CN103240725A - 一种划线标记装置及*** - Google Patents

Abstract

本发明提供一种划线标记装置和***，所述划线标记装置包括：刻划部件（1），用于受到压力驱动而在目标物体的表面形成划线;弹性部件（3），用以在弹性形变后给所述轴承(2)施加压力；轴承（2），用承载所述刻划部件（1），并将施加于其上的压力传递至所述刻划部件（1）；压电传感器（4），能够感应所述刻划部件（1）受到的压力大小，并产生相应的感应信号；电路板（6），能够将来自所述压电传感器(4)的反映压力大小的电信号反馈至所述划线标记装置的控制器。这样，可以精确的控制所述划线标记装置的刻划力度，从而避免损坏目标物体。

Description

一种划线标记装置及***

技术领域

本发明涉及光磁检测领域，尤其涉及一种用于光盘和半导体晶圆表面缺陷检测和分析的划线标记装置及***。

背景技术

公知的，空气中一束光斜入射到光盘或晶圆衬底表面，并照在近似球体的微小灰尘颗粒上，形成光散射。从电磁场的角度来描述的话，此时的散射电磁场（Scattered Field）是在以下这三个电磁场共同作用下决定的:

（1）直接入射电磁场（Incident Field）。这是入射光本身的电磁场。

（2）衬底层反射入射电磁场（Reflected Incident Field）。这是入射光折射进入衬底层传播，后又经衬底层下介面反射回来的电磁场。

（3）衬底层反射散射电磁场（Reflected Scattered Field）。这是入射光折射进入衬底层，由衬底层本身的微观晶格结构所引起的散射电磁场。

我们一般所说的光盘或晶圆表面微粒其实是对各种光盘或晶圆表面缺陷的一种笼统的叫法。实际上，光盘或晶圆表面任何不正常的地方都可以称作为缺陷，都是所要关注的。其按形状大致可以分为表面突起和表面凹陷两种，但实际形状又呈现出多种多样，一般来讲，各种不同光盘或晶圆加工工艺所引入的缺陷形状是有所区别的，而不同的缺陷形状都会对其散射光强的分布产生影响，表现出各自不同的散射光强分布特性。而这些光盘或晶圆的缺陷将造成产品质量的严重问题，需要一种能够检测和分析的装置对这些具有缺陷的光盘或晶圆进行划线标示。

现有技术中，在对具有缺陷的光盘或晶圆进行划线标示时，往往因为切割工具在切割标示时力度难以掌控而导致对光盘或晶圆的严重坏损，因此，亟待提供一种能够精确把握划线标示力度的精密设备以对光盘或晶圆进行标示。

发明内容

本部分的目的在于概述本发明的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本发明的范围。

鉴于上述和/或现有划线标记装置中存在的其它问题，提出了本发明。

因此，本发明其中一个目的是针对现有的划线标记装置的问题。

为解决上述技术问题，根据本发明的一个方面，本发明提供了如下技术方案：一种划线标记装置，其包括：刻划部件（1），用于受到压力驱动而在目标物体的表面形成划线;弹性部件（3），用以在弹性形变后给所述轴承(2)施加压力；轴承（2），用承载所述刻划部件（1），并将施加于其上的压力传递至所述刻划部件（1）；压电传感器（4），能够感应所述刻划部件（1）受到的压力大小，并产生相应的感应信号；电路板（6），能够将来自所述压电传感器(4)的反映压力大小的电信号反馈至所述划线标记装置的控制器。

作为本发明所述划线标记装置的一种优选方案，其中：所述划线标记装置的控制器控制能够驱动所述划线标记装置相对于目标物体运动的驱动装置，所述驱动装置在驱动所述划线标记装置相对于目标物体运动逐渐相向运动时，所述刻划部件(1)反向挤压所述弹性部件(3)，所述弹性部件(3)逐渐发生弹性形变，从而给所述刻划部件(1)提供逐渐增大的压力，所述驱动装置在驱动所述划线标记装置相对于目标物体逐渐背向运动时，所述弹性部件(3)由于弹性势能而逐渐恢复原状，从而给所述刻划部件(1)提供逐渐减小的压力，根据来自所述电路板(6)的反映压力大小的电信号，所述控制器通过控制所述驱动装置能够将所述刻划部件所受到的压力调整为合适大小。

