CN103122311B - 一种柔性三维单细胞定位培养芯片及其可控制备方法 - Google Patents
一种柔性三维单细胞定位培养芯片及其可控制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103122311B CN103122311B CN201310013499.5A CN201310013499A CN103122311B CN 103122311 B CN103122311 B CN 103122311B CN 201310013499 A CN201310013499 A CN 201310013499A CN 103122311 B CN103122311 B CN 103122311B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- micro
- cell
- pdms
- chip
- satisfies
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000004113 cell culture Methods 0.000 claims abstract description 38
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 claims abstract description 38
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 15
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 claims description 8
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 4
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 claims 8
- CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N octamethyltrisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C CXQXSVUQTKDNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 8
- 238000004987 plasma desorption mass spectroscopy Methods 0.000 claims 8
- 238000007872 degassing Methods 0.000 claims 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 2
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 abstract description 2
- 238000005034 decoration Methods 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 38
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 239000000499 gel Substances 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 230000003915 cell function Effects 0.000 description 2
- 238000007385 chemical modification Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000000820 replica moulding Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000036755 cellular response Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000007877 drug screening Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 210000002919 epithelial cell Anatomy 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 230000008611 intercellular interaction Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000007762 localization of cell Effects 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 238000007431 microscopic evaluation Methods 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 210000000963 osteoblast Anatomy 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007447 staining method Methods 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于微细加工技术实现的柔性三维单细胞定位培养芯片,属于生物微机电***(Bio-MEMS)领域。