CN103408775A

CN103408775A - 一种具有高介电常数和低介电损耗的柔性复合介电材料的制备方法

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Publication number: CN103408775A
Application number: CN2013103127781A
Authority: CN
Inventors: 马育红; 张先宏; 杨万泰
Original assignee: Beijing University of Chemical Technology
Current assignee: Beijing University of Chemical Technology
Priority date: 2013-07-20
Filing date: 2013-07-20
Publication date: 2013-11-27
Anticipated expiration: 2033-07-20
Also published as: CN103408775B

Abstract

本发明公开了一种具有高介电常数和低介电损耗的柔性复合介电材料的制备方法。该复合介电材料的特征是由表面改性的钛酸钡（BaTiO₃）或钛酸镁（MgTiO₃）的纳米纤维和含氟聚合物组成。具体地，用氟硅烷对结晶型BaTiO₃或MgTiO₃纳米纤维表面进行化学修饰，将表面修饰的BaTiO₃或MgTiO₃纳米纤维与含氟聚合物以及它们的共混物进行复合，采用溶液流延工艺得到柔性的复合介电材料。该方法工艺简单，能显著提高复合介电材料的介电常数，同时降低其介电损耗，克服了现有的有机/无机复合技术在获得高介电常数的同时会导致介电损耗增大的缺点。

Description

一种具有高介电常数和低介电损耗的柔性复合介电材料的制备方法

技术领域

本发明涉及一种高介电常数、低介电损耗复合介电材料的制备方法，具体是涉及一种用氟硅烷表面处理的钛酸钡(BaTiO₃)或钛酸镁（MgTiO₃）纳米纤维和含氟聚合物组成的柔性介电材料的制备方法。

背景技术

具有高储能密度、低介电损耗的介电材料以其在电子行业，特别是在微电子器件方面的广泛应用而得到了越来越多的关注，尤其是聚合物基复合介电材料由于良好的加工性能、高柔顺性以及高的储能密度成为近年来高性能介电材料研究和开发的热点。

传统的铁电陶瓷介电材料主要有钛酸钡（BaTiO₃），钛酸镁（MgTiO₃）以及金红石二氧化钛（TiO₂）等。尽管这些陶瓷材料具有很大的介电常数，但其脆性、高加工温度和低击穿强度限制了这类材料在可折叠电子产品中的应用。聚合物介电材料主要是含氟的均聚物以及共聚物，如偏氟乙烯（PVDF），偏氟乙烯-三氟乙烯共聚物（PVDF-TrFE）以及环氧树脂等。与无机陶瓷类介电材料相比，聚合物介电材料的介电常数通常较小，但是具有良好的柔顺性和较高的击穿强度。有机/无机材料复合技术是集成陶瓷介电材料和含氟聚合物介电材料两者的优点，制备性能更好的介电材料的重要技术路线。

以导电填料和陶瓷介电材料为填料，以聚合物为基体是制备高介电常数复合材料的常用方法。如镍/聚偏氟乙烯,银/环氧树脂,多壁碳纳米管/聚偏氟乙烯,炭黑/环氧树脂以及功能化的石墨烯/聚二甲基硅氧烷等，可以得到高介电常数的复合材料。这类复合材料通常存在一个渗流阀值，即当导电填料的体积分数大于一定值时，复合材料由绝缘体变成导电体，而且导电填料和聚合物基体之间的界面缺陷往往成为漏电流的通道，导致复合材料介电损耗的增大。而陶瓷介电填料/聚合物基体复合材料，如BaTiO₃/环氧树脂、BaTiO₃/PVDF等也可以显著提高复合材料的介电常数。但由于无机陶瓷介电填料和聚合物基体之间界面不相容问题，带来了这类介电材料微结构上的缺陷，影响材料的介电性能和力学性能。解决上述问题的方法是对无机陶瓷介电填料进行表面化学改性，如表面包覆和表面接枝。例如，用多巴胺改性的纳米BaTiO₃粒子，可改善其与PVDF的界面相容问题，用硅烷偶联剂改性的纳米BaTiO₃粒子填充环氧树脂，介电性能得到了较大改善。另外也可以采用表面引发-原子转移自由基聚合（SI-ATRP）在介电填料表面进行化学接枝，如PMMABaTiO₃，PSTiO₂以及PTFEMABaTiO₃，可以显著地改善无机材料与有机材料的界面相容性，提高复合材料的介电性能。然而这类材料通常只有当填料的填充体积分数达到70v%时才会有显著作用，这不仅增大了聚合物复合材料的刚性，而且带来复合材料的成型加工难度。

