CN102267101B - 板状部件的加工装置及其加工方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供板状部件的加工装置及其加工方法。能够在基材上形成有薄膜层而平面为四边形的板状部件上将周缘部的不需要的薄膜层高效地除去。具有供上述板状部件的周缘部***并除去该周缘部的不需要的薄膜层的周缘部加工室以及使上述板状部件移动的移动单元，上述周缘部加工室是顶面封闭而对向面开口的中空形状的周缘部加工用飞散防止罩以及具有与上述周缘部加工用飞散防止罩的开口面相同形状的开口面的周缘部加工用吸引罩连结而成的构造体。在上述周缘部加工室中将喷丸用加工喷嘴以该喷嘴的喷射口被上述周缘部加工用飞散防止罩的壁面覆盖的方式配置。

Description

板状部件的加工装置及其加工方法
技术领域
本发明涉及用于在基材表面形成有薄膜层的板状部件上除去周缘部的不需要的薄膜层的加工装置。 
背景技术
在基材表面形成薄膜层时，可能会发生在基材的周缘部薄膜层的厚度比内侧部厚、或者薄膜层到达背面的情况。 
例如，专利文献1中提出的成膜装置方案，能够防止在通过作为湿处理工艺的1种的浸渍涂布法形成可用于化学过滤器或有机EL的薄膜时产生的由于周缘部上的涂布液的液汁所引起的薄膜层的厚度不均匀，但是难以获得完全均匀的厚度，优选在根据板状部件上形成的薄膜层的厚度所要求的精度形成薄膜后，进行使厚度均匀的处理。 
另外，通过使透明电极层、半导体层、金属层等的薄膜在玻璃等的基板的表面上积层而形成薄膜太阳电池盘(battery panel)(以后记载为太阳电池盘)。积层工序例如通过气相反应来进行，此时可能发生上述薄膜层经由周缘部到达背面的情况。由于太阳电池模块要求绝缘特性，因此提出了利用喷丸加工技术将薄膜太阳电池盘的周缘部的薄膜层除去的方法(专利文献2)。 
在利用喷丸加工技术除去周缘部的薄膜层时，用于除去的喷射材料(研磨材料)和切削除去的薄膜层等的粉尘会残留在太阳电池盘上。作为除去上述周缘部的薄膜层的方法，专利文献3提出了不会残留喷射材料和粉尘的方法。 
专利文献1：特开2008-000718 
专利文献2：特开2000-150944 
专利文献3：特开2010-036324 
在专利文献3中，将与吸引单元连结的罩在太阳电池盘的被加工面及其背面两面上配置，从上述罩的两方除去研磨材料和粉尘，但是如果在被加工面侧发生的负压(吸引力)与在其背面侧发生的负压的平衡调整不充分，则无法充分回收上述喷射材料和粉尘。另外，记载了将集尘机用作上述吸引单元的实施方式，由于集尘机的集尘力随时间变化(其原因在于随着吸引进行，喷射材料和粉尘会在滤布上堆积)，被加工面侧与背面的吸引平衡调整变得非常困难，其结果是可能无法充分回收上述喷射材料和粉尘。 
另外，从喷丸加工喷嘴喷射的喷射材料，与太阳电池盘碰撞而反弹(反射)，反弹的研磨材料例如与上述喷嘴等碰撞而反弹，再度与太阳电池盘碰撞，其结果是太阳电池盘的周缘部以外的部位因上述喷射材料而受损，从而导致太阳电池模块的光电动势降低，因此需要在上述周缘部以外的部分受损之前吸引并回收喷射材料和上述喷丸加工所产生的粉尘(因破裂-缺损等变小的喷射材料和切削除去的上述薄膜层等)。 
另外，在喷丸加工装置中，使喷丸加工喷嘴或被加工物移动来进行全面的加工。虽然可以根据装置的设置成本来选择各种使被加工物移动的方法，但是由于从喷丸加工喷嘴喷射的喷射材料，在用于使被加工物(太阳电池盘)移动的搬送装置上附着，会导致附着的喷射材料与太阳电池盘接触而使太阳电池盘受损。 
发明内容
本发明针对以上课题做出，其目的在于提供一种加工装置，用以获得在基材表面形成有薄膜层的板状部件上除去周缘部的不需要的薄膜层的板状部件。 
并且，本发明中的“不需要的薄膜层的除去”，在没有相反说明的情况下，既包括从基材表面完全去除薄膜层的情况，也包括例如上述(背景技术中第二段所记载)那样为了对在薄膜层形成时产生于周缘部与内侧部的薄膜层厚度不均衡进行调节而将薄膜层表面的一部分去除的情况。 
本发明，作为用于将在平面为四边形的板状的基材的上述平面上形成有薄膜层的板状部件的周缘部的不需要的薄膜层除去的加工装置，上述加工装置具有：供上述板状部件的周缘部***而将该周缘部的不需要的薄膜层除去的周缘部加工室，以及使上述板状部件相对于在上述周缘部加工室中配置的喷丸加工用喷嘴相对地移动的移动单元，上述周缘部加工室具备：周缘部加工用飞散防止罩，该周缘部加工用飞散防止罩的形成顶面的一端面被封闭，并且与上述顶面相向的面开口；周缘部加工用喷丸加工喷嘴，该周缘部加工用喷丸加工喷嘴是对被加工面喷射喷射材料来进行喷丸加工的喷嘴，且以该喷嘴的喷射口被上述周缘部加工用飞散防止罩的壁面覆盖的方式被配置于该周缘部加工用飞散防止罩；周缘部加工用吸引罩，该周缘部加工用吸引罩具有与上述周缘部加工用飞散防止罩的开口面相同形状的开口面；中空形状的周缘部加工用吸引部件，该周缘部加工用吸引部件的两端面开口，且端面与上述周缘部加工用吸引罩和吸引单元连通，并且，形成将上述周缘部用飞散防止罩的上述开口面与上述周缘部加工用吸引罩的上述开口面连结的构造体，上述构造体形成有能够供上述周缘部***的开口部，且该开口部在上述周缘部***时能够在该加工室的开口端部与上述板状部件的被加工面及其背面之间形成外部气体能够导入的空隙。(第1发明) 
并且，第1发明所述的板状部件的加工装置，以在将上述板状部件***上述开口部时，使上述周缘部加工用喷丸加工喷嘴与该板状部件所成角度为30～75°的方式配置。(第2发明) 
并且，第1发明所述的板状部件的加工装置，上述开口部的至少任意一方的开口端部具有用于导入外部气体的引导部。(第3发明) 
并且，第1发明所述的板状部件的加工装置，具有两个上述周缘部加工室，上述周缘部加工室分别配置在处于水平面的上述板状部件的平行的作为被加工边的两边的外周面上。(第4发明) 
并且，第4发明所述的板状部件的加工装置，将上述周缘部加工室以与上述被加工边以外的其它两边平行的方式分别配置。(第5发明) 
并且，第4发明所述的板状部件的加工装置，将以与上述板状部件的作为被加工边的周缘部平行的方式对该板状部件的内侧部进行加工 的内侧部加工室，在平行的作为被加工边的周缘部间配置至少1个以上。(第6发明) 
并且，第6发明所述的板状部件的加工装置中的上述内侧部加工室，具备：中空形状的内侧部加工用吸引罩，该内侧部加工用吸引罩的形成顶面的一端面被封闭，并且与上述顶面相向的面开口；内侧部加工用喷丸加工喷嘴，该内侧部加工用喷丸加工喷嘴是对被加工面喷射喷射材料来进行喷丸加工的喷嘴，且以该喷嘴的喷射口被上述内侧部加工用吸引罩的侧壁覆盖的方式配置于该内侧部加工用吸引罩；内侧部加工用吸引部件，该内侧部加工用吸引部件的两端面开口，且上述端面与上述内侧部加工用吸引罩和吸引单元连通，以在该吸引罩的开口端部与被加工面之间设置能够吸引外部气体的空隙的方式配置。(第7发明) 
并且，第7发明所述的板状部件的加工装置中的上述内侧部加工用喷丸加工喷嘴，相对于上述内侧部加工用吸引部件，配置在上述板状部件的相对于该喷丸加工喷嘴的相对的移动方向的后方侧，并且上述内侧部加工用吸引部件，相对于该喷丸加工喷嘴，在该板状部件的相对于该喷丸加工喷嘴的相对的移动方向的前方侧的上面配置。(第8发明) 
并且，第8发明所述的板状部件的加工装置中的上述内侧部加工用喷丸加工喷嘴，以与上述板状部件所成角度为30～75°的方式配置。(第9发明) 
并且，在第8发明所述的板状部件的加工装置中的上述内侧部加工用吸引罩的侧壁面上，配置有与吸引单元连通的辅助吸引部件，上述辅助吸引部件相对于上述内侧部喷丸加工喷嘴，配置在位于上述板状部件的相对于该喷丸加工喷嘴的移动方向的前方侧的该内侧部加工用吸引罩的侧壁面上。(第10发明) 
并且，在第7发明所述的板状部件的加工装置中的上述内侧部加工用吸引罩的开口端部上，具有用于导入外部气体的引导部。(第11发明) 
并且，第1或第7发明所述的板状部件的加工装置中的上述周缘部加工用喷丸加工喷嘴的喷射口和上述内侧部加工用喷丸加工喷嘴的喷射口的至少任意一方为矩形。(第12、13发明) 
并且，第12发明所述的板状部件的加工装置中的上述周缘部加工用喷丸加工喷嘴和上述内侧部加工用喷丸加工喷嘴的至少任意一方，具有：喷丸加工喷嘴本体；空气喷嘴，该空气喷嘴用于将压缩空气导入上述喷丸加工喷嘴本体的内部，并且在该喷丸加工喷嘴本体的内部产生负压；喷射部，该喷射部具有喷射材料的喷射口，该喷射材料利用上述负压而被吸引到喷丸加工喷嘴本体的内部，同时在该喷丸加工喷嘴本体内部的混合室中与压缩空气混合。(第14发明) 
