CN102763190A - 四极杆质谱仪 - Google Patents

Abstract

一种四极杆质谱仪，用于分析测试体内的气体成分，其设置为能够实现栅极的通电加热，防止灵敏度降低并可进行高精度的气体成分的分析的低成本结构。四极杆质谱仪（MA1）具有可拆卸地安装在测试体（TP）上的传感器部（M1）。以相对测试体的传感器部的安装方向为上方，传感器部具有：安装在下端的规定形状的支持体（1）；安装在该支持体上的、具有细丝（22）及栅极（21）并将上述气体离子化的离子源（2）；安装在该离子源上的、由四根柱状电极（31）在周方向以规定间隔设置而成的四极杆部（3），以及安装在该四极杆部上的、通过向相对的电极间施加直流电压和交流电压而收集通过四极杆部的预定离子的离子检测部（4）。

Description

四极杆质谱仪

技术领域

本发明涉及一种用来分析真空容器等测试体内气体成分（分压测量）的四极杆质谱仪。

背景技术

例如在以溅镀或气相沉积来成膜等抽真空过程中，除了过程中的压力，在作为处理室的真空室内残留的气体的成分有时也对薄膜质量等产生巨大的影响。分析这种残留气体的组成（气体成分），以往使用的是四极杆质谱仪。

四极杆质谱仪由可拆卸地安装于测试体上的传感器部以及控制单元构成。以相对于测试体的传感器部的安装方向为上方，以往使用的传感器部具有：圆板状支持体，其设置在传感器部的下端；设置在支持体上，收集离子的离子检测部；设置在该离子检测部上方，在圆周方向上以规定间隔设置4根柱状电极的四极杆部；以及设置在该四极杆部上，具有细丝及栅极将上述气体离子化的离子源（例如参照专利文献1）。

通常，离子源的细丝及栅极或四极杆部等，由于要在细丝及栅极间施加离子化电压或在四极杆部形成电场，而与设置在支持体上的连接端子之间通过配线连接，经该连接端子由控制单元提供电力。作为连接端子与细丝、栅极或四极杆部之间的配线，为了确保绝缘而使用涂敷陶瓷护层的铜等的金属线。因此，如上述以往例子那样，如从支持体侧按离子检测部、四极杆部及离子源的顺序设置，则需要多条长配线，制造成本升高。进而还有传感器部的组装也变得很麻烦的问题。

还有，对于上述细丝，近年来有用氧化钇涂敷Ir线表面的产品被应用以代替钨制产品，细丝寿命大幅延长。像这样由于细丝寿命延长，真空气氛中的分子或原子附着在栅极上而使其受到污染，该污染引起的灵敏度降低问题显现出来。

对于受到污染的栅极的清洗方法，一般已知的是在细丝和栅极之间施加电压（300V左右）使电子撞击栅极表面而去除其表面附着的分子、原子的电子撞击方式，以及使电流通过栅极以焦耳热来蒸发去除其表面附着的分子、原子的所谓通电加热方式（例如参照专利文献2）。

采用通电加热方式时，需要在通电加热用的直流电源的正负输出和栅极之间制作闭合电路。此时，必须对设置于支持体上的连接端子再通过另一配线进行连接，但在上述以往例子中，到栅极的配线就更长了。因此，电力损失很大通电加热不适用。再有，四极杆质谱仪的构造变得更复杂使其组装变得更困难。其结果是通常通电加热方式几乎不被采用。

另一方面，采用电子撞击方式时，在使电子撞击栅极表面期间，不能以质谱仪进行质谱分析(测量），而且，如果以高电压使电子进行撞击时的压力高，则可能引起放电问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:专利公开2004－349102号公报

专利文献2:专利公开2000－39375号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

鉴于以上内容，本发明要解决的技术问题是提供一种低成本的四极杆质谱仪，其能够实现栅极的通电加热，防止灵敏度降低，并可以进行高精度的气体成分分析。

解决技术问题的手段

为解决上述技术问题，本发明的第一方式提供的四极杆质谱仪是能分析测试体内的气体成分的四极杆质谱仪，其特征在于：具有可拆卸地安装于测试体上的传感器部，以相对该测试体的传感器部的安装方为上方，传感器部具有：设置在下端的规定形状的支持体；设置在该支持体上的、具有细丝及栅极并将上述气体离子化的离子源；设置在该离子源上的、在周方向上以规定间隔设置有四根柱状电极的四极杆部；设置在该四极杆部上的、以在相对的电极间施加直流电压和交流电压来收集通过四极杆部的预定离子的离子检测部。