大长径比的填料在相同的填充体积分数时，对增大复合材料的介电常数更有效。例如多巴胺表面改性的BaTiO₃纳米纤维与偏氟乙烯和三氟乙烯共聚物（PVDF-TrFE）的复合材料的介电性能。在较小的BaTiO₃纳米纤维填充体积分数下，复合材料的介电常数提高了约2倍（Song Y,Shen Y,Liu HY,Lin YH,Li M,Nan CW.J Mater Chem,2012,22:8063-8068）。专利CN101508841A公开了一种以尼龙和含氟聚合物的高分子合金介电材料，得到了介电常数大，力学性能好的柔性复合介电材料。最近，我们发现在介电填料，如BaTiO₃纳米粒子，表面化学接枝一层含氟聚合物，可以显著地提高复合材料的介电常数，同时降低了材料的介电损耗（Zhang XH,Chen HC,Ma YH,Zhao CW,YangWT.Appl Surf Sci,2013,277:121-127）。之后Yang等人报道了以接枝氟代物改性的BaTiO₃纳米粒子填充PVDF，制备的介电材料在显著增大材料介电常数的同时亦能显著降低材料的介电损耗（Yang K,Huang XY,Huang YH,Xie LY,Jiang PK.Chem Mater,2013,25:2327-2338）。基于表面氟代物接枝改性的钛酸盐纳米纤维和含氟聚合物及其混合物组成的复合材料为制备柔性高介电常数、低介电损耗的介电材料提供了一种方法。但是，表面接枝技术的工艺复杂，催化剂金属离子的残留可能导致介电材料在使用过程的击穿。因此，有必要研究开发工艺简单，无离子残留的无机介电陶瓷材料的表面改性技术，以及在此基础上的复合技术。

发明内容

一般地，复合介电材料在提高介电常数的同时，会使得介电损耗也大幅增加，本发明旨在解决复合介电材料介电常数和介电损耗之间的矛盾，为制备更为实用的柔性复合介电材料提供一种方法。本发明的原理为：采用大长径比的BaTiO₃或MgTiO₃无机纳米纤维来提高复合材料的介电常数，在纤维表面进行化学修饰引入碳氟键，一方面碳氟键的引入明显改善了纳米纤维与聚合物基体的相容性，减小界面缺陷；另一方面碳氟键的极化损耗小，两方面的作用有效地降低了复合材料的介电损耗。本发明所采用的具体技术方案为：首先用氟硅烷偶联剂对BaTiO₃或MgTiO₃无机纳米纤维表面进行化学修饰，通过纳米纤维表面的羟基和氟硅烷偶联剂的水解作用，以共价化学键连接的方式在纳米纤维表面引入氟碳基团；然后将氟硅烷表面处理的纳米纤维作为填料，制备与含氟聚合物的复合材料。进一步，可以通过溶液流延工艺得到柔性的复合介电材料薄膜。

本发明涉及的氟硅烷是含有氟取代烷基的烷氧基硅烷，如全氟辛基三甲氧基硅烷、全氟辛基三乙氧基硅烷、十七氟癸基三甲氧基硅烷、十二氟庚基丙基三甲氧基硅烷、十二氟庚基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-七氟异丙氧基丙基三甲氧基硅烷以及全氟癸基三甲氧基硅烷，以及这些氟硅烷的混合物等。可用于本发明的氟硅烷包括但不限于上述列举。对BaTiO₃和MgTiO₃纳米纤维表面氟硅烷改性时，首先将含氟硅烷或其混合物稀释成0.5-2wt%的乙醇或异丙醇溶液；然后将BaTiO₃或MgTiO₃纳米纤维加到氟硅烷的溶液中，滴加少量的催化剂如盐酸、冰醋酸，超声0.5-2小时后，在40-60℃下搅拌6-12小时；最后将混合溶液经离心、洗涤，于50℃真空烘箱中烘干。

