CN102344576A - 流延装置及溶液制膜方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种流延装置及溶液制膜方法，溶液制膜设备(10)的流延装置(15)具备带(30)和第1上游域供排气单元(41)。带(30)是形成为环状的无端的流延支撑体。第1上游域供排气单元(41)具有供气部(61)和1对遮风板(62)。供气部(61)具有供气导管(66)。供气导管(66)在与带(30)对置的底面具有多个喷嘴(67)。供气部(61)从多个喷嘴(67)在相对于流延膜(36)的膜面垂直的方向上吹出气体。各遮风板(62)配设于流延膜(36)侧缘的通过管路上或者比该通过管路更靠近宽度方向的内侧。

Description

流延装置及溶液制膜方法

技术领域

本发明涉及一种用于由浓液形成用作相位差膜的膜的流延装置及溶液制膜方法。

背景技术

通常，液晶显示器上使用相位差膜，由于液晶显示器的大画面化和高精细化，对相位差膜所要求的质量也越来越严格。作为所要求的质量备受重视的是光学特性，作为光学特性有Re、Rth、慢轴的方向(取向角)的均匀性等。其中，对慢轴的方向的均匀性的要求非常严格。具体而言，要求在长形膜中的宽度方向上，将慢轴的偏离量(以下称为轴偏离量)相对于目的慢轴的方向抑制在-1.5°以上1.5°以内的范围，进一步要求在膜整个区域将轴偏离量抑制在-1°以上1°以内的范围，优选抑制在-0.4°以上0.4°以内。另外，Re是膜面内的光学各向异性，Rth是膜面内和膜厚方向的光学各向异性。对于连续进行膜制造而得到的长形膜，在将nx设为膜的长边方向的折射率、ny设为膜的宽度方向的折射率、nz设为膜的厚度方向的折射率、d设为膜的厚度时，分别以如下公式求出Re和Rth。

Re＝(ny-nx)×d

Rth＝((ny+nx)/2-nz)×d

作为制造用作相位差膜的膜的方法，从上述那样的光学特性观点出发，可以说溶液制膜方法为较佳。相位差膜的市场越来越扩大，随着该市场的扩大，溶液制膜中膜的制造效率也需要提高。

溶液制膜方法在工业上以连续方式进行。即，连续进行流延浓液而作为流延膜并剥离流延膜为止的流延工序和对已剥离的流延膜即膜进行干燥的干燥工序。流延工序和干燥工序中提高流延工序中的速度关系到制造效率的提高。

因此，为了提高流延膜的干燥速度，以往使风像日本专利公开昭61-110520号公报或日本专利公开昭64-055214号公报那样流动。在日本专利公开昭61-110520号公报中，使干燥风相对于流延膜平行地流动，并使其干燥风以相对于流延膜的行进方向成为逆流或顺风的方式流动。另外，在日本专利公开昭64-055214号公报中，对在行进的支撑体上由特定浓液形成的流延膜喷吹垂直于流延膜的干燥风。

此外，在日本专利公开昭64-055214号公报中，为了干燥而对流延膜喷吹风，将风的方向与支撑体表面所成的角设为45°～80°或90°。在日本专利公开2003-103544号公报中，将从喷嘴朝向流延膜送出的风的方向设为45°～90°。

然而，通过吹送风而使流延膜干燥的方法中，为了有效果甚至高效率地进行其干燥，加热作为风喷吹的空气并使其变暖。如此，若将已加热的空气吹送至流延膜，则支撑体中未形成有流延膜的露出部分会慢慢升温。若支撑体的露出部分的温度过度升高，则流延膜的各侧部的温度也过度上升，产生起泡。

因此，为了防止因向流延膜喷吹的风引起这种支撑体侧部的露出部分的温度上升，在日本专利公开2005-047141号公报中，设置遮风板，以免风接触到支撑体的露出部分。

然而，使风相对于流延膜平行地流动的方法与不喷吹风的情况相比，干燥速度较快，但存在在流延膜上产生向流延方向延伸的细小条纹之类的问题。并且，在日本专利公开2003-103544号公报中，若对流延膜垂直地喷吹风，则导致在风接触到流延膜之后朝向上游侧。被指出因该流动而引起膜厚变得不均匀的情况。

在此，日本专利公开2003-103544号公报的方法中，为了进一步加快干燥速度就要提高所喷吹的气体的温度。但是，若如此提高气体温度，则在反复进行流延和剥离期间，有时支撑体的温度在宽度方向上变得不均匀，所得到的膜的光学特性、尤其是轴偏离量变得较大且在宽度方向上不均匀，或者支撑体的侧部逐渐翘曲。支撑体一旦开始翘曲，则其翘曲随着继续行进而慢慢变大，行进中的矫正几乎是不可能的。并且，近年来，还有对膜的宽幅化的要求，以上的问题在伴随膜的宽幅化的支撑体的宽幅化或用于谋求进一步提高制造效率的支撑体的长形化上，变得更加显著。另外，在日本专利公开2005-047141号公报的方法中，气体相对于流延膜并行地流动于1对遮风板的一方与另一方之间，因此，气体的温度在流延膜的宽度方向上变得不均匀。由于气体的温度在流延膜的宽度方向上变得不均匀，存在膜的光学特性中尤其是轴偏离量在宽度方向上变得不均匀的问题。

发明内容

因此，鉴于上述问题，本发明的目的在于提供一种为了提高基于溶液制膜的膜制造效率而谋求进一步提高流延膜的干燥速度，并且谋求膜的慢轴的方向在宽度方向上的均匀化，从而防止支撑体的翘曲的流延装置和溶液制膜方法。