根据本发明的第一方式，通过使离子源位于支持体侧，能够缩短离子源用的昂贵的配线的长度。此时，虽然给离子检测部的配线，与以往例子的装置比反而变长了，但离子电流检测用的配线有一条即可。因此，与上述以往例子的装置相比，不仅能够简化其构造并使组装变得容易，而且能够降低成本。

然而，如上述第一方式那样，离子检测部，如果位于距离支持体最远的位置，即处于与要进行气体分析的测试体内气氛相接触的位置，则连存在于测试体内的气体成分的离子也有可能被离子检测部检测出，根据测试体，可能无法进行高精度的分析。为此，在所述离子检测部上，优选还具有屏蔽该离子检测部的屏蔽装置的结构。

再有，在本发明的第一方式中，能够采用一种结构，其具有延伸至离子源的上方的筒状壁，以围住离子源，在该筒状壁的上端设置有可固定在测试体上的凸缘。

再有，为解决上述技术问题，本发明的第二方式的四极杆质谱仪，是能分析测试体内的气体成分的四极杆质谱仪,其特征在于：具有可拆卸地安装在测试体上的传感器部，以相对该测试体的传感器部的安装方向为上方，该传感器部具有设置在下端的规定形状的支持体；设置在该支持体上的、具有细丝及栅极并将上述气体离子化的离子源；在支持体上与离子源邻接设置的、与相对上下方向正交的方向平行地且在周方向上以规定间隔设置有四根柱状电极的四极杆部；在支持体上与四极杆部邻接设置的、以在相对位置的电极间施加直流电压和交流电压来收集通过四极杆部的预定离子的离子检测部。

根据本发明的第二方式，由于构成为离子源、四极杆部及离子检测部并列设置在支持板上，所以与上述第一方式一样，能够缩短离子源用的昂贵的配线的长度，而且，给离子检测部的配线的长度能够设置得与上述以往例子相同。因此，与上述以往例子的装置相比较，不仅能够简化其构造使组装变得更容易，还能降低成本。

此处，将上述传感器部安装在测试体上时，有时将该传感器部收纳在管体内，以该状态安装在测试体上。这种情况下，如采用上述第二方式的结构的话，则与第一方式的装置相比较能够缩短管体的长度，进而安装在测试体上时从该测试体的突出量变少，是有利的。

在上述第一及第二两方式中，所述离子源的细丝及栅极的自由端，优选与在上下方向上贯通所述支持体而固定的连接端子无配线连接。由此，通过将细丝及栅极的两自由端所谓直接安装在支持体的连接端子，而能够不用离子源用的昂贵的配线，在此之上，由于没了线损而能够有效地实现对栅极进行通电加热的结构。结果，能省掉离子源用配线且来自配线的放气的影响变少的情况，与通过通电加热能够有效防止栅极的污染的情况一同作用，变得能够以高灵敏度来精度良好地进行气体成分的分析（分压测量）。

再有，为了使传感器部容易组装或使用，有利的是，所述四极杆部的各电极以绝缘性支架来保持，该支架可拆卸地安装在所述支架上。

这种情况下，有利的是，所述离子检测部可拆卸地安装在所述支架或支持体上。

进而，也能够采用一种结构，在所述支持体上，还具有隔着离子源的栅极而与离子检测部相对设置的板状的离子收集器，可测量测试体内的全压。

另一方面，也能够采用一种结构，在所述支持体上，还具有以围绕具有细丝及栅极的离子源而设置的筒状离子收集器，可测量测试体内的全压。

根据上述内容，使用一个四极杆质谱仪，除气体成分的分析之外还能测量测试体的全压，而且将离子收集器直接安装在设置于支持体上的连接端子上的话，则不需要离子电流检测用的昂贵的配线，而能以低成本实现全压测量用的结构。再有，采用上述第一方式的结构，四极杆部或离子检测部采用在支持体上可自由装卸的结构，仅通过卸下这些部件，就能构成用于测量测试体全压的真空计，能够根据用途，或作为真空计，或作为具有真空计的四极杆质谱仪而分开使用。

另外，离子收集器为板状时，其表面容易被污染，容易导致灵敏度降低，另一方面离子收集器为筒状时，由于软X射线的影响等下降到低压时可能无法高精度地测量总压。因此，离子收集器的种类需要根据用途来适当选择。