复合材料的制备采用溶液共混法。首先配制5wt%-10wt%的含氟聚合物溶液，将含氟聚合物如聚偏氟乙烯（PVDF），聚偏氟乙烯-三氟乙烯（PVDF-TrFE）共聚物，聚偏氟乙烯-四氟乙烯（PVDF-PTFE）共聚物，聚偏氟乙烯-六氟丙烯（PVDF-HFE）共聚物以及偏氟乙烯与三氟氯乙烯(PVDF-CTFE)共聚物中的任一种或者混合物称量后加入相应的溶剂中。然后搅拌至完全溶解。溶剂可以是N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、六氟丙醇等能溶解含氟聚合物的溶剂，也可以采用混合溶剂。溶解过程也可以通过加热来加速溶解过程。

本发明涉及的复合介电材料的制备，按氟硅烷改性的钛酸钡（BaTiO₃）或钛酸镁（MgTiO₃）纳米纤维在复合材料中的体积分数为5v%-25v%，将氟硅烷改性的BaTiO₃或MgTiO₃纳米纤维超声分散在溶剂中，然后加入5wt%-10wt%的相应量的含氟聚合物溶液，搅拌4-8h至混合均匀，通过溶液流延制备各种形状和厚度的柔性复合介电膜材料。

本发明制备的复合介电材料具有良好的柔顺性，随改性BaTiO₃或MgTiO₃纳米纤维填充体积分数的增大，材料的介电常数也增大；相反，材料的介电损耗显著降低。

附图说明

图1是复合材料介电常数与改性BaTiO₃纳米纤维填充体积分数的关系图，从图中可以看出复合材料的介电常数随着改性BaTiO₃纳米纤维填充体积分数的增大而增大。

图2是复合材料介电损耗与改性BaTiO₃纳米纤维填充体积分数的关系图，从图中可以看出复合材料的介电损耗随着改性BaTiO₃纳米纤维填充体积分数的增大而减小。

具体实施方式

实施例一

1）将十三氟辛基三甲氧基硅烷配制成30ml0.5wt%的乙醇溶液，称取0.2g的BaTiO₃纳米纤维并将其加入到0.5wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.015g滴冰醋酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）PVDF配制成质量分数为10wt%的DMF溶液；3）按改性BaTiO₃纳米纤维体积填充分数为5v%，将改性BaTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，测得介电常数为7.5。

实施例二

1）将十三氟辛基三甲氧基硅烷配制成30ml0.5wt%的乙醇溶液，称取0.2g的MgTiO₃纳米纤维并将其加入到0.5wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.015g滴冰醋酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）PVDF配制成质量分数为10wt%的DMF溶液；3）按改性MgTiO₃纳米纤维体积填充分数为10v%，将改性MgTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，测得介电常数为10。

实施例三

1）将十三氟辛基三甲氧基硅烷配制成30ml0.5wt%的乙醇溶液，称取0.2g的BaTiO₃纳米纤维并将其加入到0.5wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.015g冰醋酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）PVDF配制成质量分数为5wt%的DMF溶液；3）按改性BaTiO₃纳米纤维体积填充分数为15v%，将改性BaTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，测得介电常数为11。

实施例四

1）将十三氟辛基三甲氧基硅烷配制成30ml0.5wt%的乙醇溶液，称取0.2g的MgTiO₃纳米纤维并将其加入到0.5wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.015g冰醋酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；3）PVDF配制成质量分数为5wt%的DMF溶液；4）按改性MgTiO₃纳米纤维体积填充分数为20v%，将改性MgTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，测得介电常数为12.5。

实施例五

1）将十三氟辛基三甲氧基硅烷配制成30ml0.5wt%的乙醇溶液，称取0.2g的BaTiO₃纳米纤维并将其加入到0.5wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.009g盐酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）PVDF配制成质量分数为5wt%的DMF溶液；3）按改性BaTiO₃纳米纤维体积填充分数为25v%，将改性BaTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，测得介电常数为14。

