CN103700604A - 用于测试声表面波谐振器的测试***及其测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了用于测试声表面波谐振器的测试***及其测试方法，其测试方法包括：在开启驱动设备时，电平转换器将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平，使驱动设备与网络分析仪通信；在探针触接被测对象获取测试数据，并将所述测试数据发送给网络分析仪后；由所述网络分析仪对测试数据进行分析，并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试。本发明实现了连续自动测试的功能，在提高了测试***的自动化程度的同时，提高了工作效率，而且在测试时一键操作即可完成全部测试，基本实现无人操作测试***，节省了人力成本。

Description

用于测试声表面波谐振器的测试***及其测试方法

技术领域

本发明涉及测试分析装置技术领域，特别涉及一种用于测试声表面波谐振器的测试***及其测试方法。

背景技术

声表面波滤波器/SAW声表面波谐振器(surface-acoustic-wave)是利用压电材料的压电特性，利用输入与输出换能器（Transducer）将电波的输入讯号转换成机械能，经过处理后，再把机械能转换成电的讯号，以达到过滤不必要的讯号及杂讯，提升收讯品质的目的。声表面波滤波器被广泛应用在各种无线通讯***、电视机、录放影机及全球卫星定位***接收器上。

SAW声表面波元件的制作过程包括：晶圆（即晶片）测试、晶圆清洗、镀金属膜、上光阻、显影、蚀刻、去光阻、切割、封装等相关步骤，因此晶圆测试也是一个重要的工序，它直接关系声表面波滤波器好坏。

现有的测试***在晶片上测试声表面谐振器指标时，一般先将驱动设备上的探针通过测试线与网络分析仪连接后，移动晶片的位置使探针与晶片接触，按下驱动设备上的测试键后，发网络分析仪发送测试指令，在网络分析仪上显示测试结果。但上述的测试***，在测试完一块晶片后，需重新按下测试键进行下一晶片的测试，不能实现连续自动的测试，其自动化程度低、工作效果低，而且浪费人力成本。

发明内容

鉴于上述现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种用于测试声表面波谐振器的测试***及其测试方法，以解决现有技术自动化程度低、工作效果低的问题。

为了达到上述目的，本发明采取了以下技术方案：

一种用于测试声表面波谐振器的测试***，其包括：

驱动设备，具有探针，用于与被测对象触接，获取测试数据；

阻抗测定仪，用于检测被测对象的阻抗； 

网络分析仪，与所述驱动设备通信，用于对所述测试数据进行分析，并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试；

电平转换器，用于将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平；

所述驱动设备通过所述电平转换装置与所述网络分析仪和阻抗测定仪连接。

所述的用于测试声表面波谐振器的测试***中，所述驱动设备还用于在网络分析仪输出暂停测试信号时，标记被测对象；所述网络分析仪还用于在驱动设备标记被测对象后，输出测试信号使驱动设备测试下一被测对象。

所述的用于测试声表面波谐振器的测试***中，所述电平转换器包括三刀双掷开关、第一光耦芯片、第二光耦芯片、第三光耦芯片、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第八电阻、第九电阻和第十电阻；

所述第一光耦芯片的第一端通过第一电阻连接驱动设备，所述第一光耦芯片的第二端连接三刀双掷开关的第二端，第一光耦芯片的第三端接地，第一光耦芯片的第四端通过第二电阻连接第一高电平供电端、还通过第三电阻连接第一三极管的基极；所述第一三极管的集电极连接所述网络分析仪、还通过第四电阻连接第二高电平供电端，第一三极管的发射极接地；

所述第二光耦芯片的第一端通过第五电阻连接第三高电平供电端，所述第二光耦芯片的第二端连接所述网络分析仪，第一光耦芯片的第三端接地，第二光耦芯片的第四端通过第六电阻连接第二三极管的基极、还通过第七电阻连接第四高电平供电端；所述第二三极管的集电极连接三刀双掷开关的第五端，第二三极管的发射极接地；

所述第三光耦芯片的第一端通过第八电阻连接第五高电平供电端，所述第一光耦芯片的第二端连接所述网络分析仪，第三光耦芯片的第三端接地，第三光耦芯片的第四端通过第九电阻连接第三三极管的基极、还通过第十电阻连接第六高电平供电端；所述第一三极管的集电极连接三刀双掷开关的第八端，第三三极管的发射极接地；