进而，在本发明中，优选采用具有能从大气压到所述细丝能放出热电子的压力的范围内进行压力测量的真空计的结构。由此，在将测试体真空排气后，为了测量到直到开始气体分析时的测试体的压力，而不需要皮拉尼真空计等的测量装置，在将本发明的四极杆质谱仪安装在没有真空计的测试体上进行分析时是有利的。

附图说明

图1是说明本发明的第一实施方式涉及的四极杆质谱仪的结构示意图。

图2是说明图1所示的四极杆质谱仪的改进例的结构示意图。

图3(a)是说明图1所示的四极杆质谱仪的另一改进例的结构示意图，（b）是示出分离了另一改进例涉及的四极杆质谱仪的状态的图。

图4是说明四极杆质谱仪的控制单元的改进例的结构示意图。

图5是说明本发明的第二实施方式涉及的四极杆质谱仪的结构示意图。

图6]是图5沿VI－VI线的剖面图。

具体实施方式

下面参照附图，以测试体TP为真空室，四极杆质谱仪安装在该测试体TP的测试端口TP1而分析测试体TP内的气体成分的情况为例来说明本发明的第一实施方式的。

参照图1，MA1是四极杆质谱仪，该四极杆质谱仪MA1由传感器部M1和控制单元C构成。传感器部M1具有圆板状的支持体1。支持体1由铝或不锈钢等金属制成，其上面外周缘部设置有O形环（密封装置）11。以下，相对测试体TP以传感器部M1的安装方向为上方进行说明。

在支持体1上设置有离子源2。离子源2由设置在支持体1的中央部上方的螺旋状的栅极21，以及设置在该栅极21的周围的、以氧化钇涂敷Ir线表面而成的细丝22构成。栅极21和细丝22的两自由端分别与上下贯通支持体1而竖直设立的栅极用的连接端子23a、23b及细丝用的连接端子24a、24b连接（直接安装）。

在离子源2之上，设置有四极杆部3，其四根柱状的电极31以规定间隔设置在周方向上，相对设置的电极31彼此电连接。各电极31由绝缘材料构成的筒状支架32支持，该各电极31的上部从支架32向上方突出。在支架32的下面上，设置有经配线33而分别与电极31连接的两个插座式连接器34。而且，通过自上方将在支架32内的各插座式连接器34安装在竖直设立于支持体1上的两根连接端子35a、35b上，支架32被支持体1可拆卸地支持在连接端子35a、35b上，同时实现了电连接。由此，传感器部M1的结构被简化。另外，支架32在支持体1的支持方法，也可不受上述限定，而是在支持体1上设置另一个支持部件（图中未示出），在其上支持支架32。

在四极杆部3的各电极31的内侧上方，设置有离子检测部4。离子检测部4由收集被离子源2离子化、在四极杆部3的各电极31间往来并到达其上方的气体分子的法拉第杯构成。而且，来自离子检测部4的配线41也与安装在支架32的下面上的插座式连接器42连接，与上述一样，设置为与竖直设立在支持体1上的连接端子43连接。另外，对于配线33、41，使用的是涂敷陶瓷表层的铜等金属线材的制品。

另一方面，控制单元C，其具有设置有计算机、存储器或序列发生器等的控制部51，控制部51统一控制后文说明的各电源的启动、电源电路中的开关元件的切换或以电流计测量的电流值向图示省略的显示器的输出等。再有，控制单元C具有细丝用的电源E1和将测试体TP内的气体离子化的离子化用电源E2。来自电源E1的输出（正）的一方与细丝用的连接端子24b连接，来自电源E2的输出（正）的一方与栅极用的一方的连接端子23a连接。而且，来自两电源E1、E2的另一方（负的）的输出彼此连接的同时，该负输出上连接有来自细丝用的另一连接端子24a的配线。再有，控制单元C具有栅极21通电加热用的电源E3以及开关元件SW1。来自电源E3的一方（负）的输出与连接端子23b连接，其另一方的输出（正）与经开关元件SW1的来自电源E2的输出的另一方连接。

进而，控制单元C，具有在电耦合的电极31上分别施加直流电压和高频电压的DC＋RF电源E4，DC＋RF电源E4的输出与相对设置的电极31中任意一方分别连接（图1中仅显示一方）。再有，控制单元C具有串联的离子加速用电源E5和中心电场形成用电源E6，电源E5的一个输出与电源E2的一个输出（正）连接，它们的另一个输出接地。进一步地，控制单元C上附设有电流计52，用于测量由离子检测部4所收集的流向大地的离子电流值。

