CN102502043A - 溅射靶材包装箱 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种溅射靶材包装箱，包括：围箱，包括首尾相连并一体成型的侧板，所述侧板围成一容纳空间；位于所述容纳空间内的护体，所述护体的两侧支撑在所述侧板上；放置所述护体上并位于所述围箱中的底板；置于所述围箱顶部的盖板，所述盖板为框架式，所述盖板的每个边框设有锁扣孔或者锁扣；对应的，所述侧板设有与所述盖板的所述锁扣孔或者锁扣相配合的锁扣或者锁扣孔。本发明所述的溅射靶材包装箱，不受外力产生形变，降低靶材受损率；可以多次重复拆卸、安装，便于装运和使用灵活；承重能力强，包装箱能够多层叠放，节约靶材的存放空间。

Description

溅射靶材包装箱

技术领域

本发明涉及半导体制造靶材的包装领域，尤其涉及溅射靶材包装箱。

背景技术

为了防止运输过程中物件被损坏，通常要对物件进行包装，各类包装容器广泛的应用于各行各业，例如，用于装瓶的纸板木箱、塑料周转箱、塑料周转筐；用可移去的覆盖层来包装物件；用带绳或金属线对建筑块料及其他物件的捆扎包装等。

在半导体制造溅射靶材的包装领域中，现有的溅射靶材包装一般采用中空箱等普通箱体包装，溅射靶材包装箱一般采用纸质或是塑料材料。不论采用纸质还是塑料材料，现有的溅射靶材包装箱都存在强度较低，容易变形的问题，只适用于对普通靶材进行包装。当运输面积较大、且较薄的大型溅射靶材时，此溅射靶材包装箱起不到保护作用，因为，在搬运过程中，当此包装箱受外力作用时，用现有的溅射靶材包装箱包装大型溅射靶材，大型溅射靶材很容易受力不均，引发很多问题，例如，大型溅射靶材会从破损的普通包装箱缝隙中滑出、或者大型溅射靶材在破损的包装箱内发生碰伤、或者破损的包装箱使靶材在运输过程中变形，即货损率和包装运输成本高。而且应用现有的对靶材包装箱对大型溅射靶材进行包装，此溅射靶材包装箱的强度不能够支持对大型溅射靶材进行叠放，因此会对存放靶材的空间造成浪费或者受到场地的限制不能存放更多的靶材。

例如，有关靶材的包装箱可以参考授权公告号为CN201231873Y的中国实用新型，它只是提供了一种包装箱，不能解决在运输过程中包装箱容易破损，从而使大型溅射靶材受损的问题，即无法对大型溅射靶材起到很好的保护作用，同样，该实用新型所述包装箱会造成存放空间浪费或受场地限制的问题

发明内容

本发明解决的技术问题是大型溅射靶材在运输过程中包装箱容易出现破损，从而易使大型溅射靶材受损的问题。另外，本发明也解决现有的包装箱造成存放空间浪费或受场地限制的问题。

为解决上述问题，本发明提供一种溅射靶材包装箱，包括：

围箱，包括首尾相连并一体成型的侧板，所述侧板围成一容纳空间；

位于所述容纳空间内的护体，所述护体的两侧支撑在所述侧板上；

放置所述护体上并位于所述围箱中的底板；

置于所述围箱顶部的盖板，所述盖板为框架式，所述盖板的每个边框设有锁扣孔或者锁扣；对应的，所述侧板设有与所述盖板的所述锁扣孔或者锁扣相配合的锁扣或者锁扣孔。

可选的，所述护体通过螺连、焊接或是捆绑的方式固定在所述侧板上。

可选的，所述护体为护条、护管、护网或者护板；所述护体的材料为木头、竹、纸、塑料或者金属。

可选的，另包括底座，所述底座至少包括两个相隔离的工字钢。

可选的，所述围箱的材料为金属或塑料。

可选的，所述围箱的侧板为长方形、正方形或环形。

可选的，每个边框上设置的锁扣孔或者锁扣的数目为3～6个。

可选的，所述底板为长方形、正方形或圆形。

可选的，所述底板的材料为木头、竹、纸、塑料或者金属。

可选的，所述盖板包括盖板框、固定连接在盖板框之间的盖板护体和覆盖在盖板护体上的盖板片。

可选的，所述盖板护体为护条、护管、护网或者为护板；所述盖板护体采用的材料为木头、竹、纸、塑料或者金属。

可选的，所述盖板为长方形、正方形或圆形。

可选的，所述盖板边框的外侧边缘长度与所述围箱顶部内侧边缘长度相等。

与现有技术相比，本发明提供的溅射靶材包装箱，一体成型的围箱设计可以使箱体不因受外界外力的挤压或冲击而产生形变，降低靶材的受损率。

本发明提供的溅射靶材包装箱，围箱内设置护体，而且该护体的两侧支撑在所述侧板上，能够给大型溅射靶材以支持力，增加溅射靶材包装箱的强度，使大型溅射靶材不会因为在搬运过程中着力不均匀而变形，保证靶材在搬运途中的质量安全性，减少货损率和降低靶材运输成本。

