CN103376966A

CN103376966A - 用于显示装置的静电电容型触摸屏面板及其制造方法

Info

Publication number: CN103376966A
Application number: CN2013101317122A
Authority: CN
Inventors: 俞台渊; 金河中; 金承玄
Original assignee: LG Display Co Ltd
Current assignee: LG Display Co Ltd
Priority date: 2012-04-19
Filing date: 2013-04-16
Publication date: 2013-10-30
Anticipated expiration: 2033-04-16
Also published as: KR20130118179A; KR101960532B1; US20130279063A1; US9137882B2; CN103376966B

Abstract

本发明提供用于显示装置的静电电容型触摸屏面板及其制造方法。所述触摸屏面板包括：基板，包括电极形成部、路由线形成部和焊盘形成部；多个第一电极序列，在第一方向上布置在该电极形成部中；多个第二电极序列，在与所述第一方向交叉的第二方向上布置在该电极形成部中，并通过绝缘层与所述多个第一电极序列电绝缘；和至少一个静电释放图案，形成在该电极形成部中并且与所述第一电极序列和第二电极序列中的任一个连接。

Description

用于显示装置的静电电容型触摸屏面板及其制造方法

本申请要求2012年4月19日提交的韩国专利申请No.10-2012-0041176的优先权，在此通过参考将其整体并入本文。

技术领域

本发明涉及一种用于显示装置的静电电容型触摸屏面板，尤其涉及一种能够防止被静电损坏的用于显示装置的静电电容型触摸屏面板及其制造方法。

背景技术

近些年，具有快响应速度、低功耗和卓越色彩再现率的显示装置比如液晶显示器、电致发光显示器和等离子体显示面板已经得到关注。这些显示装置已经用于各种电子产品比如电视、计算机监控器、膝上电脑、移动电话、冰箱的显示单元、个人数字助理和自动取款机。通常，这些显示装置与各种输入装置比如键盘、鼠标和数字转换器进行接口连接。但是，为了使用单独的输入装置比如键盘或者鼠标，用户必须处理由学习其使用方法和占据空间带来的不便之处，由此难以提高产品的完备程度。因此，对于便利且易于使用并且能减少误操作的输入装置的需求日益增加。响应于此需求，提出了一种使用户能通过用手或笔直接触摸屏幕来输入信息的触摸屏面板。

触摸传感器具有能够减少误操作的简单结构。用户也能不使用单独的输入装置来执行输入动作，且能够通过在屏幕上显示的内容快速且容易地操作装置。因此，触摸传感器已经应用于各种显示装置。

根据触摸位置的检测方法，触摸屏面板分为电阻型、电容型、电磁型等。电阻型触摸屏面板根据在将DC电压施加到形成在上板或下板上的金属电极的状态下的电阻，通过电压梯度检测触摸位置。电容型触摸屏面板根据当用户触摸形成在上板或下板上的等电位导电膜时在上板或下板中产生的电容差来感测触摸位置。电磁型触摸屏面板通过读取电磁笔触摸导电膜时感生的LC值来检测触摸位置。

以下，将参照图1和2描述现有技术的用于显示装置的静电电容型触摸屏面板。图1是现有技术的静电电容型触摸屏面板的平面图，图2是沿着图1的线I-I’、II-II’和III-III’取得的截面图。

参照图1和2，现有技术的用于显示装置的静电电容型触摸屏面板包括电极形成部A、路由线形成部B和焊盘形成部C。

电极形成部A包括形成在基板10上且在第一方向（例如X轴方向）上平行布置的多个第一电极TS和在第二方向（例如Y轴方向）上布置的与第一电极TS交叉的多个第二电极RS。第一电极TS和第二电极RS彼此交叉，但是它们通过绝缘层INS保持电绝缘。每个第一电极TS都包括：彼此分开的多个第一电极图案Tx；和多个第一连接图案Tc，每一个第一连接图案Tc将相邻的第一电极图案Tx彼此连接。此处，第一连接图案Tc通过形成在绝缘层INS中的第一和第二接触孔CH1和CH2将相邻的第一电极图案Tx彼此连接。每一个第二电极RS也包括多个第二电极图案Rx和多个第二连接图案Rc，每一个第二连接图案Rc将相邻的第二电极Rx彼此连接。但是，第二电极图案Rx彼此不分离，而是与第二连接图案Rc形成为一体。