上述第一实施方式的四极杆质谱仪MA1，设置为也能测量测试体内的全压。即，在支持体1上，隔着栅极21与离子检测部4相对地设置一板状离子收集器61。该离子收集器61直接安装于贯通支持体1上下而安装的连接端子62上。再有，在控制单元C上，安装有测量由离子收集器61所收集然后流向大地的离子电流值的电流计63。

接着，说明上述四极杆质谱仪MA1的使用例。在实际使用四极杆质谱仪MA1时，在传感器部M1周围，安装两端具有凸缘P1、P2的管体P。即从传感器部M1的上方外插管体P，使管体P的下侧的凸缘P2与支持体1的上面外缘部面接触，在该状态下以夹具等固定。由此，被O形环11真空密封。在该状态下，经O形环12使管体P上侧的凸缘P1与测试体TP的测试端口TP1的凸缘TP2面接触，通过在该状态下由夹具等固定来完成传感器部M1的安装。另外，也可以不用管体P，而将传感器部M1直接装配在测试端口TP1上。然后，以真空泵将测试体TP内抽真空，一到达规定真空压力，就开始气体分析。

首先，以电源E1在细丝22中流通直流电流使该细丝22红热，释放热电子。之后，通过以电源E2向栅极21施加正电压，吸收被释放的热电子。此时，与热电子撞击后的细丝22周边的气体原子、分子产生正离子。之后，通过从电源E5向栅极21和电极31之间施加预定的电压，离子化的气体成分的离子从栅极21侧被吸入四极杆部3。在上述状态下，开关元件SW1保持为断开（截止）。再有，以电流计63测量通过离子收集器61而流过的离子电流值，也能测量此时的全压。

在四极杆部3的四根电极31上，通过DC＋RF电源E4，施加规定的交流电压，所述规定的交流电压重叠了一个直流电压，该直流电压较地电位悬浮了电源E6导致的中心电场电压。由此，在离子群通过四极杆部3中时，它们边振动边通过，根据交流电压或频率数，仅一定的离子稳定振动并通过，而到达离子检测部4。之后，以附设在离子检测部4的电流计52检测离子电流，此时的离子电流值被输出给控制部51。再有，通过将上述直流电压和交流电压的比保持为固定的同时使交流电压线性变化获取频谱，从离子电流值分析测试体内的气体成分。此时，针对特定的气体成分也能显示从离子电流值计算出的指示值。

接着，例如灵敏度降低在特定的气体成分中的指示值超出规定范围变动（降低）的话，则由控制部51判断栅极21受到污染。栅极21的污染一经判断，就由控制部51导通（连接）开关元件SW1，由电源E3将2A左右的电流提供给栅极21，通电加热规定时间。由此，蒸发除去栅极21的表面附着的分子、原子。

如以上所说明的，如采用前述第一实施方式的四极杆质谱仪MA1，则通过使离子源2位于支持体1侧，将细丝22及栅极21的两自由端直接安装在竖直设立于支持体1上的连接端子23a、23b、24a、24b上，能够省去昂贵的配线。此时，虽然给离子检测部4的配线，与以往例子相比反而变长了，但离子电流检测用的配线只要一根就可以。因此，与上述以往例子相比较不仅能够简化其结构使其组装变得容易，而且也能降低成本。此外，由于没有了线损而能够有效地实行栅极21的通电加热的结构。结果，省去离子源2用的配线消除来自配线的放气的影响的情况，与通过通电加热能有效防止栅极的污染的情况一同作用，使得可以高灵敏度和良好的精度进行残留气体成分的分析。

再有，在上述第一实施方式中，由于采用了使支架32保持四极杆部3的各电极31，将离子检测部4可拆卸地安装在支架32上，同时在该支架32上设置有插座式连接器34、42，嵌装在支持板1上竖直设立的连接端子35a、35b、43上就可组装的结构，所以能使该组装和操作更容易。进而，使用一个四极杆质谱仪MA1，除气体成分的分析（分压测量）外也能测量测试体的全压，而且，由于离子收集器61直接设置在安装于支持板1上的连接端子62上，所以不需要离子电流检测用的昂贵的配线，能够以低成本实现全压测量的结构。

以上，虽然对第一实施方式的四极杆质谱仪MA1进行了说明，但本发明并不被上述内容所限定。虽然在上述实施方式的装置中，传感器部3和控制单元C是分体的，但也能够一体组装于同一箱体中。再有，在上述实施方式的装置中，离子检测部4设置为位于距离支持体1侧最远的位置，即与要做气体分析的测试体内的气体相接触的位置。在这种情况下，连测试体内存在的离子也有可能被离子检测部4检测出来，取决于测试体TP,有时通过测试体TP无法进行高精度的气体成分的分析。