作为本发明所述划线标记装置的一种优选方案，其中：划线标记装置包括有本体(13)和盖板（8），所述本体(13)中部设置有通孔，盖板（8）覆盖主所述通孔的一端，所述弹性部件(3)、所述压电传感器（4）、所述轴承(2)的部分容纳于所述通孔中，所述弹性部件(3)的一端抵触至盖板（8），所述弹性部件（3）另一端抵靠于所述压电传感器（4）的一侧，所述轴承(2)位于所述压电传感器(4)的另一侧，所述压电传感器(4)将来自弹性部件(3)的压力传递给所述轴承(2)和所述刻划部件（1）。

作为本发明所述划线标记装置的一种优选方案，其中：划线标记装置还包括有支撑件(7)，所述轴承(2)包括固定于所述本体（13）的通孔的侧壁上的固定部(21)和相对于所述固定轴部（21）前后运动的中心轴部（22），所述中心轴部(22)中部设置有穿孔，所述刻划部件包括标记部（10）和连接部（11），所述穿孔的一端容纳所述刻划部件的连接部（11），所述刻划部件(1)的标记部（10）突出中心轴部（22）的穿孔，所述支撑件(7)包括位于所述轴承（2）和所述压电传感器(4)之间的主体部（71）和穿过所述中心轴部(22)的穿孔与所述刻划部件（1）相连接的连接部（72）。

作为本发明所述划线标记装置的一种优选方案，其中：所述压电传感器(4)还接收来自所述电路板（6）的振荡信号，所述压电传感器(4)在接到所述振荡信号后产生物理振动，以带动所述轴承(2)的中心轴部（22）相对于所述固定轴部(22)发生振动。

作为本发明所述划线标记装置的一种优选方案，其中：所述压电传感器（4）为压电陶瓷，其振动的幅度范围为10nm至100nm，振动的频率在1k Hz至100kHz。

作为本发明所述划线标记装置的一种优选方案，其中：其包括设置所述弹性部件(3)和所述压电传感器（4）之间的防震部件（5）和位于所述支撑件（7）和所述轴承(2)之间的弹性支件(14)。所述防震部件（5）的质量为位于所述压电传感器(4)下方的各个部件的质量之和的3倍以上。

作为本发明所述划线标记装置的一种优选方案，其中：所述电路板（6）上设置有：振荡器，用以发出特定频率的振荡信号；振幅控制装置，用以控制所述振荡器发出的振荡信号的振幅；低通滤波器，用以过滤掉所述压电陶瓷的反映压力大小的感应信号中的高频部分；放大器，用以对低通滤波后的反映压力大小的感应信号进行放大，并将其发送至所述控制器。

根据本发明的另一个方面，本发明提供了如下技术方案：一种划线标记***，其包括：划线标记装置；能够驱动所述划线标记装置相对于目标物体运动的驱动装置；所述划线标记装置的控制器，其控制所述驱动装置的运动。所述划线标记装置包括：刻划部件（1），用于受到压力驱动而在目标物体的表面形成划线;弹性部件（3），用以在弹性形变后给所述轴承(2)施加压力；轴承（2），用承载所述刻划部件（1），并将施加于其上的压力传递至所述刻划部件（1）；压电传感器（4），能够感应所述刻划部件（1）受到的压力大小，并产生相应的感应信号；电路板（6），能够将来自所述压电传感器(4)的反映压力大小的电信号反馈至所述划线标记装置的控制器。其中所述驱动装置在驱动所述划线标记装置相对于目标物体运动逐渐相向运动时，所述刻划部件(1)反向挤压所述弹性部件(3)，所述弹性部件(3)逐渐发生弹性形变，从而给所述刻划部件(1)提供逐渐增大的压力，所述驱动装置在驱动所述划线标记装置相对于目标物体逐渐背向运动时，所述弹性部件(3)由于弹性势能而逐渐恢复，从而给所述刻划部件(1)提供逐渐减小的压力，根据来自所述电路板(6)的反映压力大小的感应信号，所述控制器通过控制所述驱动装置能够将所述刻划部件所受到的压力调整为合适大小。