为了解决上述课题，本发明的流延装置具备流延支撑体、第1供气部及1对第1遮风部件。流延支撑体为环状。所述流延支撑体在流延浓液的流延面形成流延膜。所述流延支撑体向长边方向连续行进，并以从剥离位置返回流延位置的方式循环。剥离位置是剥下所述流延膜的位置。所述流延位置是流延所述浓液的位置。所述第1供气部送出已加热气体。所述第1供气部从与所述流延支撑体对置的开口送出所述气体。所述第1供气部向相对于所述流延膜的膜面垂直的方向送出所述气体。所述1对第1遮风部件沿所述流延支撑体的行进路延伸。所述第1遮风部件配设于所述流延膜侧缘的通过管路上或比所述通过管路更靠近所述流延支撑体的宽度方向的内侧。所述第1遮风部件抑制所述气体从所述流延膜的膜面附近向所述流延支撑体侧部的露出部分流出。

优选所述第1供气部具有供气导管和多个喷嘴。所述供气导管的底面与所述流延支撑体对置而配设，以便覆盖所通过的所述流延膜。所述喷嘴向所述供气导管的所述底面突出而设置。所述多个喷嘴在所述流延支撑体的行进方向上隔开间隔而排列。所述开口设置于所述喷嘴的前端。所述开口为向所述流延支撑体的宽度方向延伸的狭缝状。所述遮风部件设置于距所述流延面的高度低于所述供气导管的位置。

优选流延装置还具备排气部。排气部从多个开口吸引所述流延膜周边的气氛。所述排气部设置于高于所述遮风部件的位置。排气部的所述多个开口在各个所述喷嘴与所述喷嘴之间对置而设置。

优选流延装置具备第2供气部和第2遮风部件。所述第2供气部送出已加热气体。所述第2供气部夹着所述流延支撑体并与所述第1供气部对置而设置。所述第2供气部从与所述流延支撑体对置的开口送出所述气体。所述第2供气部向相对于所述流延支撑体垂直的方向送出所述气体。所述第2遮风部件沿所述流延支撑体的行进路延伸。所述第2遮风部件夹着所述流延支撑体并与所述第1遮风部件对置而设置。所述第2遮风部件抑制所述气体从所述第2供气部向非流延面中对应于所述露出部分的侧部流出。所述非流延面为所述流延面的相反侧表面。

优选流延装置在所述第1供气部的下游具备第3供气部。所述第1供气部设置于所述流延支撑体使所述流延面朝上而行进的第1行进区域。所述第3供气部具有朝向所述流延支撑体的行进方向上的上游侧的开口。所述第3供气部从所述开口送出成为与所通过的所述流延膜的膜面平行的逆流的气体。

优选所述第3供气部设置于所述流延支撑体使所述流延面朝下而行进的第2行进区域。

本发明的溶液制膜方法具备流延膜形成步骤(A步骤)、剥离后的干燥步骤(B步骤)、剥离前的干燥步骤(C步骤)及抑制步骤(D步骤)。A步骤，在向长边方向连续行进的环状流延支撑体上流延浓液而形成流延膜。B步骤，从所述流延支撑体剥下所述流延膜并进行干燥。对剥下所述流延膜之后的所述流延支撑体再次进行所述A步骤。C步骤在相对于所述流延膜的膜面垂直的方向上喷吹气体来对所述流延膜进行干燥。D步骤在所述C步骤中进行。D步骤通过1对第1遮风部件抑制所述气体从所述流延膜的膜面附近向所述流延支撑体侧部的露出部分流出。所述1对第1遮风部件配设于所述流延膜侧缘的通过管路上或比所述通过管路更靠近所述流延支撑体的宽度方向的内侧。所述第1遮风部件沿所述流延支撑体的行进路延伸。

优选从具有供气导管和在前端形成有开口的多个喷嘴的第1供气部的所述开口送出所述气体。所述供气导管的底面与所述流延支撑体对置而配设，以便覆盖所通过的所述流延膜。所述喷嘴向所述供气导管的所述底面突出而设置。所述多个喷嘴在所述流延支撑体的行进方向上隔开间隔而排列。所述开口为向所述支撑体的宽度方向延伸的狭缝状。所述遮风部件设置于距流延面的高度低于所述供气导管的位置。所述流延面是所述流延支撑体中流延所述浓液的表面。

优选在高于所述第1遮风部件且与各个所述喷嘴与所述喷嘴之间对置的位置，吸引所述流延膜周边的气氛。

优选溶液制膜方法还具备以下E步骤和F步骤。E步骤对正从所述第1供气部被喷吹所述气体的所述流延膜喷吹已加热气体来使所述流延膜的温度升温。该E步骤的所述气体向相对于非流延面垂直的方向喷吹。所述非流延面是所述流延支撑体的所述流延面的相反侧的表面。F步骤通过第2遮风部件抑制所述气体向所述非流延面中对应于所述露出部分的侧部流出。所述第2遮风部件沿所述流延支撑体的行进路延伸。所述第2遮风部件夹着所述流延支撑体并与所述第1遮风部件对置而设置。

优选溶液制膜方法具备以下G步骤。G步骤在所述C步骤之后进行。G步骤通过送出成为与所述膜面平行的逆流的气体来对所述流延膜进行干燥。所述C步骤对使所述流延面朝上而行进的所述流延支撑体上的所述流延膜进行。

优选所述G步骤对使所述流延面朝下而行进的所述流延支撑体上的所述流延膜进行。

发明的效果

根据本发明，由于提高基于溶液制膜的膜制造效率，因此能够谋求进一步提高流延膜的干燥速度，并且慢轴在膜的宽度方向上变得均匀而轴偏离量降低，并且防止支撑体的翘曲。

附图说明

本领域技术人员通过参考附图并阅读优选实施例的详细说明，可以容易理解上述目的及优点。

图1是溶液制膜设备的概要图。

图2是第1上游域供排气单元的侧面概要图。

图3是第1上游域供排气单元的俯视概要图。

图4是沿图3及图4的IV-IV线的截面图。

图5是第2上游域供排气单元的侧面概要图。

具体实施方式

优选通过图1所示的溶液制膜设备10实施本发明的第1实施方式。溶液制膜设备10从上游侧依次具备流延装置15、第1拉幅机17、辊干燥装置21、第2拉幅机23、分切机26及卷取装置27。流延装置15由聚合物溶解于溶剂中的浓液11形成聚合物膜(以下，仅称为“膜”)12。第1拉幅机17以作为保持机构的夹子16保持膜12的各侧部的同时进行膜12的干燥。辊干燥装置21以多个辊20支撑膜12的同时进行干燥。第2拉幅机23以作为保持机构的夹子22保持膜12的各侧部，对膜12赋予宽度方向上的张力。分切机26切除通过第1拉幅机17的夹子16和第2拉幅机23的保持机构22保持的各侧部的保持痕迹。卷取装置27将膜12卷绕于卷芯上，并作成辊状。