该芯片包含阵列分布的细胞培养微井1,每个细胞培养微井1底部包含微柱阵列3。该芯片的制备方法采用MEMS技术和复制模塑技术完成,包括混合PDMS预聚体和交联剂、硅模板上浇注PDMS、PDMS固化、剥离PDMS的过程。本发明的有益效果:通过控制细胞培养微井1尺寸将待培养细胞2限制在微井内,实现细胞定位培养;同时使微井本身深度大于微井中微柱高度,实现细胞的三维培养。芯片制备时直接在PDMS表面构建图型化基底,芯片无需经过任何物理或化学修饰即可用于细胞培养,具有图型性质和图型结构长期稳定、可靠的特点。PDMS材料具有良好的透光性,便于细胞的观察。
Description
所属领域
本发明涉及一种基于微细加工技术实现的柔性三维单细胞定位培养芯片,属于生物微机电***(Bio-MEMS)领域。
背景技术
大部分基于细胞群的实验由于平均细胞反应可能出现误导,并遗失细胞的瞬态数据。为了准确探测细胞功能,将单个细胞限定在特定位点的技术是不可或缺的。单细胞培养芯片作为贴壁依赖型细胞研究及行为控制的实验性工具,在基础细胞生物学、组织工程学、药物筛选以及基于细胞的生物传感器等领域具有广阔的应用前景。
目前研究最广泛的细胞定位方法是基于凝胶实现的,这些软凝胶具有对细胞无毒性、透明、柔软等特性,被用来分析细胞-基底间、细胞-细胞间的相互作用。其中的关键问题在于凝胶具有从玻璃表面物理剥离的趋势,细胞图型的稳定性也因此成为该技术发展的瓶颈。为此,Inhee Choi等(Inhee Choi,Young In Yang,JongheopYi.et al.Directed positioning of single cells in microwells fabricated byscanning probe lithography and wet etching methods.Langmuir2008,24:2597-2602)基于扫描探针微影技术和湿法刻蚀技术直接在硅片表面加工出微井,并实现了单个大肠杆菌细胞的定位培养。该方法通过控制微井尺寸将细胞限制在微井中。由于微井是基于MEMS技术直接在硅表面刻蚀得到,用于细胞培养无需任何化学修饰,因此,具有细胞图型稳定的特点。然而,该方法的局限性在于硅基底不透明,细胞观察需借助于各种染色方法实现。Jianping Fu等(Jianping Fu,Yang-Kao Wang,Christopher S Chen.et al.Mechanical regulation of cell function withgeometrically modulated elastomeric substrates.Nat Methods.2010,7(9):733-736.)的研究工作表明,PDMS微柱阵列可用于细胞培养。
发明内容
本发明的目的是:为解决现有单细胞三维定位培养芯片存在的图型质量稳定性差的问题,本发明提供一种可实现稳定的细胞培养的柔性三维单细胞定位培养芯片。
本发明的技术方案是:一种基于PDMS的柔性三维单细胞定位培养芯片,包含阵列分布的细胞培养微井1,每个细胞培养微井1底部包含微柱阵列3;所述微柱呈方形,边长a1满足:1≤a1≤10μm,高度h1满足:1≤h1≤100μm,相邻两个微柱间的距离l1,即相邻微柱中心线之间的距离满足:0<l1<10μm;所述细胞培养微井1呈方形,边长a2满足:其中,是待培养细胞2直径的统计平均值,细胞培养微井1上表面与微柱阵列3顶部所形成表面的高度差h2满足:h0≤h2<2h0,其中,h0是待培养细胞2的高度平均值,细胞培养微井1深度h满足h=h1+h2,相邻两个细胞培养微井1间的距离l,即微井中心线之间的距离满足:
所述柔性三维单细胞定位培养芯片的制备方法,采用MEMS技术和复制模塑技术完成,具体包括如下步骤:
步骤一:按质量或体积比为10:1混合PDMS预聚体和交联剂,并充分搅拌均匀后,放入真空干燥箱中脱气直至混合过程中产生的气泡完全排除。
步骤二:将PDMS浇注在硅模板上,并静置;所述硅模板由重复单元组成,每个单元包含微孔阵列,图型尺寸设计如下:微孔设计呈方形,边长A1满足1≤A1≤10μm,深度H1满足1≤H1≤100μm,相邻两个微孔间的距离L1,即微孔中心线之间的距离满足:0<L1<10μm;重复单元外形设计呈方形,边长A2满足:其中,是待培养细胞直径2的统计平均值,单元底部表面与微孔阵列底部所形成表面的高度差H2满足:h0≤H2<2h0,其中,h0是待培养细胞2的高度平均值,单元深度H满足H=H1+H2,相邻两个重复单元间的距离L满足:
步骤三:将浇注后的PDMS及模板置于真空干燥箱中,使PDMS预聚物发生交联反应而固化。
步骤四:将冷却后的PDMS剥下,就得到了带有浮凸图型的PDMS芯片,在PDMS芯片表面上精确复制了模板上原有的图型。
本发明的有益效果是:本发明提出了一种基于PDMS材料的柔性三维单细胞定位培养芯片结构及制备方法。通过控制细胞培养微井1尺寸将待培养细胞2限制在细胞培养微井1内,实现细胞的定位培养;同时使细胞培养微井1本身深度大于微井中微柱的高度,实现细胞的三维培养。