并且，第1或第4发明所述的板状部件的加工装置中的上述周缘部加工室至少与1个以上的周缘部用清理室邻接，上述周缘部用清理室用于对附着在被加工面上的喷射材料和因喷丸加工而产生的粉尘进行吸引和回收。(第15发明) 
并且，第15发明所述的板状部件的加工装置中的上述周缘部加工用清理室具备：中空形状的周缘部清理用吸引罩，该周缘部清理用吸引罩的形成顶面的一端面被封闭，并且与上述顶面相向的面开口；周缘部清理用风机喷嘴，该周缘部清理用风机喷嘴是对被加工面吹送压缩空气而将该被加工面上附着的上述喷射材料和上述粉尘从该被加工面剥离并除去的喷嘴，且以该喷嘴的喷射口被上述周缘部清理用吸引罩的侧壁覆盖的方式配置于该周缘部清理用吸引罩；周缘部清理用吸引部件，该周缘部清理用吸引部件的两端面开口，且上述端面与上述周缘部清理用吸引罩和吸引单元连通，并且，以在该吸引罩的开口端部与被加工面之间设置能够吸引外部气体的空隙的方式配置。(第16发明) 
并且，第16发明所述的板状部件的加工装置中的上述周缘部加工用清理室的开口端部，具有用于导入外部气体的引导部。(第17发明) 
并且，第6发明所述的板状部件的加工装置中的上述内侧部加工室与内侧部加工用清理室邻接，该内侧部加工用清理室用于对附着在被加工面上的喷射材料和因喷丸加工而产生的粉尘进行吸引和回收。(第18发明) 
并且，第18发明所述的板状部件的加工装置中的上述内侧部加工用清理室具备：中空形状的内侧部清理用吸引罩，该内侧部清理用吸引罩的形成顶面的一端面被封闭，并且与上述顶面相向的面开口；内侧部 清理用风机喷嘴，该内侧部清理用风机喷嘴是对被加工面吹送压缩空气而将附着在该被加工面上的上述喷射材料和上述粉尘从该被加工面剥离并除去的喷嘴，且以该喷嘴的喷射口被上述内侧部清理用吸引罩的侧壁覆盖的方式配置于该内侧部清理用吸引罩；内侧部清理用吸引部件，该内侧部清理用吸引部件的两端面开口，且上述端面与上述内侧部清理用吸引罩和吸引单元连通，并且，以在该吸引罩的开口端部与被加工面之间设置能够吸引外部气体的空隙的方式配置。(第19发明) 
并且，第19发明所述的板状部件的加工装置中的上述内侧部加工用清理室的开口端部，具有用于导入外部气体的引导部。(第20发明) 
并且，在第1发明所述的板状部件的加工装置中，上述移动单元具有载置上述板状部件并且为了加工该板状部件而使该板状部件移动的机构(第21发明)。 
并且，第1、4、6、15、19、21发明中的任意一项所述的板状部件的加工装置，具有将上述板状部件的作为被加工边的周缘部进行加工后，使该板状部件旋转大致90°的单元。(第22发明) 
并且，第1、4、6、15、19、21发明中的任意一项所述的板状部件的加工装置，具有将上述板状部件向对该板状部件的周缘部进行加工的区域搬送的搬入单元，上述搬入单元具备具有独立气泡构造的聚氨酯树脂制的搬送辊。(第23发明) 
并且，第23发明所述的板状部件的加工装置中的上述搬入单元，具有用于设定搬送的上述板状部件的停止位置的停止位置设定单元(第24发明)。 
并且，第24发明所述的板状部件的加工装置中的上述停止位置设定单元，具有用于设定搬送方向侧的停止位置的搬送方向侧设定单元，上述搬送方向侧设定单元以与上述搬送方向正交的方式配置至少1个以上的圆柱状的搬送方向侧设定部件(第25发明)。 
并且，第25发明所述的板状部件的加工装置中的上述停止位置设定单元，具有用于设定与搬送方向侧正交的一侧的停止位置的加工边侧设定单元，上述加工边侧设定单元配置至少1个以上的圆柱状的加工边 侧设定部件(第26发明)。 
并且，第23发明所述的板状部件的加工装置，具有在对上述板状部件的周缘部进行加工后将该板状部件向加工区域外搬送的搬出单元，上述搬出单元具备具有独立气泡构造的聚氨酯树脂制的搬送辊(第27发明)。 
并且，在第1、4、6、15、19、21发明中任意一项所述的板状部件的加工装置中，使通过其进行加工的上述板状部件为在玻璃等透光性基材的平面上积层透明电极层、光半导体层以及金属层等形成薄膜太阳电池盘所需的薄膜层而成的薄膜太阳电池盘。(第28发明) 
第1、4、6、15、19、21中任意一项发明所述的板状部件的加工方法，具有：在上述周缘部加工室的空隙中将作为被加工物的板状部件的周缘部从加工开始位置***的工序、从上述周缘部加工用喷射喷嘴向被加工物喷射喷射材料的工序、通过该喷射材料将非加工物表面的不需要的薄膜层切削除去的工序、将该喷射材料和因喷丸加工而产生的粉尘通过吸引单元进行吸引的工序。(第29发明) 
作为第29发明所述的板状部件的加工方法，具有：通过在***上述板状部件的方向上移动该板状部件方向来将最初的非加工边的不需要的薄膜层除去的工序、在最初的被加工边的加工完成后使该板状部件旋转大致90°并且将该被加工物向上述加工开始位置移动的工序、通过将该板状部件在进行上述***的方向上移动来除去与最初的被加工边邻接的边的不需要的薄膜层的工序。(第30发明) 
发明的效果 
通过从上述周缘部加工用喷丸加工喷嘴向***上述周缘部加工室的被加工物(在平面为四边形的板状的基材的上述平面形成有薄膜层的板状部件)的周缘部喷射喷射材料，利用喷丸加工将被加工物的不需要的薄膜层除去。此时，上述喷射材料和除去的薄膜层等因喷丸加工而产生粉尘(以后简称为“粉尘”)，由于上述周缘部加工用飞散防止罩和上述周缘部加工用吸引罩而不会飞散到该周缘部加工室的外部，并且通过与该吸引罩连通的吸引单元进行吸引和回收。并且，由于该周缘部加工室的上述开口部的开口端部与被加工物所形成的空隙，被加工面侧及其背面侧的开口端部不与被加工物接触，从而能够边导入外部气体边高效地进行上述喷射材料和上述粉尘的吸引和回收(第1、29发明)。并且，通过使该喷丸加工喷嘴相对于被加工物成30～75°的角度，并且以该喷丸加工喷嘴的喷射口朝向被加工物的周缘部侧的方式配置，从而能够促进从该喷丸加工喷嘴喷射的喷射材料向吸引单元的移动，并且防止没有通过喷射材料进行被加工物的加工的内侧受损(第2发明)。 
通过将上述周缘部加工室在被加工物的平行的两边(被加工边)上配置，利用移动单元使被加工物相对于上述周缘部加工用喷丸加工喷嘴相对地移动，从而能够同时进行上述两边的加工。上述移动单元，可以使上述周缘部加工室移动，也可以使被加工物移动，但是采用使被加工物移动的构造则能够简化装置(第21发明)。并且，该周缘部加工室以相对于与上述被加工边正交的边平行的方式(即，与连结该喷丸加工喷嘴的喷射口的中心点的假想线(参照图13)平行的方式)配置(第4、5发明)。并且，在将上述被加工边进行加工后使被加工物相对于该喷丸加工喷嘴旋转90°后进行同样的加工，从而能够对4边的周缘部进行加工(第22、30发明)。 
在将大型的板状部件切断而得到多枚除去了周缘部的板状部件的情况下，可以使用预先将大型的板状部件的外周部和切断后成为板状部件的外周部的部位(内侧部)的薄膜层除去后进行切断这样的单元。这样，在需要对内侧部进行加工的情况下，能够在平行的上述被加工边之间配置用于将内侧部的不需要的薄膜层除去的内侧部加工室。通过从上述内侧部加工用喷丸加工喷嘴喷射的喷射材料将不需要的薄膜层除去，并且上述喷射材料和粉尘由于上述内侧部加工用吸引罩而不会飞散到该内侧部加工室的外部，并且通过与该吸引罩连通的吸引单元被吸引和回收。并且，由于在该吸引罩的开口端部与被加工物之间形成的空隙，上述开口端部不与被加工物接触，能够边导入外部气体边高效地进行上述喷射材料和上述粉尘的吸引和回收(第6、7发明)。并且，将上述内侧部加工用吸引部件配置在被加工物的相对的移动方向的前方的上方，将该喷嘴配置在后方，从而使与从该喷嘴喷射的该部件碰撞、或者残留的喷射材料通过该吸引部件的正下附近，能够高效地吸引和回收该喷射材料(第8发明)。另外，将该喷嘴以相对于被加工物成30°～75°的 角度的方式配置，在上述前方的壁面上配置上述辅助吸引部件则更具效果(第9、10发明)。 
通过使上述周缘部加工用喷丸加工喷嘴和上述内侧部加工用喷丸加工喷嘴的喷射口为矩形(宽度XW≥长度XL)，与喷射口为圆形状时相比能够一次进行大面积的加工。另外，使被加工物的移动方向为该喷射口的长度方向，能够一次进行更大宽度的加工(第12、13发明)。并且，通过使该喷嘴为第14发明所述的构造，无需复杂的附带设备即可进行连续的加工。 