作为本发明所述划线标记***的一种优选方案，其中：所述控制器根据来自电路板(6)的反映压力大小的感应信号和所述弹性部件(3)的弹性系数能够得到所述刻划部件在所述目标物体上的刻划深度。

本发明提供一种划线标记装置和***，该划线标记装置和***解决了现有划线标记装置由于划线时力度不确定而导致对光盘或晶圆的损坏的问题。本发明具有精确控制划线力度的优点。

附图说明

图1是本发明划线标记***在一个实施例的主体示意图；

图2是本发明划线标记装置在一个实施例的主体示意图。

图3为本发明划线标记装置图2所示实施例去除壳体后的示意图。

图4为本发明划线标记装置图2所示实施例分解示意图。

图5为本发明划线标记装置的刻划部件细节示意图。

图6为本发明划线标记装置在一个实施例中的剖视示意图。

图7为图6中的划线标记装置的电气工作原理示意图。

图8为本发明划线标记装置的另一个实施例的剖视示意图。

图9为图8中的划线标记装置的电气工作原理示意图。

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本发明所述工装进行详细说明。

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

本发明的描述中，术语“内”、“外”、“上”、“下”、“前”、“后”、“底”、“顶”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明而不是要求本发明必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

如图2～图7所示，图中的标号与部件的对应关系如下：1、刻划部件；10、标记部；11、连接部；13，本体；2、轴承；3、弹性部件；4、压电陶瓷或压电传感器；5、防震部件；6、电路板；7、支撑件；8、盖板；9、壳体。

图1是本发明划线标记***在一个实施例的主体示意图。如图1所示，所述划线标记***包括划线标记装置100、能够驱动所述划线标记装置相对于目标物体运动的驱动装置200和根据来自划线标记装置100的压力感应信号控制所述驱动装置200的控制器。

图2～图6示意出了本发明中的划线标记装置100的一个实施例，在此实施例中，本发明划线标记装置包括了用于受到压力驱动而在目标物体的表面形成划线的刻划部件1(也可以称为顶针)。所述目标物体可以是被检测的物体，比如磁盘、光盘或半导体晶圆等。所述刻划部件1的材料可以为金属材质，较佳地，在本实施例中，采用金刚石材质。以金刚石作为刻划部件1比以金属作为刻划用的部件更加坚硬且耐磨损，刻划部件1头部采用了60度斜角的金刚石，让刻划部件1更加坚硬且耐磨损，也让刻线的宽度更加小。参见图5，刻划部件1其实包括了标记部10和连接部11，标记部10的前端截面为三角形，其斜边与底边的夹角为60°，以达到划线宽度更加细小的效果；而连接部11为圆柱状，便于与轴承2的连接。

如图2-6所示，该划线标记装置还包括设置有通孔(未标记)的本体13、轴承2、弹性部件3、压电传感器4、电路板6、支撑件7和盖板8。所述盖板8覆盖主所述通孔的一端，所述轴承2的部分容纳于所述通孔中，部分突出所述通孔，所述弹性部件3、压电传感器4、支撑件7收容于所述通孔内。

所述轴承2承载所述刻划部件1，并将施加于其上的压力传递至所述刻划部件（1）。在此实施例中，采用无间隙直线轴承2控制划线标记装置刻划部件1运动的方向，以保持目标物体(光盘或晶圆表面)垂直受力；直线轴承2没有间隙，精度较高。所述轴承2包括固定于本体13的通孔的侧壁上的固定轴部21和相对于所述固定轴部21前后运动的中心轴部22，所述中心轴部22中部设置有穿孔，所述穿孔的一端容纳所述刻划部件1的连接部11，所述刻划部件1的标记部10突出中心轴部22的穿孔。

所述支撑件7包括位于所述轴承2和所述压电传感器4之间的主体部71和穿过所述中心轴部22的穿孔与所述刻划部件1相连接的连接部72，这样的结构可以防止所述刻划部件1从所述轴承2中脱落。所述弹性部件3的一端抵触至盖板8，所述弹性部件3的另一端与所述压电传感器4的一侧相抵靠，所述支撑件7的主体部71与所述压电传感器4的另一侧相抵靠。所述压电传感器4将来自弹性部件4的压力传递给所述轴承2和所述刻划部件1，这样所述压电传感器4就能够感应所述刻划部件1所受到的压力。所述支撑件7的主体部71的外径小于所述通孔的内径，这样可以使得所述支撑件7与所述通孔的侧壁没有摩擦力。

