具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
正如背景技术所述,现有的修复薄膜晶体管液晶显示装置亮点的方法都会出现修复失败的现象,并且在一些特定情况下,修复失败的几率较大,修复成功率较低。
发明人经研究发现,针对方法a而言,如图3所示,若漏极1在允许范围内相对于栅极线G2发生偏移,背视时,漏极1与栅极交叠的部位被栅极线G2遮挡,无法判断源极2的位置,修复时,修复点4-1可能会与源极2交叠,从而造成栅极线G2和源极2以及漏极1之间均短路,而栅极线G2与源极2之间的短路是不希望看到的,致使修复失败;针对方法b而言,如图2所示,在像素的不透光区由于被栅极线G1的遮挡,无法判断具体修复位置,修复成功率较低,若修复点5位于像素透光区的边缘位置,则往往会出现像素边缘漏光的现象发生,导致修复品质下降,致使修复失败,造成生产的时间及成本的浪费。
本发明公开了一种薄膜晶体管液晶显示装置,包括:
基板、栅极线、共通线、栅极绝缘层、硅岛、数据线、源极、漏极、钝化层和像素电极,所述像素电极包括像素电极的透光区和像素电极的不透光区,其特征在于:
所述栅极线上设置有修复标记,所述修复标记对应于漏极与栅极交叠的部位或对应于像素电极的不透光区;
当所述修复标记对应于像素电极的不透光区时,对应于所述修复标记的栅极绝缘层和钝化层之间包括遮光结构。
由上述方案可以看出,由于本发明所提供的薄膜晶体管液晶显示装置的栅极线上设置有修复标记,且所述修复标记对应于漏极与栅极交叠的部位或对应于像素电极的不透光区;所述修复标记对应于像素电极的不透光区的情况下,对应于所述修复标记的栅极绝缘层和钝化层之间包括遮光结构。
所以,在所述修复标记对应于漏极与栅极交叠的部位的情况下,在修复薄膜晶体管液晶显示装置亮点的过程中,可以精确判断修复点的位置,以避免栅极线和源极之间短路现象的发生,提高修复成功率;在所述修复标记对应于像素电极的不透光区的情况下,在修复薄膜晶体管液晶显示装置亮点的过程中,可以避免像素边缘漏光现象的发生,并且由于对应于所述修复标记的栅极绝缘层和钝化层之间包括遮光结构,所以所述修复标记处不会出现漏光的情况,进而提高修复成功率。
以上是本申请的核心思想,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明,但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广,因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
实施例一:
本实施例公开了一种薄膜晶体管液晶显示装置,包括:
基板、栅极线、共通线、栅极绝缘层、硅岛、数据线、源极、漏极、钝化层和像素电极,所述像素电极包括像素电极的透光区和像素电极的不透光区,所述栅极线上设置有修复标记,所述修复标记对应于漏极与栅极交叠的部位。
具体设置如图4所示:
基板(图中未示出),所述基板为玻璃基板或是其他材料的基板。
栅极线G11、G12和共通线C11,所述栅极线G11、G12和共通线C11设置在第一金属层,所述第一金属层设置在基板表面上。
具体的,所述共通线C11在每个其所对应的像素区域内为U形,且在与栅极线G11或G12平行的方向上通过第一金属层导通,所述栅极线上设置有栅极,且所述栅极线G12上设置有修复标记X,所述修复标记具有沿栅极线G12向内凹进的矩形的修复标记图形。
栅极绝缘层(图中未示出),所述栅极绝缘层设置在第一金属层表面上,在位于所述栅极线的栅极上方的栅极绝缘层表面上设置有硅岛(图中未示出)。
第二金属层,所述第二金属层设置在栅极绝缘层表面上,且所述第二金属层内设置有数据线L11和L12、源极S11和漏极D11,所述源极S11和数据线L11为一整体结构,所述漏极D11与栅极交叠的部分和源极S11均设置在硅岛表面上,且所述硅岛与栅极、源极S11、漏极D11一起构成了TFT(ThinFilm Transistor,薄膜晶体管),多条数据线和多条栅极线确定多个像素区。