在通过了上述周缘部加工室的被加工物上残留有喷射材料和粉尘的情况下，通过从喷嘴吹送压缩空气从而能够从被加工物剥离(风机)。通过使具有上述周缘部清理用风机喷嘴的上述周缘部加工用清理室与上述周缘部加工室邻接，从而能够利用从该风机喷嘴喷射的压缩空气将上述喷射材料和上述粉尘从上述被加工物剥离，剥离的上述喷射材料和上述粉尘由于上述周缘部清理用吸引罩而不会飞散到该清理室的外部，并且通过与该吸引罩连通的吸引单元进行吸引和回收。并且，由于在该吸引罩的开口端部与被加工物之间形成的空隙，上述开口端部不与被加工物接触，能够边导入外部气体边高效地进行上述喷射材料和上述粉尘的吸引和回收(第15、16发明)。 
同样地，在通过了上述内侧部加工室的被加工物上残留有喷射材料和粉尘的情况下，使上述内侧部加工用清理室与上述内侧部加工室邻接，从而使上述喷射材料和上述粉尘从被加工物剥离，并且能够避免向该清理室外飞散地进行吸引和回收(第18、19发明)。 
上述周缘部加工室、上述内侧部加工室、上述周缘部加工用清理室、上述内侧部加工用清理室的开口端部具有用于导入外部气体的引导部，因此外部气体的导入流畅，其结果能够促进上述喷射材料和切削除去的薄膜等粉尘向吸引单元的移动，高效地进行吸引和回收(第3、11、17、20发明)。 
具有将被加工物向通过上述周缘部加工室和上述内侧部加工室进行加工的区域搬送的搬入单元和将加工后的被加工物从上述区域向外部搬送的搬出单元，从而能够自动连续地进行被加工物的加工。搬送被 加工物的上述搬入单元和上述搬出单元，采用经由搬送辊进行搬送的构造则能够以简单的构造对被加工物进行搬送。一旦在上述搬送辊附着了喷射材料或粉尘的情况下，在搬送被加工物时可能因上述喷射材料和上述粉尘而导致被加工物受损。通过使与被加工物接触的上述搬送辊的材质为具有独立气泡构造的聚氨酯树脂制，能够对被加工物无损伤地进行搬送(第23、第27发明)。并且，通过在上述搬送单元中配置用于设定搬送的板状部件的停止位置的停止位置设定单元，能够连续地进行稳定的加工(第24发明)。上述停止位置设定单元优选如第25、26发明所述地进行配置。 
通过上述板状部件的加工装置，将在玻璃等透光性基材的表面积层有形成太阳电池盘所需的薄膜层所得的薄膜太阳电池盘的周缘部和内侧部的不需要的薄膜层除去，从而能够得到可确保上述薄膜层的积层面与该积层面的背面的绝缘性的薄膜太阳电池盘(第28发明)。 
并且，本说明书中的“平面为四边形的板状部件”是指例如平面为正方形或长方形的板状部件，并且也包含具有制造误差者。 
附图说明
图1为表示实施方式中的周缘部加工室的说明图。图1(A)为主视图、图1(B)为图1(A)中的A-A方向的向视图(俯视图)、图1(C)为表示构成的模式图。 
图2为表示实施方式中的周缘部加工室的说明图。图2(A)为***被加工物时的俯视图、图2(B)为图2(A)中的A-A线截面、图2(C)为图2(B)中的开口端部的放大图。 
图3为表示实施方式中的周缘部加工用喷丸加工喷嘴的配置状态的说明图。图3(A)为表示相对于被加工物以90°配置时的模式图、图3(B)为表示相对于被加工物以θa的角度倾斜配置时的模式图。 
图4为表示实施方式中的周缘部加工室的引导部的说明图。图4(A)为俯视图、图4(B)为图4(A)中的A-A线截面图、图4(C)为图 4(B)中的开口端部的放大图。 
图5为表示实施方式中的内侧部加工室的说明图。图5(A)为主视图、图5(B)为图5(A)中的A-A线向视图(俯视图)、图5(C)为图5(A)中的B-B线向视图(右侧视图)、图5(D)为图5(C)中的开口端部的放大图。 
图6为表示实施方式中的内侧部加工用喷丸加工喷嘴的配置状态的说明图。图6(A)为相对于被加工物以90°配置时的模式图、图6(B)为表示相对于被加工物以θb的角度倾斜配置时的模式图、图6(C)为表示内侧部加工用喷丸加工喷嘴的配置例的模式图。 
图7为表示实施方式的内侧部加工室中的辅助吸引单元的说明图。图7(A)为俯视图、图7(B)为图7(A)中的A-A线截面图。 
图8为表示实施方式的内侧部加工室中的引导部的说明图。图8(A)为俯视图、图8(B)为图8(A)中的A-A线截面图、图8(C)为图8(B)中的开口端部的放大图。 
图9为表示实施方式中的周缘部加工用清理室的说明图。图9(A)为主视图、图9(B)为图9(A)中的A-A线向视图(俯视图)、图9(C)为图9(B)中的B-B线截面图、图9(D)为图9(C)中的开口端部的放大图。 
图10为表示实施方式中的周缘部加工用清理室的引导部的说明图。图10(A)为主视图、图10(B)为图10(A)中的A-A线截面图、图10(C)为图10(B)中的开口端部的放大图。 
图11为表示实施方式的周缘部加工室和内侧部加工室与清理室邻接的状态的说明图。图11(A)为表示周缘部加工室与周缘部加工用清理室邻接的状态的模式图(周缘部加工组件)、图11(B)为表示内侧部加工室与内侧部加工用清理室邻接的状态的模式图(内侧部加工组件)。 
图12为表示实施方式中的喷丸加工喷嘴的说明图。图12(A)为主视图、图12(B)为图12(A)中的A-A线向视图、图12(C)为图12(A)中的B-B线向视图、图12(D)为图12(A)中的C-C线 截面图。 
图13为表示实施方式的喷丸加工喷嘴的喷射口(开口部)与被加工物的位置关系的说明图。图13(A)(B)为在被加工物的被加工边以外的平行的两边的上方配置了喷丸加工喷嘴(周缘部加工用)的模式图、图13(C)(D)为在1对的喷丸加工喷嘴(周缘部加工用)的中心配置了1个喷丸加工喷嘴(内侧部加工用)的模式图。 
图14表示实施方式的装置构成的说明图。图14(A)为主视图、图14(B)为图14(A)中的A-A线截面图、图14(C)为图14(A)中的B-B线向视图、图14(D)为图14(B)中的C-C线截面图。 
图15为表示实施方式的加工工序的说明图。 
图16为用于说明实施例的说明图。 
符号说明 
01：加工装置；10：周缘部加工室；11：飞散防止罩(周缘部加工用)；11a：凸缘部；11b：开口端部；11c：引导部；12：吸引罩(周缘部加工用)；12a：凸缘部；12b：开口端部；12c：引导部；13：吸引部件(周缘部加工用)；14：连结部件；15：喷丸加工用喷嘴(周缘部加工用)；15a：喷射口；15b：空气喷嘴；15c：喷嘴本体；15d：喷射部；15e：混合室；20：清理室；22：吸引罩(清理用)；22b：开口端部；22c：引导部；23：吸引部件(清理用)；25：风机喷嘴；30：内侧部加工室；32：吸引罩(内侧部加工用)；32b：开口端部；32c：引导部；33：吸引部件(内侧部加工用)；35：喷丸加工用喷嘴(内侧部加工用)；35a：喷射口；36：辅助吸引部件；51：搬送单元；51A：搬入单元；51B：搬出单元；52a：搬送辊；52b：轴；52：移送单元；52a：工作台；52b：定位单元；52c：旋转单元；52d：移动单元；53a：搬送方向侧设定部件；53b：加工边侧设定部件；60：加工组件；61：周缘部加工组件；61a：臂(周缘部加工用)；61c：连结部件(周缘部加工用)；62：清理室(周缘部加工用)；65：对位单元；66：内侧部加工组件；66a：臂(内侧部加工用)；66c：连结部件(内侧部加工用)；67：清理室(内侧部加工用)；70：壳；70a：开口部；W：被加工物；Wc (通过切断得到的)被加工物；SA、sa1、sa2、sb1、sc1：空隙；i、ia假想线 
具体实施方式
以下，使板状部件为薄膜太阳电池盘，以该薄膜太阳电池盘的加工为例，示出用于实施本发明的一例。薄膜太阳电池盘，为了确保如上所述形成有薄膜层的面及其背面的绝缘性，需要将周缘部的薄膜层从玻璃等的基材完全除去。在本实施方式中，对将在玻璃基材上形成了薄膜层的大型薄膜太阳电池盘切断，而获得可以除去4边的周缘部薄膜层的4枚小型薄膜太阳电池盘的方法进行说明。并且，本发明的加工装置不限于本实施方式的构成，而可以根据需要进行适宜变更。并且，说明中的前后左右方向在没有相反说明的情况下为图中的方向。 
本实施方式中的加工装置01构成为包括：用于对被加工物W的周缘部和内侧部进行加工的加工组件60、用于搬送被加工物W的搬送组件50、覆盖上述加工组件60和搬送组件50的壳70。上述加工组件60包含：用于对被加工物W的周缘部进行加工的周缘部加工室10、用于对被加工物W的内侧部进行加工的内侧部加工室30、根据需要与上述周缘部加工室10邻接的周缘部加工用清理室(以后记为“清理室E”)62和与内侧部加工室邻接的内侧部加工用清理室(以后记为“清理室I”)67。 
(周缘部加工室) 