另外，在本说明书中，溶剂含有率(单位；％)是干量基准的值。具体而言，将溶剂的质量设为x、膜12的质量设为y时，溶剂含有率(单位；％)为以{x/(y-x)}×100求出的百分率。

流延装置15具备形成为环状的作为无端流延支撑体的带30、沿周向旋转的第1辊31及第2辊32。带30卷绕于第1辊31和第2辊32的周面上。第1辊31和第2辊32中至少任意一方为具有驱动机构的驱动辊即可。通过该驱动辊沿周向旋转来传送接触于周面的带30。通过该传送，带30循环且向长边方向连续行进。

在带30的上方具备流出浓液11的流延模35。通过从流延模35向被传送的带30连续流出浓液11，浓液11在带30上流延而形成流延膜36。另外，以下将浓液11开始接触于带30的位置称为流延位置PC。

第1辊31和第2辊32分别具备控制周面温度的温度控制器(未图示)。第1辊31以周面温度成预定范围的方式冷却。通过冷却第1辊31，带30按每1周冷却。由此，即使连续行进而被后述的第1上游域供排气单元41、第1下游域供排气单元42及第2下游域供排气单元43持续加热，也可更可靠地防止带30的两侧部30s(参考图3)的温度上升。流延模35设置于第1辊31上的带30的上方，流延位置PC设为第1辊31上。第2辊32以周面温度成为预定范围的方式加热。通过加热第2辊32，更有效地干燥流延膜36。

优选第1辊31的周面温度设为3℃以上30℃以下的范围，更优选5℃以上25℃以下的范围，进一步优选8℃以上20℃以下的范围。优选第2辊32的周面温度设为20℃以上50℃以下的范围，更优选25℃以上45℃以下的范围，进一步优选30℃以上40℃以下的范围。

流延模35不限于设置在位于第1辊31上的带30的上方的形态。例如，可以设置在从第1辊31朝向第2辊32的带30的上方。此时，优选在从第1辊31朝向第2辊32的带30的下方配设辊33，并在由辊33支撑的带30的上方配设流延模35。

关于从流延模35至带30的浓液11、即所谓液珠，虽然在带30的行进方向上的上游设置减压室，但省略图示。该减压室吸引从流延模35流出的浓液11的上游侧区的气氛并对所述区进行减压。

将流延膜36固化至可向第1拉幅机17传送的程度之后，以包含溶剂的状态从带30剥下。优选在溶剂含有率优选为20质量％以上50质量％以下的范围、更优选为25质量％以上45质量％以下的范围进行剥离。通过在达到50质量％这样的低溶剂含有率之后剥离，与以大于50质量％的溶剂含有率剥离时相比，能够使慢轴的方向更可靠地均匀。另外，以20质量％以上剥离时，与以不到20质量％剥离时相比，能够更可靠地提高制造效率。

剥离时，用剥离用辊(以下，称为剥离辊)37支撑膜12，将从带30剥下流延膜36的剥离位置PP保持为恒定。剥离辊37也可以是具备驱动机构并沿周向旋转的驱动辊。另外，剥离在第1辊31上的带30上实施。若带30循环而从剥离位置PP返回到流延位置PC，则再次流延新的浓液11。

带30的行进路中流延浓液11的带30的流延面朝上而行进的第1行进区域，包含流延膜形成区域中的上游域。流延膜形成区域为从流延位置PC至剥离位置PP的区域。另外，带30的行进路中带30使流延面朝下而行进的第2行进区域，包含流延膜形成区域中的下游域。

在带30的第1行进区域中比流延位置PC更靠近下游处具备第1上游域供排气单元41。该第1上游域供排气单元41的下游具备有2个下游域供排气单元，即第1下游域供排气单元42和第2下游域供排气单元43。如此，沿着带30的行进路，从上游侧依次设置有第1上游域供排气单元41、第1下游域供排气单元42及第2下游域供排气单元43。另外，下游域供排气单元的数量并不限定于2，也可以是1或3以上。对第1上游域供排气单元41，将利用其他附图进行后述。

第1下游域供排气单元42具备流出已干燥气体的供气部46、吸引气体并排气的排气部47及控制器48。控制器48向供气部46送出气体，并独立调整其气体的温度、湿度、来自供气部46的流量及排气部47中的吸引力。第2下游域供排气单元43也与第1下游域供排气单元相同，具备供气部49、排气部50及控制器51。

供气部46、49配设于带30的第2行进区域中比剥离位置PP更靠近上游的位置。排气部47配设于供气部46的上游，排气部50配设于供气部49的上游。流出气体的供气部46、49的各流出口46a、49a和吸引气体的排气部47、50的各吸引口47a、50a均为向带30的宽度方向延伸的狭缝状开口。供气部46、49以流出口46a、49a朝向带30行进方向上的上游侧的方式配设。排气部47、50以吸引口47a、50a与带30对置的方式配设。

通过如上配设供气部46、49和排气部47、50，来自供气部46、49的气体以相对于被传送而通过的流延膜36的膜面平行的逆流方式流动。通过设为逆流，能够比顺风更有效地干燥流延膜36。