因此，第一实施方式的改进例的四极杆质谱仪的传感器部M2，如图2所示，还具有覆盖离子检测部4的上部的板状屏蔽构件7，以便为该离子检测部4屏蔽可能存在于测试体内的离子。另外，屏蔽构件7的形状，并不限定于是板状结构，也可以是半球状结构等。

再有，在上述第一实施方式的装置中，虽然说明了安装板状离子收集器61而能测量测试体的全压的装置，但在设置为板状的装置时，其表面容易被污染，易于导致灵敏度降低。因此上述改进例的传感器部M2，如图2所示，具有筒状的离子收集器610。此外，传感器部M2还具有皮拉尼真空计8，以便能在从大气压到热电子从细丝22被释放的压力的范围内测量压力。由此，在对测试体真空排气后，为了测量直到气体分析开始时测试体的压力，不再需要其他真空计，在将上述传感器部M2装配在不带有真空计的测试体上进行气体成分分析时是有利的。另外，控制皮拉尼真空计8操作的电路内置在控制单元C中。

进而，在上述实施方式的装置中，虽然以支持体1是圆板状的装置为例进行了说明，但并不限于此。在上述第一实施方式的另一改进例涉及的传感器部M3中，如图3（a）及（b）所示，支持板10由平板所构成的中央基部10a、竖直设立在该基部10a的外周的筒状壁部10b以及在该筒状壁部10b的上端形成的凸缘10c构成。

在基部10a上安装有栅极用的连接端子23a、23b或细丝用的连接端子24a、24b。再有，凸缘10c上表面的位置高于连接在连接端子23a、23b上的栅极21和连接在连接端子24a、24b上的细丝22的位置。由此，如能使四极杆部3或离子检测部4脱离的话，则变为用于测量测试体的全压的真空计（电离真空计）（参照图3（b））。

再有，在上述第一实施方式的装置中，以设置有一个控制单元C为例进行了说明，但并不仅限于此。参照图4进行说明，其中涉及一改进例的控制单元，为将测量测试体内的全压等的主单元C1以及分析测试体内的气体成分的从单元C2连接在一起而构成。即，主单元C1具有第一箱体C11，在第一箱体C11中，具有：进行电力供给的电源部C12、控制控制单元启动的CPU等的控制部C13、向离子源2供电的离子电源部C14、以及测量离子收集器61、610所收集的离子的电流值的电流检测电路C15。另一方面，与主单元C1可自由通信地连接的从单元C2，具有第二箱体C21，在第二箱体C21上，具有：向四极杆部3的电极31施加直流电压和高频电压的电源部C22，以及测量离子检测部4所收集的离子的电流值的电流检测电路C23。由此，在将四极杆质谱仪MA1的传感器部M1、M2、M3作为真空计使用时，能够仅使用其所需要的控制单元。

接着，参照图5及图6，对第二实施方式的四极杆质谱仪MA2的传感器部M4的结构进行说明。另外，对相同部件或要素使用相同符号，再有，设定控制单元C的结构相同。

传感器部M4，具有圆板状的支持体100。支持体100为铝或不锈钢等的金属制品，其上面外周缘部安装有O形环（密封装置）11。以下，以相对测试体TP的感器部M4的安装方向为上方进行说明。在支持体100上安装有离子源2。离子源2由在支持体100径向一侧与该支持体100平行设置的螺旋状的栅极21、以及贯通该栅极21的中央空间设置并以氧化钇涂敷Ir线的表面而成的细丝22而构成。栅极21和细丝22的两自由端与上下贯通支持体100而竖直设立的栅极用连接端子23a、23b及细丝用连接端子24a、24b连接（直接安装）。

在支持体100的径向内侧上与离子源2邻接设置有环状聚焦电极FP。聚焦电极FP直接安装在上下贯通并竖直设立于支持体100上的栅极用的连接端子FP1上，该连接端子FP1与安装在控制单元C上的电源连接。而且，设置为通过在气体分析时向聚焦电极FP施加规定的直流电压，来抑制入射四极杆部3的离子的扩散。

在支持板100的径向内侧与聚焦电极FP邻接地安装有四极杆部300，其四根柱状的电极31以规定间隔设置在周方向上且平行于支持体100，相对位置的电极31电耦合在一起（参照图6）。各电极31由绝缘材料制成的下侧开口的箱状支架320来保持，该支架320可拆卸地安装在支持体100上。而且，相对位置的各电极31中的两根电极通过配线W而分别与竖直设立在支持体100上的两根连接端子35a、35b电性连接。