所述三刀双掷开关的第一端、第四端和第七端连接所述驱动设备，三刀双掷开关的第三端、第六端和第九端连接所述阻抗测定仪。

所述的用于测试声表面波谐振器的测试***中，所述第一三极管、第二三极管和第三三极管均为NPN三极管。

所述的用于测试声表面波谐振器的测试***中，所述被测对象为晶片。

一种上述用于测试声表面波谐振器的测试***的测试方法，其包括：

A、开启驱动设备时，电平转换器将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平，使驱动设备与网络分析仪通信；

B、使探针触接被测对象获取测试数据，并将所述测试数据发送给网络分析仪；

C、所述网络分析仪对测试数据进行分析，并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试。

所述的测试方法中，在步骤C之后，所述的测试方法还包括：

D、当需要检测被测对象的阻抗时，由所述电平转换器进行切换使所述驱动设备与阻抗测定仪通信；

E、由阻抗测定仪测试被测对象的阻抗。

所述的测试方法中，所述步骤C具体包括：

C1、所述网络分析仪分别对被测对象的RIP值、IL值和F0值进行分析，当RIP值、IL值或FO值不在预设范围时，向所述驱动设备发送暂停测试信号；

C2、由所述驱动设备标记所述被测对象；

C3、网络分析仪控制驱动设备继续获取下一被测对象的测试数据。

所述的测试方法中，所述步骤C还包括：C4、在所有被测对像检测完成后，由网络分析仪向驱动设备发停止测试信号，控制驱动设备停止工作。

相较于现有技术，本发明提供的用于测试声表面波谐振器的测试***及其测试方法，在开启驱动设备时，电平转换器将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平，使驱动设备与网络分析仪通信；在探针触接被测对象获取测试数据，并将所述测试数据发送给网络分析仪后；由所述网络分析仪对测试数据进行分析，并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试，实现了连续自动测试的功能，在提高了测试***的自动化程度的同时，提高了工作效率，而且在测试时一键操作即可完成全部测试，基本实现无人操作测试***，节省了人力成本。

附图说明

图1为本发明用于测试声表面波谐振器的测试***的结构框图。

图2为本发明用于测试声表面波谐振器的测试***的电路图。

图3为本发明测试***的测试方法的流程图。

具体实施方式

本发明提供一种用于测试声表面波谐振器的测试***及其测试方法，为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明提供的测试***，主要用于对声表面波谐振器的晶片进行测试，因此本发明的被测对象为晶片。请参阅图1，其为本发明用于测试声表面波谐振器的测试***的结构框图。如图1所示，本发明的测试***包括驱动设备100、阻抗测定仪200、网络分析仪300和电平转换器400，所述驱动设备100通过所述电平转换装置与所述网络分析仪300和阻抗测定仪200连接。

本实施例中，通过对网络分析仪300的程序编制，使网络分析仪300可以直接与驱动设备100通信进行数据交换，实现了自动连续测试，而且测试结果数据可以自动显示在网络分析仪300画面上，同时还可以在测试特性和阻抗之间切换。

具体实施时，所述电平转换器400用于将驱动设备100的输出电平转换成网络分析仪300工作所需电平。所述驱动设备100具有两个探针（图中未示出），所述探针与被测对象触接，用于获取测试数据，并由驱动设备100发送给网络分析仪300。所述网络分析仪300与所述驱动设备100通信，用于对所述测试数据进行分析，并根据分析结果控制驱动设备100进行连续测试、暂停测试或者停止测试，并且该网络分析仪300还可将分析结果显示出来，供操作人员分析。

其中，所述电平转换器400还用于在需要检测被测对象的阻抗时，由所述电平转换器400进行切换使所述驱动设备100与阻抗测定仪200通信，由阻抗测定仪200检测被测对象的阻抗。

所述驱动设备100的型号为APM-5000A，该驱动设备100上设置有“开始”按键，在测试人员按下“开始”按键后，驱动设备100便开始给网络分析仪300发出“开始信号”，使测试***开始连续自动测试。

当测试到不良品时，网络分析仪300向驱动设备100发送NG（暂停）信号。本实施例中，所述驱动设备100还用于在网络分析仪300输出暂停测试信号时，标记被测对象，譬如，在晶片上标记一个黑点，表示这个晶片不是良品，提醒操作人员挑出该不良晶片。为了实现自动连续测试，所述网络分析仪300还用于在驱动设备100标记被测对象后，输出测试信号使驱动设备100测试下一被测对象。

