CN102343538A - 硅片边缘倒角方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种硅片边缘倒角方法，使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，其特征在于，采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为27～35mm/12～18s；第4圈倒角速度为20-26mm/10～14s。本发明中的硅片边缘倒角方法，可提高硅片倒角质量。使用本发明中的硅片边缘倒角方法，倒角划伤比率降为0.0502％。倒角不良率降为0.063％。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片边缘倒角方法。
背景技术
硅片倒角加工的目的是要消除硅片边缘表面由于经切割加工后产生的棱角、毛刺、崩边、裂缝或其他的缺陷和各种边缘表面污染，从而降低硅片表面的粗糙度，增加硅片边缘表面的机械强度、减少颗粒的表面沾污。
现有技术中的倒角方法，产品良率低，造成生产成本高。在使用R型、11度砂轮、倒角面幅≥600um时，倒角加工的硅片倒角划伤、倒角星点不良率总和为0.09％。尤其是在使用R型、11度、砂轮槽口0.17R的倒角砂轮为重掺硼硅片倒角加工过程中倒划不良率达到0.62％。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种可降低倒角不良率的硅片边缘倒角方法。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：
硅片边缘倒角方法，使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，其特征在于，采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为27～35mm/12～18s；第4圈倒角速度为20-26mm/10～14s。
优选地是，倒角砂轮磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂轮槽口。
优选地是，使用油石修整金刚石倒角砂轮时，油石与倒角砂轮边缘切线之间的夹角为45°～60°。
优选地是，对倒角砂轮修整金刚石倒角砂轮时，油石去除量为0.5～1.5cm。
优选地是，使用Y型水枪分别向倒角砂轮和硅片边缘喷射磨削液。
优选地是，所述水枪喷射的磨削液的压力为2.5～3.5KG/cm2左右。
优选地是，所述倒角砂轮为R型11度砂轮。
优选地是，倒角面幅≥600um。
优选地是，所述硅片为重掺硼硅片，所述倒角砂轮为R型、11度砂轮，砂轮槽口为0.17R。
本发明中的硅片边缘倒角方法，可提高硅片倒角质量。使用本发明中的硅片边缘倒角方法，倒角划伤比率为0.0502％。倒角不良率降为0.063％。
附图说明
图1为使用油石修整倒角砂轮时的位置示意图。
图2为本发明中使用的Y型水枪结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行详细的描述：
实施例1
硅片边缘倒角方法，硅片为重掺硼硅片，倒角面幅≥600um。使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，所述倒角砂轮为R型、11度砂轮，砂轮槽口为0.17R。采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为25mm/15s；第4圈倒角速度为20mm/12s。
倒角砂轮磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂轮槽口。如图1所示，使用油石3修整金刚石倒角砂轮1时，油石3放置于陶瓷洗盘2上，油石3与倒角砂轮1边缘切线之间的夹角为45°。对倒角砂轮修整金刚石倒角砂轮时，油石3去除量为0.5cm。
如图2所示，Y型水枪4设置有喷嘴41和喷嘴42。分别向倒角砂轮和硅片边缘喷射磨削液。水枪喷射的磨削液的压力为2.5KG/cm2左右。因倒角过程中有硅屑产生，现有技术工艺无法及时排除硅屑，出现堵塞情况，致使倒角划伤等出现。使用本发明中的Y型水枪，使用油石修正后能及时排屑。
本发明中使用4圈倒角的工艺，可以减少每圈的***量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈：去除滚磨损伤层；第2圈：去除第一圈产生的损伤层；第3圈：精槽R值变更转换；第四圈：精槽修正。
实施例2
硅片边缘倒角方法，硅片为重掺硼硅片，倒角面幅≥600um。使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，所述倒角砂轮为R型、11度砂轮，砂轮槽口为0.17R。采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为30mm/15s；第4圈倒角速度为25mm/12s。
倒角砂轮磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂轮槽口。如图1所示，使用油石3修整金刚石倒角砂轮1时，油石3放置于陶瓷洗盘2上，油石3与倒角砂轮1边缘切线之间的夹角为45°。对倒角砂轮修整金刚石倒角砂轮时，油石3去除量为1cm。
如图2所示，Y型水枪4设置有喷嘴41和喷嘴42。分别向倒角砂轮和硅片边缘喷射磨削液。水枪喷射的磨削液的压力为3KG/cm2左右。因倒角过程中有硅屑产生，现有技术工艺无法及时排除硅屑，出现堵塞情况，致使倒角划伤等出现。使用本发明中的Y型水枪，使用油石修正后能及时排屑。
本发明中使用4圈倒角的工艺，可以减少每圈的***量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈：去除滚磨损伤层；第2圈：去除第一圈产生的损伤层；第3圈：精槽R值变更转换；第四圈：精槽修正。
实施例3
硅片边缘倒角方法，硅片为重掺硼硅片，倒角面幅≥600um。使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，所述倒角砂轮为R型、11度砂轮，砂轮槽口为0.17R。采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为33mm/15s；第4圈倒角速度为25mm/12s。
倒角砂轮磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂轮槽口。如图1所示，使用油石3修整金刚石倒角砂轮1时，油石3放置于陶瓷洗盘2上，油石3与倒角砂轮1边缘切线之间的夹角为60°。对倒角砂轮修整金刚石倒角砂轮时，油石3去除量为1.5cm。
