CN102568360A - 阵列测试装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种阵列测试装置，所述阵列测试装置的构造为去除在探针引脚按压到玻璃面板的相应电极上时、或在电信号从探针引脚施加至电极时可能产生的颗粒。

Description

阵列测试装置

技术领域

本发明涉及一种用于测试玻璃面板的阵列测试装置。

背景技术

一般来说，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩管(Braun Tube)的电视机或显示器更轻更薄的图像显示设备。液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的代表性实例。

这些FPD中的LCD是以向排列为矩阵形状的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号、并且因此控制液晶单元的透光性的方式来显示期望图像的图像显示设备。LCD薄且轻，而且还具有包括功耗低和操作电压低在内的许多其它优点，因此被广泛地使用。下面将详细描述用在这种LCD中的液晶面板的典型制造方法。

首先，在上玻璃面板上形成彩色滤光片和共用电极。之后，在对应于上玻璃面板的下玻璃面板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。其后，将配向膜分别施加至上玻璃面板和下玻璃面板。之后，摩擦配向膜，以便为后来将要形成在配向膜之间的液晶层中的液晶分子提供预倾角和配向方向。

此后，通过将密封胶涂布至玻璃面板中的至少一个来形成密封胶图案，以保持玻璃面板之间的间隙、防止液晶漏出、并且密封玻璃面板之间的空间。其后，在玻璃面板之间形成液晶层，从而完成液晶面板。

在上述过程中，测试具有TFT和像素电极的下玻璃面板(下文中称为“玻璃面板”)是否有缺陷的操作，是通过例如检测栅极线或数据线是否断开连接、或检测像素单元是否显色不佳来实现的。

典型地，使用具有多个探针引脚的阵列测试装置来测试玻璃面板。利用阵列测试装置来测试玻璃面板包括：将探针引脚定位于与形成在玻璃面板上的电极相对应的位置、在压力下将探针引脚与电极接触、然后通过探针引脚将电信号施加至电极。

然而，当将探针引脚按压在电极上时，可能由探针引脚与电极之间的摩擦而产生细小的颗粒，这些细小的颗粒或可能来自探针引脚或可能来自电极。另外，当电信号从探针引脚施加至相应电极时，可能在探针引脚与相应电极之间产生放电现象。由于放电现象，探针引脚或电极可能产生细小的颗粒。这样的颗粒可能妨碍探针引脚与电极之间的电传输。此外，这些颗粒可能粘附到玻璃面板上的其他部件，从而导致电误差。

发明内容

因此，针对以上在现有技术中产生的问题提出本发明，本发明的目的是提供一种阵列测试装置，其能够去除在探针引脚按压到玻璃面板的相应电极上时、或在电信号从探针引脚施加至电极时可能产生的颗粒。

为了实现以上的目的，本发明提供一种阵列测试装置，包括：探针组件，所述探针组件安装在用于支撑所述探针组件的探针组件支撑框架上；探针棒，所述探针棒设置在探针组件上，探针棒设置有将电信号施加至玻璃面板的电极的探针引脚；以及颗粒去除单元，所述颗粒去除单元设置在所述探针棒的预定侧面上，颗粒去除单元去除探针引脚与玻璃面板的电极之间产生的颗粒。

如上所述，根据本发明的阵列测试装置设置有颗粒去除单元，所述颗粒去除单元去除探针引脚与玻璃面板的电极之间产生的颗粒。因此，本发明可以解决颗粒妨碍探针引脚与电极之间的电传输的问题，以及由粘附到玻璃面板上的其他部件的颗粒所引起的电误差的问题。

附图说明

由以下结合附图的详细描述，可以更加清晰地理解本发明前述的和其它的目的、特征和优点，其中：

图1是示出根据本发明第一实施方式的阵列测试装置的立体图；

图2是图1的阵列测试装置的探针组件的立体图；

图3和图4是示出设置在图2的探针组件中的颗粒去除单元的立体图；

图5是示出设置有图3的颗粒去除单元的阵列测试装置的立体图；

图6至图8是示出根据本发明第二实施方式的阵列测试装置的颗粒去除单元的图；

图9至图11是示出根据本发明第三实施方式的阵列测试装置的颗粒去除单元的图；以及

图12至图14是示出根据本发明第四实施方式的阵列测试装置的颗粒去除单元的图。

具体实施方式

下文将参照附图详细说明根据本发明的阵列测试装置的优选实施方式。

如图1所示，根据本发明第一实施方式的阵列测试装置包括将玻璃面板P加载到装置上的加载单元10、测试由加载单元10所加载的玻璃面板P的测试单元20、以及将已由测试单元20测试的玻璃面板P从装置卸载的卸载单元30。

测试单元20测试玻璃面板P的电缺陷。测试单元20包括透光支撑板21、测试模块22、探针组件23以及控制单元(未示出)。由加载单元10加载的玻璃面板P放置在透光支撑板21上。测试模块22测试置于透光支撑板21上的玻璃面板P的电缺陷。探针组件23向置于透光支撑板21上的玻璃面板P的电极E施加电信号。控制单元控制测试模块22和探针组件23。