在支持体100的径向另一侧与四极杆部3相邻安装有离子检测部4。离子检测部4由收集在四极杆部300的各电极31间流通而到达其上方的气体分子的法拉第杯构成。离子检测部4也与竖直设立在支持体100上的连接端子40连接（直接安装）。再有，安装有板状的离子收集器61，其隔着栅极21与离子检测部4相对设置。离子收集器61直接安装在上下贯通并安装于支持体1上的连接端子62上。

在使用四极杆质谱仪MA2时，与上述同样地，在传感器部M4的周围，装配有两端具有凸缘P1、P2的管体P。由此，在将上述传感器部M4装配在测试体TP上时，与第一方式的装置相比能缩短管体P的长度，进而，装配在测试体TP后的从该测试体TP的突出量变少，是有利的。再有，如采用上述第二实施方式的话，由于在支持体100上并列设置有离子源2、四极杆部300及离子检测部4，所以不需要配线，不仅能简化其结构，使组装变得更容易，而且能进一步降低成本。

附图标记说明

MA1、MA2…四极杆质谱仪、M1～M4…传感器部、C…控制单元、1、10、100…支持体、11…密封装置、2…离子源、21…栅极、22…细丝、3…四极杆部、31…电极、32…支架、4…离子检测部、35a、35b、43…连接端子、E1～E6…电源、61、610…离子收集器（全压测量用）、7…屏蔽构件、8…（皮拉尼）真空计。

Claims (10)

1.一种四极杆质谱仪，其能够分析测试体内的气体成分，其特征在于：

具有可拆卸地安装在测试体上的传感器部；

以相对该测试体的传感器部的安装方向为上方，该传感器部具有：

安装在下端的规定形状的支持体；

安装在该支持体上的、具有细丝及栅极并将上述气体离子化的离子源；

安装在该离子源上的、由四根柱状电极在周方向上以规定间隔设置而成的四极杆部；以及

安装在该四极杆部上的、通过在相对的电极间施加直流电压和交流电压而收集通过四极杆部的预定离子的离子检测部。

2.根据权利要求1所述的四极杆质谱仪，其特征在于：

在所述离子检测部的上方，还具有屏蔽该离子检测部的屏蔽装置。

3.根据权利要求1或2所述的四极杆质谱仪，其特征在于：

所述支持体具有延伸至离子源的上方的筒状壁，以围住离子源，在该筒状壁的上端，设置有可固定在测试体上的凸缘。

4.一种四极杆质谱仪，其能够分析测试体内的气体成分，其特征在于：

具有可拆卸地安装在测试体上的传感器部；

以相对该测试体的传感器部的安装方向为上方，该传感器部具有：

安装在下端的规定形状的支持体；

设置在该支持体上的、具有细丝及栅极并将上述气体离子化的离子源；

在支持体上与离子源邻接设置的、由四根柱状电极平行于相对上下方向正交的方向且在周方向上以规定间隔设置而成的四极杆部；以及

在支持体上与离子源邻接设置的、通过在相对的电极间施加直流电压和交流电压而收集通过该四极杆部的预定离子的离子检测部。

5.根据权利要求1~4中任意一项所述的四极杆质谱仪，其特征在于：

所述离子源的细丝及栅极的自由端，与在上下方向上贯通所述支持体而固定的连接端子无配线连接。

6.根据权利要求1~5中任意一项所述的四极杆质谱仪，其特征在于：

所述四极杆部的各电极以绝缘性的支架来保持，该支架可拆卸地装配在所述支持体上。

7.根据权利要求6所述的四极杆质谱仪，其特征在于：

所述离子检测部，可拆卸地装配在所述支架或支持体上。

8.根据权利要求1~7中任意一项所述的四极杆质谱仪，其特征在于：

在所述支持体上，还具有隔着离子源的栅极而与离子检测部相对设置的板状离子收集器，以测量测试体内的全压。

9.根据权利要求1~7中任意一项所述的四极杆质谱仪，其特征在于：

在所述支持体上，还具有围绕具有细丝及栅极的离子源而设置的筒状离子收集器，以测量测试体内的全压。

10.根据权利要求1~9中任意一项所述的四极杆质谱仪，其特征在于：

还具有能够在从大气压到所述细丝能释放出热电子的压力的范围内进行压力测量的真空计。

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