参照附图对周缘部加工室10的构成进行说明。周缘部加工室10具有恒定的四边形横截面，并且构成为包括：顶面封闭的中空形状的飞散防止罩(周缘部加工用)(以后记为“飞散防止罩A”)11；中空形状的吸引罩(周缘部加工用)(以后记为“吸引罩A”)12，其连续地具有与上述飞散防止罩A相同的横截面，朝向下方(底部)横截面的面积连续地减小(倒四棱锥形状)，并且两端开口；用于使上述飞散防止罩A与上述吸引罩A连结的连结部件(以后记为“连结部件A”)14；用于进行喷丸加工的喷丸加工喷嘴(周缘部加工用)(以后记为“喷嘴A”)15；用于使吸引单元与上述吸引罩A连结的吸引部件(周缘部加工用)(以后记为“吸引部件A”)13(参照图1)。 
在使飞散防止罩A(11)和吸引罩A(12)连结的位置，分别配置有相同形状的凸缘部11a、12a(在本实施方式中为コ字形状)。凸缘部11a、12a都是相同的形状，并且经由与该凸缘部相同形状的连结部件A(14)将上述飞散防止罩A(11)与上述吸引罩B(12)连结，从而该飞散防止罩A和该吸引罩B形成内部连续的空间，并且在飞散防止罩A(11)与吸引罩A(12)之间的一部分(一端)上获得空隙SA。该空隙SA必须是能够***并且通过太阳电池盘(以后记为“被加工物”)W的周缘部(被加工边)的形状。另外，在将被加工物W***空隙SA时，能够充分确保飞散防止罩A(11)和吸引罩A(12)的开口端部11b、12b与被加工物W之间的空隙sa1、sa2(参照图1和图2，图2(C)中的虚线表示外部气体导入的样子)。通过使图2(A)那样***的被加工物相对于上述喷嘴A相对地沿着该图上下方向移动而能够对作为被加工边的周缘部进行加工。 
吸引罩A(12)在底部配置有吸引部件A(13)。上述吸引部件A(13)为两端开口的中空形状，一端与吸引罩A(12)的底部侧的开口面连结，另一端经由管道(周缘部加工用)(未图示)与吸引单元(未图示)(在本实施方式中为集尘装置)连结。即，形成飞散防止罩A(11)和吸引罩A(12)的空间、与形成该吸引单元的空间成为连通的空间。 
在飞散防止罩A(11)的顶面配置有喷嘴A。即，通过飞散防止罩A(11)覆盖该喷嘴A(11)的喷射口15a。喷嘴A(15)相对于被加工物W的角度θa可以为垂直，但是优选上述喷射口15a朝向被加工物W的周缘部方向在30°～75°的范围内倾斜。在从上述喷射口15a向被加工物W进行喷射后，通过和与碰撞被加工物W的喷射材料和喷射材料进行碰撞而被切削除去的薄膜层等粉尘(以后简称为“粉尘”)向上方飞扬。另一方面，在被加工物W的下部、即吸引罩12侧，通过与吸引部件13连结的吸引单元边从空隙sa1、sa2导入外部气体边进行吸引，因此该喷射材料和该粉尘向吸引罩12侧移动，可以经由吸引部件13通过吸引单元进行回收。特别是喷射材料，可能在与被加工物W碰撞而反射的喷射材料在与飞散防止罩A(11)内部的顶面或侧壁面部碰撞后反射，而再次与被加工物W碰撞，但是通过使喷嘴A(15)如上所述朝向被加工物W的周缘部的方向倾斜，产生促进从喷嘴A(15)喷射的喷射材料朝向下方、即吸引部件A(13)的气流，因此不会与飞 散防止罩11的顶面和侧壁面发生碰撞而避免了反射，能够防止被加工物W因喷射材料受损(参照图3)。如果喷嘴A(15)与被加工物W所成角度θa过小则无法获得切削薄膜层的力，θa过大则无法充分获得倾斜喷嘴A(15)来促进喷射材料和粉尘朝向吸引部件A(13)的效果。另外，使喷嘴A(15)的喷射口15a的形状为矩形形状(宽度XW≥长度XL)，以该喷射口15a的长尺寸方向与被加工边正交的方式配置喷嘴A(15)(参照图13(A))。 
喷嘴A(15)构成为包括：喷嘴本体15c；空气喷嘴15b，其用于向上述喷丸加工喷嘴本体内部导入压缩空气，并且在该喷丸加工喷嘴本体的内部产生负压；喷射部15d，其具有喷射喷射材料的喷射口15a，该喷射材料利用上述负压被吸引到喷丸加工喷嘴本体的内部，并且在该喷丸加工喷嘴本体内部的混合室中与压缩空气混合。将由压缩空气发生源(未图示)发生的压缩空气，经由压缩空气导入用软管(周缘部加工用)(未图示)，从上述空气喷嘴15b导入上述喷嘴本体15c的内部，由此产生负压。喷射材料利用在该喷嘴本体15c内产生的负压被从喷射材料贮藏料斗(未图示)经由喷射材料供给用软管(未图示)被吸引到该喷嘴本体15c内。被吸引的喷射材料在该喷嘴本体15c内的混合室15e中与压缩空气混合，作为固气二相流从喷射口15a喷射。采用本实施方式的构造，能够稳定地进行长时间加工(参照图12)。另外，在薄膜层的硬度高而需要更强的加工力时，可以通过在装填喷射材料的加压箱内进行加压将喷射材料投入压缩空气流，作为压缩空气与喷射材料的固气二相流向喷嘴压送，从喷射口进行喷射。需要加压箱和与其对应的附带设备，与本实施方式相比装置会大型化，但是喷射材料的喷射速度快，能够获得较强的加工力。 
在飞散防止罩A(11)和吸引罩A(12)的开口端部11b、12b，可以如图2(C)的虚线所示，从上述空隙sa1、sa2向周缘部加工室的内部导入外部气体。为了更加高效地导入外部气体，可以在上述开口端部11b、12b分别配置用于导入外部气体的引导部11c、12c。通过配置引导部，能够降低压力损失，高效地导入外部气体。在本实施方式中，引导部的形状为从内侧朝向外侧的R形状(参照图4，图4(C)中的虚线表示导入外部气体的样子)。 
(内侧部加工室) 
参照附图对在平行的两边的上述被加工边之间配置的内侧部加工室进行说明。内侧部加工室30具有连续的四边形的横截面，并且构成为包括：顶面封闭的中空形状的吸引罩(内侧部加工用)(以后记为“吸引罩B”)32；用于使上述吸引罩B与吸引单元连结的吸引部件(内侧部加工用)(以后记为“吸引部件B”)33；用于将压缩空气向被加工物W吹送而使在被加工物W上附着的喷射材料和粉尘从被加工物剥离的喷丸加工喷嘴(内侧部加工用)(以后记为“喷嘴B”)35。两端开口的中空形状的上述吸引部件B的一端与上述吸引罩B(32)的顶面连结，另一端经由管道(内侧部加工用)(未图示)与吸引单元连结。即，该吸引罩B(32)与该吸引单元形成连通的空间(参照图5)。 
吸引罩B(32)配置在被加工物W的上方，并且形成为为了导入用于通过上述吸引单元进行吸引的外部气体，能够充分确保被加工物W与吸引罩B(32)的开口端部32b之间的空隙sb2(参照图5(D)，图中的虚线表示外部气体导入的样子)的结构。另外，被加工物W，如上所述，相对于喷嘴B(35)相对地移动进行加工。 
上述喷嘴B(35)配置在上述吸引罩B(32)的顶面上。即，通过吸引罩B(32)覆盖该喷嘴B(35)的喷射口(未图示)。吸引部件B(33)与喷嘴B(35)的位置关系优选为，在被加工物W的移动方向前方侧(图5(C)中的箭头方向)配置吸引部件B(33)，相对于被加工物W的移动方向在该吸引部件B(33)的后方配置喷嘴B(35)。另外，喷嘴B(35)相对于被加工物W的角度θb可以为垂直，但是优选以喷嘴B(35)的喷射口35a朝向被加工物W的移动方向侧、即配置上述吸引部件B(33)的一侧那样，相对于被加工物W成为30°～75°的方式配置。在内侧部加工室30的被加工物W的加工中，能够通过从喷嘴B(35)向被加工物喷射的喷射材料与被加工物碰撞而将薄膜层切削除去。与被加工物W碰撞的喷射材料和切削除去的粉尘向上方飞扬。另一方面，在被加工物W的上部，通过与吸引部件33连结的吸引单元从空隙sb2边取入外部气体边进行吸引，因此该喷射材料和粉尘经由吸引部件33通过吸引单元被回收。喷嘴B(35)的喷射口35a朝向被加工物W的移动方向侧那样倾斜地设置，由此，喷射材料在与被加 工物W碰撞后，朝向吸引部件B(33)的方向反射，能够高效地回收喷射材料。如果θb过小则开口端部32b中的外部气体的吸引力低于喷射材料的喷射力，因此喷射材料向周缘部加工室外漏出，如果θb过大则不仅无法充分获得上述的效果，而且可能会因与壁面碰撞反射的喷射材料使被加工物W受损(参照图6(A)和(B))。为了倾斜配置喷嘴B，使吸引罩B(32)为截面呈梯形的箱状，从而能够将吸引部件B(33)配置在单侧的斜面上，将喷嘴B(35)配置在与设有吸引部件B(33)的一侧相反一侧的斜面上(参照图6(C))。 
另外，将两端开口而一端经由管道(周缘部加工用(辅助吸引))(未图示)与吸引单元连结的中空形状的辅助吸引部件36的另一端配置在设置有吸引部件B(33)侧的壁面上。辅助吸引部件36的目的是在内侧部加工室30内促进喷射材料和粉尘朝向吸引部件的气流的发生。因此，辅助吸引部件36中的吸引力可以比吸引部件B(33)中的吸引力小。在本实施例中配置了5个具有比吸引部件B(33)的直径足够小的直径的辅助吸引部件36(参照图7)。 