路由线形成部B包括形成在电极形成部A外部的多条第一路由线RW1和多条第二路由线RW2。多条第一路由线RW1分别与第一电极TS连接，多条第二路由线RW2分别与第二电极RS连接。第一和第二路由线RW1和RW2被覆盖于其上的绝缘层INS保护。

焊盘形成部C包括：经由多条第一路由线RW1连接到多个第一电极TS的多个第一焊盘RP1；和经由多条第二路由线RW2连接到多个第二电极RS的多个第二焊盘RP2。

在现有技术的静电电容型触摸屏面板中，第一连接图案Tc中的每一个都经由第一和第二接触孔CH1和CH2连接到电极形成部A的相邻第一电极图案TS。一般来说，在用于制造用于显示装置的触摸屏面板的工艺比如面板制造工艺以及模块制造工艺期间，或者在产品输送或者产品使用期间，会将静电诱发或者引入到触摸屏面板中。特别是，如果在面板制造工艺、模块制造工艺期间或者在产品输送期间等，静电从外部进入到第一和第二电极图案Ts和Rs中，则临时高电流会经由形成在第一和第二接触孔CH1和CH2上的第一电极图案Tx突然流过第一连接图案Tc。相应地，由于将第一和第二电极图案Tx和Rx、第一和第二连接图案Tc和Rc以及接触孔CH1和CH2制作的很小以改善触摸屏面板的触摸精确度，导致第一和第二接触孔CH1和CH2或者第一连接图案Tc会被由于静电产生的高电流损坏。

发明内容

本发明的实施方式提供了一种用于显示装置的触摸屏面板及其制造方法，能够防止该触摸屏面板受到在面板制造工艺、模块制造工艺、产品输送或产品使用期间自外部引入的静电的损坏。

在一个方面，提供一种用于显示装置的触摸屏面板，包括：基板，包括电极形成部、路由线形成部和焊盘形成部；多个第一电极序列，在第一方向上布置在该电极形成部中；多个第二电极序列，在与所述第一方向交叉的第二方向上布置在该电极形成部中，并通过绝缘层与所述多个第一电极序列电绝缘；和至少一个静电释放图案，形成在该电极形成部中并且与所述第一电极序列和第二电极序列中的任一个连接。

在所述触摸屏面板中，所述多个第一电极序列中的每一个都包括：形成在所述绝缘层上的多个第一电极图案；和形成在所述基板上并且将相邻的第一电极图案彼此连接的至少一个第一连接图案，其中所述第一连接图案连接相邻的第一电极图案。

在所述触摸屏面板中，所述第一连接图案经由形成在所述绝缘层中的第一和第二接触孔连接相邻的第一电极图案。

在所述触摸屏面板中，所述第二电极序列中的每一个都包括：多个第二电极图案，形成在所述绝缘层上并且不接触所述第一电极图案；和至少一个第二连接图案，形成在所述绝缘层上并且连接相邻的第二电极图案。

在所述触摸屏面板中，所述静电释放图案形成在所述基板上并且不接触所述第一连接图案，并经由第三接触孔连接所述第一电极图案。

在所述触摸屏面板中，所述静电释放图案的一部分与所述第二电极图案交叠并且不接触所述第二电极图案。

所述触摸屏面板还包括：多条第一路由线，形成在所述路由线形成部中并且分别与所述第一电极序列连接；和多条第二路由线，形成在所述路由线形成部中并且分别与所述第二电极序列连接。

