CN103600993A - 自动化物料输送***及其搬送轨道 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种自动化物料输送***及其搬送轨道，属于物料输送领域。搬送轨道包括：设置在不同平面的主轨道、支路轨道，当所述支路轨道的物料输送单元须滑行进入所述主轨道时，所述支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接。本发明中，当所述支路轨道的物料输送单元须滑行进入所述主轨道时，所述支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接，从而避免了道岔的使用，降低了***的整体复杂度。

Description

自动化物料输送***及其搬送轨道

技术领域

本发明属于物料输送领域，具体地说，涉及一种自动化物料输送***及其搬送轨道。

背景技术

随着半导体技术的发展，300mm的硅片已经取代200mm的硅片成为主流，每个装载了硅片的容器重量由原来的约4公斤变成了约9公斤。因此，如果借助于人力来在各个制造模块之间来进行输送的话，会导致效率比较低，同时还可能导致人员被伤害的危险。而由于可以有效提高厂房利用率、缩短产品的生产周期，自动化物料输送***（Automated Material Handling Systems，以下简称：AMHS）相对于人力化的物料输送来说，成为在300mm硅片制造过程中各个制造模块之间来进行输送硅片的主要纽带。

图5为现有技术中自动化物料输送***的结构示意图。如图5所示，该自动化物料输送***主要包括：存储单元STOCKER501和升降机子***502。其中，存储单元STOCKER501设有至少一个输入口511、至少一个输出口521，存储单元STOCKER501中放置有盒式容器503，在盒式容器503存放有物料（Work In Product，以下简称WIP）如硅片。升降机子***502包括设置在存储单元STOCKER501***的支路轨道512，以及可在支路轨道512上行驶的输送车522。每个输送车522还连接有一机械手532，通过该机械手532来拾取或者卸载盒式容器503，再控制输送车522沿着悬空轨道512行驶，从而使得硅片在制造区域的各个制造模块之间自动输送。比如拾取了一盒式容器503的输送车522在支路轨道512上行驶，并停在可以把其拾取的盒式容器503卸载到其停靠位置处输入口511的位置，或者可以从输出口521拾取一盒式容器503的位置，并最终完成盒式容器503到存储单元STOCKER501的卸载或者装入。当该输送车522完成卸载或者装入后，另一停靠在支路轨道512输送车522再通过其停靠位置处输入口511或者输出口521卸载或者装入其他的盒式容器503。

由于上述***中大多情况下会配置多个输送车522，***具有多条支路轨道512，支路轨道512与主轨道504设置在同一水平面。而这些输送车522，在滑出各自的支路轨道512后，都会进入主轨道504，也就是说，在输送的过程中，主轨道504随时要实现与某一支路轨道512的对接，该对接往往借助于一道岔504来实现。

图6为现有技术中支路轨道与主轨道对接的示意图。如图6所示，在X-Y-Z平面内，当输送车522需要沿着支路轨道512行进至主轨道504时，***通过自动控制装置，道岔505沿着Y轴方向水平平移，使支路轨道512与主轨道504连为一个整体，输送车522离开支路轨道512后，道岔505可以根据后续可能的输送车522搬送路径选择维持现有位置或回复至分离位置。

由此可见，当每多一道岔道需要控制时，***的复杂程度随之大幅提升；同时，目前自动化物料输送***AMHS的轨道供电主要采用非接触供电方式，在岔道部分的电缆走线比较复杂，每多一道岔道，就会增加***的整体复杂度。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种自动化物料输送***及其搬送轨道，用以克服或者缓解上述现有技术中的问题。

为克服或者缓解上述技术问题，本发明提供了一种自动化物料输送***用的搬送轨道，其包括：设置在不同平面的主轨道、支路轨道，当所述支路轨道的物料输送单元须滑行进入所述主轨道时，所述支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接。

优选地，在本发明的一实施例中，不同的所述支路轨道相互设置在不同的平面，而所述主轨道设置在与设置所述支路轨道不同的平面。

优选地，在本发明的一实施例中，不同的两条所述支路轨道之间的夹角位于0-90度。

优选地，在本发明的一实施例中，所述支路轨道上的所述物料输送单元滑行进入所述主轨道后，进入复位状态或者维持原位不动。

优选地，在本发明的一实施例中，由驱动单元驱动所述支路通道与所述主轨道的对接。

优选地，在本发明的一实施例中，所述驱动单元为气缸或弹簧或者二者的组合。

为克服或者缓解现有技术的上述问题，本发明还提供一种自动化物料输送***，其可以包括：

存储设备，包括至少两个存储单元，每个所述存储单元中分层存储有物料；

搬送轨道，所述搬送轨道包括：设置在不同平面的主轨道、支路轨道，当所述支路轨道的物料输送单元须滑行进入所述主轨道时，所述支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接，所述支路通道设置在所述存储设备中每相邻两个所述存储单元之间；