钝化层(图中未示出),所述钝化层设置在第二金属层表面上,且所述钝化层内设置有接触孔。
第三金属层,所述第三金属层设置在钝化层表面上,优选为透明的氧化铟锡层,且在所述第三金属层内设置有像素电极P11,所述像素电极通过接触孔与漏极D11电连接,另外,所述像素电极P11的一部分位于透光区,称作像素电极的透光区,所述像素电极P11的另一部分位于不透光区,称作像素电极的不透光区,本发明所述像素电极的不透光区具体指的是像素电极P11与栅极线G11交叠的区域。
具体的,所述修复标记X对应于漏极D11与栅极交叠的部位,具有矩形的修复标记图形,还可以具有圆形或其他可以起到标示作用的修复标记图形,需要说明的是,所述修复标记X的规格需适中,不能太小使得操作人员不易辨认,更不能太大而影响液晶显示装置整体的显示效果。
更具体的,所述修复标记X具有沿栅极线G12向内凹进的修复标记图形(如图4所示)或是沿栅极线G12向外凸出的修复标记图形。
如图5所示,在所述修复标记X-1对应于漏极D11与栅极交叠的部位且具有沿栅极线G12向外凸出的修复标记图形的情况下,在所述共通线C11上与所述修复标记图形对应的位置设置有沿共通线C11向内凹进的图形,以防止所述栅极线G12和共通线C11导通。
由于本发明所提供的薄膜晶体管液晶显示装置的栅极线上设置有修复标记,且所述修复标记对应于漏极与栅极交叠的部位,所以,在修复薄膜晶体管液晶显示装置亮点的过程中,可以精确判断修复点的位置,以避免栅极线和源极之间短路现象的发生,提高修复成功率。
实施例二:
本实施例与实施例一不同之处在于,所述修复标记对应于像素电极的不透光区,且对应于所述修复标记的栅极绝缘层和钝化层之间包括遮光结构。
如图6所示,图6-a为俯视图,修复标记X1对应于像素电极P11的不透光区,且所述修复标记X1具有穿透所述栅极线G11的圆形的修复标记图形,即在基板一侧可以利用激光焊接技术在修复标记处将栅极线G11与像素电极P11的不透光区焊接到一起,优选的在基板一侧可以利用激光焊接技术在修复标记处将栅极线G11与像素电极P11的边缘位置焊接到一起,所述修复标记图形还可以为矩形或是其他可以起到标示作用的图形,在对应于所述修复标记X1的栅极绝缘层和钝化层之间包括遮光结构(图中未示出);图6-b为沿A-A’线的剖面图,图中所示,基板11,设置在基板11表面上的栅极线G11,所述栅极线G11被修复标记X1分割为两部分,设置在栅极线G11和基板11表面上的栅极绝缘层12,设置在栅极绝缘层12表面上且对应于所述修复标记X1的遮光结构Y,设置在遮光结构Y和栅极绝缘层12表面上的钝化层13,设置在钝化层13表面上的像素电极P11的不透光区。
需要说明的是,所述遮光结构的制作材料与数据线的制作材料相同,且所述遮光结构与数据线、源极、漏极在同一光刻过程中同时形成,或者所述遮光结构的制作材料与硅岛的制作材料相同,且所述遮光结构与硅岛在同一光刻过程中形成,或者所述遮光结构为数据线制作材料与硅岛制作材料的叠加,且经过形成所述数据线和硅岛的两次光刻过程中形成。
由于本发明所提供的薄膜晶体管液晶显示装置的栅极线G11上设置有修复标记X1,且所述修复标记X1对应于像素电极P11的不透光区,对应于所述修复标记X1的栅极绝缘层12和钝化层13之间包括遮光结构Y。
所以,若薄膜晶体管液晶显示装置的此像素出现亮点,则在修复亮点的过程中,可以避免此像素边缘漏光现象的发生,并且由于对应于所述修复标记X1的栅极绝缘层12和钝化层13之间包括遮光结构Y,所以所述修复标记X1处不会出现漏光的情况,进而提高修复成功率。