上述喷嘴B(35)只要能够通过喷丸加工将被加工物W的薄膜层除去即可，其形状和构造没有特别限定，但是在本实施方式中，采用与上述喷嘴A(15)相同者。另外，喷嘴B(35)以喷射口35a的长尺寸方向与上述被加工边正交的方式配置(参照图13(B))。 
可以在吸引罩B(32)的开口端部32b上配置用于高效地导入外部气体的引导部32c。在本实施方式中，引导部的形状与上述的周缘部加工室10同样为从内侧朝向外侧的R形状(参照图8，图8(C)中的虚线表示导入了外部气体的样子)。 
(清理室) 
在通过上述周缘部加工室10和上述内侧部加工室30对被加工物W进行加工后，在被加工物W的表面附着(残留)有喷射材料和粉尘等情况下，可以根据需要使清理室20与上述周缘部加工室10和上述内侧部加工室30邻接。清理室具有连续的四边形的横截面，并且构成为包括：顶面封闭的中空形状的吸引罩(清理用)(以后记为“吸引罩C”)22；用于使上述吸引罩C与吸引单元连结的吸引部件(清理用)(以后 记为“吸引部件C”)23；将压缩空气向被加工物W吹送而使在被加工物W上附着的喷射材料和粉尘从被加工物剥离的风机喷嘴(以后记为“喷嘴C”)25。两端开口的中空形状的上述吸引部件C的一端与上述吸引罩C(22)的顶面连结，另一端经由管道(清理用)(未图示)与吸引单元连结。即，该吸引罩C(22)与该吸引单元形成连通的空间。并且，与周缘部加工室10邻接的清理室E(62)和与内侧部加工室邻接的清理室I(67)可以是同一形状也可以为不同形状，但是在本实施例中使用同一形状者。 
另外，上述喷嘴C(25)配置在上述吸引罩C(22)的顶面上。即，通过吸引罩C(22)覆盖该喷嘴25的喷射口(未图示)。上述吸引部件C(23)和喷嘴C(25)的位置关系以及设置角度等没有特别限定，可以根据运转条件进行适宜变更。例如，在吸引罩C(22)的顶面部，可以在被加工物W的移动方向前方侧配置吸引部件C(23)，相对于被加工物W的移动方向在该吸引部件C(23)的后方配置喷嘴C(25)。在本实施例中，喷嘴C(25)设置为处于吸引罩C(22)的顶面部的中心，夹持喷嘴C(25)在被加工物W的移动方向前方侧和后方侧分别设置吸引部件C(23)(参照图9)。 
吸引罩C(22)配置在被加工物W的上方，并且形成为为了导入用于通过上述吸引单元进行吸引的外部气体，能够充分确保被加工物W与吸引罩C(22)的开口端部22b之间的空隙sb2的构成。将通过压缩空气供给源发生的压缩空气，经由与压缩空气供给源和喷嘴C(25)连结的压缩空气导入用软管(周缘部清理用)(未图示)导入喷嘴C(25)，并且将其从喷嘴C(25)的喷射口向被加工物W吹送，从而使喷射材料和粉尘从被加工物脱离。脱离的喷射材料和粉尘通过空隙sc1边取入外部气体边经由吸引部件C(23)通过吸引单元吸引并被回收(参照图9，图9(D)中的虚线表示外部气体导入的样子)。也可以在吸引罩C(22)的开口端部22b配置用于高效地导入外部气体的引导部32c。在本实施方式中，引导部的形状与上述的周缘部加工室10和内侧部加工室30同样地为从内侧朝向外侧的R形状(参照图10，图10(C)中的虚线表示外部气体导入的样子)。 
在喷射材料和粉尘牢固附着的情况下，例如可以将除去上述喷射材 料和上述粉尘的带电等减弱附着力的物质(若干的水分、静电除去材、离子或原子团等)与压缩空气一起喷射，也可以使用超声波风机。并且，上述喷射口的形状可以为矩形或圆形等而没有特别限定，可适宜选择。 
(加工组件) 
加工组件60构成为包括：周缘部加工组件(61)，其由在图11中对平行的两边的被加工边进行加工的1对周缘部加工室10和与上述周缘部加工室10经由连结部件(周缘部加工用)(以后记为“连结部件E”)61c分别邻接的清理室E(62)构成；内侧部加工组件(66)，其由在上述周缘部加工室之间配置的内侧部加工室30和与上述内侧部加工室30经由连结部件(内侧部加工用)(以后记为“连结部件I”)66c邻接的清理室I(67)构成。内侧部加工组件66根据需要可以配置多台或不配置。并且，如上所述被加工物W相对于喷嘴A(15)和喷嘴B(35)相对地移动，因此上述清理室E(62)和清理室I(67)可以配置在被加工物的相对于喷嘴A(15)和喷嘴B(35)的相对的移动方向的前方侧外壁面或前方侧和后方侧的外壁面两方上、或者也可以不配置。在本实施方式中，如图11所示那样配置一台内侧部加工室30，并且将清理室E(62)和清理室I(67)分别配置于上述移动方向前方侧(该图中的箭头方向)。 
1对周缘部加工室10，在连结喷嘴A(15)的喷射口15a的中心的假想线i相对于被加工边(图13(A)中的阴影部)以外的平行的水平面上的边平行地配置时，加工时间最短而优选，但是也可以根据被加工物W的大小和加工装置01的形状来适宜选择平行、非平行中的一种配置。并且，内侧部加工室30可以配置在作为周缘部的被加工边之间，喷嘴B(35)的喷射口35a的中心也可以在上述假想线i上配置(参照图13(B))。 
(搬送组件) 
搬送组件构成为包括：搬送单元51，其用于将被加工物W搬送到移送单元52的位置，并且将完成了加工的被加工物W向壳70的外部搬送；以及，移送单元52，其为了通过上述加工组件60对被加工物W进行加工而使其移动。并且，用于将完成了加工的被加工物W向壳71 的外部搬送的搬出单元51B，可以兼做用于将被加工物W搬送到移送单元52的位置为止的搬入单元51A，但是在本实施方式中采用了分别配置了搬入单元51A和搬出单元51B的搬送单元51。 
搬入单元51A构成为包括：载置被加工物W而搬送该被加工物W的搬送辊51a；贯通上述搬送辊51a的轴心并且保持该搬送辊51a的轴51b；以及，与上述轴51b连结而驱动该搬送辊51a用的驱动单元(未图示)。并且，邻接的上述搬送辊51a交错状配置。这是为了在搬送被加工物W时一旦产生蛇行运动的力的情况下对搬送方向的搬送力适当地进行传递来修正。 
搬入单元51A上载置的被加工物W与搬送辊接触。并且，上述驱动单元(在本实施方式中为电动机)经由驱动传递单元(在本实施方式中为带轮和皮带)与上述轴连结。通过使该驱动单元驱动而使上述轴51b和搬送辊51a旋转来搬送被加工物W。为了使搬送的被加工物W在规定的位置停止，配置有停止位置设定单元。停止位置设定单元构成为包括：在被加工物W的搬送方向侧(图14(B)中的右方向)配置的搬送方向侧设定单元，以及在图14(B)的上下方向侧配置的加工边侧设定单元。在本实施方式中，搬送方向侧设定单元将圆柱形状的2个搬送方向侧部件(以后记为“设定部件A”)53a以连结该设定部件A(53a)的轴心彼此的假想线ia相对于搬送方向(图14(B)中的右方向)垂直的方式配置。搬送的被加工物W与上述设定部件A(53a)的圆弧面碰撞而停止，因此根据上述设定部件A(53a)的配置位置来设定搬送的被加工物W的搬送方向侧的停止位置。并且，加工边侧设定单元相对于上下方向的各边各至少配置1个圆柱形状的加工边侧设定部件(以后记为“设定部件B”)53b。设定部件B(53b)分别与驱动单元(未图示)连结，通过该驱动单元使设定部件B(53b)在被加工物W的方向上移动，设定部件B(53b)的圆弧面与被加工物W的该边接触，被加工物W移动，从而可以设定相对于搬送方向在垂直方向的位置。并且，通过使上述设定部件A(53a)和上述设定部件B(53b)为辊，与被加工物W碰撞的点按照操作而不同，从而能够防止接触点集中磨损。在本实施方式中，上述设定部件A(53a)相对于被加工物W的搬送方向侧的边配置两个，上述设定部件B(53b)在被加工物W的上下方向各自的边上各配置一个。也可以根据需要变更设置的个数(例如将上述设 定部件B(53b)相对于被加工边分别各配置2个，使连结该定位部件的轴心彼此的假想线相对于该边平行)。并且，可以根据需要不配置停止位置设定单元，也可以将加工边侧设定单元相对于任意一方的边配置。并且，上述搬送方向侧设定单元，可以将上述设定部件A(53a)与其它的部件组合，上述加工边侧设定单元可以将上述设定部件B(53b)与其它的部件组合。 
并且，搬出单元51B除了没有配置上述停止位置设定单元以外，与上述搬入单元51A构造相同。 
在通过搬入单元51A和搬出单元51B搬送被加工物W时，可能因搬送辊51a的材质使被加工物W的接触面受损。例如，大气中的尘土夹入搬送辊51a而导致其受损。并且，搬送单元B(51B)在因加工而在被加工物W上残留喷射材料和粉尘的情况下，喷射材料和粉尘夹入搬送辊51a，同样会受损。为了防止这种受损，优选搬送辊51a的材质为具有独立气泡构造的发泡聚氨酯。即使在夹入尘土或喷射材料等硬质的异物的情况下，由于能够作为缓冲件有效地发挥作用，从而能够防止被加工物W受损。 