本发明提供的溅射靶材包装箱，所述盖板边框的锁扣孔与相邻所述围箱侧板上的锁扣咬合或者所述盖板边框的锁扣与相邻所述围箱侧板上的锁扣孔咬合，可以有效固定大型溅射靶材包装箱的盖板和箱体的连接，可以防止大型溅射靶材在搬运途中滑出箱体和可以防止大型溅射靶材在搬运途中撞伤。同时，此溅射靶材包装箱上的锁扣孔与锁扣的咬合设计还可以多次重复拆卸、安装，便于装运和使用灵活。

本发明提供的溅射靶材包装箱，所述底座至少包括两个相隔离的工字钢，提高了大型溅射靶材包装箱的承重力，并且，当对大型溅射靶材用此包装箱进行打包时，上述包装箱的框架式的盖板位于所述围箱顶部，同样也提高了溅射靶材包装箱承重能力，确保了溅射靶材包装箱能够多层叠放，节约了靶材的存放空间。

所述盖板分为盖板框和放置在盖板框上的盖板片，所述框架式的盖板设计可以保证盖板片放置在盖板框上时能够表面平整美观，而且保证大型溅射靶材在上述溅射靶材包装箱中能更好的避免外力损害，降低包装和运输成本。

附图说明

图1为大型溅射靶材包装箱一个实施例的结构示意图；

图2为图1所示的大型溅射靶材包装箱除盖板以外部分的结构示意图；

图3为图1所示的大型溅射靶材包装箱盖板的结构示意图；

图4为另一实施例的大型溅射靶材包装箱除盖板以外部分的结构示意图；

图5为另一实施例的大型溅射靶材包装箱盖板的结构示意图；

图6为应用大型溅射靶材包装箱来包装大型溅射靶材的步骤流程图；

图7为大型溅射靶材包装件的结构示意图；

图8为另一方式的大型溅射靶材包装件的结构示意图；

图9为不锈钢板包装件的结构示意图。

具体实施方式

本发明提供了一种溅射靶材包装箱，通过利用一体成型的围箱内设有护体，而且该护体的两侧支撑在所述侧板上，增加溅射靶材包装箱的强度；此溅射靶材包装箱上的锁扣孔与锁扣的互相咬合设计可以使包装箱多次重复拆卸、安装，便于装运和使用灵活；所述底座至少有两个相隔离的工字钢，提高了溅射靶材包装箱的承重能力，上述包装箱的框架式的盖板位于所述围箱上同样也提高了溅射靶材包装箱承重能力和减小了靶材的受损率。

本发明的较佳实施例为一种应用工字钢作为底座、应用铝型材和铝塑板搭建的大型溅射靶材包装箱，应用上述材料制成的溅射靶材包装箱承重力强，灵活轻便，能够不易沾水、不易生锈、不易粘附纸屑。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图来对实施例进行具体说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。

图1至图3为本发明一个实施例的不同视图，其中，图1为本实施例大型溅射靶材包装箱的示意图，图2为本实施例大型溅射靶材包装箱除盖板以外部分的示意图，图3为本实施例大型溅射靶材包装箱盖板的示意图。

如图1所示，大型溅射靶材包装箱10用来包装长方形大型溅射靶材，因此大型溅射靶材包装箱10为长方体。大型溅射靶材包装箱10包括底座11、围箱12、固定围箱12内的护体13、盖板17、底板。

本实施例中，大型溅射靶材包装箱10的底座11由两个或多个相互隔离的工字钢组成，工字钢也称钢梁(英文名称I Beam)，是截面为工字形的长条钢材。工字钢耐受能力强，因此广泛用于各种建筑结构、桥梁、车辆、支架、机械等。本实施例中，工字钢应用于溅射靶材包装箱的底座，能够增强溅射靶材包装箱的承重能力。

如图1所示，大型溅射靶材包装箱10的底座11由三条工字钢组成，分别为第一底座11A、第二底座11B和第三底座11C。第一底座11A、第二底座11B和第三底座11C的长度相等，为大型溅射靶材包装箱10的宽度，第一底座11A、第二底座11B和第三底座11C的高度也相等。第一底座11A、第二底座11B和第三底座11C平行放置，并且第一底座11A、第二底座11B和第三底座11C间距相等。

本实施例的底座11由三条工字钢组成，在其它实施例中，底座也可以由两条工字钢或者三条以上的工字钢组成。底座的形状可以为方管、圆管、角铁、棒、杆。

如图1所示，大型溅射靶材包装箱10的围箱12是由一体成型的四个侧板围合而成，围箱12的材料可以为金属或者塑料。本实施例的围箱12较佳选用铝型材加工而成，由铝型材加工而成的一体的围箱12应用在溅射靶材包装箱中，当溅射靶材包装箱受外力挤压或是冲击时，能够使得大型溅射靶材包装箱坚固耐受，不容易变形而且相对轻便灵活，使大型溅射靶材在搬运的过程中，内部的大型溅射靶材不易破损与变形。当大型溅射靶材包装箱10被搬运至洁净车间时，大型溅射靶材包装箱能够不易沾水、不易生锈、不易粘附纸屑、不易粘附灰尘等。