如图2所示，探针组件支撑框架50设置在透光支撑板21上方，并沿着透光支撑板21的纵向(X轴)方向延伸预定长度。探针组件23安装在探针组件支撑框架50上，以便能够沿探针组件支撑框架50的纵向(X轴)方向移动。探针组件23包括探针棒70、升降单元80、以及颗粒去除单元90(见图3)。探针棒70设置有多个探针引脚60(见图3)。升降单元80沿Z轴方向移动探针棒70。颗粒去除单元90设置在探针棒70的预定侧面上，以去除探针引脚60与玻璃面板P的电极E之间产生的颗粒。

探针组件支撑框架50连接至Y轴驱动单元51，使得探针组件支撑框架50能够借助于Y轴驱动单元51而沿水平地垂直于探针组件支撑框架50的纵向(X轴)方向的(Y轴)方向移动。此外，探针组件支撑框架50与探针组件23之间设置有X轴驱动单元52。X轴驱动单元52沿探针组件支撑框架50的纵向方向移动探针组件23。可以使用诸如线性马达、滚珠丝杠等的各种线性驱动装置作为Y轴驱动单元51和/或X轴驱动单元52。

升降单元80设置在探针组件23上并且连接至探针棒70。例如，使用液压的致动器、使用电力的线性马达等的各种装置可以用作升降单元，只要它可以沿Z轴方向上下移动探针棒70。升降单元80的作用是向下移动探针棒70以使探针引脚60按压置于透光支撑板21上的玻璃面板P的相应电极E。

如图3所示，颗粒去除单元90包括磁性构件91，磁性构件91产生磁力并且邻近探针引脚60设置在探针棒70面向玻璃面板P的表面上。如图3所示，磁性构件91可以设置在探针棒70的下表面上。替代地，如图4所示，磁性构件91可以设置在探针棒70的侧表面上。每个磁性构件91可以包括永磁铁，或替代地可以包括连接至电源(未示出)的电磁铁。磁性构件91的作用是，当探针引脚60按压相应电极E时、或当电信号经由探针引脚60施加至电极E时，利用磁力来吸引从探针引脚60和/或电极E产生的颗粒。在每个磁性构件91包括电磁铁的情况下，如图5所示，可以将收集容器92在探针组件23可以接近收集容器92的位置处安装在探针组件支撑框架50的侧面。收集容器92的作用是接收由磁性构件91所保持的并且从磁性构件91上去除的那些颗粒。在此构造中，在将探针引脚60按压到相应电极E上的过程中、或在电信号经由探针引脚60施加至电极E的过程中，电力连接至磁性构件91使得颗粒可以被吸引到磁性构件91。在完成将电信号施加至电极E的过程之后，探针组件23移至收集容器92。随后，当中断施加至磁性构件91的电力时，由磁性构件91所保持的颗粒从磁性构件91上去除，并且收集在收集容器92中。

现在将说明具有上述结构的根据本发明第一实施方式的阵列测试装置的操作。

首先，玻璃面板P由加载单元10加载到透光支撑板21上。随后，探针组件23向玻璃面板P的电极E施加电信号，以能够利用测试单元20测试玻璃面板P的电缺陷。

在探针组件23向玻璃面板P的电极E施加电信号之前，探针组件23可以借助于探针组件支撑框架50沿Y轴方向移动，也可以借助于X轴驱动单元52沿X轴方向移动，其中探针组件支撑框架50借助于Y轴驱动单元51沿Y轴方向移动。通过沿X轴和/或Y轴方向移动，探针组件23移动到玻璃面板P上形成有电极E的部分。由此，将设置在探针棒70上的探针引脚60邻近玻璃面板P的电极E放置。

之后，探针棒70通过升降单元80的操作向下移动，使得从探针棒70向下突伸的探针引脚60按压相应的电极E。在此状态下，当电信号经由从探针棒70向下突伸的探针引脚60而施加至电极E时，测试单元20的测试模块22操作以测试玻璃面板P的电缺陷。

在此，由于探针引脚60与电极E之间的物理接触或电接触而从探针引脚60和/或电极E产生颗粒。可以通过使颗粒吸附到磁性构件91而从探针引脚60或玻璃面板P去除这样的颗粒。在每个磁性构件91使用电磁铁的情况下，在完成将电信号施加至电极E的过程之后，探针组件23移动以使磁性构件91直接置于收集容器92上方。之后中断施加至磁性构件91的电力，使得吸附到磁性构件91的颗粒从磁性构件91上去除，并且收集在收集容器92中。

如上所述，根据本发明第一实施方式的阵列测试装置包括颗粒去除单元90，颗粒去除单元90去除探针引脚60与玻璃面板P的电极E之间产生的颗粒。因此，本发明可以解决颗粒妨碍探针引脚60与电极E之间的电传输的问题，以及颗粒粘附到玻璃面板P上的其他部件而引起电误差的问题。

下文将参照图6至图8具体说明根据本发明第二实施方式的阵列测试装置。在第二实施方式的说明中，相同的参考标记将用来标示与第一实施方式中相同的部件，并省略对其不必要的进一步说明。