进一步的实施例中，本发明的测试***还可设置挑选装置，用于将检测有标记的不良品时，直接挑选出不良品后，再自动测试下一被测对象，进一步提高测试***的智能化程度。

当然，在其它实施例中，所述的测试***还可设置有报警提示模块，在网络分析仪300分析到不良品时，输出报警信号，提醒操作人员挑选出不良品，在不良品挑出后，网络分析仪300再输出测试信号使驱动设备100测试下一被测对象。

具体实施时，所述网络分析仪300根据测试值和设定值分别判定晶片的RIP（幅度）值、IL（损耗）值和FO（频率）值是否在设定值范围内，只要上述三个值有一个不满足要求，便判断为不良品，并将信号反馈给驱动设备100，使其在不良品上作标记，在标记完成后继续下一个晶片的测试，实现了连续、自动测试。

请一并参阅图2，其为本发明用于测试声表面波谐振器的测试***的电路图。所述电平转换器400包括三刀双掷开关SW、第一光耦芯片U1、第二光耦芯片U2、第三光耦芯片U3、第一电阻R1、第二电阻R2、第三电阻R3、第四电阻R4、第五电阻R5、第六电阻R6、第七电阻R7、第八电阻R8、第九电阻R9和第十电阻R10。

所述第一光耦芯片U1的第一端通过第一电阻R1连接驱动设备100，所述第一光耦芯片U1的第二端连接三刀双掷开关SW的第二端，第一光耦芯片U1的第三端接地，第一光耦芯片U1的第四端通过第二电阻R2连接第一高电平供电端J1、还通过第三电阻R3连接第一三极管Q1的基极；所述第一三极管Q1的集电极连接所述网络分析仪300、还通过第四电阻R4连接第二高电平供电端J2，第一三极管Q1的发射极接地。其中，所述第一高电平供电端J1和第二高电平供电端J2的供电电压可以相同，所述第二电阻R2和第四电阻R4均为上拉电阻，分别将第一光耦芯片U1的第四端和第一三极管Q1的集电极上拉至高电平。

所述第二光耦芯片U2的第一端通过第五电阻R5连接第三高电平供电端J3，所述第二光耦芯片U2的第二端连接所述网络分析仪300，第一光耦芯片U1的第三端接地，第二光耦芯片U2的第四端通过第六电阻R6连接第二三极管Q2的基极、还通过第七电阻R7连接第四高电平供电端J4；所述第二三极管Q2的集电极连接三刀双掷开关SW的第五端，第二三极管Q2的发射极接地。其中，所述第三高电平供电端J3和第四高电平供电端J4的供电电压可以相同，所述第五电阻R5和第七电阻R7均为上拉电阻，分别将第二光耦芯片U2的第一端和第二光耦芯片U2的第四端上拉至高电平。

所述第三光耦芯片U3的第一端通过第八电阻R8连接第五高电平供电端J5，所述第一光耦芯片U1的第二端连接所述网络分析仪300，第三光耦芯片U3的第三端接地，第三光耦芯片U3的第四端通过第九电阻R9连接第三三极管Q3的基极、还通过第十电阻R10连接第六高电平供电端J6；所述第一三极管Q1的集电极连接三刀双掷开关SW的第八端，第三三极管Q3的发射极接地。其中，所述第五高电平供电端J5和第六高电平供电端J6的供电电压可以相同，所述第八电阻R8和第十电阻R10均为上拉电阻，分别将第三光耦芯片U3的第一端和第三光耦芯片U3的第四端上拉至高电平。

所述三刀双掷开关SW的第一端、第四端和第七端分别连接所述驱动设备100的start端（开始端）、NG端（暂停端）和END端（结束端），三刀双掷开关SW的第三端、第六端和第九端连接所述阻抗测定仪200。具体实施时，所述第一三极管Q1、第二三极管Q2和第三三极管Q3均为NPN三极管。所述三刀双掷开关SW可以为模拟三刀双掷开关SW，由网络分析仪300发送控制信号切换其导通通路，当三刀双掷开关SW向上（图2的视角为向上）切换时，使驱动设备100与网络分析仪300通信，当三刀双掷开关SW向下（图2的视角为向下）切换时，使驱动设备100与阻抗测定仪200通信。