下面介绍一下所述划线标记装置的工作过程或原理。

在所述刻划部件1抵靠住所述目标物体后，如果所述驱动装置200继续驱动所述划线标记装置相对于所述目标物体相向运动，所述刻划部件1反向挤压所述弹性部件3，所述弹性部件(3)逐渐发生弹性形变，从而给所述刻划部件1提供逐渐增大的压力。在所述弹性部件3发生一定量的弹性后，如果所述驱动装置200驱动所述划线标记装置相对于目标物体逐渐背向运动时，所述弹性部件(3)由于弹性势能而逐渐恢复，从而给所述刻划部件(1)提供逐渐减小的压力。所述压电传感器4能够感应所述刻划部件1受到的压力大小，并产生相应的感应信号。所述电路板6能够将来自所述压电传感器4的反映压力大小的感应信号反馈至所述划线标记装置的控制器300。根据来自所述电路板6的反映压力大小的感应信号(或称压力反馈信号或压力感应信号)，所述控制器300通过控制所述驱动装置200能够将所述刻划部件1所受到的压力调整为合适大小。这样所述控制器300可以精确的控制所述刻划部件1在所述目标物体上的刻划力度，从而可以避免在目标物体上刻线的时候划伤所述目标物体。

在一个优选的实施例中，所述控制器根据来自电路板(6)的反映压力大小的感应信号和所述弹性部件(3)的弹性系数能够得到所述刻划部件在所述目标物体上的刻划深度。

在一个实施例中，所述压电传感器4为压电陶瓷，所述压电陶瓷4与电路板6相连，电路板6设计为环形电路板6，以减小装置的体积，实现刻痕***和数据采集一体化，环形电路板6固定在该划线标记装置的本体13上，通过侧面的孔连接内部压电陶瓷4，壳体9盖住整个环形电路板6，外观更加美观。

图7为图6中的划线标记装置的电气原理示意图，通过压电陶瓷4检测所述刻划部件1在目标物体(光盘和晶圆表面)上的划线的刻划力度，所述电路板6上包括放大器61和低通滤波器62。所述放大器61用以放大压电陶瓷4得到的反映压力大小的电信号，所述低通滤波器62用以过滤掉放大器61输出的信号的超过设定临界值的高频信号，并将过滤后的信号反馈至所述控制器300。这样，所述控制器300可以实现对所述划线标记装置的刻划压力的精确控制的精确控制，并且可以得到所述刻划部件(1)的刻划深度。

图8为本发明划线标记装置的另一个实施例的剖视示意图。与图6示出的划线标记装置相比，图8中的划线标记装置的区别在于：图8中的划线标记装置还包括有设置于所述弹性部件3和压电陶瓷4之间的防震部件5和设置于所述支撑件7和压电陶瓷4之间的弹性支件14，其余结构与图6中的相同，这里不再重复介绍。

所述压电陶瓷4不仅可以进行压力检测，还是接收来自所述电路板6的振荡信号，所述压电陶瓷4在接到所述振荡信号后发生沿所述本体13的通孔延伸方向(简称为纵向)的物理振动，以带动所述轴承2的中心轴部22相对于所述固定轴部22发生振动或抖动，从而克服所述轴承2的中心轴部22相对于所述固定轴部22的静摩擦力，从而可以更为精确的控制所述刻划部件1的刻划力度和/或刻划深度。优选的，所述压电陶瓷4的振动幅度范围为10nm至100nm，振动频率在1k Hz至100k Hz。所述弹性支件14可以为弹簧，其用于支撑所述支撑件7，并在所述压电陶瓷4振动时，给所述支撑件17提供振动空间。

在实际应用中，通常所述轴承2的中心轴部22相对于所述固定轴部22的静摩擦力较大，假如没有所述压电陶瓷4的振动，在刻划部件1接触到目标物体时，所述目标物体施加给所述刻划部件1较难克服所述中心轴部22相对于所述固定轴部22的静摩擦力，从而导致刻划力度控制不稳定的情况。由于所述压电陶瓷4的振动使得所述中心轴部22一直相对于所述固定轴部22运动，从而克服了静摩擦力，进而更容易精确控制所述刻划力度。