如图6至图8所示，在根据本发明第二实施方式的阵列测试装置中，去除探针引脚60与玻璃面板P的电极E之间的颗粒的颗粒去除单元90包括设置在探针棒70的预定侧面上的磁性构件91、以及朝玻璃面板P吹气的吹气单元92。

吹气单元92包括排出口921、通道922和气体供应单元923。排出口921形成在探针棒70面向玻璃面板P的表面中。气体从排出口921朝玻璃面板P排出。通道922与排出口921相连通并且沿探针棒70的纵向方向延伸。气体供应单元923与通道922相连通并且为排出口921供应气体。通道922可以形成在探针棒70中。从气体供应单元923提供的气体可以是空气或惰性气体。

如上所述，在根据本发明第二实施方式的阵列测试装置中，如图8所示，颗粒去除单元90设置有朝向玻璃面板P排出气体的吹气单元92。因此，粘附到探针引脚60或电极E上的颗粒可以借助于排出的气体而从探针引脚60或电极E上分离，使得磁性构件91可以容易地保持颗粒。

下文将参照图9至图11具体说明根据本发明第三实施方式的阵列测试装置。在第三实施方式的说明中，相同的参考标记将用来标示与第一实施方式和第二实施方式中相同的部件，并省略对其不必要的进一步说明。

如图9至图11所示，在根据本发明第三实施方式的阵列测试装置中，去除探针引脚60与玻璃面板P的电极E之间的颗粒的颗粒去除单元90包括颗粒吸入单元93，颗粒吸入单元93吸入粘附到探针引脚60或玻璃面板P的电极E上的颗粒。

颗粒吸入单元93包括吸入口931、通道932和负压供应源933。吸入口931形成在探针棒70面向玻璃面板P的表面中，使颗粒吸入到吸入口931中。通道932与吸入口931相连通并且沿探针棒70的纵向方向延伸。负压供应源933与通道932相连通。通道932可以形成在探针棒70中。优选地，过滤器934设置在通道932与负压供应源933之间，以过滤吸入到吸入口931中的颗粒。

如上所述，在根据本发明第三实施方式的阵列测试装置中，当探针引脚60与电极E之间发生物理接触或电接触时，可以通过颗粒吸入单元93去除由探针引脚60和/或电极E所产生的颗粒。

下文将参照图12至图14具体说明根据本发明第四实施方式的阵列测试装置。在第四实施方式的说明中，相同的参考标记将用来标示与第一至第三实施方式中相同的部件，并省略对其不必要的进一步说明。

如图12至图14所示，在根据本发明第四实施方式的阵列测试装置中，去除探针引脚60与玻璃面板P的电极E之间的颗粒的颗粒去除单元90包括：吹气单元92，吹气单元92朝向玻璃面板P吹气；以及颗粒吸入单元93，颗粒吸入单元93吸入粘附到探针引脚60或玻璃面板P的电极E的颗粒。

在根据本发明第四实施方式的阵列测试装置中，当颗粒吸入单元93吸入颗粒以去除它们时，吹气单元92吹气以使颗粒从探针引脚60或电极E分开，使得可以易于将颗粒吸入到吸入口931中。因此，可以更有效地去除粘附到探针引脚60或电极E上的颗粒。

如上所述，根据本发明的阵列测试装置设置有颗粒去除单元90，颗粒去除单元90去除探针引脚60与玻璃面板P的电极E之间产生的颗粒，从而解决颗粒妨碍探针引脚60与电极E之间的电传输的问题，以及颗粒粘附到玻璃面板P上的其他部件而引起电误差的问题。

本发明实施方式中所描述的技术主旨可以独立地实施，或者也可以结合。另外，根据本发明的探针组件不仅可以用在向玻璃面板的电极施加电信号的装置中，也可以用在向各种基板的电极施加电信号以测试其缺陷的装置中。

Claims (7)

1.一种阵列测试装置，包括：

探针组件，所述探针组件安装在用于支撑所述探针组件的探针组件支撑框架上，其中：

所述探针组件上设置有探针棒，所述探针棒设置有将电信号施加至玻璃面板的电极的探针引脚；以及

在所述探针棒的预定侧面上设置有颗粒去除单元，所述颗粒去除单元去除所述探针引脚与所述玻璃面板的电极之间产生的颗粒。

2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述颗粒去除单元包括设置在所述探针棒的预定侧面上的磁性构件，所述磁性构件产生磁力。

3.根据权利要求2所述的阵列测试装置，其中，所述磁性构件包括电磁铁。

4.根据权利要求3所述的阵列测试装置，其中，所述探针组件支撑框架的预定侧面上设置有收集容器，所述收集容器接收从所述磁性构件去除的颗粒。

5.根据权利要求2所述的阵列测试装置，其中，所述颗粒去除单元包括用于吹气的吹气单元。

6.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述颗粒去除单元包括用于吸入颗粒的颗粒吸入单元。

7.根据权利要求6所述的阵列测试装置，其中，所述颗粒去除单元包括用于吹气的吹气单元。

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