如图2所示，Y型水枪4设置有喷嘴41和喷嘴42。分别向倒角砂轮和硅片边缘喷射磨削液。水枪喷射的磨削液的压力为3KG/cm2左右。因倒角过程中有硅屑产生，现有技术工艺无法及时排除硅屑，出现堵塞情况，致使倒角划伤等出现。使用本发明中的Y型水枪，使用油石修正后能及时排屑。
本发明中使用4圈倒角的工艺，可以减少每圈的***量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈：去除滚磨损伤层；第2圈：去除第一圈产生的损伤层；第3圈：精槽R值变更转换；第四圈：精槽修正。
实施例4
硅片边缘倒角方法，硅片为重掺硼硅片，倒角面幅≥600um。使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，所述倒角砂轮为R型、11度砂轮，砂轮槽口为0.17R。采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为30mm/13s；第4圈倒角速度为25mm/10s。
倒角砂轮磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂轮槽口。如图1所示，使用油石3修整金刚石倒角砂轮1时，油石3放置于陶瓷洗盘2上，油石3与倒角砂轮1边缘切线之间的夹角为45°。对倒角砂轮修整金刚石倒角砂轮时，油石3去除量为1cm。
如图2所示，Y型水枪4设置有喷嘴41和喷嘴42。分别向倒角砂轮和硅片边缘喷射磨削液。水枪喷射的磨削液的压力为2.8KG/cm2左右。因倒角过程中有硅屑产生，现有技术工艺无法及时排除硅屑，出现堵塞情况，致使倒角划伤等出现。使用本发明中的Y型水枪，使用油石修正后能及时排屑。
本发明中使用4圈倒角的工艺，可以减少每圈的***量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈：去除滚磨损伤层；第2圈：去除第一圈产生的损伤层；第3圈：精槽R值变更转换；第四圈：精槽修正。
实施例5
硅片边缘倒角方法，硅片为重掺硼硅片，倒角面幅≥600um。使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，所述倒角砂轮为R型、11度砂轮，砂轮槽口为0.17R。采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为28mm/15s；第4圈倒角速度为25mm/12s。
倒角砂轮磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂轮槽口。如图1所示，使用油石3修整金刚石倒角砂轮1时，油石3放置于陶瓷洗盘2上，油石3与倒角砂轮1边缘切线之间的夹角为45°。对倒角砂轮修整金刚石倒角砂轮时，油石3去除量为1.5cm。
如图2所示，Y型水枪4设置有喷嘴41和喷嘴42。分别向倒角砂轮和硅片边缘喷射磨削液。水枪喷射的磨削液的压力为2.5KG/cm2左右。因倒角过程中有硅屑产生，现有技术工艺无法及时排除硅屑，出现堵塞情况，致使倒角划伤等出现。使用本发明中的Y型水枪，使用油石修正后能及时排屑。
本发明中使用4圈倒角的工艺，可以减少每圈的***量。每一圈倒角均具有不同的作用，第1圈：去除滚磨损伤层；第2圈：去除第一圈产生的损伤层；第3圈：精槽R值变更转换；第四圈：精槽修正。
对比实施例1
硅片边缘倒角方法，硅片为重掺硼硅片，倒角面幅≥600um。使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，所述倒角砂轮为R型、11度砂轮，砂轮槽口为0.17R。采用2圈倒角的方法，第1圈倒角速度为15mm/10s；第2圈倒角速度为10mm/7s。未使用砂石修整槽口。使用单喷嘴喷枪喷射磨削液。
使用实施例2和对比实施例1倒角加工硅片，并对加工结果测试如下：
使用对比实施例1中的方法倒角，倒角加工168136片，倒角星点274片，倒角不良率0.16％；倒角划伤1049片，倒角划伤不良率0.62％。倒角不良率总和为0.09％。
使用实施例2中的方法倒角，倒角加工1756337片，倒角星点391片，倒角星点不良率为0.022％；倒角划伤772片。倒角划伤不良率0.044％。倒角不良率总和为0.063％。
除水枪不同外，其他工艺步骤均相同，使用单水枪与Y型水枪的生产的倒角硅片性能测试结果如下：
使用实施例2的方法对硅片进行倒角加工，加工后的硅片性能测试结果如下：
本发明中的实施例仅用于对本发明进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本发明保护范围内。
Claims (9)
1.硅片边缘倒角方法，使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，其特征在于，采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为27～35mm/12～18s；第4圈倒角速度为20-26mm/10～14s。
2.根据权利要求1所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，倒角砂轮磨削硅片之前，使用油石修整倒角砂轮槽口。
3.根据权利要求2所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，使用油石修整金刚石倒角砂轮时，油石与倒角砂轮边缘切线之间的夹角为45°～60°。
4.根据权利要求3所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，对倒角砂轮修整金刚石倒角砂轮时，油石去除量为0.5～1.5cm。
5.根据权利要求1所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，使用Y型水枪分别向倒角砂轮和硅片边缘喷射磨削液。
6.根据权利要求4所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，所述水枪喷射的磨削液的压力为2.5～3.5KG/cm2左右。
7.根据权利要求1所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，所述倒角砂轮为R型11度砂轮。
8.根据权利要求1所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，倒角面幅≥600um。
9.根据权利要求1所述的硅片边缘倒角方法，其特征在于，所述硅片为重掺硼硅片，所述倒角砂轮为R型、11度砂轮，砂轮槽口为0.17R。
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