如图1所示，围箱12的四个侧板分别为第一侧板12A、第二侧板12B、第三侧板12C和第四侧板12D。第二侧板12B的下方固定有底座11A，第四侧板12D的下方固定有底座11C。第一侧板12A与底座11垂直，第三侧板12C与底座11垂直。在四个侧板中的每一个侧板上设置3～6个锁扣15或者锁扣孔16(本实施例中锁扣孔16是形成在盖板17上)，上述设置在围箱12侧板上的锁扣15的位置靠近盖板17。如果每一个侧板上设置小于3个锁扣15，大型溅射靶材包装箱10的侧面承受能力差，使得大型溅射靶材10在运输过程中侧面受力不均匀容易变形。如果每一个侧板边上设置大于6个锁扣15，则对大型溅射靶材包装箱10的生产工艺造成浪费。

本实施例中，结合图1和图2，在围箱12四个侧板即第一侧板12A、第二侧板12B、第三侧板12C和第四侧板12D的靠近盖板17处各自设有5个锁扣15，以第一侧板12A为例进行详细说明，第一侧板12A靠近盖板17处有5个锁扣15，依次为锁扣15A1、锁扣15A2、锁扣15A3、锁扣15A4和锁扣15A5。其中锁扣15A3居于中间，锁扣15A1与锁扣15A5以锁扣15A3呈中心对称分布，锁扣15A2与锁扣15A4以锁扣15A3呈中心对称分布，锁扣15A1和锁扣15A2之间的距离等于锁扣15A4和锁扣15A5之间的距离。在第一侧板12A对称分布的锁扣设计可以应用较少的锁扣就能达到溅射靶材包装箱10侧面结构坚固的效果，提高大型溅射靶材包装箱10的侧面承受能力，使得大型溅射靶材在运输过程中受力均匀而不容易变形。

本实施例中，围箱12的侧板均为长方形，因此组成长方体式的大型溅射靶材包装箱用来运输长方形靶材。本实施例中此大型溅射靶材包装箱的宽度范围为80cm～160cm，长度范围为90cm～210cm，厚度范围为20mm～50mm。在其他实施例中，围箱12的侧板可以为正方形或环形等，可以运输正方形或是圆形等形状的大型溅射靶材。

结合图1和图2所示，大型溅射靶材包装箱10的围箱12之间设置有护体13。因为大型溅射靶材面积大，厚度薄，在长途运输中受外力冲撞或者挤压容易发生变形，在大型溅射靶材包装箱10的围箱12内设置的护体13可以使箱体的底部坚固，能够给箱体中的大型溅射靶材以足够的支持力，保证大型溅射靶材在箱体中平整的放置，使得大型溅射靶材不会因为在搬运过程中受力不均匀而变形，同时坚固的结构更能保证大型溅射靶材在搬运途中的安全性，降低大型溅射靶材的受损率。

护体13可以为护条、护管、护网或者为护板，护体13可以采用的材料为木头、竹、纸、塑料或者金属。在本实施例中，所述护体13较佳采用铝型材制作的护条，采用铝型材是为了使大型溅射靶材包装箱10的箱体坚固，不容易变形，质量轻便，干净，尤其当大型溅射靶材包装箱10搬运至洁净车间时，能够不易沾水、不易生锈、不易粘附纸屑、不易粘附灰尘等。

本实施例的护体13是由5～8根长度一样的条状铝型材组成，所述条状铝型材为护条14，如果护体13由少于5根的护条14组成，则护体13不能稳固的支撑大型溅射靶材，使得大型溅射靶材在搬运过程中容易受损。如果护体13由多于8根的护条14组成，则造成成本浪费。

在本实施例中，护体13由7根护条14组成。每根护条14都与底座11垂直，而且，护条14之间互相平行的固定连接在围箱12内。所述固定连接可以选用螺连、焊接或是捆绑。本实施例优选螺连，即通过螺栓与螺母的紧密配合将护条14的两端固定连接在围箱12内，具体为螺栓与螺母的紧密配合将侧板12B、护条14的一端和底座11A固定连接，并且将侧板12D、护条14的另一端和底座11C固定连接，底座11B通过螺栓与螺母的配合连接在护条14的中点部位。因此由7根护条14组成的护体13可以使溅射靶材包装箱的底部坚固，能够给箱体中的大型溅射靶材以足够的支持力，保证大型溅射靶材在箱体中平整放置，使得大型溅射靶材不会因为在搬运过程中着力不均匀而变形，减少大型溅射靶材的受损率。