在此实施例，所述防震部件（5）的质量很大，通常为压电传感器4下方的相关部件的质量的3倍以上，这样可以保证在所述刻划部件1发生振动时，所述弹性部件3不跟随振动。假如所述弹性部件3也跟随者所述刻划部件1发生振动，那么振动幅度以及刻划力度将会控制不精确。

参见图9，图9为图8中的划线标记装置的电气原理示意图。在此实施例中，所述电路板6上包括振荡器64、振幅控制装置63、电容、低通滤波器61和放大器62。所述振幅控制装置63的输入端与所述控制器300相连，并接收所述控制器300的振幅控制信号。所述振幅控制装置63用以控制所述振荡器64发出的振荡信号的振幅，所述振荡器64用以发出特定频率的振荡信号，并给所述压电陶瓷4提供振荡信号以驱动所述压电陶瓷4发生振动。所述压电陶瓷4感应得到反映所述刻划部件1的压力大小的压力感应信号，所述低通滤波器61滤除所述压力感应信号中高频分量，所述放大器62用于放大滤波后的压力感应信号，并其反馈至所述控制器300。由于所述振荡器64产生的并施加于所述压电陶瓷4上的振荡信号会干扰所述压力感应信号，因此需要先对其进行低通滤波，之后再进行信号放大。这样，所述控制器300可以实现对所述划线标记装置的刻划压力的精确控制和振动幅度的精确控制。

普通技术人员在查看了本发明的上述的实施例后，可以根据本发明的精神和原理对上述各个实施例进行变换，这些变换仍然属于本发明所公开和保护的范围。比如，在图8的划线标记装置的一个变换的实施例中，可以设置两个压电陶瓷，其中的一个压电陶瓷的位置与图8中的相同，另一个压电陶瓷设置于所述盖板的相对于弹性部件3的一侧，并且所述弹性部件3直接抵靠于该新增的压电陶瓷上，该新增的压电陶瓷用于感应所述刻划部件1的刻划压力，图8中的压电陶瓷4用于接收振荡信号发生振动。这样，图9中的电路也需要做出相应改动，这里不再重复。

再比如，在图8和6的划线标记装置的一个变换的实施例中，可以不设置所述支撑件7，而是直接将所述刻划部件1通过粘接、螺纹连接或焊接等其他连接方式牢固的连接至所述中心轴部22的一端，所述中心轴部的另一端直接与所述压电陶瓷4相接触。

再比如，在图8的划线标记装置的一个变换的实施例中，可以不设置所述弹性支件14，而只是在所述支撑件7的主体部71和所述轴承2的固定轴部21之间设置一个缝隙，使得所述支撑件7有起振空间。

再比如，在图8的划线标记装置的一个变换的实施例中，也可以不设置所述防震部件5，只要所述压电陶瓷4的振动能够带动所述刻划部件1振动即可。

再比如，在图6的划线标记装置的一个变换的实施例中，所述压电陶瓷4可以设置于所述盖板8的相对于弹性部件3的一侧，并且所述弹性部件3直接抵靠于该新增的压电陶瓷上，这样所述压电陶瓷同样可以得到压力感应信号。

应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (11)

1.一种划线标记装置，其包括：

刻划部件（1），用于受到压力驱动而在目标物体的表面形成划线;

弹性部件（3），用以在弹性形变后给所述轴承(2)施加压力；

轴承（2），用承载所述刻划部件（1），并将施加于其上的压力传递至所述刻划部件（1）；

其特征在于：所述划线标记装置还包括：

压电传感器（4），能够感应所述刻划部件（1）受到的压力大小，并产生相应的感应信号；

电路板（6），能够将来自所述压电传感器(4)的反映压力大小的感应信号反馈至所述划线标记装置的控制器。

2.根据权利要求1所述的划线标记装置，其特征在于：所述划线标记装置的控制器控制能够驱动所述划线标记装置相对于目标物体运动的驱动装置，所述驱动装置在驱动所述划线标记装置相对于目标物体运动逐渐相向运动时，所述刻划部件(1)反向挤压所述弹性部件(3)，所述弹性部件(3)逐渐发生弹性形变，从而给所述刻划部件(1)提供逐渐增大的压力，所述驱动装置在驱动所述划线标记装置相对于目标物体逐渐背向运动时，所述弹性部件(3)由于弹性势能而逐渐恢复原状，从而给所述刻划部件(1)提供逐渐减小的压力，根据来自所述电路板(6)的反映压力大小的感应信号，所述控制器通过控制所述驱动装置能够将所述刻划部件所受到的压力调整为合适大小。

