CN102489875A - 一种利用柱面镜进行激光倾斜入射的能量补偿方法 - Google Patents
一种利用柱面镜进行激光倾斜入射的能量补偿方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102489875A CN102489875A CN2011103898304A CN201110389830A CN102489875A CN 102489875 A CN102489875 A CN 102489875A CN 2011103898304 A CN2011103898304 A CN 2011103898304A CN 201110389830 A CN201110389830 A CN 201110389830A CN 102489875 A CN102489875 A CN 102489875A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cylindrical mirror
- laser
- oblique incidence
- protruding cylindrical
- acting surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
本发明是一种利用柱面镜进行激光倾斜入射的能量补偿方法,本发明技术方案是在不改变激光光斑形状的要求下,提出一种利用单个柱面镜或者柱面镜组合的方式,通过对激光作用延伸方向进行预压缩的方式,实现倾斜入射作用区域等同于垂直入射的一种能量补偿方案,获得比常规补偿方法更灵活、不改变光斑形状的处理方法,对激光冲处理工艺等具有很好的参考价值,适用性广。
Description
技术领域
本发明是一种利用柱面镜进行激光倾斜入射的能量补偿方法,属于激光加工技术领域,在激光倾斜入射时,该方法引入柱面镜或者柱面镜组合,对激光光斑在某一方向按照一定比率进行压缩,保证激光投影区域功率密度保持恒定的技术。
背景技术
激光冲击处理等加工过程中,当激光倾斜入射到材料表面时,激光光斑在作用面上的投影会被拉长,假设作用面为平面,激光倾斜入射方向与激光作用面的法线的夹角为θ,则激光光斑面积与垂直照射相比会增大1/cosθ。如图1所示。当激光冲击处理复杂曲面结构时,激光入射角度可能随时发生变化,要保持激光作用区域的功率密度稳定或者光斑形状稳定时,需要采用能量补偿的方案。目前激光倾斜入射的激光冲击处理要保证功率密度稳定采用的方法一般是增加激光脉冲能量或者缩小激光光斑大小等方法,但采用双面强化时,不仅需要双面的功率密度匹配,还需要形状的匹配,需要有一种适用的功率密度补偿方法。
发明内容
本发明正是针对上述现有技术中存在的不足而设计提供了一种利用柱面镜进行激光倾斜入射的能量补偿方法,其目的是利用单个柱面镜或者双柱面镜组合的方式,对激光作用延伸方向进行预压缩,使倾斜入射作用区域等同于垂直入射的以实现能量补偿。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
在激光倾斜入射时,引入柱面镜或者柱面镜组合,对激光光斑在某一方向按照一定比率进行压缩,压缩比率按照激光倾斜入射方向与激光作用面的法线的夹角θ的cosθ计算,当激光倾斜入射方向与激光作用面的法线的夹角θ小于60°时,采用以下方法之一对激光倾斜入射的能量进行补偿:
(1)采用单个凸柱面镜I放置在激光对作用面的入射路径上,凸柱面镜I的焦距f为400~2000mm,凸柱面镜I的中心线平行于激光的入射方向,凸柱面镜I的中心点距离作用面的距离D1应满足以下公式:
D1=fcosθ 公式1
式中:
D1为凸柱面镜I的中心点距离作用面的距离
f为凸柱面镜I的焦距
θ为激光倾斜入射方向与激光作用面的法线的夹角
(2)将凸柱面镜II与凹柱面镜组合在一起,放置在激光对作用面的入射路径上,凸柱面镜II的焦距f1和凹柱面镜的焦距f2满足以下公式:
D2=f1-f2 公式2
f2/f1=cosθ 公式3
式中:
D2为凸柱面镜II和凹柱面镜的中心点之间的距离
f1为凸柱面镜II的焦距
f2为凹柱面镜的焦距
θ为激光倾斜入射方向与激光作用面的法线的夹角。
本发明技术方案的特点是在不改变激光光斑形状的条件下,利用单个柱面镜或者双柱面镜组合的方式,通过对激光作用延伸方向进行预压缩的方式,保证压束后激光保持原来的入射方向,实现倾斜入射作用区域等同于垂直入射,不改变光斑形状,比常规补偿方法更灵活,使激光冲处理工艺得到技术上的提升和进步,扩大了适用性。
附图说明
图1为激光倾斜入射时光斑面积的变化示意图
图2为采用单个凸柱面镜I的功率密度补偿方法的原理示意图
图3为采用凸柱面镜II与凹柱面镜组合方式的功率密度补偿方法的原理示意图
具体实施方式
以下将结合附图和实施例对本发明技术方案作进一步地详述:
参见附图2~3所示,该种利用柱面镜进行激光倾斜入射的能量补偿方法,其特征在于:当激光1倾斜入射方向与激光1作用面2的法线3的夹角θ小于60°时,采用以下方法之一对激光倾斜入射的能量进行补偿:
(1)采用单个凸柱面镜I4放置在激光1对作用面2的入射路径上,凸柱面镜I4的焦距f为400~2000mm,凸柱面镜I4的中心线平行于激光1的入射方向,凸柱面镜I4的中心点距离作用面2的距离D1应满足以下公式:
D1=fcosθ 公式1
式中:
D1为凸柱面镜I4的中心点距离作用面2的距离
f为凸柱面镜I4的焦距
θ为激光1倾斜入射方向与激光1作用面2的法线3的夹角。
在实际工作过程中,由于θ角产生变化,可以通过调节凸柱面镜I4离作用面的距离D1来使满足公式1的要求,使激光1在作用面2的投影始终与激光1作用在凸柱面镜I4前的最小截面相等,在激光脉冲能量稳定情况下,保证激光功率密度不变。
(2)将凸柱面镜II5与凹柱面镜6组合在一起,放置在激光1对作用面2的入射路径上,凸柱面镜II5的焦距f1和凹柱面镜6的焦距f2满足以下公式:
D2=f1-f2 公式2
f2/f1=cosθ 公式3
式中:
D2为凸柱面镜II5和凹柱面镜6的中心点之间的距离
f1为凸柱面镜II5的焦距
f2为凹柱面镜6的焦距
θ为激光1倾斜入射方向与激光1作用面2的法线3的夹角。
在实际工作过程中,一般取凸柱面镜II5与凹柱面镜6共焦点,保证压束后激光保持原来的入射方向。由于θ角产生变化,可以通过更换不同的凸柱面镜II5与凹柱面镜6的组合来满足公式2、3的要求,使激光1在作用面2的投影始终与激光1作用在凸柱面镜II5与凹柱面镜6的组合前的最小截面相等。
