CN102141193A

CN102141193A - 防潮的钢瓶磅秤

Info

Publication number: CN102141193A
Application number: CN2010101024062A
Authority: CN
Inventors: 张榕
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp; Semiconductor Manufacturing International Beijing Corp
Priority date: 2010-01-28
Filing date: 2010-01-28
Publication date: 2011-08-03

Abstract

本发明涉及一种磅秤，尤其涉及一种防潮的钢瓶磅秤。这种防潮的钢瓶磅秤，在磅秤内部设有吹气管道，所述吹气管道与磅秤外部的供气管道相连接，所述吹气管道上分布有若干用于向磅秤内部吹气的吹气孔。本发明防潮的钢瓶磅秤，可以实现在磅秤内部进行氮气或干燥压缩空气吹扫，从而防止磅秤内部的凝结水产生，一方面，可以防止凝结水使得磅秤内部的电路烧毁或腐蚀，从而防止因磅秤失灵而引发钢瓶重量读值错误以致造成供气中断的严重后果；另一方面，可以使得磅秤的内部环境保持干燥，从而可以有效延长磅秤的寿命，减少了维护成本。

Description

防潮的钢瓶磅秤

技术领域

本发明涉及一种防潮的钢瓶磅秤。

背景技术

在半导体生产中需要大量使用氯气、氯化氢等十多种液化工艺气体钢瓶。目前，向生产部门供应特殊气体的方法是：将两个相同的液化气体钢瓶装在同一个气瓶柜内，其中一个钢瓶处于供气状态，另一个气体钢瓶处于备用状态。在两个钢瓶的底部都放有特制的电子磅秤来计量钢瓶内液化气体的重量，该磅秤1的结构如图1a、图1b和图1c，所述磅秤1由底板11和盖板12合围而成，所述盖板12的一个侧面设有供数据线穿过的通孔。当处于供气状态的钢瓶内液化气体使用到重量的自动切换值(即将用空)时，磅秤会通过重量传感器感知并发出钢瓶切换信号。此时用空的钢瓶会自动停止供气而另一侧处于备用状态的钢瓶会自动投入使用，从而实现了连续、平稳地为半导体生产设备供应气体的目的。

在供气过程中钢瓶内的液化气体需要由液态转变为气态，而这个物理状态变化过程是一个吸热过程。因此，钢瓶的温度在这个吸热的过程中会显著降低。在湿度比较大的季节，如夏季，钢瓶表面会因此产生大量的凝结水。磅秤内部也会凝结大量冷凝水，如长时间不能清除，这些冷凝水将会将磅秤内部的电路烧毁或腐蚀。如此，不仅会造成磅秤损坏的经济损失，还会因为磅秤失灵而引起钢瓶重量读值错误而导致供气中断甚至生产停顿。

由此可见，现有的液化气体钢瓶的电子磅秤没有防潮功能。如何提供一种可以防止磅秤内部潮湿的钢瓶磅秤是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种防潮的钢瓶磅秤，通过向磅秤的内部吹氮气或压缩空气，防止磅秤内部聚集冷凝水而引生磅秤内部电路板烧毁事故。

为了达到上述的目的，本发明采用如下技术方案：

一种防潮的钢瓶磅秤，在磅秤内部设有吹气管道，所述吹气管道与磅秤外部的供气管道相连接，所述吹气管道上分布有若干用于向磅秤内部吹气的吹气孔。

所述供气管道设有控制器。

所述控制器为气动阀。

所述控制器包括单片机、电磁阀和气动阀，所述气动阀接在供气管道上，所述单片机与所述电磁阀电连接，所述电磁阀与所述气动阀电连接。

所述防潮的钢瓶磅秤还包括环境温度传感器和磅秤温度传感器，所述磅秤温度传感器设置于磅秤内，所述环境温度传感器设置于磅秤的周围空间内，所述环境温度传感器和磅秤温度传感器分别与所述单片机电连接。