所述底板(未图示)在围箱12的底部而且放置在护体13上，底板可以为长方形、正方形或圆形。底板的材料可以为木头、竹、纸、塑料或者金属。本实施例中，底板较佳为长方形的铝塑板，采用铝塑板，可以使大型溅射靶材包装箱结实而且质量较轻，而且不易沾水、不易生锈、不易粘附纸屑、不易粘附灰尘。底板的尺寸与围箱12所围的底面积尺寸一致，这样底板正好契合在围箱12的底部，底板与围箱12之间没有空隙，保证大型溅射靶材在搬运过程中，靶材不会因箱体的损坏而从箱体中滑出。

本实施例中，底板为长方形，其他实施例中，底板可以为正方形或者是圆形。当围箱所围的底面积为正方形时，底板为正方形；当围箱所围的底面积为圆形时，底板为圆形。

结合图1、图2和图3，本实施例中，盖板17为框架式，包括盖板框171、盖板护体172、盖板片173和固定在盖板17四周的锁扣孔16。图中锁扣15、锁扣孔16仅为示意，并非实际结构。

盖板框171的材料为铝型材。采用铝型材能够使大型溅射靶材包装箱结实、轻便、而且不易沾水、不易生锈、不易粘附纸屑、不易粘附灰尘。盖板框171为长方形，此盖板框171的大小与围箱12顶部面积的大小相匹配，即上述盖板17的外侧边缘长度与围箱12顶部的内侧边缘长度相等。上述设计，当盖板17覆盖围箱12时，盖板17位于所述围箱12顶部，当盖板17受外力挤压或冲击时，围箱12可以支撑盖板17，在大型溅射靶材的搬运过程中，保证了大型溅射靶材的安全性。

具体的，盖板框171共有四个边框，即第一边框171A、第二边框171B、第三边框171C和第四边框171D。本实施例中，围箱12的四个侧板设有锁扣15，则在盖板框171的四个边框设有锁扣孔16，每一个边框设置5个锁扣孔16，四个边框一共设置20个锁扣孔，以盖板框171的第一边框171A的5个锁扣孔为例、依次为锁扣孔16A1、锁扣孔16A2、锁扣孔16A3、锁扣孔16A4和锁扣孔16A5。其中锁扣孔16A3居于中间，锁扣孔16A1与锁扣孔16A5以锁扣孔16A3呈中心对称分布，锁扣孔16A2与锁扣孔16A4以锁扣孔16A3呈中心对称分布，锁扣孔16A1和锁扣孔16A2之间的距离等于锁扣孔16A4和锁扣孔16A5之间的距离。

第一边框171A的锁扣孔16与围箱12上第一侧板12A上的锁扣15是一一对应的，具体为第一侧板12A上的锁扣15A1与第一边框171A的锁扣孔16A1咬合、第一侧板12A上的锁扣15A2与第一边框171A的锁扣孔16A2咬合、第一侧板12A上的锁扣15A3与第一边框171A的锁扣孔16A3咬合、第一侧板12A上的锁扣15A4与第一边框171A的锁扣孔16A4咬合，第一侧板12A上的锁扣15A5与第一边框171A的锁扣孔16A5咬合。盖板17上其他边框的锁扣孔16与围箱12上的其他侧板的锁扣15也是一一对应咬合，当包装大型溅射靶材时，盖板17边框上的锁扣孔16与围箱12侧板上的锁扣孔15的对应咬合，将盖板17与围箱12紧密相连。

在本实施例中，第一边框171A对称分布的锁扣孔16也可以与围箱12上第三侧板12C上的对称分布的锁扣15一一对应咬合，与此同时，在第三边框171C对称分布的锁扣孔16也可以与围箱12上第一侧板12A上的锁扣15一一对应咬合。

在本实施例中，盖板框171为长方形，在其他实施例中，盖板框171还可以为正方形或是圆形。当大型溅射靶材包装箱10的围箱12顶面为正方形时，盖板框171为正方形；当围箱12顶面为圆形时，盖板框171为圆形。

本实施例中，在盖板框171上设有盖板护体172，盖板护体172的设置使得大型溅射靶材包装箱10的盖板17呈多格结构，上述结构保证放置在盖板框171上的盖板片173平整和美观，此盖板片173的作用为保护靶材在搬运过程中受外力作用时不易被损坏，降低大型溅射靶材的受损率。

盖板护体172由3～5根长度一样的条状铝型材组成。如果盖板护体172的护条数目小于3，则盖板17的承重能力较差，而且盖板片173在数量少的盖板护体172上不够平整；如果盖板护体172的护条数目大于5，则会造成生产大型溅射靶材包装箱工艺的浪费。本实施例较佳为由4根盖板护条组成盖板护体172。每根盖板护条都与底座11平行，而且，各盖板护条之间距离相等的固定连接在盖板框171边框上。所述固定连接可以选用螺连、焊接、或是捆绑。本实施例优选螺连，即通过螺栓与螺母的紧密配合将盖板护条的两端固定连接在盖板框171的第二边框171B和第四边框171D之间，在其他实施例中，每根盖板护条也可以都与底座11垂直，两端固定连接在盖板框171的第一边框171A和第三边框171C之间。