在三刀双掷开关SW向上切换时，第一光耦芯片U1导通输出高电平，使第一三极管Q1导通，此时驱动设备100使能与网络分析仪300进行通信向网络分析仪300发送开始信号。当网络分析仪300分析到不良品时，由网络分析仪300输出NG信号使第二光耦芯片U2导通而输出高电平，使第二三极管Q2导通，在驱动设备100对晶片做标记后，再次由网络分析仪300发送开始信号，使驱动设备100继续获取下一被测对像的测试数据。在所有晶片测试完成后，由网络分析仪300输出END信号使驱动设备100停止工作。当需要测试晶片的阻抗时，可由网络分析仪300输出切换信号使三刀双掷开关SW向下切换，使阻抗测定仪200开始工作，获取被测对像的阻值。

基本上述的测试***，本发明还相应提供一种用于测试声表面波谐振器的测试***的测试方法，请参阅图3，其为本发明测试***的测试方法的流程图。如图3所示，所述的测试方法包括：

S10、开启驱动设备时，电平转换器将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平，使驱动设备与网络分析仪通信；

S20、使探针触接被测对象获取测试数据，并将所述测试数据发送给网络分析仪；

S30、所述网络分析仪对测试数据进行分析，并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试。

其中，在需要检测被测对象的阻抗时，由所述电平转换器进行切换使所述驱动设备与阻抗测定仪通信；之后，由阻抗测定仪测试被测对象的阻抗。

具体实施时，所述步骤S30具体包括：所述网络分析仪分别对被测对象的RIP值、IL值和F0值进行分析，当RIP值、IL值或FO值不在预设范围时，向所述驱动设备发送暂停测试信号；之后、由所述驱动设备标记所述被测对象；再由网络分析仪控制驱动设备继续获取下一被测对象的测试数据。

并且在所有被测对象测试完成后，本发明的测试方法还包括：在所有被测对像检测完成后，由网络分析仪向驱动设备发停止测试信号，控制驱动设备停止工作，从而实现全自动化测试操作。

以下以被测对象为晶片为应用实施例，对本发明的用于测试声表面波谐振器的测试***的测试方法进行详细说明：

测试人员按下驱动设备上的“开始”按键后，驱动设备便给网络分析仪发出开始信号，网络分析仪接收到开始信号后开始连续自动测试。网络分析仪分别对被测对象的RIP值、IL值和F0值进行分析计算出测试值，然后将测试值与设定值相比较。如果这三个值都正常，则输出1判定为良品，并返回下一个开始信号。如果三个值有一个不正常，则输出3，判断为不良品，并输出NG信号使驱动设备作出打点标记的动作，并在标记完成后向驱动设备返回到下一个“开始信号”继续测试。

譬如：假定RIP测试结果为10dB或15dB，设定值要求大于或者等于12dB，将测定值和设定范围相比较时，如果测定值是10dB，不在设定范围，判定为不良品，输出测试结果使驱动设备作出打点标记的动作，再发出下一个开始信号测试下一个晶片；如果测定值为15dB，程序会往下继续进行判断IL值。

之后，判定IL值，假定测定值为1dB或4dB，设定范围小于或者等于2.5dB，将测定值与设定范围相比较时，如果测定值为4dB，表示不在设定范围，判定为不良品，输出测试结果驱动设备作出打点标记的动作，再发出下一定开始信号测试下一个晶片；如果测定值为1dB，程序会往下继续进行判断FO值。

最后，判定FO值，网络分析仪通过信号演算出FO，假定FO测定值为430.05M或者430.10M，FO的设定范围为429.925-430.075M，将测定值与设定范围进行比较，如果测定值为430.1M，超出设定范围，判定为不良品，输出测试结果驱动设备作出打点标记的动作，并发出下一个开始测试信号测试下一个晶片；如果测定值为430.05M，以上三个条件都符合要求，则判定为良品，输出测试结果，并发出下一下开始信号测试下一个晶片。当所有晶片测试完成后，向驱动设备发送结束信号使驱动设备停止工作。

本发明的测试***中，所述网络分析仪的程序代码如下：

10                                                   ON ERROR GOTO 1570

20                                                   CLS

30                                                   PRINT "Please Input what do you want"

40                                                   print "A:AUTOPROBE"