实施例六

1）将十三氟辛基三乙氧基硅烷配制成30ml1wt%的乙醇溶液，称取0.2g的BaTiO₃纳米纤维并将其加入到1wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.009g盐酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）配制PVDF与PVDF-TrFE质量分数为5wt%的DMF溶液(PVDF=50wt%)；3）按改性BaTiO₃纳米纤维体积填充分数为10v%，将改性BaTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，测得介电常数为14。

实施例七

1）将十七氟癸基三甲氧基硅烷配制成30ml2wt%的异丙醇溶液，称取0.4g的MgTiO₃纳米纤维并将其加入到1wt%氟硅烷的异丙醇溶液中，滴加0.015g冰醋酸，超声分散30min后在60℃下搅拌12h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）配制PVDF与PVDF-PTFE(PVDF=80wt%)质量分数为5wt%的DMF溶液；3）按改性MgTiO₃纳米纤维体积填充分数为15v%，将改性MgTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌8h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，测得介电常数为13。

实施例八

1）将十二氟庚基丙基三甲氧基硅烷配制成30ml1wt%的异丙醇溶液，称取0.2g的BaTiO₃纳米纤维并将其加入到1wt%氟硅烷的异丙醇溶液中，滴加0.015g冰醋酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经三次离心和洗涤后放置在50℃真空烘箱中烘干；2）配制PVDF-PTFE与PVDF-TrFE(PVDF-TrFE=40wt%)质量分数为5wt%的DMF溶液；3）按改性BaTiO₃纳米纤维体积填充分数为25v%，将改性BaTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌6h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，测得介电常数为22。

实施例九

1）将十三氟辛基三甲氧基硅烷配制成30ml1wt%的乙醇溶液，称取0.2g的MgTiO₃纳米纤维并将其加入到1wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.003g盐酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）PVDF-HFE配制成质量分数为5wt%的DMF溶液；3）按改性MgTiO₃纳米纤维体积填充分数为20v%，将改性MgTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，所测得介电常数为18。

实施例十

1）将十二氟庚基丙基甲基二甲氧基硅烷配制成30ml2wt%的乙醇溶液，称取0.4g的BaTiO₃纳米纤维并将其加入到2wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.012g冰醋酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经三次离心和洗涤后放置在50℃真空烘箱中烘干；2）配制PVDF与PVDF-HFE(PVDF-HFE=20wt%)质量分数为5wt%的DMF溶液；3）按改性BaTiO₃纳米纤维体积填充分数为10v%，将改性BaTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，所测得介电常数为16。

实施例十一

1）将十三氟辛基三甲氧基硅烷配制成30ml1wt%的乙醇溶液，称取0.2g的BaTiO₃纳米纤维并将其加入到1wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.015g冰醋酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）配制PVDF-CTFE质量分数为5wt%的DMF溶液；3）按改性BaTiO₃纳米纤维体积填充分数为15v%，将改性BaTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，所测得介电常数为15。

实施例十二

1）将十二氟庚基丙基甲基二甲氧基硅烷配制成30ml1wt%的乙醇溶液，称取0.2g的BaTiO₃纳米纤维并将其加入到1wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.009g盐酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）PVDF-HFE配制成质量分数为5wt%的DMF溶液；3）按改性BaTiO₃纳米纤维体积填充分数为15v%，将改性BaTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，所测得介电常数为20。

实施例十三

1）将十二氟庚基丙基甲基二甲氧基硅烷配制成30ml1wt%的乙醇溶液，称取0.2g的BaTiO₃纳米纤维并将其加入到1wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.012g盐酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）配制PVDF-HFE与PVDF-CTFE（PVDF-HFE=40wt%）质量分数为5wt%的DMF溶液；3）按改性BaTiO₃纳米纤维体积填充分数为15v%，将改性BaTiO₃纳米纤维超声分散在DMF中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，所测得介电常数为25。