盖板片173放置在盖板护体172下方(如图3所示)，盖板片173可以为长方形、正方形或圆形。盖板片173的材料可以为木头、竹、纸、塑料或者金属。本实施例中，盖板片173较佳为长方形的铝塑板，采用铝塑板，可以使大型溅射靶材包装箱结实、质量较轻，而且不易沾水、不易生锈、不易粘附纸屑、不易粘附灰尘。盖板片173外侧尺寸与盖板框171内侧尺寸一致，盖板片173正好契合在盖板框171内，这样的设计可以保证大型溅射靶材在搬运过程中，靶材不会因箱体中存在缝隙或破损而从箱体中滑出。

每个大型溅射靶材重500公斤～1000公斤，现有的靶材包装箱只能采取单层放置，但是，本发明的盖板设计，可以使得大型溅射靶材包装箱10进行多层叠放，节约靶材的存放空间。本实施例中，大型溅射靶材包装箱10可以叠放2～4层，大大减少了靶材的存放空间。

下面通过另一个实施例来介绍大型溅射靶材包装箱。

图4为另一实施例大型溅射靶材包装箱除盖板以外部分的示意图；图5为另一实施例大型溅射靶材包装箱盖板的示意图。上一个实施例的大型溅射靶材包装箱围箱12的四个侧板各自设有5个锁扣15，盖板框171的四个边框各自设有5个锁扣孔16。在本实施例中，与上一个实施例的区别为大型溅射靶材包装箱围箱12’的四个侧板各自设有5个锁扣孔16，盖板框171’的四个边框各自设有5个锁扣15。

具体为如图4和图5所示，大型溅射靶材包装箱的围箱12’的四个侧板即第一侧板12A’、第二侧板12B’、第三侧板12C’和第四侧板12D’的靠近盖板17’处各自设有5个锁扣孔16。

如图4所示，第一侧板12A’靠近盖板17’处有5个锁扣孔16，依次为锁扣孔16A1、锁扣孔16A2、锁扣孔16A3、锁扣孔16A4和锁扣孔16A5。其中锁扣孔16A3居于中间，锁扣孔16A1与锁扣孔16A5以锁扣孔16A3呈中心对称分布，锁扣孔16A2与锁扣孔16A4以锁扣孔16A3呈中心对称分布，锁扣孔16A1和锁扣孔16A2之间的距离等于锁扣孔16A4和锁扣孔16A5之间的距离。在第一侧板12A’对称分布的锁扣孔设计同样可以应用较少的锁扣孔就能使溅射靶材包装箱侧面结构坚固的效果，提高大型溅射靶材包装箱的侧面承受能力，使得大型溅射靶材在运输过程中受力均匀而不容易变形。

结合图4和图5，围箱12’的侧板设有锁扣孔16时，盖板框171’的四个边框就设有锁扣15，所述盖板框171’的四个边框依次为第一边框171A’、第二边框171B’、第三边框171C’、第四边框171D’。每一个边框设置5个锁扣15，四个边框一共设置20个锁扣，以盖板框171’的第一边框171A’的5个锁扣为例，依次为锁扣15A1、锁扣15A2、锁扣15A3、锁扣15A4、锁扣15A5。其中锁扣15A3居于中间，锁扣15A1与锁扣15A5以锁扣15A3呈中心对称分布，锁扣15A2与锁扣15A4以锁扣15A3呈中心对称分布，锁扣15A1和锁扣15A2之间的距离等于锁扣15A4和锁扣15A5之间的距离。

第一边框171A’对称分布的锁扣15与围箱12’上第一侧板12A’上的锁扣孔16是一一对应的，具体为第一侧板12A’上的锁扣孔16A1与第一边框171A’的锁扣15A1咬合、第一侧板12A’上的锁扣孔16A2与第一边框171A’的锁扣15A2咬合、第一侧板12A’上的锁扣孔16A3与第一边框171A’的锁扣15A3咬合、第一侧板12A’上的锁扣孔16A4与第一边框171A’的锁扣15A4咬合，第一侧板12A上的锁扣孔16A5与第一边框171A’的锁扣15A5咬合。盖板17’上其他边框的锁扣15与围箱12’上的其他侧板的锁扣孔16也是一一对应，将盖板17’与围箱12’紧密相连。

在此实施例中，第一边框171A’对称分布的锁扣15也可以与围箱12’上第三侧板12C’上的对称分布的锁扣孔16一一对应咬合，与此同时，在第三边框171C’对称分布的锁扣15也可以与围箱12’上第一侧板12A’上的锁扣孔16一一对应咬合。

此实施例的大型溅射靶材包装箱的其他部分结构请参考本发明上一个实施例的描述。

因此，利用本发明所述的大型溅射靶材包装箱一体成型的围箱设计可以使得箱体不因受外界外力的挤压或冲击而产生形变。在围箱内设置的护体，能够给大型溅射靶材以支持力，增加溅射靶材包装箱的强度，使大型溅射靶材不会因为在搬运过程中着力不均匀而变形，保证靶材在搬运途中的质量安全性，减少货损率和降低靶材运输成本。