从第2辊32朝向剥离位置PP的带30因为在朝向下方的带面上形成有流延膜36，所以无法用支撑机构从下方支撑。因此，从第2辊32朝向剥离位置PP的带30采取因自重而向下突出的行进路径。另外，在干燥效率这一点上，向相对于流延膜36垂直的方向喷吹气体的情况比并行流动的情况更优异。然而，为了以比并行流动时更能提高干燥效率的程度的流量向垂直方向喷吹气体，需要在流延膜36的下方设置较多的供气机构。供气机构配设得越多，供气机构与带30相接触的担忧就越高。因此，通过将供气部46、49均配设于从第2辊32朝向剥离位置PP的带30的下方，以平行的逆流气体对从第2辊32朝向剥离位置PP的流延膜36进行干燥。

但是，用于流出相对于流延膜36平行的逆流气体的下游域供排气单元的数量，并不像本实施方式那样限定于2，也可以是1或3以上。

本实施方式中，通过控制器48和控制器51分别独立地控制第1下游域供排气单元42和第2下游域供排气单元43，但也可以通过1个控制器(图示)独立地控制。

来自供气部46、49的气体通过控制器48、51加热。通过使如此加热的温风在流延膜36上流动，加热流延膜36，并进行干燥。

在流延装置15与第1拉幅机17之间的传送路上也可配设送风装置(未图示)。通过来自该送风装置的送风来进行膜12的干燥。

用剥离辊37剥离流延膜36。被剥离的流延膜36、即膜12被引导至第1拉幅机17。

第1拉幅机17用夹子16保持膜12并沿长边方向传送，同时赋予宽度方向上的张力，扩展膜12的宽度。第1拉幅机17上从上游侧依次形成有预热区、拉伸区及松弛区。另外，也可没有松弛区。

第1拉幅机17具备1对导轨(未图示)及链条(未图示)。导轨设置于膜12的传送路两侧，1对导轨以预定间隔分隔而配设。该导轨间隔在预热区中为恒定，在拉伸区中随着朝向下游而逐渐变宽，在松弛区中为恒定。另外，松弛区的导轨间隔也可随着朝向下游而逐渐变窄。

链条架设于驱动链轮及从动链轮(未图示)，且沿导轨移动自如地安装。多个夹子16以预定间隔安装于链条上。通过驱动链轮的旋转，夹子16沿导轨循环移动。

夹子16在第1拉幅机17的入口附近开始保持被引导过来的膜12，并朝向出口移动，在出口附近解除保持。解除保持的夹子16再次移动至入口附近，保持重新引导过来的膜12。

预热区、拉伸区及松弛区根据来自导管54的干燥风的送出而作为空间形成，并没有明确的边界。导管54设置于膜12的传送路上方。导管54具有送出干燥风的狭缝，从送风机(未图示)供给。送风机将调整为预定温度或湿度的干燥风送至导管54。导管54以狭缝与膜12的传送路对置的方式配设。各狭缝为沿膜12的宽度方向较长地延伸的形状，在传送方向上相互隔开预定间隔而形成。另外，可将具有相同结构的导管设置在膜12的传送路的下方，也可设置在膜12的传送路的上方和下方双方。

在该第1拉幅机17中，边传送膜边通过来自导管54的干燥风进行干燥，同时通过夹子16在预定时刻改变宽度。

优选拉伸区中膜12的溶剂含有率为7质量％以上30质量％以下。优选拉伸处理时的拉伸率ER1(＝{(拉伸后的宽度)/(拉伸前的宽度)}×100)大于5％且在30％以下。优选拉伸处理中膜12的温度在80℃以上160℃以下。

辊干燥装置21的内部气氛，其温度或湿度等通过空调机(未图示)调节。在辊干燥装置21中，膜12被卷绕于多个辊20上而被传送。在辊干燥装置21中，也从膜12蒸发溶剂。优选在辊干燥装置21中，干燥工序进行至溶剂含有率成为5质量％以下。

另外，当从辊干燥装置21送出的膜12卷曲时，可在辊干燥装置21与第2拉幅机23之间设置卷曲矫正装置(未图示)。卷曲矫正装置矫正卷曲，并使膜12平坦。

第2拉幅机23向宽度方向拉伸膜12。通过该拉伸，成为具有所希望的光学特性的膜12。所得的膜12例如作为相位差膜利用。第2拉幅机23具有与第1拉幅机17相同的结构。另外，设置于第2拉幅机23的导管55从狭缝(未图示)流出加热成预定温度的干燥风，并朝向膜12流动。

优选第2拉幅机23中的拉伸时的拉伸率ER2(＝{(拉伸后的宽度)/(拉伸前的宽度)}×100)大于10％以上且在40％以下。优选拉伸开始时膜12的溶剂含有率在3质量％以下。优选拉伸时膜12的温度在130℃以上200℃以下。

根据作为制造目的的膜12的光学特性，可以不使用第2拉幅机23。例如，在基于第1拉幅机17的拉伸中显现作为目的的特性时，可以不使用第2拉幅机23。

若膜12被引导过来，则第2拉幅机23的下游的分切机26切除包含因第1拉幅机17或第2拉幅机23的各夹子16、22产生的保持痕迹的侧部。将切除侧部的膜12送至卷取装置27，并卷取成辊状。另外，在流延装置15与第1拉幅机17之间或第1拉幅机17与辊干燥装置21之间也可以设置分切机。

参考图2～图4，对第1上游域供排气单元41进行说明。另外，为了避免图的繁杂化，在图3、图4中省略第1辊31的图示。

第1上游域供排气单元41设置于流延位置PC的下游，具备供气部61、作为遮风部件的遮风板62及排气部63。供气部61向相对于在带30上形成的流延膜36的膜面垂直的方向喷吹气体。如图3所示，形成于流延模35的狭缝状的浓液流出口35a的长度小于带30的宽度。由此，流延膜36形成于带30的宽度方向上的中央部30c，以便带30的侧部30s露出。遮风板62抑制气体从流延膜36的膜面附近向带30侧部的露出部分流出。排气部63吸引流延膜36周边的气氛。以下分别对这些供气部61、遮风板62、排气部63进行详细说明。

供气部61具有供气导管66、设置于供气导管66上的多个喷嘴67、送风机68及送风控制器69。送风机68向供气导管66送出气体。送风控制器69控制从送风机68向供气导管66送出的气体的温度、湿度及流量。通过该控制调整来自喷嘴67的气体的流量及流速。气体通过送风控制器69加热。通过将已加热气体作为温风并喷吹至流延膜36吹出来进行流延膜36的干燥。

供气导管66是底面66a与带30对置，以便覆盖所通过的流延膜36的箱状导管。多个喷嘴67以在带30的行进方向上隔开间隔而排列的方式配设。各喷嘴67在带30的宽度方向上成为较长形状，使前端朝向带30，且向供气导管66的底面66a突出而设置。在与带30对置的前端形成有将供气导管66中的气体送至外部的开口67a。开口67a是在带30的宽度方向上较长的狭缝状。

通过从与带30对置的开口67a送出气体，在相对于流延膜36的膜面垂直的方向上送出气体。通过在垂直方向上喷吹气体，能够比以与膜面并行的流向喷吹时更有效地干燥流延膜36。因此，膜12的制造效率提高。另外，为了在垂直方向上送出气体，可以不是来自喷嘴67的送风，例如可以是在供气导管66的底面66a形成开口(未图示)并从该开口送出的风。

另外，通过在垂直方向上对膜面喷吹气体来提高干燥效率。由此，能够进一步降低剥离时的流延膜36、即流延膜36在剥离位置PP中的溶媒含有率，甚至能够降低至50质量％以下。如此，越是降低流延膜36在剥离位置PP中的溶媒含有率，越能够使慢轴的方向在膜12的宽度方向上的均匀。具体而言，能够将与作为目的的慢轴的方向所成的角抑制在-1°以上1°以下的范围，甚至较小地抑制在-0.4°以上0.4°以下的范围。优选流延膜36在剥离位置PP中的溶媒含有率设为20质量％以上50质量％以下的范围。通过以流延膜36在剥离位置PP中的溶媒含有率成为50质量％以下的方式进行干燥，能够将慢轴的轴偏离量更可靠地抑制在-1°以上1°以下的范围。

优选开口67a的形状设为狭缝状，但未必一定是狭缝。例如，可以在喷嘴67的前端以向带30的宽度方向排列的方式形成圆形或矩形的多个开口(未图示)。

图3、图4中，将开口67a的长度图示为短于设置于两侧的1对遮风板62的距离。但是，也可将喷嘴67的开口67a形成为长于1对遮风板62的距离，且比遮风板62更堵住外侧，从而使其短于1对遮风板62的距离来使用。

在本实施方式中，沿带30的行进路排列设置有多个供气导管66。但是，也可以利用向带30的行进方向较长地延伸至第2辊32的1个供气导管，并在该供气导管上设置多个喷嘴来代替该形态。另外，本实施方式中的各个供气导管66上设置有6个喷嘴67，但喷嘴67的数量并未特别限定。

将浓液11的溶媒沸点设为Tv时，优选来自供气导管66的气体温度设为(Tv-20℃)以上(Tv+100℃)以下的范围。通过设为(Tv-20℃)以上，更加可靠地提高流延膜36的干燥效率。并且，通过设为(Tv+100℃)以下，能够更加可靠地防止流延膜36起泡。另外，当浓液11的溶媒包括多个成分时，在溶媒成分的沸点中将沸点最低的成分设为Tv。

优选来自喷嘴67的气体的吹出速度、即流速设为5m/秒以上25m/秒以下的范围。通过设为5m/秒以上的流速，更加可靠地提高流延膜36的干燥效率。并且，通过设为25m/秒以下的流速，能够更加可靠地防止流延膜36起泡，或者能够更加可靠地得到表面平滑的膜12。

遮风板62沿带30的行进路延伸。遮风板62以竖立的姿势配设于流延膜36侧缘的通过管路上或比通过管路更靠近带30的宽度方向的内侧。由此，抑制来自供气导管66的已加热气体从流延膜36的膜面附近向带30的侧部30s的露出部分流出。通过抑制加热气体向侧部30s流出，能够抑制侧部30s的温度上升。因此，能够得到慢轴方向在宽度方向上均匀，进一步在膜整个区域中均匀的膜12，同时能够防止因带30的温度上升引起的翘曲。另外，图3、图4中，图示有遮风板62配设于比流延膜36侧缘的通过管路更靠近带30的宽度方向的内侧的情况。

作为遮风部件，可以使用像由底面覆盖从流延膜36的侧缘36e遍及带30的侧部30s的区域那样的块形状的物品来代替遮风板62。

以带30的流延面30a为高度基准，遮风板62设为低于供气导管66。即，遮风板62的离带30最远的缘部的高度低于供气导管66的底面的高度。因此，如图2所示，从带30的侧方观察时，配设于供气导管66的底面66a的喷嘴67并未被遮风板62覆盖，而是在遮风板62与供气导管66之间看得见。如此，各个喷嘴67与喷嘴67之间的空间通过遮风板62与供气导管66之间，与遮风板62的上方或侧方的空间相通。因此，流延膜36的膜面附近的空间与遮风板62的上方或侧方的空间空间性地连接，由此，若来自供气导管66之气体接触于流延膜36或遮风板62的内壁，则被引导至遮风板62的上方或侧方。

被夹在配设于流延膜36的两侧缘36e附近的1对遮风板62的空间，由于来自供气导管66的供气，其压力高于比遮风板62更靠近侧方的外部空间。而且，如前所述，流延膜36的膜面附近的空间与遮风板62的上方或侧方的外部空间空间性地连接。由于这些，流延膜36的周边气氛被迅速地取代为从供气导管66重新流出的气体，因此更有效地进行流延膜36的干燥。

优选遮风板62以与带30的距离D1成为10mm以上50mm以下范围的方式配设，更优选以成为10mm以上40mm以下范围的方式配设。通过将D1设为10mm以上，能够更可靠地防止遮风板62与带30的接触。通过将D1设为50mm以下，与大于50mm时相比，能够更可靠地抑制气体从流延膜36的膜面附近向带30的侧部30s流出。

优选遮风板62配设于流延膜36的侧缘36e的通过管路上或比通过管路更靠近内侧50mm的管路与通过管路之间的上方。即，优选遮风板62的外面与流延膜36的侧缘36e的通过管路的距离D2设为0mm以上50mm以下的范围。通过设为通过管路上(D2＝0mm)或其内侧(D2＞0mm)，能够更可靠地抑制气体从流延膜36的膜面附近向带30的侧部30s流出。若使D2大于50mm，则与50mm以下时相比，膜12的光学特性、尤其是慢轴的方向变成与目的方向不同的方向的侧部的宽度变大，有时不得不增大应该用分切机26切除的宽度。

排气部63具有吸引导管72、吸引机73及排气控制器74。吸引机73吸引气体。排气控制器74控制吸引机73中的吸引力。通过该控制，调整来自形成于吸引导管72的开口72a的气体的吸引力。气体通过排气控制器74被清洁化并进行排气。另外，被清洁化的排气可以送至送风机68，并用于来自供气导管66的供气。

多个吸引导管72设置于高于遮风板62的位置。各吸引喷嘴的各开口72a在喷嘴67与喷嘴67之间对置。如此，开口67a配设于空间性地连接的流延膜36的膜面附近的空间与遮风板62的上方或侧方的外部空间之间。因此，流延膜36周边的气氛更迅速地被引导至遮风板62的上方。由此，流延膜36周边的气氛更迅速地取代为来自供气导管66的新的气体，流延膜36的干燥进一步有效地进行。并且，由于吸引导管72设置于高于遮风板62的位置，因此能够更可靠地抑制气体从流延膜36的膜面附近向带30的侧部30s的露出部分流出。因此，可以更可靠地防止侧部30s的温度上升，并且能够更可靠地谋求膜12的宽度方向上的慢轴方向的均匀化。

另外，吸引导管72在带30表面的法线方向上，只要以成为高于遮风板62的位置的方式配设即可。例如，可以如本实施方式，以开口72a的下端低于供气导管66的底面66a的方式配设吸引导管72，或者，也可以如下，即吸引导管72的底面与供气导管66的底面66a为相同高度，而开口72a的下端高于供气导管66的底面66a。此外，吸引导管72在带30的行进方向上，只要以开口72a位于喷嘴67与喷嘴67之间的方式配设即可。

优选第1上游域供排气单元41在供气部61的上游、即流延位置PC与供气部61之间进一步具备供气部77。供气部77具有喷嘴78、送风机79及送风控制器80。送风机79向喷嘴78送出气体。送风控制器80控制从送风机79向喷嘴78送出的气体的温度、湿度及流量。通过该控制，调整来自喷嘴78的气体的流量及流速。气体通过送风控制器80加热，并将该已加热气体作为温风而喷吹至流延膜36，从而进行流延膜36的干燥。

喷嘴78以开口78a朝向带30的行进方向上的下游侧的方式配设。由此，来自开口78a的气体相对于所通过的流延膜36作为顺风在流延膜36上流动。通过成为顺风，可以抑制气流对液珠的影响。其中，开口78a的方向可以是稍微向流延膜36侧倾斜的方向，只要气体的流动成为向流延膜36的顺风，则可以不是相对于流延膜36的膜面平行的流动。

来自喷嘴78的气体流入供气导管66的底面66a与流延膜36之间，其大多数被吸引导管72中最上游侧的一个导管吸引。如此，通过设置供气部77，并从形成后不久就进行流延膜36的干燥，进一步提高流延膜36的干燥效率，并进一步提高膜12的制造效率。

如以上，在本发明中，到从带30剥离流延膜36为止，实施第1流延膜干燥工序和第2流延膜干燥工序。第1流延膜干燥工序是通过第1上游侧供排气单元41在相对于流延膜垂直的方向上喷吹气体来干燥流延膜的工序。第2流延膜干燥工序是通过第1、第2下游侧供排气单元42、43，对经过第1流延膜干燥工序之后的流延膜36送出成为与膜面平行的逆流的气体，从而进行流延膜36的干燥的工序。

形成有流延膜36的带30的中央部30c因溶媒从流延膜36的蒸发潜热，其温度不易上升。所以，欲进一步提高流延膜36的干燥效率时，优选以下第2实施方式。

在本发明的第2实施方式中，在流延装置15上进一步设置有第2上游域供排气单元90。第2上游域供排气单元90设置于流延位置PC的下游，夹着带30并与第1上游域供排气单元41对置而配设。

第2上游域供排气单元90与第1上游域供排气单元41相同，具备供气部91、作为遮风部件的遮风板92及排气部(未图示)。由于供气部91、作为遮风部件的遮风板92及排气部的各结构基本上与第1上游域供排气单元41的供气部61、遮风板62及排气部63相同，因此以下仅说明与这些不同之处。

供气部91向相对于带30的流延面30a的相反侧的非流延面30b垂直的方向喷吹气体。遮风板92夹着带30并与遮风板62对置，且以竖立的姿势设置。该遮风板92抑制从供气部91的喷嘴93送出的气体向侧部30s的非流延面30b流出。侧部30s的非流延面30b与侧部30s的流延面30a对应，是相当于侧部30s的流延面30a的里侧的区域。

优选遮风板92以与非流延面30b的距离D3等于遮风板62与流延面30a的距离D1的方式，配设成10mm以上50mm以下的范围，更优选配设成10mm以上40mm以下的范围。

多个喷嘴93设置于与供气导管96的非流延面30b对置的对置面。排气部的吸引导管97在带30的行进方向上设置成开口在喷嘴93与喷嘴93之间对置。该吸引导管97在带的非流延面30b的法线方向上，以开口成为低于遮风板92的位置的方式配设即可。排气部从吸引导管97的开口吸引流延膜36周边的气氛。

