CN102560639B - 防泄漏保护*** - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种防泄漏保护***，包括真空泵，真空泵分别通过旁路通阀和泵主阀连接多晶炉，管路支路一端与真空泵连接，管路支路另一端分别与两根滑动螺杆连接，起到防泄漏的作用。多晶炉还配合设置隔热门板，隔热门板与滑动螺杆之间设置密封圈，防止空气从隔热门板与滑动螺杆之间进入炉体。防泄漏保压***通过两种抽真空渠道使多晶炉的密封性得到了双保险，更好地确保多晶炉的生产品质。

Description

防泄漏保护***
技术领域
本发明涉及保护***，具体涉及一种多晶铸锭炉用防泄漏保护***。
技术背景
铸锭炉是专为太阳能工业设计的专用设备，是多晶硅铸锭的必需设备。多晶硅铸锭炉主要用于太阳能级多晶硅锭的大生产，它采用先进的多晶硅定向凝固技术，将硅料高温熔融后通过特殊工艺定向冷凝结晶，从而达到太阳能电池生产用多晶硅品质的要求，是一种适用于长时间连续工作，高精度、高可靠性、自动化程度高的智能化大生产设备。但是现有技术存在的多晶铸锭炉炉体密封性不是很好，影响产品质量。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是解决现有技术中存在的多晶铸锭炉炉体密封性不好的问题。
本发明提供一种防泄漏保护***，包括真空泵，真空泵分别通过旁路通阀和泵主阀连接多晶炉，管路支路一端与真空泵连接，管路支路另一端分别与两根滑动螺杆连接，起到防泄漏的作用。
多晶炉还配合设置隔热门板，隔热门板与滑动螺杆之间设置密封圈，防止空气从隔热门板与滑动螺杆之间进入炉体。
防泄漏保压***通过两种抽真空渠道使多晶炉的密封性得到了双保险，更好地确保多晶炉的生产品质。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明技术方案进行详细说明。
如图1所示，防泄漏保护***，包括真空泵1，真空泵1分别通过旁路通阀2和泵主阀3连接多晶炉6，管路支路4一端与真空泵1连接，管路支路4另一端分别与两根滑动螺杆5连接。多晶炉6还配合设置隔热门板，隔热门板与滑动螺杆5之间设置密封圈，防止空气从隔热门板与滑动螺杆5之间进入炉体。
多晶炉6运转过程中真空泵1处于常开状态，通过泵主阀3以及泵旁通阀2将多晶炉6内多余的气体抽走使多晶炉6内达到真空状态，大部分时间内可以做到防泄漏保压作用。
具体讲，当炉内压力大于40mbar泵主阀3就会打开，真空泵1通过泵主阀3降多余气体抽出，当炉内压力小于40mbar泵旁通阀2就会打开，真空泵1通过泵旁通阀2将多余气体抽出。管路支架4这条管路处于常开状态主要是将隔热门板与滑动螺杆5之间的气体抽走，防止外界气体从隔热门板与滑动螺杆5之间流向多晶炉6内。
防泄漏保压***通过两种抽真空渠道使多晶炉6的密封性得到了双保险，更好地确保多晶炉6的生产品质。
最后所应说明的是，以上实施例仅用于说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围中。

Claims (1)

1.防泄漏保护***，包括真空泵(1)，其特征在于，真空泵(1)分别通过旁路通阀(2)和泵主阀(3)连接多晶炉(6)，管路支路(4)一端与真空泵(1)连接，管路支路(4)另一端分别与两根滑动螺杆(5)连接，多晶炉(6)还设置隔热门板，隔热门板与滑动螺杆(5)之间设置密封圈。
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