本发明提出的柔性三维单细胞定位培养芯片,直接在PDMS表面构建图型化基底,芯片无需经过任何物理或化学修饰即可用于细胞培养,因而具有图型性质和图型结构长期稳定、可靠的特点,克服了目前基于凝胶实现图型化时,图型稳定性差的缺陷;克服了基于硅材料的细胞定位培养芯片由于不透明而不利于细胞观察的不足。该细胞培养微芯片将为贴壁依赖型细胞研究及行为控制、理解细胞功能等提供强有力的工具。
附图说明
图1为实施例中的柔性三维单细胞定位培养芯片进行细胞培养的效果图
图2为实施例中的柔性三维单细胞定位培养芯片结构示意图
图3为图2的A-A剖面图
图4为实施例中柔性三维单细胞定位培养芯片制备技术路线图
图5为实施例中柔性三维单细胞定位培养芯片制备过程中使用的硅模板结构示意图
图6为图4的A-A剖面图
图7为实施例中柔性三维单细胞定位培养芯片制备过程中使用的硅模板结构制备流程图
图中:1-细胞培养微井,2-待培养细胞,3-微柱阵列
具体实施方式:
实施例1:
本实施例中的芯片用于培养成骨细胞MC3T3-E1。MC3T3-E1直径的统计平均值为20μm,高度h0为3μm。
参阅图1~图3,本实施例中用于MC3T3-E1培养的柔性三维单细胞定位培养芯片,包含阵列分布的细胞培养微井1,每个细胞培养微井1底部包含微柱阵列3;所述微柱呈方形,边长a1满足:a1=3μm,高度h1满足:h1=15μm,相邻两个微柱间的距离l1,即相邻微柱中心线之间的距离满足:l1=6μm;所述细胞培养微井1呈方形,边长a2满足:a2=25μm,细胞培养微井1上表面与微柱阵列3顶部所形成表面的高度差h2满足:h2=4μm,细胞培养微井1深度h=h1+h2=15+4=19μm,相邻两个细胞培养微井1间的距离l,即微井中心线之间的距离满足:l=30μm。
参阅图4,本实施例中柔性三维单细胞定位培养芯片的制备方法,采用MEMS技术和复制模塑技术完成,具体包括如下步骤:
步骤一:混合:按质量为10:1混合PDMS预聚体和交联剂,并充分搅拌均匀后,放入真空干燥箱中脱气30分钟,直至混合过程中产生的气泡完全排除;
步骤二:将PDMS浇注在硅模板上,并静置。参阅图5、图6,所述硅模板由重复单元组成,每个单元包含微孔阵列,图型尺寸设计如下:微孔设计呈方形,边长A1=3μm,深度H1=15μm,相邻两个微孔间的距离(微孔中心线之间的距离)L1=6μm。重复单元外形设计呈方形,边长A2=25μm,单元底部表面与微孔阵列底部所形成表面的高度差H2=4μm。单元深度H满足H=H1+H2=15+4=19μm,相邻两个重复单元间的距离L=30μm。参阅图7,所述硅模板制备包括如下子步骤:
子步骤一:制作掩模版;
子步骤二:溅射铝:铝膜厚度为100nm;
子步骤三:光刻;
子步骤四:铝刻蚀剂刻蚀铝;
子步骤五:去除光刻胶;
子步骤六:涂胶;
子步骤七:光刻;
子步骤八:刻蚀铝;
子步骤九:电感耦合等离子体反应刻蚀,得到符合要求的硅微米结构。采用的具体刻蚀工艺参数为:SF6,气体流量180sccm/min,刻蚀时间14s;C4F6,气体流量85sccm/min,钝化时间7s;刻蚀/钝化循环的次数为14次;刻蚀结束后,以O2作为工作气体,去除光刻胶;
子步骤十:铝刻蚀剂刻蚀铝;
步骤三:固化。将浇注后的PDMS及模板置于真空干燥箱中,使PDMS预聚物发生交联反应而固化。固化参数为:固化温度80℃,固化时间2h。
步骤四:将冷却后的PDMS轻轻剥下,就得到了所述柔性三维单细胞定位培养芯片。
实施例2:
本实施例中的芯片用于培养人乳腺上皮细胞HMEC。HMEC平均直径为45μm,平均高度h0为5μm。
参阅图1~图3,本实施例中的基于PDMS的柔性三维单细胞定位培养芯片,包含阵列分布的细胞培养微井1,每个细胞培养微井1底部包含微柱阵列3;所述微柱呈方形,边长a1满足:a1=4μm,高度h1满足:h1=20μm,相邻两个微柱间的距离l1,即相邻微柱中心线之间的距离满足:l1=7μm;所述细胞培养微井1呈方形,边长a2满足:a2=55μm,细胞培养微井1上表面与微柱阵列3顶部所形成表面的高度差h2满足:h2=6μm,细胞培养微井1深度h=h1+h2=20+6=26μm,相邻两个细胞培养微井1间的距离l,即微井中心线之间的距离满足:l=60μm。
参阅图4,本实施例中柔性三维单细胞定位培养芯片的制备方法,采用MEMS技术和复制模塑技术完成,具体包括如下步骤:
步骤一:混合:按体积比为10:1混合PDMS预聚体和交联剂,并充分搅拌均匀后,放入真空干燥箱中脱气30分钟,直至混合过程中产生的气泡完全排除;
步骤二:将PDMS浇注在硅模板上,并静置。参阅图5、图6,所述硅模板由重复单元组成,每个单元包含微孔阵列,图型尺寸设计如下:微孔设计呈方形,边长A1=4μm,深度H1=20μm,相邻两个微孔间的距离(微孔中心线之间的距离)L1=7μm。重复单元外形设计呈方形,边长A2=55μm,单元底部表面与微孔阵列底部所形成表面的高度差H2=6μm,单元高度H满足H=H1+H2=20+6=26μm,相邻两个重复单元间的距离L=60μm。
步骤三:固化。将浇注后的PDMS及模板置于真空干燥箱中,使PDMS预聚物发生交联反应而固化。固化参数为:固化温度90℃,固化时间2h。
步骤四:将冷却后的PDMS轻轻剥下,就得到了所述柔性三维单细胞定位培养芯片。其它步骤与实施例1无异,故略去。
Claims (1)
1.一种基于PDMS的柔性三维单细胞定位培养芯片,包含阵列分布的细胞培养微井(1),每个细胞培养微井(1)底部包含微柱阵列(3);所述微柱呈方形,边长a1满足:1≤a1≤10μm,高度h1满足:1≤h1≤100μm,相邻两个微柱间的距离l1,即相邻微柱中心线之间的距离满足:0<l1<10μm;所述细胞培养微井(1)呈方形,边长a2满足:其中, 是待培养细胞(2)直径的统计平均值,细胞培养微井(1)上表面与微柱阵列(3)顶部所形成表面的高度差h2满足:h0≤h2<2h0,其中,h0是待培养细胞(2)的高度平均值,细胞培养微井(1)深度h满足h=h1+h2,相邻两个细胞培养微井(1)间的距离l,即微井中心线之间的距离满足: ;