50                                                   PRINT "B:ADD NEW MODEL"

60                                                   PRINT "C:CHANG THE SPEC"

70                                                   PRINT "P:PROBE AND NEED PRINT DATA"

80                                                   PRINT "   "

90                                                   INPUT "A/B/C/P?";Z$

100                                                  IF Z$="A" THEN GOTO 150

110                                                  IF Z$="B" THEN GOTO 230

120                                                  IF Z$="C" THEN GOTO *CHANGE

130                                                  IF Z$="P" THEN GOTO *TURE

140                                                  GOTO 1570

150                                                  CLS

160                                                  PRINT "Please Input the name!"

170                                                  INPUT "NAME=";M$

180                                                  OPEN M$ FOR INPUT AS #FD;BINARY

190                                                  ENTER #FD;N$,L,H,C,S,R

200                                                  IF L=0 THEN GOTO 230

210                                                  IF N$=M$ THEN GOTO 550

220                                                  GOTO 190

230                                                  CLS

240                                                  PRINT " "

250                                                  PRINT "It's a new model!"

260                                                  GOTO 300

270                                                  CLOSE *

280                                                  GOTO 1050

290                                                  CLOSE *

300                                                  PRINT "Please Input the new model's spec"

310                                                  PRINT "................................."

320                                                  INPUT "NEWNAME=";M$

330                                                  INPUT "FL=";L

340                                                  INPUT "FH=";H

350                                                  INPUT "CENTER=";C

360                                                  INPUT "SPEC=";S

370                                                  INPUT "RIP=";R

380                                                  CLS

390                                                  PRINT "NAME:";M$,"FL:";L,"FH:";H

400                                                  PRINT "CENTER:";C,"SPAN"";S,"RIP:";R

410                                                  PRINT "................................"

420                                                  PRINT "SAVE?  Y:SAVE; N:AGAIN; Q:QUIT"

430                                                  INPUT "SAVE?Y/N/Q?";G$

440                                                  IF G$="Y" THEN 

450                                                  GOTO 510

460                                                  ELSE IF G$="N" THEN

470                                                  GOTO     320

480                                                  ELSE GOTO 1050

490                                                  GOTO 1050

500                                                  END IF

510                                                  OPEN M$ FOR OUTPUT AS #FD;BINARY

520                                                  OUTPUT #FD;M$,L,H,C,S,R

530                                                  CLOSE *

540                                                  GOTO     1050

550                                                  OUTPUT 31;"EDITOFF"

560                                                  OUTPUT 31;"REFP 80 FER"

570                                                  OUTPUT 31;"SINGLE"

580                                                  OUTPUT 31;"CENTERF",C,"MHZ"

590                                                  OUTPUT 31;"SPEANF",S,"MHZ"

600                                                  OUTPUT 31;"SDIV 10 DB"

610                                                  OUTPUT 31;"REFV 0 DB"

620                                                  OUTPUT 31;"MKR1A",L,"MHZ"

630                                                  OUTPUT 31;"MKR2A",H,"MHZ"

640                                                  OUTPUT 31;"MKR3A",C,"MHZ"

650                                                  CLS

660                                                  OUTPUT 36;19

670                                                  FL=L*1e+06

680                                                  FH=H*1e+06

690                                                  IL=-8

700                                                  RIP=R

710                                                  CLS

720                                                  CURSOR 2,10

730                                                  PRINT "START"

740                                                  PRINT "M:";N$

750                                                  INTEGER U

760                                                  U=0

770                                                  ENABLE INTR

780                                                  ON KEY 1 GOTO 1870

790                                                  ON KEY 2 GOTO 1910

791                                                  ON KEY 3 GOTO *READ

792                                                  ON KEY 4 GOTO *ZERO

793                                                  ON KEY 5 GOTO *CLE

800                                                  OUTPUT 34;0

810                                                  OUTPUT 35;80

820                                                  ENTER 34;0

830                                                  ENABLE  INTR

840                                                  IF TRIG=0 THEN GOTO 820

860                                                  U=U+1

870                                                  FOR   T=1 TO 350

880                                                  NEXT T

890                                                  OUTPUT 31;"SINGLE"

900                                                  FOR T=0 TO 350

910                                                  NEXT T

920                                                  PF0=FMAX(100,1100,0)

930                                                  PIL=MAX(100,1100,0)

940                                                  PILL=MIN(100,1100,0)

950                                                  DIR=PIL-PILL

960                                                  IF O=1 THEN GOSUB *PRINT

970                                                  IF DIR<RIP THEN GOTO 1030

980                                                  IF PIL<IL THEN GOTO 1030

990                                                  IF PF0<FL THEN GOTO 1030

1000                                                IF PF0>FH THEN GOTO 1030

1010                                                OUTPUT 34;1

1020                                                GOTO 800

1030                                                OUTPUT 34;3

1040                                                GOTO 800

1050                                                PRINT"       #########END######### "

1060                                                STOP