本发明所述的大型溅射靶材包装箱，所述盖板边框上的锁扣孔与相邻所述围箱侧板上的锁扣咬合或者所述盖板边框上的锁扣与相邻所述围箱侧板上的锁扣孔咬合，可以有效固定大型溅射靶材包装箱的盖板和箱体的连接，防止大型溅射靶材在搬运途中滑出箱体或在搬运途中撞伤。同时，此溅射靶材包装箱上的锁扣孔与锁扣的咬合设计可以多次重复拆卸、安装，便于装运和使用灵活。

本发明所述的大型溅射靶材包装箱，所述底座至少包括两个相隔的工字钢，提高了大型溅射靶材包装箱的承重力，并且，当对大型溅射靶材用此包装箱进行打包时，上述大型靶材包装箱的框架式的盖板位于所述围箱上同样也提高了溅射靶材包装箱承重能力，确保了溅射靶材包装箱能够多层叠放，节约了靶材的存放空间。

所述盖板为框架式保证大型溅射靶材在此溅射靶材包装箱中能够表面平整，美观、避免外力损害，降低包装和运输成本。

请再参阅图6，图6是应用本发明上述两个实施例的大型溅射靶材包装箱来包装大型溅射靶材的步骤流程图。

首先执行步骤S600，对长方形状的大型溅射靶材进行真空包装，形成大型溅射靶材包装件；

执行步骤S601，提供大型溅射靶材包装箱，将大型溅射靶材包装箱的底板设置减震防撞装置；

执行步骤S602，提供不锈钢板，将不锈钢板进行真空包装，形成不锈钢板包装件，在大型溅射靶材包装箱底部的缓冲层上放置上述不锈钢板包装件，将大型溅射靶材包装件放入不锈钢板包装件上，然后将上述靶材包装件与上述不锈钢板包装件进行螺接；

执行步骤S603，在大型溅射靶材的包装箱的围箱的侧壁与大型溅射靶材包装件的空隙处设置减震防撞装置；

执行步骤S604，在大型溅射靶材包装件的上面设置减震防撞装置；

执行步骤S605，在大型溅射靶材包装箱的围箱顶部盖上盖板，将围箱上的锁扣与盖板上的锁扣孔互相咬合或者将围箱上的锁扣孔与盖板上的锁扣互相咬合。

具体为，首先执行步骤S600，对长方形状的大型溅射靶材进行真空包装，形成大型溅射靶材包装件。

图7为本实施例的大型溅射靶材包装件示意图，结合图7，具体步骤为：

(1)提供大型溅射靶材70和包装袋C1，所述包装体C1由氧气透过量在5ml/m²·24hr·MPa、透湿量在3ml/m²·24hr以下的塑料膜制成，且所述塑料膜的一个或二个表面涂有例如为铜箔的涂覆层，其中氧气透过量的单位ml/(m²·24hr·MPa)含义为在恒定温度和单位压力差下，在稳定透过时，单位时间内透过塑料薄膜、铜箔、真空镀铜膜等材料单位面积的氧气的体积；透湿量的单位ml/(m²·24hr)含义为在恒定温度和水蒸气压力差下，在稳定透过时，单位时间内透过塑料薄膜、铜箔、真空镀铜膜等材料单位面积的水蒸气的体积。

(2)通过目视检查所述包装袋C1，确认包装袋C1表面没有划痕及明显破损，且包装膜内没有气泡、明显的颗粒杂质等。

(3)将大型溅射靶材70装入该包装袋C1中并放入干燥剂G1，放入袋装的干燥剂，是为了进一步减少包装袋内的水蒸气，更充分地确保包装袋内的干燥，防止大型溅射靶材氧化，所用干燥剂可为例如活性炭等不会对靶材性质产生影响的干燥剂。

(4)对所述包装袋C1进行真空处理；对真空处理后的所述包装袋C1进行密封。

上述实施例对大型溅射靶材进行单层包装，在其他实施例中也可以对大型溅射靶材进行多层包装，图8为另一个实施例的大型溅射靶材包装件示意图，结合图8，具体包装步骤包括：

(1)提供大型溅射靶材80及包装袋C2、C3；

(2)通过目视检查包装袋C2并将大型溅射靶材80装入包装袋C2中；

(3)对包装袋C2进行真空处理；

(4)对真空处理后的包装袋C2进行密封；

(5)通过目视检查包装袋C3并将大型溅射靶材80装入包装袋C3中并放入干燥剂G2；

(6)对包装袋C3进行真空处理；

(7)对真空处理后的包装袋C3进行密封。

使用由普通塑料膜制成的包装袋对大型溅射靶材进行包装时，由于普通塑料膜的氧气透过量、透湿量都比较大，如果保存时间过长，包装袋内的氧气累计含量、水蒸气累计含量超过一定限度时，包装袋内的大型溅射靶材表面就会氧化，形成氧化层。而且，如果对靶材的包装件不进行抽真空处理，包装后包装袋内会残留有部分空气，这部分残留空气会加速大型溅射靶材表面的氧化，氧化的大型溅射靶材表面金属特性发生变化，难以发生溅射，并且容易发生电弧放电，因而会造成溅射镀膜的质量下降。上述情况最终会造成产品合格率及生产效率下降。因此，包装大型溅射靶材时用氧气透过量在5ml/m²·24hr·MPa、透湿量在3ml/m²·24hr以下的塑料膜制成的包装袋进行包装。