所述柔性三维单细胞定位培养芯片的制备方法,采用MEMS技术和复制模塑技术完成,具体包括如下步骤:
步骤一:按质量或体积比为10:1混合PDMS预聚体和交联剂,并充分搅拌均匀后,放入真空干燥箱中脱气直至混合过程中产生的气泡完全排除 ;
步骤二:将PDMS浇注在硅模板上,并静置;所述硅模板由重复单元组成,每个单元包含微孔阵列,图型尺寸设计如下:微孔设计呈方形,边长A1满足1≤A1≤10μm,深度H1满足1≤H1≤100μm,相邻两个微孔间的距离L1,即微孔中心线之间的距离满足:0<L1<10μm;重复单元外形设计呈方形,边长A2满足:其中,是待培养细胞直径(2)的统计平均值,单元底部表面与微孔阵列底部所形成表面的高度差H2 满足:h0≤H2<2h0,其中,h0是待培养细胞(2)的高度平均值,单元深度H满足H=H1+H2,相邻两个重复单元间的距离L: ;
步骤三:将浇注后的PDMS及模板置于真空干燥箱中,使PDMS预聚物发生交联反应而固化 ;
步骤四:将冷却后的PDMS剥下,就得到了带有浮凸图型的PDMS芯片,在PDMS芯片表面上精确复制了模板上原有的图型。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310013499.5A CN103122311B (zh) | 2013-01-15 | 2013-01-15 | 一种柔性三维单细胞定位培养芯片及其可控制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310013499.5A CN103122311B (zh) | 2013-01-15 | 2013-01-15 | 一种柔性三维单细胞定位培养芯片及其可控制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103122311A CN103122311A (zh) | 2013-05-29 |
CN103122311B true CN103122311B (zh) | 2015-05-27 |
Family
ID=48453459
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310013499.5A Expired - Fee Related CN103122311B (zh) | 2013-01-15 | 2013-01-15 | 一种柔性三维单细胞定位培养芯片及其可控制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103122311B (zh) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103333802A (zh) * | 2013-07-08 | 2013-10-02 | 西北工业大学 | 一种倒锥阵列三维细胞定位培养芯片及其制备方法 |
CN103421691B (zh) * | 2013-07-12 | 2015-01-28 | 西北工业大学 | 一种基于微流体构图技术的单细胞阵列培养玻璃芯片及其制备方法 |
US10466200B2 (en) | 2014-10-21 | 2019-11-05 | Jian-Bin Bao | Gel electrophoresis chip |
TW201730330A (zh) * | 2016-01-20 | 2017-09-01 | Soken Chemical & Engineering Co Ltd | 細胞培養基板及其製造方法 |
CN106520748B (zh) * | 2016-06-30 | 2020-08-21 | 厦门大学 | 一种适用于显微注射的细胞固定的材料及制备方法 |
CN110343655A (zh) * | 2018-04-02 | 2019-10-18 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 一种集成细胞捕获、三维基底培养及生物分析的芯片 |
CN109810895B (zh) * | 2019-02-27 | 2021-12-03 | 西北工业大学 | 基于等高微柱的开放式三维细胞培养芯片及其制备技术 |
CN110643512B (zh) * | 2019-11-03 | 2023-12-29 | 南京周子未来食品科技有限公司 | 一种多孔网状培养肉生产模具及基于该模具的多孔网状肌肉组织生产方法及其应用 |
CN114058502A (zh) * | 2020-08-04 | 2022-02-18 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 可实现细胞三维共培养与多指标检测的生物分析芯片 |
CN115125122A (zh) * | 2022-06-06 | 2022-09-30 | 太原理工大学 | 单细胞三维动态力学刺激装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102105578A (zh) * | 2008-05-30 | 2011-06-22 | 康宁股份有限公司 | 具有可变表面形状的细胞培养装置 |