3.根据权利要求1所述的划线标记装置，其特征在于：其还包括有本体(13)和盖板（8），

所述本体(13)中部设置有通孔，盖板（8）覆盖主所述通孔的一端，所述弹性部件(3)、所述压电传感器（4）、所述轴承(2)的部分容纳于所述通孔中，所述弹性部件(3)的一端抵触至盖板（8），所述弹性部件（3）另一端抵靠于所述压电传感器（4）的一侧，所述轴承(2)位于所述压电传感器(4)的另一侧，所述压电传感器(4)将来自弹性部件(3)的压力传递给所述轴承(2)和所述刻划部件（1）。

4.根据权利要求3所述的划线标记装置，其特征在于：其还包括有支撑件(7)，所述轴承(2)包括固定于所述本体（13）的通孔的侧壁上的固定部(21)和相对于所述固定轴部（21）前后运动的中心轴部（22），所述中心轴部(22)中部设置有穿孔，所述刻划部件包括标记部（10）和连接部（11），所述穿孔的一端容纳所述刻划部件的连接部（11），所述刻划部件(1)的标记部（10）突出中心轴部（22）的穿孔，所述支撑件(7)包括位于所述轴承（2）和所述压电传感器(4)之间的主体部（71）和穿过所述中心轴部(22)的穿孔与所述刻划部件（1）相连接的连接部（72）。

5.根据权利要求4或3所述的划线标记装置，其特征在于：所述压电传感器(4)还接收来自所述电路板（6）的振荡信号，所述压电传感器(4)在接到所述振荡信号后产生物理振动，以带动所述轴承(2)的中心轴部（22）相对于所述固定轴部(22)发生振动。

6.根据权利要求5所述的划线标记装置，其特征在于：所述压电传感器（4）为压电陶瓷，其振动的幅度范围为10nm至100nm，振动的频率在1k Hz至100kHz。

7.根据权利要求4所述的划线标记装置，其特征在于：其还包括设置所述弹性部件(3)和所述压电传感器（4）之间的防震部件（5）和位于所述支撑件（7）和所述轴承(2)之间的弹性支件(14)。

8.根据权利要求7所述的划线标记装置，其特征在于：所述防震部件（5）的质量为位于所述压电传感器(4)下方的各个部件的质量之和的3倍以上。

9.根据权利要求6所述的划线标记装置，其特征在于：所述电路板（6）上设置有：

振荡器，用以发出特定频率的振荡信号；

振幅控制装置，用以控制所述振荡器发出的振荡信号的振幅；

低通滤波器，用以过滤掉所述压电陶瓷的反映压力大小的感应信号中的高频部分；

放大器，用以对低通滤波后的反映压力大小的感应信号进行放大，并将其发送至所述控制器。

10.一种划线标记***，其特征在于：其包括：

如权利要求1-9任一所述的划线标记装置；

能够驱动所述划线标记装置相对于目标物体运动的驱动装置；

所述划线标记装置的控制器，其控制所述驱动装置的运动，

其中所述驱动装置在驱动所述划线标记装置相对于目标物体运动逐渐相向运动时，所述刻划部件(1)反向挤压所述弹性部件(3)，所述弹性部件(3)逐渐发生弹性形变，从而给所述刻划部件(1)提供逐渐增大的压力，所述驱动装置在驱动所述划线标记装置相对于目标物体逐渐背向运动时，所述弹性部件(3)由于弹性势能而逐渐弹性恢复，从而给所述刻划部件(1)提供逐渐减小的压力，根据来自所述电路板(6)的反映压力大小的感应信号，所述控制器通过控制所述驱动装置能够将所述刻划部件所受到的压力调整为合适大小。

11.根据权利要求10所述的划线标记***，其特征在于：所述控制器根据来自电路板(6)的反映压力大小的感应信号和所述弹性部件(3)的弹性系数能够得到所述刻划部件在所述目标物体上的刻划深度。

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