此外,由于遮光结构Y与数据线或硅岛在同一光刻过程中形成,所以遮光结构Y的形成只需改变光刻过程所用到的掩膜版结构,对于制作液晶显示装置本身而言,并不会增加任何额外步骤。
实施例三:
本实施例与上述实施例不同之处在于,如图7所示,本实施例所公开的液晶显示装置包括第一修复标记X11和第二修复标记X12,且对应于所述第二修复标记X12的栅极绝缘层和钝化层之间包括遮光结构。
所述第一修复标记X11与实施例一中所述修复标记X相同,所述修复标记X12与实施例二中所述修复标记X1相同。
可见,在修复薄膜晶体管液晶显示装置亮点的过程中,既可以精确判断修复点的位置,以避免栅极线G12和源极S11之间短路现象的发生,提高修复成功率,又可以避免像素边缘漏光现象的发生,并且由于对应于所述第二修复标记X12的栅极绝缘层和钝化层之间包括遮光结构,所以所述第二修复标记X12处不会出现漏光的情况,进而提高修复成功率。
所以,本实施例所述液晶显示装置在修复亮点的过程中,若因某些不可预见的因素,利用一种方法出现修复失败的问题的时候(栅极线与源极短路的情况除外),仍然可以利用另外一种修复方法来修复亮点,并且总体的修复成功率有所提高。
实施例四:
本实施例公开了一种实施例一所公开的液晶显示装置亮点的修复方法,该方法包括:
对液晶显示装置加电测试,确定亮点所在的像素,如图4所示,激光焊接所述修复标记X所标示出的位置,将所述栅极线G12与所述漏极D11与栅极交叠的部位焊接到一起,使栅极线G12与漏极D11短路,最终实现栅极线G12和像素电极P11的短路。
由于首先确定了修复所需的焊接位置,所以即使漏极D11出现如图3所示的偏移,在激光焊接时,也不会发生将栅极线G12与源极S11焊接到一起的现象,提高了焊接成功率。
本实施例还公开了一种实施例二所公开的液晶显示装置亮点的修复方法,该方法包括:
对液晶显示装置加电测试,确定亮点所在的像素,如图6-a所示,激光焊接所述修复标记所X1标示出的位置,将所述栅极线G11与所述像素电极P11的不透光区焊接到一起,使栅极线G11与像素电极P11短路。
由于首先确定了修复所需的焊接位置,所以可以在栅极线G11的遮挡下确定像素电极P11不透光区的位置,使得焊点远离像素电极P11的透光区,避免了像素边缘漏光现象的发生,并且由于对应于所述修复标记X1的栅极绝缘层和钝化层之间包括遮光结构,所以所述修复标记X1处不会出现漏光的情况,进而提高修复成功率。
本实施例又公开了一种实施例三所公开的液晶显示装置亮点的修复方法,该方法包括:
对液晶显示装置加电测试,确定亮点所在的像素,如图7所示,激光焊接所述第一修复标记X11或第二修复标记X12所标示出的位置,对应的,将所述栅极线G12与所述漏极D11与栅极交叠的部位焊接到一起,使栅极线G12与漏极D11短路,最终实现栅极线G12和像素电极P11的短路,或将所述栅极线G11与所述像素电极P11的不透光区焊接到一起,使栅极线G11与像素电极P11短路。
可见,在修复薄膜晶体管液晶显示装置亮点的过程中,既可以精确判断修复点的位置,以避免栅极线G12和源极S11之间短路现象的发生,提高修复成功率,又可以避免像素边缘漏光现象的发生,并且由于对应于所述第二修复标记X12的栅极绝缘层和钝化层之间包括遮光结构,所以所述第二修复标记X12处不会出现漏光的情况,进而提高修复成功率。
所以,本实施例所述液晶显示装置在修复亮点的过程中,若因某些不可预知的因素,利用一种方法出现修复失败的问题的时候(栅极线与源极短路的情况除外),仍然可以利用另外一种修复方法来修复亮点,并且总体的修复成功率有所提高。
实施例五:
本实施例公开了一种上述实施例所提供的薄膜晶体管液晶显示器阵列基板的制作方法,该制作方法包括:
步骤S1、提供基板,在所述基板表面上形成第一金属层,并对第一金属层进行刻蚀,形成栅极线和共通线。
具体的,所述基板为玻璃基板或是其他材料的基板。
在所述基板表面上形成栅极线和共通线具体包括:
