CN103090995A - 真空环境下温度比对试验*** - Google Patents
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Abstract
真空环境下温度比对试验***,所述计量***有利于通过真空环境下的标准温度传感器对被检的真空环境下温度传感器进行计量,其特征在于,包括均温真空室,所述均温真空室分别连接缓冲真空室和稳压配气室,所述缓冲真空室通过过渡真空室连接分子泵,所述缓冲真空室、所述稳压配气室和所述分子泵各自通过预抽管路连接机械泵。
Description
技术领域
本发明涉及温度传感器计量技术,特别是一种真空环境下温度比对试验***。
背景技术
由于采用常压下计量的温度传感器测量真空环境下气体温度存在诸多不确定性因素,所以本发明人认为,很有必要建立真空环境下温度比对试验***。
发明内容
本发明针对目前真空环境下温度传感器温度测量的溯源性问题,提供一种真空环境下温度比对试验***,有效的解决了真空环境下温度传感器的溯源问题。所述计量***有利于通过真空环境下的标准温度传感器对被检的真空环境下温度传感器进行计量。
本发明的技术方案如下:
真空环境下温度比对试验***,其特征在于,包括均温真空室,所述均温真空室分别连接缓冲真空室和稳压配气室,所述缓冲真空室通过过渡真空室连接分子泵,所述缓冲真空室、所述稳压配气室和所述分子泵各自通过预抽管路连接机械泵。
所述稳压配气室分别连接三个气体罐,所述稳压配气室上设置有电容薄膜真空计。
所述缓冲真空室设置有电容薄膜真空计以及温度传感器真空转换头。
所述均温真空室通过面密封阀连接所述稳压配气室。
所述缓冲真空室通过隔断阀连接所述过渡真空室,所述隔断阀与所述缓冲真空室的中间管路上设置有放气阀,所述过渡真空室与所述分子泵之间设置有插板阀。
所述预抽管路上设置有电磁隔断阀。
所述过渡真空室上设置有电离规和电阻规。
所述稳压配气室通过三个隔断充气阀对应连接所述三个气体罐。
所述均温真空室浸泡在恒温槽中,所述均温真空室的外壁设置有容纳标准测温探头的铜管,所述铜管底端被封堵。
所述分子泵、机械泵、过渡真空室和稳压配气室都安装在机架上,所述机架的底部设置有带自锁功能的万向轮。
本发明技术效果如下:1.通过稳压配气室实现气体种类的控制,通过高精度电容薄膜规实现气体浓度的精确配比,通过该稳压配气室实现样气的均匀混合从而为均温真空室提供标准样气。2.通过机械泵和电磁隔断阀的切换实现分子泵的前级预抽,稳压配气室的预抽及均温真空室的预抽。3.整套***的便携性:***集成可通过带自锁功能的万向轮实现移动,通过安装***固定高纯气瓶,从而保证整套***的便携性和移动性。进而能够同各温度段的不同标准温度槽配合使用。4.均温真空室提供所需要的均温环境和真空环境。
附图说明
图1是实施本发明的真空环境下温度比对试验***结构示意图。
图2是实施本发明的真空环境下温度比对试验***总体结构简图。
附图标记列示如下:1-均温真空室;2-温度标准安装口;3-过渡波纹管;4-恒温槽;5,6,19,20-电容薄膜真空计;7-温度传感器真空转换头;8-缓冲真空室;9-放气阀;10-隔断阀;11-电离规;12-电阻规;13-面密封阀;14-过渡真空室;15-分子泵;16,17,18-电磁隔断阀;21-配气稳压室;22,23,24-隔断充气阀;25,26,27-(高纯)气体罐;28-插板阀;29-机械泵;30-可移动控制***;31-安装***。
具体实施方式
下面结合附图(图1-图2)对本发明进行说明。
图1是实施本发明的真空环境下温度比对试验***结构示意图。图2是实施本发明的真空环境下温度比对试验***总体结构简图。如图1和图2所示,真空环境下温度比对试验***,包括均温真空室1,所述均温真空室1分别连接缓冲真空室8和稳压配气室21,所述缓冲真空室8通过过渡真空室14连接分子泵15,所述缓冲真空室8、所述稳压配气室21和所述分子泵15各自通过预抽管路连接机械泵29。所述稳压配气室21分别连接三个气体罐25、26、27,所述稳压配气室21上设置有电容薄膜真空计19、20。所述缓冲真空室8设置有电容薄膜真空计5、6以及温度传感器真空转换头7。所述均温真空室1通过面密封阀13连接所述稳压配气室21。所述缓冲真空室8通过隔断阀10连接所述过渡真空室14,所述隔断阀10与所述缓冲真空室8的中间管路上设置有放气阀9,所述过渡真空室14与所述分子泵15之间设置有插板阀28。所述预抽管路上设置有电磁隔断阀16、17、18。所述过渡真空室14上设置有电离规11和电阻规12。所述稳压配气室21通过三个隔断充气阀22、23、24对应连接所述三个气体罐25、26、27。所述均温真空室1浸泡在恒温槽4中,所述均温真空室1的外壁设置有容纳标准测温探头的铜管,所述铜管底端被封堵。所述铜管的上端连接温度标准安装口2。所述分子泵15、机械泵29、过渡真空室14和稳压配气室21都安装在机架上,所述机架的底部设置有带自锁功能的万向轮。所述机架上设置有可移动控制***30和安装***31。
真空环境下温度比对试验***装置分四个部分,真空机组、配气稳压室、均温真空室、缓冲真空室。真空机组为稳压室或真空室提供真空,真空机组由分子泵和机械泵组成,配气稳压室是一个混气室,可以把三路气体进行混合,三个高纯气体罐提供三种气源,气体用微调阀送入试验真空腔,获得设定的真空度。均温真空室(也称试验真空腔)可以放置标准温度传感器和被检温度传感器。在适当的位置有真空测量规管。均温真空室1与其他部分的连接采用波纹管3以保证***同不同高度和尺寸的标准温度槽的匹配性。
真空环境下温度比对试验***装置涉及温度传感器在真空状态下的校准工作。试验真空腔(室)浸泡在恒温槽中,恒温槽提供所需的温度条件。被检验件放置到真空腔的内部,标准测温探头放在真空室的外壁的铜管中。真空腔内的真空度可以在一定范围内变化,真空的变化主要靠真空抽气装置和充气装置配合实现,实现方式为手动阀门控制。
在机械泵的进气口有一个四通,将抽气分成三路,分别用三个电磁阀隔断,其中一路和混气室连接,一路和分子泵出气口连接,一路和预抽管路连接。在抽气过程中,只允许一路抽气,其他两路隔断阀保持关闭。
在此指明,以上叙述有助于本领域技术人员理解本发明创造,但并非限制本发明创造的保护范围。任何没有脱离本发明创造实质内容的对以上叙述的等同替换、修饰改进和/或删繁从简而进行的实施,均落入本发明创造的保护范围。
Claims (10)
1.真空环境下温度比对试验***,其特征在于,包括均温真空室,所述均温真空室分别连接缓冲真空室和稳压配气室,所述缓冲真空室通过过渡真空室连接分子泵,所述缓冲真空室、所述稳压配气室和所述分子泵各自通过预抽管路连接机械泵。
2.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验***,其特征在于,所述稳压配气室分别连接三个气体罐,所述稳压配气室上设置有电容薄膜真空计。
3.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验***,其特征在于,所述缓冲真空室设置有电容薄膜真空计以及温度传感器真空转换头。
4.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验***,其特征在于,所述均温真空室通过面密封阀连接所述稳压配气室。
5.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验***,其特征在于,所述缓冲真空室通过隔断阀连接所述过渡真空室,所述隔断阀与所述缓冲真空室的中间管路上设置有放气阀,所述过渡真空室与所述分子泵之间设置有插板阀。
6.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验***,其特征在于,所述预抽管路上设置有电磁隔断阀。
7.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验***,其特征在于,所述过渡真空室上设置有电离规和电阻规。
8.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验***,其特征在于,所述稳压配气室通过三个隔断充气阀对应连接所述三个气体罐。
9.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验***,其特征在于,所述均温真空室浸泡在恒温槽中,所述均温真空室的外壁设置有容纳标准测温探头的铜管,所述铜管底端被封堵。
10.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验***,其特征在于,所述分子泵、机械泵、过渡真空室和稳压配气室都安装在机架上,所述机架的底部设置有带自锁功能的万向轮。
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