在所述触摸屏面板中，所述第一连接图案的厚度被设置为所述静电释放图案的厚度的1/12至1/4。

在所述触摸屏面板中，所述第一电极图案中的每一个都具有多边形状，一个静电释放图案与所述第一电极图案的每一侧连接。

在另一方面，提供一种制造用于显示装置的触摸屏面板的方法，包括：制备包括电极形成部、路由线形成部和焊盘形成部的基板；通过使用第一掩模工艺，在所述基板的电极形成部中形成多个静电释放图案并且在所述基板的路由线形成部中形成多条第一和第二路由线；通过使用第二掩模工艺，在所述电极形成部中形成布置在第一方向上并且不与所述静电释放图案接触的多个第一连接图案；在上面形成有所述静电释放图案、第一和第二路由线以及第一连接图案的基板的整个表面上形成绝缘层，并且通过使用第三掩模工艺，形成暴露出每个第一连接图案的多个部分的第一和第二接触孔以及暴露出每个静电释放图案的至少一部分的第三接触孔；和通过使用第四掩模工艺，在所述绝缘层上形成在第一方向上平行布置的多个第一电极图案以及在与所述第一方向交叉的第二方向上平行布置的多个第二电极图案，其中相邻的第一电极图案经由通过所述第一和第二接触孔暴露的第一连接图案彼此连接，所述静电释放图案经由所述第三接触孔与所述第一电极图案接触。

在所述方法中，所述第一掩模工艺包括：在所述基板的整个表面上形成第一导电层；通过使用第一掩模执行光刻工艺来形成第一光致抗蚀剂图案；和通过使用所述第一光致抗蚀剂图案作为掩模来曝光并显影所述第一导电层，通过蚀刻工艺去除所述第一导电层的被曝光并显影的部分，以在所述电极形成部中形成所述静电释放图案并在所述路由线形成部中形成所述第一和第二路由线，其中所述静电释放图案具有第一厚度。

在所述方法中，所述第二掩模工艺包括：在其中形成有所述第一和第二接触孔以及第三接触孔的绝缘层上形成第一透明导电层；通过使用第二掩模执行光刻工艺来形成第二光致抗蚀剂图案；和通过使用所述第二光致抗蚀剂图案作为掩模来曝光并显影所述第一透明导电层，通过蚀刻工艺去除所述第一透明导电层的被曝光和显影的部分，以在所述电极形成部中形成所述第一连接图案，其中所述第一连接图案具有小于所述第一厚度的第二厚度。

根据本发明的示范性实施方式，可以防止触摸屏面板在面板制造工艺、模块制造工艺、产品输送或产品使用期间自外部引入的静电的损坏。

附图说明

通过结合附图考虑下文的详细描述，可以很容易地理解本发明实施方式的教导。

图1是示出根据现有技术的用于显示装置的静电电容型触摸屏面板的顶视平面图；

图2是沿着图1中所示的触摸屏面板的线I-I’、II-II’和III-III’取得的截面图；

图3是示出根据本发明示范性实施方式的触摸屏面板的顶视平面图；

图4是沿着图3中所示的触摸屏面板的线IV-IV’、V-V’和VI-VI’取得的截面图；

图5A是示出根据本发明实施方式用于制造触摸屏面板的第一掩模工艺的顶视平面图；

图5B和5C是沿着图5A中所示的线IV-IV’、V-V’和VI-VI’取得的截面图；

图6A是示出根据本发明实施方式用于制造触摸屏面板的第二掩模工艺的顶视平面图；

图6B是沿着图6A中所示的线IV-IV’、V-V’和VI-VI’取得的截面图；

图7A是示出根据本发明实施方式用于制造触摸屏面板的第三掩模工艺的顶视平面图；

图7B是沿着图6A中所示的线IV-IV’、V-V’和VI-VI’取得的截面图；

图8A是示出根据本发明实施方式用于制造触摸屏面板的第四掩模工艺的顶视平面图；以及

图8B是沿着图8A中所示的线IV-IV’、V-V’和VI-VI’取得的截面图。

具体实施方式

以下，将参照附图详细描述本发明的示范性实施方式，其中在整个说明书和附图中使用相同的参考数字表示相同或者基本相同的元件。

参照图3和4详细描述根据本发明示范性实施方式的用于显示装置的静电电容型触摸屏面板。图3是示出根据本发明示范性实施方式的触摸屏面板的顶视平面图，图4是沿着图3中所示的触摸屏面板的线IV-IV’、V-V’和VI-VI’取得的截面图；

参照图3和4，根据本发明示范性实施方式的用于显示装置的静电电容型触摸屏面板（下文称作“触摸屏面板”）包括电极形成部A、形成在电极形成部A外部的路由线形成部B、和形成在路由线形成部B的一侧的焊盘形成部C。

电极形成部A包括在第一方向（例如X轴方向）上平行布置的多个第一电极序列（或者驱动电极序列）TS和在第二方向（例如Y轴方向）上布置的与第一电极序列TS交叉的多个第二电极序列（或者感测电极序列）RS，其中在第一电极序列TS和第二电极序列RS之间具有绝缘层INS。本发明中引用的术语“电极序列”是指多个电极图案彼此连接以形成一条电线。

每个第一电极序列TS都包括多个第一电极图案Tx和用于连接相邻第一电极图案Tx的第一连接图案Tc。每个第二电极序列RS都包括第二电极图案Rx和用于连接相邻第二电极图案Rx的第二连接图案Rc。第一和第二电极图案Tx和Rx中的每一个都具有诸如三角形、矩形、菱形、多边形、圆形或者椭圆形之类的形状。第一连接图案Tc形成在基板100上，第一和第二电极图案以及第二连接图案Tx、Rx和Rc形成在覆盖第一连接图案Tc的绝缘层INS上。

由于第一电极序列Ts与第二电极序列RS交叉且其间具有绝缘层，因此第一连接图案Tc通过绝缘层INS与第二连接图案Rc电绝缘。相邻第一电极图案Tx经由形成在绝缘层INS中的第一和第二接触孔CH1和CH2通过第一连接图案Tc彼此连接。由此，尽管第一电极图案Tx彼此分离，但是由于第一电极图案Tx通过第一连接图案Tc连接，因此第一电极图案Tx和第一连接图案Tc用作与第一方向平行的电极线。

电极形成部A包括形成在基板100上的静电释放图案ED。静电释放图案ED与第一电极序列和第二电极序列中的任一个连接。例如，静电释放图案ED经由在绝缘层INS中的第三接触孔CH3与形成在绝缘层INS上的第一电极图案Tx连接。优选地，一个静电释放图案ED与第一电极图案的每一侧连接。静电释放图案ED与一部分第二电极图案Rx交叠且不与第二电极图案Rx接触。尽管静电释放图案ED与第一电极图案Tx连接且与一部分第二电极图案Rx交叠，但是本发明不限于此。例如，静电释放图案ED可经由第三接触孔CH3与形成在绝缘层INS上的第一电极图案Tx连接，且不与第二电极图案Rx交叠。或者反之，静电释放图案ED可经由第三接触孔CH3与形成在绝缘层INS上的第二电极图案Rx连接。可替换地，静电释放图案ED可与第二图案Rx连接，与第一电极图案Tx交叠且不与第一电极图案Tx接触。

在图3和4中所示的示范性实施方式中，四个静电释放图案ED连接到一个第一电极图案Tx，但是本发明不限于此。必要时可适当修改与一个第一电极图案Tx连接的静电释放图案ED的数目。

在图3和4中所示的示范性实施方式中，第一连接图案Tc的厚度T2小于静电释放图案ED的厚度T1。优选将第一连接图案Tc的厚度T2设置成静电释放图案ED的厚度T1的1/12至1/4。像这样，如果静电释放图案ED的厚度T1比第一连接图案Tc的厚度T2厚，则由于厚度差（T2-T1）导致存在台阶覆盖。如果由于台阶覆盖导致产生静电，则沿着第一电极图案Tx将静电引导至静电释放图案ED。相应地，因为将来自外部的静电引导到具有低电阻率的静电释放图案ED中，所以可以防止第一和第二接触孔以及第一连接图案CH1、CH2和Tc被损坏。此处，通过静电释放图案ED使得来自外部的静电消失了。否则，来自外部的静电可能会损坏第三接触孔CH3或者静电释放图案ED。但是，由于第一和第二接触孔以及第一连接图案CH1、CH2和Tc未被损坏，因此可保护触摸屏面板不受静电影响。

另一方面，静电释放图案ED具有图2和3的实施方式中的杆状，本发明不限于此。静电释放图案ED可具有任意形状。

路由线形成部B形成在电极形成部A的外部，且包括多条第一路由线RW1和多条第二路由线RW2。多条第一路由线RW1分别连接到多个第一电极序列TS。并且，多条第二路由线RW2分别连接到多个第二电极序列RS。

焊盘形成部C包括经由多条第一路由线RW1连接到多个第一电极序列TS的多个第一焊盘RP1。焊盘形成部C包括经由多条第二路由线RW2连接到多个第二电极序列RS的多个第二焊盘RP2。

在图3和4中所示的示范性实施方式中，第一电极图案Tx、第一连接图案Tc、第二电极图案Rx、第二连接图案Rc由透明导电材料比如氧化铟锡（ITO）、氧化铟锌（IZO）、掺杂镓的氧化锌（GZO）、金属网型透明电极材料、金属纳米线和碳基透明电极材料制成。并且，静电释放图案ED、第一和第二路由线RW1和RW2以及第一和第二焊盘RP1和RP2由金属材料比如Al、AlNd、Mo、MoTi、Cu、CuO_X、Cr、Ag和Ag基合金制成。但是，本发明不限于此。例如，第一和第二路由线RW1和RW2以及第一和第二焊盘RP1和RP2可由双层制成，该双层包括由透明导电材料制成的下层和由金属材料制成的上层。

在图3和4中所示的示范性实施方式中，绝缘层INS整体形成在其上形成有第一连接图案Tc、静电释放图案ED、第一和第二路由线RW1和RW2以及第一和第二焊盘RP1和RP2的基板100上。并且，第一至第五接触孔CH1至CH5形成在绝缘层INS中。第一和第二接触孔CH1和CH2暴露出每个第一连接图案Tc的多个部分，第三接触孔CH3暴露出每个静电释放图案ED的至少一部分，第四接触孔CH4（图7A）暴露出每条第一路由线RW1，第五接触孔CH5（图7A）暴露出每条第二路由线RW2。绝缘层INS由无机绝缘材料比如SiNx、SiOx或者有机绝缘材料比如光敏树脂制成。但是，绝缘材料不限于此。如果绝缘层INS由SiNx制成，则由于SiNx具有高硬度以耐划伤，因此可以防止产品在面板制造工艺、模块制造工艺、产品输送或者产品使用期间被损坏。

以下，将参照图5A至7B描述根据本发明示范性实施方式的用于显示装置的静电电容型触摸屏面板的制造方法。

图5A是示出根据本发明实施方式用于制造触摸屏面板的第一掩模工艺的顶视平面图，图5B和5C是沿着图5A中所示的线IV-IV’、V-V’和VI-VI’取得的截面图。

参照图5A和5B，经由第一掩模工艺将第一导电图案组形成在基板100上。第一导电图案组包括多个静电释放图案ED、多条第一和第二路由线RW1和RW2，以及多个第一和第二焊盘RP1和RP2。

更具体地，通过沉积工艺比如溅射工艺将第一导电层ML整体形成在基板100上，如图5中所示。作为第一导电层ML，可使用金属材料比如Al、AlNd、Mo、MoTi、Cu、CuOx、Cr、Ag和Ag基合金。

在将光致抗蚀剂整体涂覆到其上沉积有第一导电层ML的基板100上之后，通过使用第一掩模执行光刻工艺来形成暴露出部分第一导电层的第一光致抗蚀剂图案（未示出）。在使用第一光致抗蚀剂图案作为掩模来曝光并显影第一导电层ML之后，通过湿蚀刻去除经由第一光致抗蚀剂图案曝光的第一导电层ML。然后，通过灰化工艺去除第一光致抗蚀剂图案，从而形成具有第一厚度T1的多个静电释放图案ED、多条第一和第二路由线RW1和RW2以及多个第一和第二焊盘RP1和RP2。

图6A是示出根据本发明实施方式用于制造触摸屏面板的第二掩模工艺的顶视平面图，图6B是沿着图6A中所示的线IV-IV’、V-V’和VI-VI’取得的截面图。

参照图6A和6B，形成第一透明导电层作为在其上形成有第一导电图案组的基板100上的第二导电层。在将光致抗蚀剂整体涂覆到在其上形成有第一导电图案组和第一透明导电层的基板100上之后，通过使用第二掩模执行光刻工艺来形成第二光致抗蚀剂图案（未示出），其中第二光致抗蚀剂图案暴露出第一透明导电层的多个部分。在使用第二光致抗蚀剂图案作为掩模来曝光并显影第一透明导电层之后，通过蚀刻去除经由第二光致抗蚀剂图案曝光的第一透明导电层。然后，通过灰化工艺去除第二光致抗蚀剂图案，从而形成具有小于厚度T1的第二厚度T2的的多个第一连接图案Tc。优选将第二厚度T2设置为第一厚度T1的1/12至1/4。作为第一透明导电层，可使用氧化铟锡（ITO）、氧化铟锌（IZO）、掺杂镓的氧化锌（GZO）、金属网型透明电极材料、金属纳米线和碳基透明电极材料。

图7A是示出根据本发明实施方式用于制造触摸屏面板的第三掩模工艺的顶视平面图，图7B是沿着图6A中所示的线IV-IV’、V-V’和VI-VI’取得的截面图。

图7A中示出的虚线表示第一和第二路由线RW1和RW2，其将有助于理解根据本发明的结构。

参照图7A和7B，绝缘层INS整体形成在通过沉积工艺比如溅射工艺在其上形成有静电释放图案ED、第一连接图案Tc、第一和第二路由线RW1和RW2以及第一和第二焊盘RP1和RP2的基板100上。作为绝缘层INS，可使用诸如SiNx和SiOx之类的无机绝缘材料、诸如光敏树脂之类的有机绝缘材料或者其组合。

光致抗蚀剂层整体形成在绝缘层INS上，并且形成第三光致抗蚀剂图案（未示出）以暴露出绝缘层INS的多个区域，在这些区域中将要通过使用第三掩模执行光刻工艺来形成多个接触孔。通过干蚀刻去除经由第三光致抗蚀剂图案暴露的绝缘层INS。通过灰化工艺去除第三光致抗蚀剂图案，从而形成图7A和7B中所示的第一至第五接触孔CH1至CH5。第一和第二接触孔CH1和CH2暴露出每个第一连接图案Tc的多个部分，第三接触孔CH3暴露出静电释放图案ED的一部分，第四接触孔CH4暴露出每条第一路由线RW1的一部分，第五接触孔CH5暴露出每条第二路由线WR2的一部分。

在本发明的示范性实施方式中，描绘出第一至第五接触孔CH1至HC5中的每一个在截面图中都具有矩形形状，但是本发明不限于此。例如，其形状包括圆形、椭圆形、多边形或者不规则形状。

图8A是示出根据本发明实施方式用于制造触摸屏面板的第四掩模工艺的顶视平面图，图8B是沿着图8A中所示的线IV-IV’、V-V’和VI-VI’取得的截面图。

参照图8A和8B，第二导电图案组形成在其中形成有第一至第五接触孔CH1至CH5的绝缘层INS上。第二导电图案组包括在第一方向（例如X轴方向）上平行布置的多个第一电极图案Tx和在第二方向（例如Y轴方向）上布置的与第一电极图案Rx交叉的多个第二电极序列RS。