与现有技术相比,本发明技术方案提出了一种利用单个柱面镜或者柱面镜组合的方式,通过对激光作用延伸方向进行预压缩的方式,实现倾斜入射作用区域等同于垂直入射的一种能量补偿方案,获得比常规补偿方法更灵活、不改变光斑形状的处理方法,对激光冲处理工艺等具有很好的参考价值,适用性广。
Claims (1)
1.一种利用柱面镜进行激光倾斜入射的能量补偿方法,其特征在于:当激光(1)倾斜入射方向与激光(1)作用面(2)的法线(3)的夹角θ小于60°时,采用以下方法之一对激光倾斜入射的能量进行补偿:
(1)采用单个凸柱面镜I(4)放置在激光(1)对作用面(2)的入射路径上,凸柱面镜I(4)的焦距f为400~2000mm,凸柱面镜I(4)的中心线平行于激光(1)的入射方向,凸柱面镜I(4)的中心点距离作用面(2)的距离D1应满足以下公式:
D1=fcosθ 公式1
式中:
D1为凸柱面镜I(4)的中心点距离作用面(2)的距离
f为凸柱面镜I(4)的焦距
θ为激光(1)倾斜入射方向与激光(1)作用面(2)的法线(3)的夹角
(2)将凸柱面镜II(5)与凹柱面镜(6)组合在一起,放置在激光(1)对作用面(2)的入射路径上,凸柱面镜II(5)的焦距f1和凹柱面镜(6)的焦距f2满足以下公式:
D2=f1-f2 公式2
f2/f1=cosθ 公式3
式中:
D2为凸柱面镜II(5)和凹柱面镜(6)的中心点之间的距离
f1为凸柱面镜II(5)的焦距
f2为凹柱面镜(6)的焦距
θ为激光(1)倾斜入射方向与激光(1)作用面(2)的法线(3)的夹角。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011103898304A CN102489875A (zh) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | 一种利用柱面镜进行激光倾斜入射的能量补偿方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011103898304A CN102489875A (zh) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | 一种利用柱面镜进行激光倾斜入射的能量补偿方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102489875A true CN102489875A (zh) | 2012-06-13 |
Family
ID=46181759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2011103898304A Pending CN102489875A (zh) | 2011-11-25 | 2011-11-25 | 一种利用柱面镜进行激光倾斜入射的能量补偿方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102489875A (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102922142A (zh) * | 2012-10-30 | 2013-02-13 | 张立国 | 一种激光加工的方法 |
CN105586486A (zh) * | 2015-11-17 | 2016-05-18 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种激光冲击强化金属零件表面的功率密度补偿方法 |
CN108415878A (zh) * | 2018-01-26 | 2018-08-17 | 广州新可激光设备有限公司 | 一种激光设备打标边缘的速度增强优化方法 |
CN109117553A (zh) * | 2018-08-10 | 2019-01-01 | 广东工业大学 | 一种适用于等强度激光冲击的光束能量分布判定方法 |
CN112247365A (zh) * | 2020-10-29 | 2021-01-22 | 大连理工大学 | 一种纳秒脉冲激光倾斜加工烧蚀轮廓预测方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999006823A1 (en) * | 1997-08-01 | 1999-02-11 | Kla-Tencor Corporation | System for detecting anomalies and/or features of a surface |
JP2003066368A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射方法およびレーザ照射装置、並びに半導体装置の作製方法 |
CN1409382A (zh) * | 2001-09-25 | 2003-04-09 | 株式会社半导体能源研究所 | 激光照射方法和激光照射器件以及制造半导体器件的方法 |
JP2004273649A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Japan Science & Technology Agency | 端面励起微細ロッド型レーザー利得モジュール |
US20050115930A1 (en) * | 2003-12-02 | 2005-06-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method and method for manufacturing semiconductor device |
DE102005054396A1 (de) * | 2004-11-26 | 2006-06-01 | Giesecke & Devrient Gmbh | Markierung von Gegenständen mit Vielspiegelelementen |
-
2011
- 2011-11-25 CN CN2011103898304A patent/CN102489875A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999006823A1 (en) * | 1997-08-01 | 1999-02-11 | Kla-Tencor Corporation | System for detecting anomalies and/or features of a surface |
