各密封部件7安装于移动部件3的状态下，在沿与轨道部件2的轴向正交的切断面切断时，各密封部件7相对轨道部件2具有0.025mm～0.15mm的范围的间隙δ。

接下来，参照图5对各密封部件7的沿滚动部件2的轴向的厚度t（参照图3）作以说明。图5为表示因密封部件的厚度的差异而造成的密封部件和轨道部件之间的间隙量的差异，（A）为密封部件较厚的情况下的示意图，（B）为密封部件较薄的情况下的示意图。

在图5（A）以及图5（B）中，滚动部件2的滚动体滚动部（滚动体滚动槽）2a为由具有曲率的两个圆弧相连而形成的形状，两个圆弧在槽底相连。密封部件7的厚度t如图5（A）所示较厚为t1时，为了避免密封部件7和滚动体滚动部2a之间的接触，密封部件7到槽底的距离变长，密封部件7和轨道部件2之间的间隙量增大为δ1。另一方面，在密封部件的厚度t如图5（B）所示较薄为t2时，密封部件7的加工变得困难，并且刚性减弱、密封性不稳定。因此，使密封部件7的厚度t为0.1mm以上且不足1.2mm。由此，在直动装置1为滚珠丝杠、轨道部件2为丝杠轴的情况下，能够使密封部件和丝杠轴的槽底之间的间隙维持适当大小，并且密封部件的加工容易，能够确保适度的刚性，并且密封性也稳定。密封部件7的各自的厚度t比1.2mm厚时，密封部件和丝杠轴的槽底之间的间隙变得比0.15mm大。另一方面，密封部件7的各自的厚度t比0.1mm薄时，密封部件的加工变得困难，并且其刚性也降低，且密封性不稳定。

而且，各密封部件7的材质使用在机械强度、耐热性、耐磨损性、耐药品性、机械加工性以及成本方面优异的聚缩醛等树脂材料或金属材料。各密封部件7的材质优选不吸水性和尺寸稳定性优异的材料。

接下来，参照图6对各密封部件7的安装于移动部件3的方法作以说明。图6表示密封部件的安装方法，（A）为密封部件借助挡圈安装于移动部件的情况下的剖视图，（B）为密封部件借助止动螺钉安装于移动部件的情况的剖视图。

如图6（A）以及图6（B）所示，一对密封部件7安装于移动部件3的轴向两端部，如图6（A）所示，各密封部件7通过挡圈8固定于移动部件3的轴向端部，或者如图6（B）所示借助多个止动螺钉9进行固定。

以上，针对本发明的实施方式作了说明，但本发明不限定于此，能够进行各种各样的变更和改良。

例如，作为直动装置1，不仅应用于滚珠丝杠，也可以应用于线性引导件或滚珠花键等。在应用于线性引导件的情况下，轨道部件为导轨，移动部件为滑块。而且，在应用于滚珠花键的情况下，轨道部件采用圆筒形状的轨道部件，移动部件使用滚珠花键螺母。

而且，虽针对一对密封部件7各自由一片密封体构成的例子作了说明，但不限于此，也可以是，一对密封部件7分别由多片密封体构成，该多片密封体以沿移动部件2的轴向空开各密封体的厚度以上的间隔的间距进行配置。在这种情况下，能够进一步抑制在滚动体滚动通道5和滚动体4之间产生的微粒向装置外漏出的量。

标号说明

1：直动装置

2：轨道部件

2a：滚动体滚动部

2b：轨道部件的外周面

3：移动部件

3a：负载滚动体滚动部

3b：供脂孔

4：滚动体

5：滚动体滚动通道

6：滚动体循环通道

6a：循环通道

6b：舀起部件

6c：通路

7：密封部件

7a：贯通孔

8：挡圈

9：止动螺钉

δ：间隙

t：密封部件的厚度

G：润滑脂层

Claims (4)

1.一种直动装置，其具备：

轨道部件，其沿轴向延伸，并在外周面具有滚动体滚动部；

移动部件，其在内周面具有与所述滚动体滚动部相对的负载滚动体滚动部，该移动部件相对于所述轨道部件能够相对移动；

多个滚动体，其能够滚动自如地装填在由所述滚动体滚动部和所述负载滚动体滚动部形成的滚动体滚动通道内；

滚动体循环通道，其使所述滚动体滚动通道的起点和终点连通而形成环状的滚动体通路；以及

一对密封部件，其安装于所述移动部件的轴向两端，

所述直动装置的特征在于，

所述一对密封部件分别形成为这样的形状：在安装于所述移动部件的状态下，在沿着与所述轨道部件的轴向正交的方向进行切断时，所述一对密封部件分别相对于所述轨道部件具有0.025～0.15mm的范围的间隙，

在所述滚动体滚动通道和所述滚动体之间涂布有混合稠度为175以上且在250以下的润滑脂。

2.根据权利要求1所述的直动装置，其特征在于，

所述一对密封部件各自的沿所述轨道部件的轴向的厚度在0.1mm以上且不足1.2mm。

3.根据权利要求1或2所述的直动装置，其特征在于，

所述一对密封部件各自的材质为树脂材料或金属材料。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的直动装置，其特征在于，

所述一对密封部件分别由多片密封体构成，该多片密封体沿所述移动部件的轴向以空开所述各密封体的厚度以上的间隔的间距进行配置。

Images