然后，执行步骤S601，提供大型溅射靶材包装箱，在大型溅射靶材包装箱的底板设置减震防撞装置。这里选取的是长方体式的大型溅射靶材包装箱。此包装箱宽度为80cm，长度为90cm，厚度为20mm。

大型溅射靶材包装箱的箱体一般采用硬质材料制成，硬质的箱体可以使该包装箱不因受外界外力的挤压或冲击而产生形变，避免其中的大型溅射靶材受损。本实施例中，可以先在大型溅射靶材包装箱的底部设置减震防撞装置，例如铺上缓冲材料，上述缓冲材料可以为例如弹簧或者可以产生形变的泡沫材料、橡胶等。在搬动及运输大型溅射靶材包装箱的过程中，当有外力作用于箱体的底部时，缓冲材料进一步发生形变，可以对大型溅射靶材的底部起到缓冲的作用，避免大型溅射靶材在硬质的箱体内部受损。

之后，执行步骤S602，提供不锈钢板，将不锈钢板进行真空包装，形成不锈钢板包装件；在大型溅射靶材包装箱底部的缓冲层上放置上述不锈钢板包装件，将大型溅射靶材包装件放入不锈钢板包装件上，然后将上述靶材包装件与上述不锈钢板包装件进行螺接。

上述提供的不锈钢板为长方体，它的长度和大型溅射靶材的长度相等，它的宽度比大型溅射靶材的宽度短，它的厚度为8～10mm。上述的不绣钢板也是用塑料膜单独封装，并且进行真空处理形成不锈钢板包装件，这样的不锈钢板包装件与大型溅射靶材接触时，不会污染大型溅射靶材。图9为本实施例的不锈钢板包装件示意图，结合图9，形成不锈钢板包装件的具体过程为：

(1)提供不锈钢板90和包装袋C4。

(2)通过目视检查所述包装袋C4，确认包装袋C4表面没有划痕及明显破损，且包装膜内没有气泡、明显的颗粒杂质等。

(3)将不锈钢板90装入该包装袋C4中并放入干燥剂G3，放入袋装的干燥剂，是为了进一步减少包装袋内的水蒸气，更充分地确保包装袋内的干燥，防止大型溅射靶材氧化，所用干燥剂可为例如活性炭等不会对靶材性质产生影响的干燥剂。

(4)对所述包装袋C4进行真空处理。

(5)对真空处理后的所述包装袋C4进行密封。

之后，在大型溅射靶材包装箱的底部的缓冲层上放置上述不锈钢板包装件，将大型溅射靶材包装件放在不锈钢板包装件上。将上述不锈钢板的包装件与大型溅射靶材包装件背板的螺孔处对应螺接。通过螺接，不锈钢板包装件可以对大型溅射靶材包装件进行保护。

具体为，如果在大型溅射靶材包装件的底部设置不锈钢板包装件时，当将大型溅射靶材包装件从大型溅射靶材包装箱中取出或移至其他地方后，可以使得大型溅射靶材在搬运过程中受力均匀，而不容易变形或是破损。之所以不锈钢板的宽度比大型溅射靶材的宽度要短，是因为要在大型溅射靶材上给移取大型溅射靶材的机械装置留有余地，只有这样，才能保证机械装置在移取大型溅射靶材的过程中，机械装置不会对大型溅射靶材进行碰触等受力而使得上述靶材变形或者受损。

之后，执行步骤S603，在大型溅射靶材包装箱的围箱的侧壁与大型溅射靶材的空隙处设置减震防撞装置。

本实施例中，在围箱的侧壁与大型溅射靶材的空隙处设置减震防撞装置，例如在上述空隙处填充缓冲材料。上述缓冲材料可以是例如弹簧或者可以产生形变的泡沫材料、橡胶等。在搬动及运输大型溅射靶材包装箱的过程中，当有外力作用于箱体的侧壁时，缓冲材料进一步发生形变，可以对大型溅射靶材的侧壁起到缓冲的作用，避免大型溅射靶材在硬质的箱体内部受损。

之后，执行步骤S604，在大型溅射靶材的上面设置减震防撞装置。

在大型溅射靶材的上面设置减震防撞装置，例如在上述靶材上面加设缓冲材料。上述缓冲材料可以是例如弹簧或可以产生形变的泡沫材料、橡胶等。在搬动及运输大型溅射靶材包装箱的过程中，当有外力作用于箱体的顶部时，缓冲材料进一步发生形变，可以对大型溅射靶材的顶部起到缓冲的作用，避免大型溅射靶材在硬质的箱体顶部受损。