实施例十四

1）将3-七氟异丙氧基丙基三甲氧基硅烷配制成30ml1wt%的乙醇溶液，称取0.2g的MgTiO₃纳米纤维并将其加入到1wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.015g冰醋酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）配制PVDF与PVDF-CTFE（PVDF-CTFE=40wt%）质量分数为5wt%的N,N-二甲基乙酰胺溶液；3）按改性MgTiO₃纳米纤维体积填充分数为10v%，将改性MgTiO₃纳米纤维超声分散在N,N-二甲基乙酰胺中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，所测得介电常数为13。

实施例十五

1）将全氟癸基三甲氧基硅烷配制成30ml2wt%的乙醇溶液，称取0.2g的BaTiO₃纳米纤维并将其加入到2wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.009g盐酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经离心、洗涤在50℃真空烘箱中烘干；2）配制PVDF-PTFE与PVDF-CTFE（PVDF-CTFE=50wt%）质量分数为5wt%的六氟异丙醇溶液；3）按改性BaTiO₃纳米纤维体积填充分数为5v%，将改性BaTiO₃纳米纤维超声分散在六氟异丙醇中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，所测得介电常数为8.5。

实施例十六

1）将十二氟庚基丙基甲基二甲氧基硅烷配制成30ml2wt%的乙醇溶液，称取0.4g的MgTiO₃纳米纤维并将其加入到2wt%氟硅烷的乙醇溶液中，滴加0.012g冰醋酸，超声分散30min后在40℃下搅拌6h，经三次离心和洗涤后放置在50℃真空烘箱中烘干；2）配制PVDF与PVDF-HFE(PVDF-HFE=20wt%)质量分数为5wt%的N,N-二甲基乙酰胺溶液；3）按改性MgTiO₃纳米纤维体积填充分数为15v%，将改性MgTiO₃纳米纤维超声分散在六氟异丙醇中，加入相应量步骤2）中配制好的溶液，搅拌4h至分散均匀，最后转移到热台上至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温，所测得介电常数为12。

Claims

1.一种具有高介电常数和低介电损耗的柔性复合介电材料的制备方法，其特征在于：该材料由含氟聚合物基体和氟硅烷表面改性的BaTiO₃或MgTiO₃的纳米纤维组成；其中含氟聚合物在复合材料中的体积分数为75v%-95v%，氟硅烷改性的BaTiO₃或MgTiO₃纳米纤维在复合材料中的体积分数为5v%-25v%；

BaTiO₃或MgTiO₃纳米纤维的表面改性方法为：将所述的氟硅烷用乙醇或异丙醇稀释成0.5wt%-2wt%的溶液，然后把BaTiO₃或MgTiO₃纳米纤维加到氟硅烷的溶液中，将总质量分数0.01wt%-0.05wt%的催化剂滴加到上述溶液中，超声0.5-2h，然后在40-60℃下搅拌6-12h，最后将混合溶液经离心、洗涤后于真空烘箱中烘干；

配制含氟聚合物的溶液；按改性BaTiO₃或MgTiO₃纳米纤维体积填充分数为5v%-25v%量取，将改性BaTiO₃或MgTiO₃纳米纤维超声分散在溶剂中，加入到上述含氟聚合物的溶液中，搅拌至分散均匀，加热至溶剂挥发压制成膜并用冷水降温。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：钛酸盐纳米纤维为钛酸钡或钛酸镁纳米纤维。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：含氟聚合物是指偏氟乙烯的均聚物、偏氟乙烯的共聚物、或者聚偏氟乙烯和聚偏氟乙烯共聚物的混合物。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：偏氟乙烯的共聚物包括偏氟乙烯与三氟乙烯的共聚物、偏氟乙烯与四氟乙烯的共聚物、偏氟乙烯与六氟丙烯的共聚物或偏氟乙烯与三氟氯乙烯的共聚物。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：用于钛酸盐纳米纤维表面改性的氟硅烷包括全氟辛基三甲氧基硅烷，全氟辛基三乙氧基硅烷，十七氟癸基三甲氧基硅烷，十二氟庚基丙基三甲氧基硅烷，十二氟庚基丙基甲基二甲氧基硅烷，3-七氟异丙氧基丙基三甲氧基硅烷或全氟癸基三甲氧基硅烷。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所用的催化剂为冰醋酸或盐酸。