JP2003066368A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | レーザ照射方法およびレーザ照射装置、並びに半導体装置の作製方法 |
CN1409382A (zh) * | 2001-09-25 | 2003-04-09 | 株式会社半导体能源研究所 | 激光照射方法和激光照射器件以及制造半导体器件的方法 |
JP2004273649A (ja) * | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Japan Science & Technology Agency | 端面励起微細ロッド型レーザー利得モジュール |
US20050115930A1 (en) * | 2003-12-02 | 2005-06-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus, laser irradiation method and method for manufacturing semiconductor device |
DE102005054396A1 (de) * | 2004-11-26 | 2006-06-01 | Giesecke & Devrient Gmbh | Markierung von Gegenständen mit Vielspiegelelementen |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
何志刚等: "激光斜入射光阴极对束流质量的影响及其优化", 《强激光与粒子束》 * |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102922142A (zh) * | 2012-10-30 | 2013-02-13 | 张立国 | 一种激光加工的方法 |
CN105586486A (zh) * | 2015-11-17 | 2016-05-18 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种激光冲击强化金属零件表面的功率密度补偿方法 |
CN108415878A (zh) * | 2018-01-26 | 2018-08-17 | 广州新可激光设备有限公司 | 一种激光设备打标边缘的速度增强优化方法 |
CN109117553A (zh) * | 2018-08-10 | 2019-01-01 | 广东工业大学 | 一种适用于等强度激光冲击的光束能量分布判定方法 |
CN109117553B (zh) * | 2018-08-10 | 2023-04-18 | 广东工业大学 | 一种适用于等强度激光冲击的光束能量分布判定方法 |
CN112247365A (zh) * | 2020-10-29 | 2021-01-22 | 大连理工大学 | 一种纳秒脉冲激光倾斜加工烧蚀轮廓预测方法 |
CN112247365B (zh) * | 2020-10-29 | 2021-07-16 | 大连理工大学 | 一种纳秒脉冲激光倾斜加工烧蚀轮廓预测方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102489875A (zh) | 一种利用柱面镜进行激光倾斜入射的能量补偿方法 | |
WO2013015940A3 (en) | Laser with high quality, stable output beam, and long life high conversion efficiency non-linear crystal | |
CN201440566U (zh) | 一种具高波长转换效率的激光装置 | |
EP2498348A3 (en) | Spatial filters for high average power lasers | |
CN101806958A (zh) | 一种非稳腔激光器环形光束的中心部分重构方法及装置 | |
CN101854031A (zh) | 平行平板棱镜组实现半导体激光束耦合的激光装置 | |
WO2010111094A3 (en) | Intracavity harmonic generation using a recycled intermediate harmonic | |
CN102044826A (zh) | 一种光纤激光器 | |
CN101738654B (zh) | 一种产生无衍射光的光学元件 | |
CN102593707A (zh) | 一种可以输出圆环状激光分布的固体激光振荡器 | |
CN101710669B (zh) | 双输出端面泵浦全固态激光器 | |
CN103151700B (zh) | 一种具有多波长输出的角动量可调谐全固态激光器 | |
CN100456579C (zh) | 一种端面泵浦板条激光器件 | |
CN202059040U (zh) | 一种线形腔被动调q光纤激光器 | |
CN102323705A (zh) | 平面镜拼接大口径光栅脉冲压缩器 | |
CN201541050U (zh) | 双输出端面泵浦全固态激光器 | |
CN102882117B (zh) | 一种全固态皮秒激光多通放大器 | |
CN105098591A (zh) | 波长锁定ld共振泵浦连续波自拉曼激光器 | |
CN204905651U (zh) | 一种远距离匀化光斑的半导体激光器*** | |
CN204793606U (zh) | 一种晶体长度可调的微片激光器 | |
CN202119983U (zh) | 一种大功率半导体激光列阵光束准直装置 | |
CN103779779B (zh) | 一种实现激光光束波前球差动态补偿的装置及其方法 | |
CN202840237U (zh) | 利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置 | |
CN202434882U (zh) | 一种控制声波渡越时间的高峰值功率声光调q激光器 | |
CN101264552A (zh) | 水松纸激光切割头 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20120613 |