物料输送单元，用于从所述存储设备中存取所述物料，并沿着所述支路通道驶入所述主轨道，从一制造模块到另一制造模块。

为克服或者缓解现有技术的上述问题，本发明再提供了一种自动化物料输送台，其可以包括：

搬送轨道，所述搬送轨道包括：设置在不同平面的主轨道、支路轨道，当所述支路轨道的物料输送单元须滑行进入所述主轨道时，所述支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接，所述支路通道设置在所述存储设备中每相邻两个所述存储单元之间；

物料输送单元，用于从所述存储设备中存取所述物料，并沿着所述支路通道驶入所述主轨道，从一制造模块到另一制造模块。

为克服或者缓解现有技术的上述问题，本发明又提供了一种自动化物料输送方法，其可以包括：

步骤1、将物料分层存储在存储设备的每个存储单元中；

步骤2、在所述物料的重力作用下，支路轨道与所述主轨道对接，输送存取的所述物料从所述支路轨道进入所述主轨道；

步骤3、进入所述主轨道的所述物料在所述物料输送单元的带动下，沿着所述主轨道，从一制造模块到另一制造模块。

与现有技术相比,本发明中，当所述支路轨道的物料输送单元须滑行进入所述主轨道时，所述支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接，从而避免了道岔的使用，降低了***的整体复杂度。

附图说明

图1为本发明实施例一中自动化物料输送***用的搬送轨道结构示意图；

图2和图3分别为支路通道与主轨道的对接示意图之一和之二；

图4为本发明实施例二中自动化物料输送方法流程图；

图5为现有技术中自动化物料输送***的结构示意图；

图6为现有技术中支路轨道与主轨道对接的示意图。

具体实施方式

以下将配合图式及实施例来详细说明本发明的实施方式，藉此对本发明如何应用技术手段来解决技术问题并达成技术功效的实现过程能充分理解并据以实施。

本发明的下述实施例中，仅仅是以两条支路轨道和一条主轨道组成的搬送轨道进行说明，并不代表搬送轨道只包括两条支路轨道和一条主轨道，也可以包括多于两条支路轨道。

另外，需要说明的是，下述实施例中，搬送轨道不局限于半导体制造中，也可以运用于其他不同的制造模块需要搬送物料的场合，在此不再赘述。

本发明的下述实施例中，当所述支路轨道的物料输送单元须滑行进入所述主轨道时，所述支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接，从而避免了道岔的使用，降低了***的整体复杂度。

图1为本发明实施例一中自动化物料输送***用的搬送轨道结构示意图；如图1所示，该搬送轨道可以包括：设置在不同平面的主轨道101、支路轨道102A、102B。当所述支路轨道102A和/或102B的物料输送单元须滑行进入所述主轨道101时，所述支路轨道102A或102B通过物料输送单元（图中未示出）重力作用，与所述主轨道101对接。

本实施例中，所述支路轨道102A、102B相互设置在不同的平面，而所述主轨道101设置在与设置所述支路轨道102A、102B不同的平面，比如,通过支路轨道102A、102B和主轨道101靠近的那一段不在同一水平来实现。不同的支路通道102A、102B在不同的平面，避免了支路通道之间的在作业过程中的相互干扰。

本实施例中，两条所述支路轨道102A、102B之间的夹角为0-90度。比如为30度、45度、90度等。该角度也不局限于该范围，对于本领域普通技术人员来说，在基于被存取的物料的重力作用下，实现支路通道与所述主轨道的对接原则下，不同支路通道之间的夹角可以结合存储单元stocker之间的位置关系灵活设置。

本实施例中，所述支路轨道102A或102B上的所述物料输送单元113滑行进入所述主轨道后，进入复位状态或者维持原位不动。当有其他支路轨道需要与主轨道101对接的话，则另外一条支路通道需要与主轨道101断开，处于复位状态；否则的话，可以继续与主轨道101保持对接状态，维持原位不动，如图2和图3分别为支路通道与主轨道的对接示意图之一和之二。

本实施例中，由驱动单元（图中未示出）驱动所述支路通道102A或102B与所述主轨道101的对接。具体地，所述驱动单元可以为气缸或弹簧或者二者的组合。需要说明的是，驱动单元不局限于为气缸或者弹簧，也可以由其他实体结构替代，详细不再赘述。