如此，通过利用第2上游域供排气单元90，能够使形成有流延膜36的带30的中央部30c更可靠地变暖。因此，与第1实施方式相比，进一步提高流延膜的干燥效率，并提高膜12的制造效率。另外，通过提高流延膜36的干燥效率，剥离位置PP处的溶媒含有率进一步变低，慢轴的轴偏离量可以更可靠地抑制在-1°以上1°以下的范围，甚至可以较小地抑制在-0.4°以上0.4以下的范围。并且，在该实施方式中，也通过遮风板92抑制来自侧部30s的非流延面的加热，因此可以防止带30的翘曲。

本发明中，带30的宽度越宽越有效，制造的膜的宽度越宽越有效。

本发明在制造用作液晶显示器等的相位差膜的膜时为尤佳。

纤维素酰化物并未特别限定。纤维素酰化物的酰基可以仅为1种，或者也可具有2种以上的酰基。优选当酰基为2种以上时，其中1个为乙酰基。优选用羧酸酯化纤维素的羟基的比例、即酰基的取代度满足所有下述公式(I)～(III)。另外，在以下公式(I)～(III)中，A及B表示酰基的取代度，A为乙酰基的取代度，此外B是碳原子数3～22的酰基的取代度。

(I)2.0≤A+B≤3.0

(II)1.0≤A≤3.0

(III)0≤B≤2.0

更优选酰基的全取代度A+B在2.20以上2.90以下，尤其优选在2.40以上2.88以下。另外，更优选碳原子数3～22的酰基的取代度B在0.30以上，尤其优选在0.5以上。其中，本发明在使用二醋酸纤维素(DAC)作为纤维素酰化物时有尤其较大的效果。

以下，举出本发明的实施例及相对本发明的比较例。详细内容记载于实施例1中，在其他实施例及比较例中仅记载与实施例1不同的条件。

[实施例1]

在图1所示的溶液制膜设备上追加图5所示的第2上游域供排气单元90，由浓液11制造出用作相位差膜的膜12。作为目的的膜12的厚度为58μm。

第1辊31的周面温度设为15℃，第2辊32的周面温度设为40℃。

遮风板62与带30的流延面30a的距离D1设为10mm。带30到喷嘴67的开口67a的距离设为150mm。遮风板62的外面与流延膜36的侧缘的距离D2设为0mm。从喷嘴67送出的气体的温度设为135℃，将风速设为25m/秒。

在第1拉幅机17中，向宽度方向以8％的加宽率拉伸包含溶媒的膜12。将溶媒含有率不到5质量％的膜12引导至第2拉幅机23。在第2拉幅机23中，以在宽度方向上成为21％的加宽率的方式拉伸膜12。

在该实施例1中，未在流延膜36上确认到起泡。并且，未在带30上确认到侧部30s的翘曲或变形。剥离位置PP处的溶媒含有率为33质量％。所得到的膜12的慢轴的轴偏离量，在膜12的宽度方向上被抑制在-0.05°以上0.05°以下的范围内，在膜12的整个区域被抑制在-1°以上1°以下的范围内。

[实施例2]

遮风板62与带30的流延面30a的距离D1设为40mm。其他条件与实施例1相同。

在该实施例2中，未在流延膜36上确认到起泡。并且，未在带30上确认到侧部30s的翘曲或变形。剥离位置PP处的溶媒含有率为33质量％。所得到的膜12的慢轴的轴偏离量，在膜12的宽度方向上被抑制在-0.05°以上0.05°以下的范围内，在膜12的整个区域中被抑制在-1°以上1°以下的范围内。

[实施例3]

遮风板62的外面与流延膜36的侧缘36e的距离D2设为50mm。其他条件与实施例1相同。

在该实施例3中，未在流延膜36上确认到起泡。并且，未在带30上确认到侧部30s的翘曲或变形。剥离位置PP处的溶媒含有率为33质量％。所得到的膜12的慢轴的轴偏离量，在膜12的宽度方向上被抑制在-0.05°以上0.05°以下的范围内，在膜12的整个区域被抑制在-1°以上1°以下的范围内。

[比较例1]

未设置遮风板62和遮风板92。其他条件与实施例1相同。

在该比较例1中，在反复实施流延和剥离期间，带30的侧部30s翘曲，导致侧部30s未接触到第1辊31。其结果，流延膜36的侧部温度成为溶媒的沸点以上，侧部产生了起泡。因此，未能制造出作为目的的膜12。

[比较例2]

不运转送风机68，不从喷嘴67送出气体。并且，不运转吸引机73，气氛不会吸引至吸引导管72。通过喷嘴78，以成为相对于流延膜并行的顺风的方式对气体进行供气。通过喷嘴78供气的气体的温度设为135℃，风速设为25m/秒。使被供气的气体在1对遮风板62之间流动，并从排气部47的吸引口47a吸引。其他条件与实施例1相同。

在该比较例2中，由于被供气的气体在1对遮风板62的一方与另一方之间流动，因此虽然未在流延膜上确认到起泡，但剥离位置PP处的溶媒含有率为60质量％，干燥效率差。而且，由于在1对遮风板62之间流动的气体在宽度方向上的温度中，从遮风板62的内侧朝向外侧存在放热，因此越是从中央朝向侧部越变高，所得到的膜的轴偏离量在膜的宽度方向上大到-0.5°以上0.5°以下。在膜整个区域也大到-2°以上2°以下的范围。

[比较例3]

使喷嘴67的角度相对于流延膜倾斜45°，并使从喷嘴67供气的气体以45°角度喷吹至流延膜。喷吹之后的气体的一部分以成为相对于流延膜并行的顺风的方式流动。其他条件与实施例1相同。