更具体地，在其中通过沉积工艺比如溅射工艺形成有第一至第五接触孔CH1至CH5的绝缘层INS上，整体形成第二透明导电层作为第四导电层。在将光致抗蚀剂层整体形成在第二透明导电层INS上之后，通过使用第四掩模执行光刻工艺来形成第四光致抗蚀剂图案（未示出）。光致抗蚀剂图案暴露出除了形成有第一电极图案Tx和第二电极序列RS的区域之外的区域。在使用第四光致抗蚀剂图案作为掩模来曝光并显影第二透明导电层ML之后，通过湿蚀刻去除经由第四光致抗蚀剂图案曝光的第二透明导电层。然后，通过灰化工艺去除第四光致抗蚀剂图案，从而形成在第一方向上平行布置的多个第一电极图案Tx和在与第一方向交叉的第二方向上平行布置的多个第二电极序列RS。

相邻第一电极图案Tx经由第一和第二接触孔CH1和CH2通过第一连接图案Tc彼此连接，从而形成在第一方向上平行的第一电极序列TS。每个第一电极图案Tx都经由第三接触孔CH3连接到静电释放图案ED。

每个第二电极序列RS都包括多个第二电极图案Rx和多个第二连接图案Rc，每一个第二连接图案Rc连接相邻的第二电极图案Rx。

第一和第二电极图案Tx和Rx中的每一个都具有诸如三角形、矩形、菱形、多边形、圆形或者椭圆形之类的形状。但是，本发明不限于此。第一和第二电极图案Tx和Rx可具有任意形状。在示范性实施方式中，第一电极图案Tx在绝缘层INS上彼此分开，相邻的第一电极图案TX通过形成在基板100和绝缘层INS之间的第一连接图案Tc彼此连接，第二电极图案Rx与绝缘层INS上的第二连接图案Rc一体形成。但是，第一电极图案可与绝缘层上的第一连接图案一体形成，第二电极图案可彼此分开。在这种情况下，相邻的第二电极图案应通过形成在基板和绝缘层之间的第二连接图案彼此连接。

根据本发明的示范性实施方式，可以通过在电极形成部A中形成静电释放图案ED来消除自外部引入的静电。因此，可以防止在面板制造工艺、模块制造工艺、产品输送或者产品使用期间触摸屏面板被自外部引入的静电损坏。

下文表1示出了当将不同电压分别施加到两个触摸屏面板之后，现有技术的触摸屏面板和根据本发明的触摸屏面板被损坏时测量电压电平的试验结果。只要施加电压，施加的电压就从2.5kV每次增加0.1kV。如表1测量会损坏两个触摸屏面板的电压电平。电压电平包括三次测量的独立值及其平均值。

[表1]

根据上述实验结果，可发现现有技术的触摸屏面板在平均电压2.9kV时被损坏，而根据本发明的触摸屏面板在平均电压4.8kV时被损坏。因此，可以有效防止触摸屏面板被静电损坏。

根据本发明示范性实施方式的触摸屏面板可应用到包括液晶显示器（LCD）、场致发射显示器（FED）、等离子体显示面板（PDP）、电致发光装置（EL）、电泳显示器等的显示装置。在这种情况下，根据本发明示范性实施方式的触摸屏面板的基板可用作显示装置的基板。

根据上文描述，对于所属领域技术人员显而易见的是，在不脱离本发明技术精神的情况下可作出各种变化和修改。因此，本发明的范围不应限于示范性实施方式，而是应通过所附权利要求书限定。

Claims

1.一种触摸屏面板，包括：

基板，包括电极形成部、路由线形成部和焊盘形成部；

多个第一电极序列，在第一方向上布置在该电极形成部中；

多个第二电极序列，在与所述第一方向交叉的第二方向上布置在该电极形成部中，并通过绝缘层与所述多个第一电极序列电绝缘；和

至少一个静电释放图案，形成在该电极形成部中并且与所述第一电极序列和第二电极序列中的任一个连接。

2.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述多个第一电极序列中的每一个都包括：形成在所述绝缘层上的多个第一电极图案；和形成在所述基板上并且将相邻的第一电极图案彼此连接的至少一个第一连接图案，