当控制器接收到的来自环境温度传感器的温度高于来自磅秤温度传感器的温度一预先设定的温差值时，控制器通过电磁阀打开气动阀。

所述控制器设置于所述磅秤的上方，所述磅秤温度传感器设置于控制器的底部。

所述气动阀为针阀。

所述吹气管道设置在所述磅秤内顶部四周。

所述供气管道内是氮气或压缩空气。

本发明的有益效果如下：

本发明防潮的钢瓶磅秤，通过供气管道和吹气管道实现在磅秤内部进行氮气或干燥压缩空气吹扫，从而防止磅秤内部的凝结水产生，一方面，可以防止凝结水使得磅秤内部的电路烧毁或腐蚀，从而防止因磅秤失灵而引发钢瓶重量读值错误以致造成供气中断的严重后果；另一方面，可以使得磅秤的内部环境保持干燥，从而可以有效延长磅秤的寿命，减少了维护成本。

附图说明

本发明的防潮的钢瓶磅秤由以下的实施例及附图给出。

图1a是现有的用于放置钢瓶的磅秤的俯视图；

图1b是现有的用于放置钢瓶的磅秤的主视图；

图1c是现有的用于放置钢瓶的磅秤的侧视图；

图2是本发明防潮的钢瓶磅秤放置在气瓶柜内的结构示意图；

图3是本发明的磅秤的结构示意图(顶盖未示意)；

图4是本发明的磅秤和控制器的连接示意图；

图5是本发明的控制器内部的结构示意图；

图6是本发明防潮的钢瓶磅秤的工艺和仪表流程图；

图中，1-磅秤、11-盖板、12-底板、2-重量传感器、21-重量数据线、3-吹气管道、31-吹气孔、4-供气管道、5-控制器、51-气动阀、52-电磁阀、53-单片机、54-电源开关、6-磅秤温度传感器、61-磅秤温度数据线、7-环境温度传感器、71-环境温度数据线、8-钢瓶、9-气瓶柜。

具体实施方式

以下将对本发明的防潮的钢瓶磅秤作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本发明进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。

为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关***或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

为使本发明的目的、特征更明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

图2示出了气瓶柜的结构示意图，所述气瓶柜9内设有两个防潮的钢瓶磅秤，在两个磅秤1上分别放置有钢瓶8，两个钢瓶8相互备用，实现连续、平稳地为半导体生产设备供应气体。

请参阅图3，图3示出了本发明防潮的钢瓶磅秤的结构示意图。这种防潮的钢瓶磅秤，在磅秤1内部设有吹气管道3。所述吹气管道3设置在所述磅秤1内顶部四周。所述吹气管道3与磅秤1外部的供气管道4相连接，所述吹气管道3上分布有若干用于向磅秤1内部吹气的吹气孔31。所述磅秤1由底板11和盖板12合围而成，在所述磅秤1的内部空间内设有用于感知钢瓶8的重量的重量传感器2，重量传感器2的重量数据线21从所述盖板12的一个侧面的通孔伸出，请结合参阅图1a、图1b、图1c和图3。

请参阅图3-图6，图3是本发明的磅秤1的结构示意图(顶盖未示意)；图4是本发明的磅秤1和控制器5的连接示意图；图5是本发明的控制器5内部的结构示意图；图6是本发明防潮的钢瓶磅秤的P&ID图(Process&InstrumentDiagram即工艺和仪表流程图)。

为了限制吹气管道3中的气流速度和流量，可以在所述供气管道4设有控制器5。所述控制器5可以仅仅为一气动阀51。所述气动阀51为针阀。所述气动阀51的常规工作状态为小流量开启状态。使得吹气管道3不停地对磅秤1内部进行小流量(微量)吹气，防止磅秤1内凝结冷凝水。

优选，为了使得吹气管道3的流量根据实际需要调节，所述控制器5也可以采用如下结构以实现更复杂的控制功能。所述控制器5包括单片机53、电磁阀52和气动阀51，所述气动阀51接在供气管道4上，所述单片机53与所述电磁阀52电连接，所述电磁阀52与所述气动阀51电连接。所述单片机53控制电磁阀52的开合，所述电磁阀52可以控制气动阀51，使得气动阀51在小流量开启和大流量开启两种状态内切换。所述单片机53与电源开关54电连接。

单片机53对电磁阀52的控制可以根据各种所需情况来设置。比如所述单片机53可以人为设定每经过一预定时间(比如说1个小时)控制电磁阀52打开，然后，电磁阀52将气动阀51切换到大流量开启状态。在经过另一设定时间，比如说10分钟，单片机53将电磁阀52关闭，使得气动阀51切换回到小流量开启状态。