与现有技术的自动物料输送***结合，形成本发明另外一实施例中一种自动化物料输送***，其可以包括：

存储设备，包括至少两个存储单元，每个所述存储单元中分层存储有物料；在不影响对本发明技术方案理解前提下，具体地，本实施例中使用容纳单元（图中未示出）将物料存储在其中并分层放置在存储设备上，该容纳单元可以为前端开口片盒（Front OpeningUnified Pod，以下简称FOUP）或者标准机械界面盒（Stand Mechanical Interface，以下简称SMIF）。

搬送轨道，所述搬送轨道包括：设置在不同平面的主轨道、支路轨道，当所述支路轨道上的物料输送单元须滑行进入所述主轨道时，所述支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接，所述支路通道设置在所述存储设备中每相邻两个所述存储单元之间。

具体地，可以给在每相邻的两个存储单元之间设置两条支路导轨，以及对应的两个物料输送单元。

物料输送单元用于从所述存储设备中存取所述物料，并沿着所述支路通道驶入所述主轨道，从一制造模块到另一制造模块。

物料输送单元可以包括输送车和拾取单元，拾取单元设置在输送车前端。输送车用于带动拾取单元沿着支路轨道行驶以输送硅片，该输送车具体可以为在竖直方向行进的高架提升输送车OHT；拾取单元具体可以为一机械手。

有关物料输送单元的详细结构可参加现有技术的相关技术，在此不再赘述。有关搬送轨道的详细结构可参见图1-3的描述，在此不再赘述。

本发明的一实施例中，还提供了一种自动化物料输送台，其可以包括上述搬送轨道、物料输送单元等。有关搬送轨道和物料输送单元的详细内容请参见上述相关内容，在此不再赘述。

图4为本发明实施例二中自动化物料输送方法流程图；如图4所示，其可以包括：

步骤401、将物料分层存储在存储设备的每个存储单元中；

步骤402、在所述物料的重力作用下，支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接，输送存取的所述物料从所述支路轨道进入所述主轨道；

步骤403、进入所述主轨道的所述物料在所述物料输送单元的带动下，沿着所述主轨道，从一制造模块到另一制造模块。

上述说明示出并描述了本发明的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。

Claims (9)

1.一种自动化物料输送***用的搬送轨道，其特征在于，包括：设置在不同平面的主轨道、支路轨道，当所述支路轨道的物料输送单元须滑行进入所述主轨道时，所述支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接。

2.根据权利要求1所述的搬送轨道，其特征在于，不同的所述支路轨道相互设置在不同的平面，所述主轨道设置在与设置所述支路轨道不同的平面。

3.根据权利要求1所述的搬送轨道，其特征在于，不同的两条所述支路轨道之间的夹角为0-90度。

4.根据权利要求1所述的搬送轨道，其特征在于，所述支路轨道上的所述物料输送单元滑行进入所述主轨道后，进入复位状态或者维持原位不动。

5.根据权利要求1所述的搬送轨道，其特征在于，由驱动单元驱动所述支路通道与所述主轨道的对接。

6.根据权利要求5所述的搬送轨道，其特征在于，所述驱动单元为气缸或弹簧或者二者的组合。

7.一种自动化物料输送***，其特征在于，包括：

存储设备，包括至少两个存储单元，每个所述存储单元中分层存储有物料；

搬送轨道，所述搬送轨道包括：设置在不同平面的主轨道、支路轨道，当所述支路轨道的物料输送单元须滑行进入所述主轨道时，所述支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接，所述支路通道设置在所述存储设备中每相邻两个所述存储单元之间；

物料输送单元，用于从所述存储设备中存取所述物料，并沿着所述支路通道驶入所述主轨道，从一制造模块到另一制造模块。

8.一种自动化物料输送台，其特征在于，包括：

搬送轨道，所述搬送轨道包括：设置在不同平面的主轨道、支路轨道，当所述支路轨道的物料输送单元须滑行进入所述主轨道时，所述支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接，所述支路通道设置在所述存储设备中每相邻两个所述存储单元之间；

物料输送单元，用于从所述存储设备中存取所述物料，并沿着所述支路通道驶入所述主轨道，从一制造模块到另一制造模块。

9.一种自动化物料输送方法，其特征在于，包括：

步骤1、将物料分层存储在存储设备的每个存储单元中；

步骤2、在所述物料的重力作用下，支路轨道通过物料输送单元重力作用，与所述主轨道对接，输送存取的所述物料从所述支路轨道进入所述主轨道；

步骤3、进入所述主轨道的所述物料在所述物料输送单元的带动下沿着所述主轨道，从一制造模块到另一制造模块。

Images