如上所述，相对于喷嘴A(15)和喷嘴B(35)，相对地使被加工物W移动，从而能够对连续的范围进行加工。相对的移动可以使周缘部加工室10、周缘部加工组件20、内侧部加工室30、内侧部加工组件40移动，但是使被加工物W移动则能够简化装置，从而更优选。在本实施方式中，通过移送单元52使被加工物W移动。 
本实施方式中的移送单元52构成为包括：用于载置被加工物W的工作台52a；用于进行被加工物的高度方向的定位的定位单元(以后记为“定位单元”)52b；用于使被加工物W以其平面的中心点为中心旋转90°的旋转单元52c；为了对被加工物W进行连续加工而使移送单元52自身移动的移动单元52d。并且，上述工作台52a配置有用于固定所载置的被加工物W的固定单元(未图示)。 
(加工装置) 
如图14所示，配置加工组件60、搬送组件50、壳70而构成加工 装置01。并且，在该图中为了方便而省略了管道和软管。周缘部加工组件61经由与连结部件E(61c)连结的臂(周缘部加工用)(以后记为“臂E”)61a而与对位单元65连结。通过对位单元65能够使周缘部加工组件61根据被加工物W的大小和动作在图14(C)中的左右方向上移动来调整位置。并且，内侧部加工组件62经由连结部件I(66c)与对位单元65连结。 
在图14(B)中，被加工物W从左向右移动。搬送组件50以从该图的左侧起按照顺序配置搬送单元A(51A)、移送单元52、搬送单元B(51B)并且其中心点处于一直线上的方式进行配置。并且，以上述假想线i的中心与喷嘴B的喷射口35a的中心点位于连接搬送单元A(51A)、移送单元52、搬送单元B(51B)的中心线的线上的方式配置加工组件60。 
壳70以覆盖加工组件60、移送单元52全体以及搬入单元A(51A)、搬出单元B(51B)的方式形成。并且，具有用于将被加工物W***壳内的开口部71a和用于进行排出的开口部(未图示)。 
(加工方法) 
参照图15对使用本实施方式中的加工装置01进行除去太阳电池盘的薄膜层的加工的方法进行说明。并且在图15中，阴影部是通过加工除去薄膜层的部位。 
向控制单元(未图示)输入各种加工条件(被加工物W的尺寸、被加工物W的移动速度、喷射材料的喷射压力、加工图案(加工宽度、内侧部有无加工等)等)。根据输入的被加工物W的尺寸以被加工物W的平行的两边通过周缘部加工室10的开口部SA的方式通过对位单元65设定周缘部加工组件间的距离。将被加工物W载置于搬入单元51A，将被加工物W通过壳70的开口部70a搬入壳70的内部。搬入的被加工物W的与被加工边(图14(B)的上下的边)正交的搬送方向侧的边与设定部件A(53a)的圆弧面碰撞，在该位置停止。其后，与驱动单元连结的设定部件B(53b)分别朝向被加工边移动，在到达规定位置前使被加工物W在图14(B)中的上下方向移动。通过以上的动作，通过搬入单元51A将被加工物W搬送到移送单元52上(以后将该位置 记为“加工开始位置”)。搬送到移送单元52上的被加工物W通过工作台52a上配置的上述固定单元(例如吸引吸着装置或摩擦系数高的衬垫)被固定在移送单元52上。其后，通过定位单元52b使被加工物W上升，从而解除与搬送单元A(51A)的接触，并且以能够使被加工物W通过上述开口部SA，并且充分确保被加工物W与周缘部加工组件61之间的空隙和被加工物W与内侧部加工组件66之间的空隙的方式，通过定位单元52b来设定高度方向的位置(图14(D)中的上下方向)。 
在通过喷嘴A(15)和喷嘴B(35)的喷射口15a、35a喷射喷射材料的同时，使与周缘部加工室10、内侧部加工室30、清理室A(62)、清理室B(67)分别连结的吸引单元运转(吸引单元的台数没有特别限定)。其后，通过移送单元52使被加工物W从图14(B)和图15(A)中的左侧向右侧移动而通过喷嘴A(15)和喷嘴B(35)的正下方，从喷嘴A(15)和喷嘴B(35)喷射的喷射材料与被加工物W碰撞，通过该碰撞可以将薄膜层切削除去。并且，上述喷射材料和粉尘经由吸引部件A(13)和吸引部件B(33)，通过吸引单元被吸引和回收。***周缘部加工室10的被加工物W完全通过周缘部加工组件20和内侧部加工组件40，从而完成被加工物W的平行的两边的周缘部和内侧部的加工(以后将该位置记为“加工完成位置”)(参照图15(A)和图15(B))。 
通过对位单元65使周缘部加工组件20向扩大其间距离的方向移动。该距离相对于被加工物W的对角线长度足够长。其后，在通过旋转单元52c使被加工物旋转90°的同时，通过移送单元52使被加工物W向加工开始位置移动。移动后，按照上述输入的加工条件通过对位单元61设定周缘部加工组件20间的距离(参照图15(C))。其后，通过移送单元52使被加工物W同样地从图中左侧向右侧移动，并向加工完成位置移动，从而完成剩余的两边的周缘部和内侧部的中心部的加工(参照图15(D))。 
通过定位单元52b下降将完成了加工的被加工物W置于搬出单元51B。并且，利用搬出单元51B通过壳70的开口部向壳70的外部搬送(搬出)。通过公知的手段将被加工物W切断，能够获得对周缘部进行了加工的多个(在图15中为4枚)被加工物Wc(参照图15(E))。所 得的被加工物Wc的周缘部除去了薄膜层而使基材(玻璃)露出于表面。 
(变更例) 
在喷射的喷射材料和粉尘能够通过与周缘部加工室10和内侧部加工室30连结的吸引单元充分地吸引的情况下，也可以不设置清理室A(62)和清理室B(67)，即，可以仅通过周缘部加工室10和内侧部加工室30进行加工。并且，也可以使用清理室A(62)或清理室B(67)的任意一方。 
在仅对周缘部进行加工的情况下，可以不配置内侧部加工室30，或者在配置了内侧部加工室30的情况下，也可以不从上述喷嘴B(35)喷射喷射材料。 
内侧部加工室30可以配置多台。通过配置多台内侧部加工室30，进行上述的加工，能够将被加工物W分割为更小。例如，在配置两台内侧部加工室时，能够从被加工物W得到9枚被加工物W。 
清理室20可以在被加工物W的相对的移动方向前方侧配置吸引部件C(23)，在其相反侧配置喷嘴C(25)。并且优选，此时以喷嘴C(25)的喷射口朝向该被加工物W的移动方向前方侧的方式配置。从该喷嘴C(25)喷射的压缩空气，在与该被加工物碰撞后反射，而通过倾斜配置能够朝向该吸引部件C(23)。即，在反射的压缩空气的气流中，包含从被加工物W脱离的喷射材料和粉尘，能够将这些喷射材料和粉尘高效地吸引和回收。该被加工物W与该喷嘴C(25)所成角度优选30～75°。角度过小则吸引罩X(22)的开口端部22b中的外部气体的吸引力低于压缩空气的喷射力，因此喷射材料和粉尘会漏出到周缘部加工室外，而角度过大则无法充分获得上述的效果。 
在本实施方式中的加工中，在使被加工物W旋转90°前的加工时(图15(A))或在旋转90°后的加工时(图15(D))的任意一方加工中，可以从喷嘴B(35)喷射喷射材料。例如本实施例中使用1台内侧部加工组件40对正方形的被加工物W进行加工时，能够从正方形的被加工物W得到2枚长方形的被加工物W。并且与上述同样地，根据能够作为目标的被加工物W的尺寸来设置多台内侧部加工室或内侧部加 工组件。 
可以将平行的两边的周缘部在加工后，在上述加工结束位置翻转被加工物W后，通过移送单元52向加工开始位置移送而对剩余的两边进行加工。即，能够通过移送单元52的往复运动进行加工。但是，此时，对剩余的两边进行加工时被加工物W的移动方向成为反方向，因此在使清理室A(21)和清理室B(41)与周缘部加工室10和内侧部加工室30邻接的情况下，需要在翻转前的移动方向前方侧和翻转后的移动方向前方侧的双方上设置。并且，此时，搬送装置A(51A)能够兼用于被加工物W的***和排出。 
可以在将加工物W固定于工作台52a之后使加工组件60移动进行加工。 
壳不必覆盖加工组件60、移送单元52全体以及搬入装置51A、搬出装置51B全体，也可以仅覆盖上述加工开始位置与上述加工结束位置之间等一部分。并且，在不会从加工组件漏出喷射材料和粉尘，或者周边环境的尘土等不会附着在被加工物W和上述辊51b上的情况下，也可以不配置壳。 
在本实施方式中，为了同时对被加工物W的平行的两边进行加工而配置了两台周缘部加工室10，但是也可以仅配置1台来进行加工。 
实施例 