1070                                                *CHANGE

1080                                                CLS

1090                                                PRINT "If you change the spec the old's w"

1100                                                cursor 33,4

1110                                                PRINT "ill be lost!"

1120                                                INPUT "ARE YOU SURE?Y/N?";T$

1130                                                IF T$="Y" THEN GOTO 1150

1140                                                IF T$="N" THEN GOTO 1050

1150                                                CLS

1160                                                PRINT "  INPUT THE NAME OF THE MODEL"

1170                                                CURSOR 31,4

1180                                                PRINT "WHICH YOU WANT"

1190                                                PRINT "TO CHANGE."

1200                                                PRINT "........................."

1210                                                INPUT "NAME=";M$

1220                                                PURGE M$

1230                                                INPUT "FL=";L

1240                                                INPUT "FH=";H

1250                                                INPUT "CENTER=";C

1260                                                INPUT "SPAN="S

1270                                                INPUT "RIP=";R

1280                                                PRINT "............."

1290                                                OPEN M$ FOR OUTPUT AS #FD;BINARY

1300                                                OUTPUT #FD;M$,L,H,C,S,R

1310                                                CLOSE *

1320                                                PRINT "SAVED!"

1330                                                RETURN

1340                                                *CLEAR

1350                                                L=0,H=0,C=0,S=0,R=0,N$="",M$=""

1360                                                RETURN

1370                                                *READ

1371                                                CLS

1390                                                CURSOR 0,21

1400                                                PRINT "NAME:   ";N$

1410                                                PRINT "CENTER: ";C

1411                                                PRINT "FL:     ";L

1412                                                PRINT "FH:     ";H

1420                                                RETURN

1430                                                *TURE

1440                                                O=1

1450                                                GOTO 150

1460                                                RETURN

1470                                                *PRINT

1480                                                F0=PF0/1e+06

1490                                                IF DIR<RIP THEN

1500                                                PRINT U;"    F0=0"

1510                                                ELSE IF PIL<-8 THEN

1520                                                PRINT U;"    F0=0"

1530                                                ELSE

1540                                                PRINT U;"    F0=";F0

1550                                                END IF

1560                                                RETURN

1570                                                *ERR

1580                                                CURSOR 5,9

1590                                                PRINT "================================"

1600                                                CURSOR 37,9

1610                                                PRINT "====="

1620                                                CURSOR 5,10

1630                                                PRINT "/            *RERROR*"

1640                                                CURSOR 37,10

1650                                                PRINT "     /"

1660                                                CURSOR 5,11

1670                                                PRINT "/*MAKE SURE THR MODEL NAME IS RI"

1680                                                CURSOR 37,11

1690                                                PRINT "GHT./"

1700                                                CURSOR 5,12

1710                                                PRINT "MAKE SURE THIS DISK HAS THIS"

1720                                                CURSOR 37,12

1730                                                PRINT "     /"

1740                                                CURSOR 5,13

1750                                                PRINT "/MODEL DATA;"

1760                                                CURSOR 37,13

1770                                                PRINT "      /"

1780                                                CURSOR 5,14

1790                                                PRINT "/*MAKE SURE THE DISK IS OK."

1800                                                CURSOR 37,14

1810                                                PRINT "    /"

1820                                                CURSOR 5,15

1830                                                PRINT "================================="

1840                                                CURSOR 37,15

1850                                                PRINT "======"

1860                                                STOP

1870                                                *AGAIN

1871                                                U=0

1880                                                PRINT "OK"

1890                                                GOTO 750

1900                                                RETURN

1910                                                *MEAN

1920                                                FOR I=1 TO 200

1930                                                NEXT I

1940                                                OUTPUT 31;"SINGLE"

1950                                                FOR U=1 TO 350

1960                                                NEXT U

1970                                                CLS

1980                                                PIL=MAX(100,1100,0)

1990                                                PF0=FMAX(100,1100,0)

2000                                                PIL=MIN(100,1100,0)

2010                                                DIR=PIL-PILL

2020                                                CURSOR 5,5

2030                                                PRINT "IL=",PIL

2040                                                GOSUB   *PRINT

2050                                                GOTO 760

2060                                                RETURN

2070                                                *ZERO

2080                                                O=0

2090                                                RETURN

2100                                                *CLS

2110                                                CLS

2120                                                RETURN

综上所述，本发明提供实现了连续自动测试的功能，在提高了测试***的自动化程度的同时，提高了工作效率，而且在测试时一键操作即可完成全部测试，基本实现无人操作测试***，节省了人力成本。