其中所述第一连接图案连接相邻的第一电极图案。

3.如权利要求2所述的触摸屏面板，其中所述第一连接图案经由形成在所述绝缘层中的第一和第二接触孔连接相邻的第一电极图案。

4.如权利要求2所述的触摸屏面板，其中所述第二电极序列中的每一个都包括：

多个第二电极图案，形成在所述绝缘层上并且不接触所述第一电极图案；和

至少一个第二连接图案，形成在所述绝缘层上并且连接相邻的第二电极图案。

5.如权利要求4所述的触摸屏面板，其中所述静电释放图案形成在所述基板上并且不接触所述第一连接图案，并经由第三接触孔连接所述第一电极图案。

6.如权利要求5所述的触摸屏面板，其中所述静电释放图案的一部分与所述第二电极图案交叠并且不接触所述第二电极图案。

7.如权利要求6所述的触摸屏面板，还包括：

多条第一路由线，形成在所述路由线形成部中并且分别与所述第一电极序列连接；和

多条第二路由线，形成在所述路由线形成部中并且分别与所述第二电极序列连接。

8.如权利要求2所述的触摸屏面板，其中所述第一连接图案的厚度被设置为所述静电释放图案的厚度的1/12至1/4。

9.如权利要求1所述的触摸屏面板，其中所述第一电极图案中的每一个都具有多边形状，一个静电释放图案与所述第一电极图案的每一侧连接。

10.一种制造触摸屏面板的方法，包括：

制备包括电极形成部、路由线形成部和焊盘形成部的基板；

通过使用第一掩模工艺，在所述基板的电极形成部中形成多个静电释放图案并且在所述基板的路由线形成部中形成多条第一和第二路由线；

通过使用第二掩模工艺，在所述电极形成部中形成布置在第一方向上并且不与所述静电释放图案接触的多个第一连接图案；

在上面形成有所述静电释放图案、第一和第二路由线以及第一连接图案的基板的整个表面上形成绝缘层，并且通过使用第三掩模工艺，形成暴露出每个第一连接图案的多个部分的第一和第二接触孔以及暴露出每个静电释放图案的至少一部分的第三接触孔；和

通过使用第四掩模工艺，在所述绝缘层上形成在第一方向上平行布置的多个第一电极图案以及在与所述第一方向交叉的第二方向上平行布置的多个第二电极图案，

其中相邻的第一电极图案经由通过所述第一和第二接触孔暴露的第一连接图案彼此连接，所述静电释放图案经由所述第三接触孔与所述第一电极图案接触。

11.如权利要求10所述的方法，其中所述第一掩模工艺包括：

在所述基板的整个表面上形成第一导电层；

通过使用第一掩模执行光刻工艺来形成第一光致抗蚀剂图案；和

通过使用所述第一光致抗蚀剂图案作为掩模来曝光并显影所述第一导电层，通过蚀刻工艺去除所述第一导电层的被曝光并显影的部分，以在所述电极形成部中形成所述静电释放图案并在所述路由线形成部中形成所述第一和第二路由线，其中所述静电释放图案具有第一厚度。

12.如权利要求11所述的方法，其中所述第二掩模工艺包括：

在其中形成有所述第一和第二接触孔以及第三接触孔的绝缘层上形成第一透明导电层；

通过使用第二掩模执行光刻工艺来形成第二光致抗蚀剂图案；和

通过使用所述第二光致抗蚀剂图案作为掩模来曝光并显影所述第一透明导电层，通过蚀刻工艺去除所述第一透明导电层的被曝光和显影的部分，以在所述电极形成部中形成所述第一连接图案，其中所述第一连接图案具有小于所述第一厚度的第二厚度。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述第一厚度被设置为所述第二厚度的1/12至1/4。

14.如权利要求11所述的方法，其中所述第一电极图案中的每一个都具有多边形状，一个静电释放图案连接到所述第一电极图案的每一侧。