最后，执行步骤S605，在大型溅射靶材包装箱的围箱顶部盖上盖板，将围箱上的锁扣与盖板上的锁扣孔互相咬合或者将围箱上的锁扣孔与盖板上的锁扣互相咬合。

当大型溅射靶材包装箱的围箱顶部盖上盖板时，所述盖板放置在所述围箱顶部，当大型溅射靶材包装箱的盖板受力时，所述设计使得围箱可以支撑盖板，一方面在大型溅射靶材的搬运过程中，保证了大型溅射靶材的安全性，另一个方面，可以使得大型溅射靶材包装箱进行多层叠放，节约大型溅射靶材的存放空间。本实施例中，大型溅射靶材包装箱可以叠放2～4层，大大减少了大型靶材的存放空间。

上述盖板边框上的锁扣孔与相邻所述围箱侧板上的锁扣咬合设计或者盖板边框上的锁扣与相邻所述围箱侧板上的锁扣孔咬合设计可以防止大型溅射靶材在搬运途中滑出箱体和可以防止大型溅射靶材在搬运途中撞伤，使得大型溅射靶材包装箱箱体更加坚固。同时，此溅射靶材包装箱上的锁扣孔与锁扣的咬合设计可以多次重复拆卸、安装，便于装运和使用灵活。

通过上述各步骤，最终获得大型溅射靶材包装箱包装大型溅射靶材的方法。

本发明所述的溅射靶材包装箱，上述大型溅射靶材包装箱中一体成型的围箱设计可以使得箱体不因受外界外力的挤压或冲击而产生形变，降低靶材的受损率。

围箱内设置的护体能够给大型溅射靶材以支持力，增加溅射靶材包装箱的强度，使大型溅射靶材不会因为在搬运过程中受着力不均匀而变形，保证靶材在搬运途中的质量安全，减少货损率和降低靶材运输成本。

所述盖板边框上的锁扣孔与相邻所述围箱侧板上的锁扣咬合或者所述盖板边框上的锁扣与相邻所述围箱侧板上的锁扣孔咬合，可以有效固定大型溅射靶材包装箱的盖板和箱体的连接，可以防止大型溅射靶材在搬运途中滑出箱体和可以防止大型溅射靶材在搬运途中撞伤。同时，此溅射靶材包装箱上的锁扣孔与锁扣的咬合设计可以多次重复拆卸、安装，便于装运和使用灵活。

本发明所述的溅射靶材包装箱，所述底座至少包括两个相隔离的工字钢，提高了大型溅射靶材包装箱的承重力，并且，当对大型溅射靶材用此包装箱进行打包时，上述包装箱的框架式的盖板位于在所述围箱上同样也提高了溅射靶材包装箱承重能力，确保了溅射靶材包装箱能够多层叠放，节约了靶材的存放空间。

所述盖板为框架式保证大型溅射靶材在此溅射靶材包装箱中能够表面平整，美观、避免外力损害，降低包装和运输成本。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明的技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (13)

1.一种溅射靶材包装箱，其特征在于，包括：

围箱，包括首尾相连并一体成型的侧板，所述侧板围成一容纳空间；

位于所述容纳空间内的护体，所述护体的两侧支撑在所述侧板上；

放置所述护体上并位于所述围箱中的底板；

置于所述围箱顶部的盖板，所述盖板为框架式，所述盖板的每个边框设有锁扣孔或者锁扣；对应的，所述侧板设有与所述盖板的所述锁扣孔或者锁扣相配合的锁扣或者锁扣孔。

2.根据权利要求1所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，所述护体通过螺连、焊接或是捆绑的方式固定在所述侧板上。

3.根据权利要求1所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，所述护体为护条、护管、护网或者护板；所述护体的材料为木头、竹、纸、塑料或者金属。

4.根据权利要求1所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，另包括底座，所述底座至少包括两个相隔离的工字钢。

5.根据权利要求1所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，所述围箱的材料为金属或塑料。

6.根据权利要求1所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，所述围箱的侧板为长方形、正方形或环形。

7.根据权利要求1所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，每个边框上设置的锁扣孔或者锁扣的数目为3～6个。

8.根据权利要求1所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，所述底板为长方形、正方形或圆形。

9.根据权利要求1或8所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，所述底板的材料为木头、竹、纸、塑料或者金属。

10.根据权利要求1所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，所述盖板包括盖板框、固定连接在盖板框之间的盖板护体和覆盖在盖板护体上的盖板片。

11.根据权利要求10所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，所述盖板护体为护条、护管、护网或者为护板；所述盖板护体采用的材料为木头、竹、纸、塑料或者金属。

12.根据权利要求1所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，所述盖板为长方形、正方形或圆形。

13.根据权利要求1所述的溅射靶材包装箱，其特征在于，所述盖板边框的外侧边缘长度与所述围箱顶部内侧边缘长度相等。

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