使用上述实施方式的加工装置，除去1100×1400mm的薄膜太阳电池盘的4边周缘部的薄膜层(除去宽度为11mm)(由于仅除去周缘部的薄膜层，因此不从喷嘴B(35)喷射喷射材料)。从喷嘴A以0.6MPa的喷射压力喷射喷射材料(WA#600)。并且，使薄膜太阳电池盘的移动速度为200mm/s(实施例1)。并且，作为比较，在下部与吸引单元连通的喷丸加工室内，使用1个与移送喷丸加工喷嘴的单元连结的喷丸加工喷嘴，通过移送该喷嘴进行同样的加工。喷丸加工喷嘴、喷射压力、喷射材料与实施例1相同，并且喷丸加工喷嘴的移动速度为与实施例1中的薄膜太阳电池盘的移动速度同样的200mm/s(比较例1)。评价针对加工时间、加工区域上的薄膜层的残留、加工区域以外的薄膜层是否 受损进行。加工区域上的评价通过SEM观察，评价表示为，无残留薄膜层：○；有残留薄膜层，但是残留薄膜层单独存在(不与加工部位以外的薄膜层连续)：△；有残留薄膜层并且与加工部位以外的薄膜层连续：×。并且，关于加工区域以外的薄膜层的受损通过SEM观察进行评价，关于加工区域以外的薄膜层的受损，表示为，在从加工边界起1mm以上的部位没有受损：◎；在从加工边界起2mm以上的部位没有受损：○；在从加工边界起2mm以上的部位有受损：×(参照图28，箭头表示损伤(一部分))。在太阳电池盘的加工中，由于加工部位以外的薄膜层受损而导致电动势降低，因此希望在从加工边界起1mm以上的部位没有受损，但实际上在制造太阳电池模块时只要2mm以上的部位没有受损即可。 
在实施例1中，加工时间为40秒的加工时间，没有薄膜层的残留，并且在从加工边界起1mm以上的部位没有看到加工部位以外的薄膜层的受损。与此相对，在比较例1中，加工时间须为90秒即实施例1的2.25倍，并且尽管没有薄膜层的残留，但是加工部位以外的受损，可以在从加工边界起2mm以上的部位看到很多。这是由于，与被加工面碰撞而反弹的喷射材料和粉尘，与喷丸加工喷嘴及其周边设备(例如该喷嘴的移送单元)碰撞而反射，其结果是该喷射材料在加工部位以外发生碰撞。在实施例1中，与被加工面碰撞的喷射材料，经由吸引部件13通过吸引单元进行吸引和回收，因此可知能够如上所述防止受损。并且，利用将外部气体取入周缘部加工室10内的空隙sa1、sa2，被加工物W不与周缘部加工室10接触，也看不到接触导致的受损。 
另外，在本实施方式中，从喷嘴B(35)也以与实施例1相同的条件喷射喷射材料(WA#600)，对周缘部和内侧部进行加工(实施例2)。能够以与实施例1相同的加工时间，对周缘部和内侧部进行加工，没有在加工部位上的薄膜层残留。针对未加工的部位上的薄膜层的受损，周缘部与实施例1同样地在从加工边界起1mm以上的部位看不到受损则评价为◎，在内侧部2mm以上的部位没有发现受损，但是在1～2mm的部位经过确认评价为○。这是由于与被加工面碰撞的喷射材料经由吸引部件33通过吸引单元被吸引和回收，可以能够防止比较例1所示的那种受损。但是，与周缘部加工室相比，喷射材料和粉尘向吸引部件33的移动有些不顺利，因此可知在周缘部与内侧部的评价中出现差异，但 是在被加工物W的实际使用中不存在上述问题。并且通过将外部气体取入内侧部加工室30内的空隙sb2，从而被加工物W不与内侧部加工室30接触，也看不到接触导致的受损。 
表1 
产业上的可利用性 
在实施方式中对太阳电池盘的加工进行了说明，但是板状部件不限于对太阳电池盘进行加工那样完全除去薄膜层的基板，也可以用作除去周缘部变厚的薄膜层(例如通过湿式处理工艺形成的薄膜层)的一部分来调整全体的薄膜层厚度的装置。 
为了对各种基板进行蚀刻，在形成抗蚀剂膜进行蚀刻加工后，使用药品等将该抗蚀剂膜除去。但是，如果周缘部残留有该抗蚀剂膜，则可以使用本装置将其除去。 
本申请基于在日本国2010年6月4日提出申请的特愿2010-128542，其内容作为本申请的内容形成其一部分。 
并且，通过本说明书的详细说明能够更加完全地理解本发明。但是，详细的说明和特定的实施例为本发明的优选实施方式，仅是为了说明目的而记载的内容。本领域人员易于根据该详细的说明进行各种变更、改变。 
申请人不是要对公众隐瞒某些记载实施方式，公开内容的改变和替代方案中的没有被权利要求书文字涵盖的内容也应按同等论作为本发明的一部分。 
在本说明书或权利要求的记载中，名词和同样的指示语的使用在没有特别指定时，或者根据上下文理解没有做出否定的情况下，应解释为包含单复数两种含义。本说明书中提供的全部例示或例示用语(例如“等”)的使用，仅是为了易于对本发明进行说明，而非对权利要求范围的限定。 

Claims (30)

1.一种板状部件的加工装置，是用于将在平面为长方形的板状的玻璃等透光性基材的上述平面上积层形成太阳能电池板所需的透明电极层、光半导体层以及金属层等而成的薄膜层的板状部件亦即薄膜太阳能电池板的周缘部的不需要的薄膜层除去的加工装置，包括：
周缘部加工室，包括供上述板状部件的周缘部***的开口，在该开口中将该周缘部的不需要的薄膜层除去；
以及使上述板状部件相对于在上述周缘部加工室内配置的喷丸加工用喷嘴相对地移动的移动单元；
上述周缘部加工室，具备：
周缘部加工用飞散防止罩，防止用于加工周缘部的喷射材料和粉尘飞散，该周缘部加工用飞散防止罩的形成顶面的一端面被封闭，并且与上述顶面相向的开口面；
周缘部加工用喷丸加工喷嘴，该周缘部加工用喷丸加工喷嘴是对被加工物的表面喷射喷射材料来进行喷丸加工的喷嘴，且以该喷嘴的喷射口被上述周缘部加工用飞散防止罩的壁面覆盖的方式被配置于该周缘部加工用飞散防止罩；
周缘部加工用吸引罩，该周缘部加工用吸引罩具有与上述周缘部加工用飞散防止罩的开口面相同形状的开口面；
中空形状的周缘部加工用吸引部件，该周缘部加工用吸引部件的两端面开口，且端面与上述周缘部加工用吸引罩和吸引单元连通；
其中，所述周缘部加工用飞散防止罩和周缘部加工用吸引罩形成它们的开口面通过连结部件被连结的结构，并且在该结构中具备所述板状部件的周缘部***用的开口部，
所述开口部形成为，当***所述板状部件的周缘部时，在该开口部的开口上端部和所述板状部件的被加工面之间、以及在该开口部的开口下端部和所述被加工面的背面之间能够形成可导入外部空气的间隙，
由于所述周缘部加工用飞散防止罩和所述周缘部加工用吸引罩通过所述连结部件而被连结起来，从而所述周缘部加工用飞散防止罩和周缘部加工用吸引罩形成内部连续的空间，
所述周缘部加工用飞散防止罩和所述周缘部加工用吸引罩形成的空间、与经由配置在所述周缘部加工用吸引罩的底部的吸引部件所连结的吸引单元形成的空间成为连通的空间，
在所述周缘部加工用吸引罩，通过与所述吸引部件连结的所述吸引单元边从空隙导入外部气体边进行吸引。
2.根据权利要求1所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述周缘部加工用喷丸加工喷嘴，以在将上述板状部件***上述开口部时，该周缘部加工用喷丸加工喷嘴与该板状部件所成角度为30°～75°的方式配置，并且该周缘部加工用喷丸加工喷嘴的喷射口朝向被加工物的周缘部方向配置。
3.根据权利要求1所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述开口部的至少任意一方的开口端部具有用于导入外部气体的引导部。
4.根据权利要求1所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
具有两个上述周缘部加工室，
上述周缘部加工室，分别配置在处于水平面的上述板状部件的平行的作为被加工边的两边的外周面上。
5.根据权利要求4所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述周缘部加工室，以与上述被加工边以外的其它两边平行地方式分别配置。
6.根据权利要求4所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
以与上述板状部件的作为被加工边的周缘部平行的方式对该板状部件的内侧部进行加工的内侧部加工室，在平行的作为被加工边的周缘部之间至少配置1个以上。
7.根据权利要求6所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述内侧部加工室，具备：
中空形状的内侧部加工用吸引罩，该内侧部加工用吸引罩的形成顶面的一端面被封闭，并且与上述顶面相向的面开口；
内侧部加工用喷丸加工喷嘴，该内侧部加工用喷丸加工喷嘴是对被加工面喷射喷射材料来进行喷丸加工的喷嘴，且以该喷嘴的喷射口被上述内侧部加工用吸引罩的侧壁覆盖的方式配置于该内侧部加工用吸引罩；
内侧部加工用吸引部件，该内侧部加工用吸引部件的两端面开口，且上述端面与上述内侧部加工用吸引罩和吸引单元连通，
并且，以在该吸引罩的开口端部与被加工面之间设置能够吸引外部气体的空隙的方式进行配置。