可以理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，而所有这些改变或替换都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (9)

1.一种用于测试声表面波谐振器的测试***，其特征在于，包括：

驱动设备，具有探针，用于与被测对象触接，获取测试数据；

阻抗测定仪，用于检测被测对象的阻抗； 

网络分析仪，与所述驱动设备通信，用于对所述测试数据进行分析，并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试；

电平转换器，用于将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平；

所述驱动设备通过所述电平转换装置与所述网络分析仪和阻抗测定仪连接。

2.根据权利要求1所述的用于测试声表面波谐振器的测试***，其特征在于，所述驱动设备还用于在网络分析仪输出暂停测试信号时，标记被测对象；所述网络分析仪还用于在驱动设备标记被测对象后，输出测试信号使驱动设备测试下一被测对象。

3.根据权利要求1所述的用于测试声表面波谐振器的测试***，其特征在于，所述电平转换器包括三刀双掷开关、第一光耦芯片、第二光耦芯片、第三光耦芯片、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻、第八电阻、第九电阻和第十电阻；

所述第一光耦芯片的第一端通过第一电阻连接驱动设备，所述第一光耦芯片的第二端连接三刀双掷开关的第二端，第一光耦芯片的第三端接地，第一光耦芯片的第四端通过第二电阻连接第一高电平供电端、还通过第三电阻连接第一三极管的基极；所述第一三极管的集电极连接所述网络分析仪、还通过第四电阻连接第二高电平供电端，第一三极管的发射极接地；

所述第二光耦芯片的第一端通过第五电阻连接第三高电平供电端，所述第二光耦芯片的第二端连接所述网络分析仪，第一光耦芯片的第三端接地，第二光耦芯片的第四端通过第六电阻连接第二三极管的基极、还通过第七电阻连接第四高电平供电端；所述第二三极管的集电极连接三刀双掷开关的第五端，第二三极管的发射极接地；

所述第三光耦芯片的第一端通过第八电阻连接第五高电平供电端，所述第一光耦芯片的第二端连接所述网络分析仪，第三光耦芯片的第三端接地，第三光耦芯片的第四端通过第九电阻连接第三三极管的基极、还通过第十电阻连接第六高电平供电端；所述第一三极管的集电极连接三刀双掷开关的第八端，第三三极管的发射极接地；

所述三刀双掷开关的第一端、第四端和第七端连接所述驱动设备，三刀双掷开关的第三端、第六端和第九端连接所述阻抗测定仪。

4.根据权利要求3所述的用于测试声表面波谐振器的测试***，其特征在于，所述第一三极管、第二三极管和第三三极管均为NPN三极管。

5.根据权利要求1所述的用于测试声表面波谐振器的测试***，其特征在于，所述被测对象为晶片。

6.一种如权利要求1所述用于测试声表面波谐振器的测试***的测试方法，其特征在于，包括：

A、开启驱动设备时，电平转换器将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平，使驱动设备与网络分析仪通信；

B、使探针触接被测对象获取测试数据，并将所述测试数据发送给网络分析仪；

C、所述网络分析仪对测试数据进行分析，并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试。

7.根据权利要求6所述的测试方法，其特征在于，在步骤C之后，所述的测试方法还包括：

D、当需要检测被测对象的阻抗时，由所述电平转换器进行切换使所述驱动设备与阻抗测定仪通信；

E、由阻抗测定仪测试被测对象的阻抗。

8.根据权利要求6所述的测试方法，其特征在于，所述步骤C具体包括：

C1、所述网络分析仪分别对被测对象的RIP值、IL值和F0值进行分析，当RIP值、IL值或FO值不在预设范围时，向所述驱动设备发送暂停测试信号；

C2、由所述驱动设备标记所述被测对象；

C3、网络分析仪控制驱动设备继续获取下一被测对象的测试数据。

9.根据权利要求8所述的测试方法，其特征在于，所述步骤C还包括：C4、在所有被测对像检测完成后，由网络分析仪向驱动设备发停止测试信号，控制驱动设备停止工作。

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