在该比较例3中，由于被供气的气体在1对遮风板67的一方与另一方之间流动，因此虽然未在流延膜上确认到起泡，但剥离位置PP处的溶媒含有率为50质量％，干燥效率差。由于在1对遮风板之间流动的气体在宽度方向上的温度中，从遮风板67的内侧朝向外侧存在放热，因此越是从中央朝向侧部越变高，所得到的膜的轴偏离量在膜的宽度方向上大到-0.2°以上0.2°以下。在膜的整个区域也大到-1.6°以上1.6°以下的范围。

Claims (12)

1.一种流延装置，其特征在于，具备：

环状流延支撑体，所述流延支撑体在流延浓液的流延面形成流延膜，所述流延支撑体在长边方向上连续行进，并以从剥下所述流延膜的剥离位置返回流延所述浓液的流延位置的方式循环；

第1供气部，送出已加热气体，所述第1供气部从与所述流延支撑体对置的开口送出所述气体，所述第1供气部向相对于所述流延膜的膜面垂直的方向送出所述气体；及

1对第1遮风部件，沿着所述流延支撑体的行进路延伸，所述第1遮风部件配设于所述流延膜侧缘的通过管路上或比所述通过管路更靠近所述流延支撑体的宽度方向的内侧，所述第1遮风部件抑制所述气体从所述流延膜的膜面附近向所述流延支撑体侧部的露出部分流出。

2.如权利要求1所述的流延装置，其特征在于，

所述第1供气部具有供气导管和多个喷嘴，所述供气导管的底面与所述流延支撑体对置而配设，以便覆盖所通过的所述流延膜，所述喷嘴向所述供气导管的所述底面突出而设置，所述多个喷嘴在所述流延支撑体的行进方向上隔开间隔而排列，所述开口设置于所述喷嘴的前端，所述开口为沿所述流延支撑体的宽度方向延伸的狭缝状，所述遮风部件设置于距所述流延面的高度低于所述供气导管的位置。

3.如权利要求2所述的流延装置，其特征在于，

还具备：排气部，所述排气部从多个开口吸引所述流延膜周边的气氛，所述排气部设置在高于所述遮风部件的位置，所述多个开口在各个所述喷嘴和所述喷嘴之间对置而设置。

4.如权利要求2所述的流延装置，其特征在于，

还具备如下：第2供气部，送出已加热气体，所述第2供气部夹着所述流延支撑体且与所述第1供气部对置而设置，所述第2供气部从与所述流延支撑体对置的开口送出所述气体，所述第2供气部向相对于所述流延支撑体垂直的方向送出所述气体；及

第2遮风部件，沿所述流延支撑体的行进路延伸，所述第2遮风部件夹着所述流延支撑体且与所述第1遮风部件对置而设置，所述第2遮风部件抑制所述气体从所述第2供气部向非流延面中与所述露出部分对应的侧部流出，所述非流延面是所述流延面的相反侧的表面。

5.如权利要求1所述的流延装置，其特征在于，

在所述第1供气部的下游具备第3供气部，所述第1供气部设置于所述流延支撑体使所述流延面朝上而行进的第1行进区域，所述第3供气部具有朝向所述流延支撑体的行进方向上的上游侧的开口，所述第3供气部从所述开口送出成为与所通过的所述流延膜的膜面并行的逆流的气体。

6.如权利要求5所述的流延装置，其特征在于，

所述第3供气部设置于所述流延支撑体使所述流延面朝下而行进的第2行进区域。

7.一种溶液制膜方法，其特征在于，具备如下步骤：

(A)在沿长边方向连续行进的环状流延支撑体上流延浓液而形成流延膜；

(B)从所述流延支撑体剥下所述流延膜并进行干燥，对剥下所述流延膜之后的所述流延支撑体再次进行所述A步骤；

(C)在相对于所述流延膜的膜面垂直的方向上喷吹气体并干燥所述流延膜；

(D)在所述C步骤中进行，通过1对第1遮风部件抑制所述气体从所述流延膜的膜面附近向所述流延支撑体侧部的露出部分流出，所述1对第1遮风部件配设于所述流延膜侧缘的通过管路上或比所述通过管路更靠近所述流延支撑体的宽度方向的内侧，所述第1遮风部件沿所述流延支撑体的行进路延伸。

8.如权利要求7所述的溶液制膜方法，其特征在于，

从第1供气部的所述开口送出所述气体，所述第1供气部具有供气导管和在前端形成有开口的多个喷嘴，所述供气导管的底面与所述流延支撑体对置而配设，以便覆盖所通过的所述流延膜，所述喷嘴向所述供气导管的所述底面突出而设置，所述多个喷嘴在所述流延支撑体的行进方向上隔开间隔而排列，所述开口是沿所述支撑体的宽度方向延伸的狭缝状，所述遮风部件设置于距流延面的高度低于所述供气导管的位置，所述流延面是所述流延支撑体中流延所述浓液的表面。

9.如权利要求7所述的溶液制膜方法，其特征在于，

在高于所述第1遮风部件且与各个所述喷嘴与所述喷嘴之间对置的位置，吸引所述流延膜周边的气氛。

10.如权利要求8所述的溶液制膜方法，其特征在于，

还具备如下步骤：

(E)对正从所述第1供气部被喷吹所述气体的所述流延膜喷吹已加热气体来使所述流延膜的温度升温，所述气体向相对于非流延面垂直的方向喷吹，所述非流延面是所述流延支撑体的所述流延面的相反侧的表面；及

(F)通过第2遮风部件抑制所述气体向所述非流延面中与所述露出部分对应的侧部流出，所述第2遮风部件沿所述流延支撑体的行进路延伸，所述第2遮风部件夹着所述流延支撑体并与所述第1遮风部件对置而设置。

11.如权利要求7所述的溶液制膜方法，其特征在于，

还具备如下步骤：

(G)在所述C步骤之后进行，通过送出成为并行于所述膜面的逆流的气体来干燥所述流延膜，所述C步骤对使所述流延面朝上而行进的所述流延支撑体上的所述流延膜进行。

12.如权利要求11所述的溶液制膜方法，其特征在于，

所述G步骤对使所述流延面朝下而行进的所述流延支撑体上的所述流延膜进行。

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