8.根据权利要求7所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述内侧部加工用喷丸加工喷嘴，相对于上述内侧部加工用吸引部件，配置在上述板状部件的相对于该喷丸加工喷嘴的相对的移动方向的后方侧，
并且上述内侧部加工用吸引部件，相对于该喷丸加工喷嘴，配置在该板状部件的相对于该喷丸加工喷嘴的相对的移动方向的前方侧的上面。
9.根据权利要求8所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述内侧部加工用喷丸加工喷嘴，以与上述板状部件所成角度为30°～75°的方式配置，并且该内侧部加工用喷丸加工喷嘴的喷射口以面向被加工物的移动方向侧的方式倾斜。
10.根据权利要求8所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
在上述内侧部加工用吸引罩的侧壁面上，配置有与吸引单元连通的辅助吸引部件，
上述辅助吸引部件，相对于上述内侧部喷丸加工喷嘴，配置在位于上述板状部件的相对于该喷丸加工喷嘴的移动方向的前方侧的该内侧部加工用吸引罩的侧壁面上。
11.根据权利要求7所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述内侧部加工用吸引罩的开口端部，具有用于导入外部气体的引导部。
12.根据权利要求1所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述周缘部加工用喷丸加工喷嘴的喷射口为矩形。
13.根据权利要求7所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述内侧部加工用喷丸加工喷嘴的喷射口为矩形。
14.根据权利要求12或13所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述周缘部加工用喷丸加工喷嘴和上述内侧部加工用喷丸加工喷嘴的至少任意一方，具有：喷丸加工喷嘴本体；空气喷嘴，该空气喷嘴用于将压缩空气导入上述喷丸加工喷嘴本体的内部，并且在该喷丸加工喷嘴本体的内部产生负压；喷射部，该喷射部具有喷射材料的喷射口，该喷射材料利用上述负压而被吸引到喷丸加工喷嘴本体的内部，同时在该喷丸加工喷嘴本体内部的混合室中与压缩空气混合。
15.根据权利要求1所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述周缘部加工室至少与1个以上的周缘部用清理室邻接，上述周缘部用清理室用于对附着在被加工面上的喷射材料和因喷丸加工而产生的粉尘进行吸引和回收。
16.根据权利要求15所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述周缘部加工用清理室，具备：
中空形状的周缘部清理用吸引罩，该周缘部清理用吸引罩的形成顶面的一端面被封闭，并且与上述顶面相向的面开口；
周缘部清理用风机喷嘴，该周缘部清理用风机喷嘴是对被加工面吹送压缩空气而将附着在该被加工面上的上述喷射材料和上述粉尘从该被加工面剥离并除去的喷嘴，且以该喷嘴的喷射口被上述周缘部清理用吸引罩的侧壁覆盖的方式配置于该周缘部清理用吸引罩；
周缘部清理用吸引部件，该周缘部清理用吸引部件的两端面开口，且上述端面与上述周缘部清理用吸引罩和吸引单元连通，
并且，以在该吸引罩的开口端部与被加工面之间设置能够吸引外部气体的空隙的方式配置。
17.根据权利要求16所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述周缘部加工用清理室的开口端部，具有用于导入外部气体的引导部。
18.根据权利要求6所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述内侧部加工室与内侧部加工用清理室邻接，该内侧部加工用清理室用于对附着在被加工面上的喷射材料和因喷丸加工而产生的粉尘进行吸引和回收。
19.根据权利要求18所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述内侧部加工用清理室，具备：
中空形状的内侧部清理用吸引罩，该内侧部清理用吸引罩的形成顶面的一端面被封闭，并且与上述顶面相向的面开口；
内侧部清理用风机喷嘴，该内侧部清理用风机喷嘴是对被加工面吹送压缩空气而将附着在该被加工面上的上述喷射材料和上述粉尘从该被加工面剥离并除去的喷嘴，且以该喷嘴的喷射口被上述内侧部清理用吸引罩的侧壁覆盖的方式配置于该内侧部清理用吸引罩；
内侧部清理用吸引部件，该内侧部清理用吸引部件的两端面开口，且上述端面与上述内侧部清理用吸引罩和吸引单元连通，
并且，以在该吸引罩的开口端部与被加工面之间设置能够吸引外部气体的空隙的方式配置。
20.根据权利要求19所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述内侧部加工用清理室的开口端部，具有用于导入外部气体的引导部。
21.根据权利要求1所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述移动单元，具有载置上述板状部件并且为了加工该板状部件而使该板状部件移动的机构。
22.根据权利要求1、4、6、15、19、21中任意一项所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
具有将上述板状部件的作为被加工边的周缘部进行加工后，使该板状部件旋转大致90°的单元。
23.根据权利要求1、4、6、15、19、21中任意一项所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
具有将上述板状部件向对该板状部件的周缘部进行加工的区域搬送的搬入单元，上述搬入单元具备具有独立气泡构造的聚氨酯树脂制的搬送辊。
24.根据权利要求23所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述搬入单元，具有用于设定搬送的上述板状部件的停止位置的停止位置设定单元。
25.根据权利要求24所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述停止位置设定单元，具有用于设定搬送方向侧的停止位置的搬送方向侧设定单元，
上述搬送方向侧设定单元，以与上述搬送方向正交的方式，配置至少1个以上的圆柱状的搬送方向侧设定部件。
26.根据权利要求25所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
上述停止位置设定单元，具有用于设定与搬送方向侧正交的一侧的停止位置的加工边侧设定单元，
上述加工边侧设定单元，配置至少1个以上的圆柱状的加工边侧设定部件。
27.根据权利要求23所述的板状部件的加工装置，其特征在于，
具有在对上述板状部件的周缘部进行加工后将该板状部件向加工区域外搬送的搬出单元，
上述搬出单元具备具有独立气泡构造的聚氨酯树脂制的搬送辊。
28.根据权利要求1、4、6、15、19、21中任意一项所述的板状部件的加工装置，其中通过上述板状部件的加工装置进行加工的板状部件，是在玻璃等透光性基材的平面上积层形成太阳能电池板所需的透明电极层、光半导体层以及金属层等而成的薄膜太阳能电池板。
29.通过权利要求1、4、6、15、19、21中任意一项所述的板状部件的加工装置进行的板状部件的加工方法，包括以下步骤：
将作为被加工物的板状部件的周缘部***开口的工序；
从上述周缘部加工用喷丸加工喷嘴向被加工物喷射喷射材料的工序；
通过该喷射材料将被加工物表面的不需要的薄膜层除去的工序；
通过吸引单元的吸引力，将该喷射材料和因喷丸加工而产生的粉尘移向上述周缘部加工用吸引罩，并且通过吸引单元进行吸引的工序。
30.根据权利要求29所述的板状部件的加工方法，其特征在于，具有：
通过在***上述板状部件的方向上移动该板状部件方向来将最初的非加工边的不需要的薄膜层除去的工序、在最初的被加工边的加工完成后使该板状部件旋转大致90°并且将该被加工物向上述加工开始位置移动的工序、通过将该板状部件在进行上述***的方向上移动来除去与最初的被加工边邻接的边的不需要的薄膜层的工序。
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