CN102337213A (zh) * | 2011-10-13 | 2012-02-01 | 西北工业大学 | 一种基于pdms的三维单细胞培养芯片及其可控制备方法 |
CN102520148A (zh) * | 2011-12-09 | 2012-06-27 | 东南大学 | 具有凸型图案微阵列平面生物/化学传感器件的制备方法 |
-
2013
- 2013-01-15 CN CN201310013499.5A patent/CN103122311B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102105578A (zh) * | 2008-05-30 | 2011-06-22 | 康宁股份有限公司 | 具有可变表面形状的细胞培养装置 |
CN102337213A (zh) * | 2011-10-13 | 2012-02-01 | 西北工业大学 | 一种基于pdms的三维单细胞培养芯片及其可控制备方法 |
CN102520148A (zh) * | 2011-12-09 | 2012-06-27 | 东南大学 | 具有凸型图案微阵列平面生物/化学传感器件的制备方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
《Directed Positioning of Single Cells in Microwells Fabricated by》;Inhee Choi.ect;《Langmuir》;20081231(第24期);第2597-2602页 * |
《一种细胞培养微芯片的制作及应用》;邵建波等;《生物工程学报》;20080625;第24卷(第7期);第1253-1257页 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103122311A (zh) | 2013-05-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103122311B (zh) | 一种柔性三维单细胞定位培养芯片及其可控制备方法 | |
CN102337213B (zh) | 一种基于pdms的三维单细胞培养芯片及其可控制备方法 | |
CN105112290B (zh) | 一种单分子测序芯片的制备方法 | |
CN102156158B (zh) | 拓扑图式化神经细胞网络培养测量微流控芯片装置 | |
CN103421691B (zh) | 一种基于微流体构图技术的单细胞阵列培养玻璃芯片及其制备方法 | |
CN106479893B (zh) | 一种多种细胞图案化共培养的装置及方法 | |
CN102145875B (zh) | 一种聚二甲基硅氧烷微纳流控芯片的制备方法 | |
CN103991837B (zh) | 一种基于压电基底薄片的微纳米有序通孔阵列金属薄膜传感器的制造方法 | |
CN106047706A (zh) | 一种基于单细胞捕获实现细胞定位培养芯片及其使用及制备方法 | |
CN102795592A (zh) | Pdms弹性体表面硬质薄膜层选区刻蚀的制备方法及应用 | |
CN105154323B (zh) | 一种单分子测序芯片 | |
Sun et al. | A novel three-dimensional microfluidic platform for on chip multicellular tumor spheroid formation and culture | |
CN109810895B (zh) | 基于等高微柱的开放式三维细胞培养芯片及其制备技术 | |
CN103263950A (zh) | 一种玻璃基杂合微流控芯片的制作方法 | |
Liu et al. | Hot embossing of polymer nanochannels using PMMA moulds | |
CN103466539A (zh) | 一种超疏液表面的制备方法及超疏液表面 | |
CN101774532A (zh) | 一种在微流体芯片上加工纳米通道的方法 | |
CN103962192B (zh) | 一种高分子聚合物微流控芯片的制备方法 | |
CN104689860A (zh) | 一种用于单球水平的抗肿瘤药物筛选微流控芯片及应用 | |
Yin et al. | Multilayer patterning technique for micro-and nanofluidic chip fabrication | |
CN101376908B (zh) | 一种基于分子和细胞水平研究药物代谢的方法 | |
CN103333802A (zh) | 一种倒锥阵列三维细胞定位培养芯片及其制备方法 | |
CN104745445A (zh) | 一种构建细胞网络的三维微流控芯片及其制备方法 | |
CN107790201A (zh) | 一种利用简易热压工艺在玻璃上制备微流控通道的方法 | |
KR101471928B1 (ko) | 세포 배양용 용기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150527 Termination date: 20200115 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |