CN102001715A - 一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法 - Google Patents

一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法 Download PDF

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徐增宏
余城伟
方明游
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Abstract

本发明涉及一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法，其单晶硅片的清洗需要经过超洗→鼓泡超洗→药品+纯水超洗第一次→药品+纯水超洗第二次→纯水超洗第一次→纯水超洗第二次→纯水超洗第三次→纯水超洗第四次，且其中需要利用制水设备将自来水分离成纯水和浓水；只要把上述的纯水超洗第三、纯水超洗第四次后的排放水回收，并与浓水混合后，该混合水可先用于鼓泡超洗，然后用于超洗，之后排放处理，也可以分别用于鼓泡超洗和超洗，再各自排放处理；或是将上述所制得的浓水可先用于鼓泡超洗，然后用于超洗，之后排放处理，也可以分别用于鼓泡超洗和超洗，再各自排放处理。采用本发明，不仅可节约大量用水，节省成本，也可减少废水排放，有利于环保。

Description

一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法
技术领域
本发明涉及一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法。
背景技术
目前，在单晶硅片的生产过程中，需要用水进行清洗，通常情况下，一般要经过自来水超洗→自来水鼓泡超洗→药品+纯水超洗第一次→药品+纯水超洗第二次→纯水超洗第一次→纯水超洗第二次→纯水超洗第三次→纯水超洗第四次，总共要经过八道用水，每道用水完毕后均排放掉，且纯水需要通过制水设备制得，其分离出的浓水也要排放掉，这不但需要消耗大量的水资源，而且排放的越多，给环境带来不利的影响越大。
发明内容
本发明的目的是提供能节约和回收利用水资源，有利于环境保护的一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法。
本发明采取的技术方案是：一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法，其单晶硅片的清洗需要经过超洗(第一道)→鼓泡超洗(第二道)→药品+纯水超洗第一次(第三道)→药品+纯水超洗第二次(第四道)→纯水超洗第一次(第五道)→纯水超洗第二次(第六道)→纯水超洗第三次(第七道)→纯水超洗第四次(第八道)，且其中需要利用制水设备将自来水分离成纯水和浓水，其特征在于把纯水超洗第三(第七道)、纯水超洗第四次(第八道)后的排放水回收，并与浓水混合后，该混合水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超洗(第一道)，之后排放处理，也可以分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各自排放处理；或是将上述所制得的浓水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超洗(第一道)，之后排放处理，也可以分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各自排放处理。
采用本发明，不仅可节约大量用水，节省成本，也可减少废水排放，有利于环保。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。
实施例一
1、单晶硅片的清洗工艺：超洗→鼓泡超洗→药品+纯水超洗第一次→药品+纯水超洗第二次→纯水超洗第一次→纯水超洗第二次→纯水超洗第三次→纯水超洗第四次，
2、先利用制水设备，将自来水分离成纯水和浓水。
3、将纯水分别通过不同管道，用于药品+纯水超洗第一次(第三道)、药品+纯水超洗第二次(第四道)、纯水超洗第一次(第五道)、纯水超洗第二次(第六道)、纯水超洗第三次(第七道)、纯水超洗第四次(第八道)。然后，对药品+纯水超洗第一次(第三道)、药品+纯水超洗第二次(第四道)、纯水超洗第一次(第五道)、纯水超洗第二次(第六道)的用水排放处理。
4、将之前所述的纯水超洗第三次(第七道)和纯水超洗第四次(第八道)的用水回收，与浓水进行混合后，让混合水先进入硅片清洗的鼓泡超洗(第二道)，然后再用于超洗(第一道)，之后排放处理。或是将混合水分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各自排放处理。
实施例二
1、单晶硅片的清洗工艺：超洗→鼓泡超洗→药品+纯水超洗第一次→药品+纯水超洗第二次→纯水超洗第一次→纯水超洗第二次→纯水超洗第三次→纯水超洗第四次，
2、先利用制水设备，将自来水分离成纯水和浓水。
3、将纯水分别通过不同管道，用于药品+纯水超洗第一次(第三道)、药品+纯水超洗第二次(第四道)、纯水超洗第一次(第五道)、纯水超洗第二次(第六道)、纯水超洗第三次(第七道)、纯水超洗第四次(第八道)。然后，对药品+纯水超洗第一次(第三道)、药品+纯水超洗第二次(第四道)、纯水超洗第一次(第五道)、纯水超洗第二次(第六道)的用水排放处理。
4、将之前所述的浓水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超洗(第一道)，之后排放处理处理。或是将之前所述的浓水分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各自排放处理。

Claims (1)

1.一种单晶硅片清洗用水的回收利用方法，其单晶硅片的清洗需要经过超洗(第一道)→鼓泡超洗(第二道)→药品+纯水超洗第一次(第三道)→药品+纯水超洗第二次(第四道)→纯水超洗第一次(第五道)→纯水超洗第二次(第六道)→纯水超洗第三次(第七道)→纯水超洗第四次(第八道)，且其中需要利用制水设备将自来水分离成纯水和浓水，其特征在于把纯水超洗第三(第七道)、纯水超洗第四次(第八道)后的排放水回收，并与浓水混合后，该混合水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超洗(第一道)，之后排放处理，也可以分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各自排放处理；或是将上述所制得的浓水可先用于鼓泡超洗(第二道)，然后用于超洗(第一道)，之后排放处理，也可以分别用于鼓泡超洗(第二道)和超洗(第一道)，再各自排放处理。
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PB01 Publication
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