CN103412542B - 一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法 - Google Patents

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Abstract

一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法，包括如下步骤：步骤1，对于处于受控状态下的集成电路工艺设备进行监控，并根据监测出的异常对设备提出预警；步骤2，首先从历史数据库中随机读取若干设备加工工艺关键监控参数样本值，计算样本值的均值与方差，根据均值和方差确定参数值的统计过程控制界限；利用统计过程控制界限构造出统计过程控制图；步骤3，在设备上不间断的采集质量参数实时数据，并对实时采集的参数进行处理；数据处理后使用统计过程控制图对参数值进行实时监控，并在有异常状况时进行相应的处理；***同时将采集到的数据存入历史数据库中。产生异常的情况下，本方法快速的确定不受控的因素，为解决问题提供有效的参考。

Description

一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法
技术领域
本发明涉及一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法，具体地说是是应用统计过程控制对集成电路工艺设备加工过程中出现的异常进行预警的技术。
背景技术
统计过程控制（SPC）自1924年5月16日休哈特博士在贝尔实验室发明第一张控制图P图以来，已经有80多年的历史。SPC根据产品质量的统计观点，运用数理统计学的方法，对实际生产制造过程中的质量特性数据进行收集，分析和研究其统计特性，从而了解、预测和监控过程的运行状态，发现和排除质量问题，从而达到控制、改进产品质量的目的。
其中，控制图是一种图形方法，它提供表征当前状态的样本序列信息，并将这些信息与考虑了过程固有变异后所建立的控制限进行对比。控制图法用来帮助评估一个过程是否已达到或继续保持在规定水平的统计受控状态，即在生产过程中，通过对产品质量的连续记录，来获得并保持对重要产品或服务特性的控制。应用并仔细分析控制图，可以更好地了解和改进过程。对监控到产品在失控状态下出现的波动进行及时分析并处理，使生产过程一直处于正常的生产过程中。
发明内容
为解决现有技术中的问题，本发明采用的是一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法。
为实现本发明的目的所采用的技术方案是：
一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法，包括如下步骤：
步骤1，对于处于受控状态下的集成电路工艺设备，***对设备的加工产品特性质量进行监控并根据监测出的异常对设备提出预警；
步骤2，***首先从历史数据库中随机读取若干设备加工工艺关键监控参数样本值，对参数样本值进行预处理；计算样本值的均值与方差，根据均值和方差确定参数值的统计过程控制界限；***利用统计过程控制界限构造出统计过程控制图；
步骤3，***在设备上不间断的采集质量参数实时数据，并对实时采集的参数进行处理；数据处理后使用统计过程控制图对参数值进行实时监控，并在有异常状况时进行相应的处理；***同时将采集到的数据存入历史数据库中。
步骤3中，***使用统计过程控制图对设备参数值进行实时监控，并在有异常状况时，使用统计过程控制图确定质量参数值是否在可控范围内；当采集的参数值始终处于不可控状态时，***提示设备加工过程错误并产生报警信息，操作人员及时采取措施消除不可控状态。
步骤3中，使用统计过程控制图确定质量参数值是否在可控范围内；当质量参数处于失控范围时，***提示错误并报警；当质量参数在可控范围内时，***判断设备是否处于失控状态，如果设备处于失控状态，则利用离线统计过程控制方法，找出影响参数值的主要影响参数并提示错误并报警，操作人员采取措施消除影响；***进行下一次数据采集监测。
判断设备是否处于失控状态，当判断设备并处于可控状态时，失控点只是单独一个失控点，则能确定***仍然在可控状态，***继续对设备数据进行监控。
利用离线统计过程控制方法，找出影响参数值的主要影响参数并加以控制，首先要确定可以影响质量参数的因素，对于能够直接发现或确定的影响因素，可以直接向操作人员给出改正意见；对于不能直接发现或确定的影响因素，***使用贡献图对能够影响到质量参数的因素的影响大小进行排序，给出操作人员可以在哪些影响因素做出修正以改变质量参数的趋势。
本发明具有以下优点：
本发明方法使用统计过程控制对设备进行监控，不断采集监控设备工艺关键参数，在关键参数出现异常的情况下，对设备产生预警，在线统计过程控制可以在加工过程的产品质量还未出现异常，但加工过程已经不可控时产生预警，从而最大程度的减少由于加工过程变为不可控状态而带来的损失。在产生异常的情况下，利用离线统计过程控制方法可以快速的确定使***不受控的因素，为操作人员解决问题提供有效的参考。
附图说明
图1为本发明的***控制流程图；
图2为参数数据在线监控流程图。
具体实施方式
下面结合附图图1、2及实施例对本发明做进一步的详细说明。
一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法，包括如下步骤：
步骤1，对于处于受控状态下的集成电路工艺设备，***对设备的加工产品特性质量进行监控并根据监测出的异常对设备提出预警；受控状态是指在设备工作状态稳定、加工出的产品的特性质量符合要求，对与可以控制的能够对设备加工质量有波动影响的因素都已经被消除。
步骤2，***首先从历史数据库中随机读取若干设备加工工艺关键监控参数样本值，对参数样本值进行预处理；计算样本值的均值与方差，根据均值和方差确定参数值的统计过程控制界限；***利用统计过程控制界限构造出统计过程控制图；
步骤3，***在设备上不间断的采集质量参数实时数据，并对实时采集的参数进行处理；数据处理后使用统计过程控制图对参数值进行实时监控，并在有异常状况时进行相应的处理；***同时将采集到的数据存入历史数据库中。
步骤3中***使用统计过程控制图对设备参数值进行实时监控，并在有异常状况时，使用统计过程控制图确定质量参数值是否在可控范围内；当采集的参数值始终处于不可控状态时，***提示设备加工过程错误并产生报警信息，操作人员及时采取措施消除不可控状态。
步骤3中使用统计过程控制图确定质量参数值是否在可控范围内；当质量参数处于失控范围时，***提示错误并报警；当质量参数在可控范围内时，***判断设备是否处于失控状态，如果设备处于失控状态，则利用离线统计过程控制方法，找出影响参数值的主要影响参数并提示错误并报警，操作人员采取措施消除影响；***进行下一次数据采集监测。
判断设备是否处于失控状态，当判断设备并不处于失控状态，失控点只是单独一个失控点，则能确定***仍然在可控状态。
利用离线统计过程控制方法，找出影响参数值的主要影响参数并加以控制，首先要确定可以影响质量参数的因素，对于能够直接发现或确定的影响因素，可以直接向操作人员给出改正意见；对于不能直接发现或确定的影响因素，***使用贡献图对能够影响到质量参数的因素的影响大小进行排序，给出操作人员可以在哪些影响因素做出修正以改变质量参数的趋势。