在所述基板表面上采用等离子溅射方式形成第一金属层,即首先将所述基板放入反应腔中,高能粒子撞击具有高纯度的靶材料固体平板,按物理过程撞出原子,这些被撞出的原子穿过真空,最后淀积在基板表面,得到第一金属层。但是第一金属层的形成并不仅限于等离子溅射方式,还可以利用其他的物理气相淀积方式形成,在此不做详细描述。然后再对第一金属层进行光刻,即在所述第一金属层上旋涂光刻胶,形成光刻胶层,利用具有栅极线和共通线图案的掩模版进行曝光,在光刻胶层上形成栅极线和共通线图案,经显影后,在光刻胶层上形成栅极线和共通线图形,以具有栅极线和共通线图形的光刻胶层为掩膜,经干法刻蚀或湿法腐蚀等工艺得到栅极线和共通线,所述栅极线设置有栅极。
需要说明的是,本实施例中所述“栅极线和共通线图案”为在光刻胶层表面上的二维的栅极线和共通线图案,图案区域只限于光刻胶层表面而不向表面下延伸,不具有立体形状;所述“栅极线和共通线图形”为具有立体形状的三维图形,该图形的厚度为光刻胶层的厚度。
步骤S2、在栅极线、共通线和基板表面上形成栅极绝缘层,并在栅极绝缘层表面上形成非晶硅层,对所述非晶硅层进行刻蚀,形成硅岛。
具体的,在所述栅极线、共通线和基板表面上采用化学气相淀积方式形成栅极绝缘层,即首先将表面设置有栅极线和共通线的基板放入反应腔中,气体先驱物传输到基板表面进行吸附作用和反应,然后将反应的副产物移除,得到栅极绝缘层。但是栅极绝缘层的形成并不仅限于化学气相淀积方式,还可以利用其他的物理气相淀积等方式形成,在此不做详细描述。所述栅极绝缘层为SiNx层,并通过相同的工艺在栅极绝缘层表面上形成非晶硅层,对所述非晶硅层进行光刻,在与栅极相对应的位置形成硅岛。
步骤S3、在硅岛和栅极绝缘层表面上形成第二金属层,并对第二金属层进行刻蚀,形成数据线、源极和漏极。
具体的,采用物理气相淀积工艺在所述硅岛和栅极绝缘层表面上形成第二金属层,之后,采用光刻工艺在所述第二金属层内形成数据线、源极和漏极,所述数据线和源极为一整体结构。
步骤S4、在所述数据线、源极、漏极和栅极绝缘层表面上形成钝化层,对所述钝化层进行刻蚀,形成接触孔。
具体的,采用化学气相淀积工艺在所述数据线、共通线和栅极绝缘层表面上形成钝化层,之后,采用光刻工艺在所述钝化层内形成接触孔,所述接触孔位于漏极上方的钝化层内。
步骤S5、在所述钝化层表面上形成第三金属层,对所述第三金属层进行刻蚀,形成像素电极。
具体的,采用物理气相淀积工艺在所述钝化层表面上形成第三金属层,所述第三金属层为透明金属层,制作材料优选为氧化铟锡,之后,采用光刻工艺在第三金属层上形成像素电极,所述像素电极通过接触孔和漏极电连接。
需要说明的是,若生产的是实施例一所公开的薄膜晶体管液晶显示装置,则所述栅极线上对应于漏极与栅极交叠的部位的位置处设置有修复标记;若生产的是实施例二所公开的薄膜晶体管液晶显示装置,则所述栅极线上对应于像素电极的不透光区的位置处设置有修复标记,且对应于所述修复标记的栅极绝缘层和钝化层之间包括遮光结构,所述遮光结构与数据线或硅岛在同一光刻过程中形成;若生产的是实施例三所公开的薄膜晶体管液晶显示装置,则所述栅极线上对应于漏极与栅极交叠的部位的位置处设置有第一修复标记,且所述栅极线上对应于像素电极的不透光区的位置处设置有第二修复标记,且对应于所述第二修复标记的栅极绝缘层和钝化层之间包括遮光结构,所述遮光结构与数据线或硅岛在同一光刻过程中形成,或所述遮光结构经过形成数据线和硅岛的两次光刻过程中形成。
可见,任一实施例所公开的薄膜晶体管液晶显示装置的生产不会增加任何额外步骤,即不会增加生产成本。
本说明书中各个部分采用递进的方式描述,每个部分重点说明的都是与其他部分的不同之处,各个部分之间相同相似部分互相参见即可。
对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。