当然，所述单片机53也可以根据其他因素来决定何时控制电磁阀52工作。本实施例中，所述单片机53根据磅秤1内的温度和磅秤1周围环境的温度差达到一定差值时，单片机53控制电磁阀52工作。因此，本防潮的钢瓶磅秤还需要如下结构：请参阅图4、图5和图6，所述防潮的钢瓶磅秤还包括环境温度传感器7和磅秤温度传感器6。所述磅秤温度传感器6设置于磅秤1内。所述环境温度传感器7设置于磅秤1的周围空间内。本实施例中，所述控制器5设置于所述磅秤1的上方，所述磅秤温度传感器6设置于控制器5的底部。所述环境温度传感器7和磅秤温度传感器6分别与所述单片机53电连接，即所述单片机接收来自环境温度传感器7和磅秤温度传感器6的温度数据。

当控制器5接收到的来自磅秤温度传感器6的温度比来自环境温度传感器7的温度高一预先设定的温差值时，比如磅秤温度传感器6的温度比环境温度传感器的7温度高6摄氏度时，单片机53就打开电磁阀52，然后电磁阀52作用在气动阀51上，使得气动阀51从常规的小流量开启状态切换到大流量开启状态。当磅秤温度传感器6的温度与环境温度传感器7的温度的差值小于6摄氏度时，单片机53就关闭电磁阀52，然后，电磁阀52作用到气动阀51上，使得气动阀51从大流量的开启状态切换到小流量的开启状态。

所述供气管道4内可以是具有一定压力的氮气或压缩空气。本实施例中，优选氮气作为气源。通过吹气管道3将氮气吹进磅秤1内部，使得磅秤1内部始终处保持一个干燥的氮气环境，防止磅秤因凝结水而烧毁，保证了磅秤的读数可靠性，延长了磅秤的使用寿命。

本发明防潮的钢瓶磅秤，可以实现在磅秤内部进行氮气或干燥压缩空气吹扫，从而防止磅秤内部的凝结水产生，一方面，可以防止凝结水使得磅秤内部的电路烧毁或腐蚀，从而防止因磅秤失灵而引发钢瓶重量读值错误以致造成供气中断的严重后果；另一方面，可以使得磅秤的内部环境保持干燥，从而可以有效延长磅秤的寿命，减少了维护成本。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种防潮的钢瓶磅秤，其特征在于，在磅秤内部设有吹气管道，所述吹气管道与磅秤外部的供气管道相连接，所述吹气管道上分布有若干用于向磅秤内部吹气的吹气孔。

2.如权利要求1所述的防潮的钢瓶磅秤，其特征在于，所述供气管道设有控制器。

3.如权利要求2所述的防潮的钢瓶磅秤，其特征在于，所述控制器为气动阀。

4.如权利要求2所述的防潮的钢瓶磅秤，其特征在于，所述控制器包括单片机、电磁阀和气动阀，所述气动阀接在供气管道上，所述单片机与所述电磁阀电连接，所述电磁阀与所述气动阀电连接。

5.如权利要求4所述的防潮的钢瓶磅秤，其特征在于，还包括环境温度传感器和磅秤温度传感器，所述磅秤温度传感器设置于磅秤内，所述环境温度传感器设置于磅秤的周围空间内，所述环境温度传感器和磅秤温度传感器分别与所述单片机电连接。

6.如权利要求5所述的防潮的钢瓶磅秤，其特征在于，当控制器接收到的来自环境温度传感器的温度高于来自磅秤温度传感器的温度一预先设定的温差值时，控制器通过电磁阀打开气动阀。

7.如权利要求5所述的防潮的钢瓶磅秤，其特征在于，所述控制器设置于所述磅秤的上方，所述磅秤温度传感器设置于控制器的底部。

8.如权利要求3或4所述的防潮的钢瓶磅秤，其特征在于，所述气动阀为针阀。

9.如权利要求1所述的防潮的钢瓶磅秤，其特征在于，所述吹气管道设置在所述磅秤内顶部四周。

10.如权利要求1所述的防潮的钢瓶磅秤，其特征在于，所述供气管道内是氮气或压缩空气。