Claims (3)

1.一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法，基于生产加工***，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1，对于处于受控状态下的集成电路工艺设备，***对设备的加工产品特性质量进行监控并根据监测出的异常对设备提出预警；
步骤2，***首先从历史数据库中随机读取若干设备加工工艺关键监控参数样本值，对参数样本值进行预处理；计算样本值的均值与方差，根据均值和方差确定参数值的统计过程控制界限；***利用统计过程控制界限构造出统计过程控制图；
步骤3，***在设备上不间断的采集质量参数实时数据，并对实时采集的参数进行处理；数据处理后使用统计过程控制图对参数值进行实时监控，并在有异常状况时进行相应的处理；***同时将采集到的数据存入历史数据库中；
步骤3中，***使用统计过程控制图对设备参数值进行实时监控，并在有异常状况时，使用统计过程控制图确定质量参数值是否在可控范围内；当采集的参数值始终处于不可控状态时，***提示设备加工过程错误并产生报警信息，操作人员及时采取措施消除不可控状态；
步骤3中，使用统计过程控制图确定质量参数值是否在可控范围内；当质量参数处于失控范围时，***提示错误并报警；当质量参数在可控范围内时，***判断设备是否处于失控状态，如果设备处于失控状态，则利用离线统计过程控制方法，找出影响参数值的主要影响参数并提示错误并报警，操作人员采取措施消除影响；***进行下一次数据采集监测。
2.根据权利要求1所述的一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法，其特征在于：判断设备是否处于失控状态，当判断设备并处于可控状态时，失控点只是单独一个失控点，则能确定***仍然在可控状态，***继续对设备数据进行监控。
3.根据权利要求1所述的一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法，其特征在于：利用离线统计过程控制方法，找出影响参数值的主要影响参数并加以控制，首先要确定可以影响质量参数的因素，对于能够直接发现或确定的影响因素，可以直接向操作人员给出改正意见；对于不能直接发现或确定的影响因素，***使用贡献图对能够影响到质量参数的因素的影响大小进行排序，给出操作人员可以在哪些影响因素做出修正以改变质量参数的趋势。
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