CN101958224A - 灯 - Google Patents
灯 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101958224A CN101958224A CN2010101266926A CN201010126692A CN101958224A CN 101958224 A CN101958224 A CN 101958224A CN 2010101266926 A CN2010101266926 A CN 2010101266926A CN 201010126692 A CN201010126692 A CN 201010126692A CN 101958224 A CN101958224 A CN 101958224A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gas
- discharge
- iodine
- lamp
- potential drop
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Discharge Lamp (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
Abstract
本发明为了提供最适于PSA用途的光源,目的在于提供一种灯,能够高效地放射出用于使单体聚合所需的波长在300-380nm的波长区域的紫外光。所述灯具有放电容器和一对电极,所述放电容器中封入有包含气体碘和氪气的放电气体,所述一对电极隔着形成在所述放电容器的内部的放电空间相对地进行配置,该灯通过形成激发碘分子而放射波长为342nm的紫外光,其特征在于,所述放电气体中包含的气体碘的浓度为0.04~0.9%,并且在设施加到所述放电空间的电场强度为E(kV/cm),所述稀有气体的分压为p1(kPa),所述气体碘的分压为p2(kPa)时,下式的关系成立:E/p1≥(6.6×p2+124)×exp(-0.0093×p1)。
Description
技术领域
本发明涉及到一种通过使用包含气体碘和选自氪气、氩气的一种以上的稀有气体的放电气体来形成激发碘分子从而放射紫外光的灯。
背景技术
在液晶显示器的制造工序中,采用了下述技术:在构成液晶的像素时,向液晶中混入单体,通过在使液晶分子倾斜的状态下使单体聚合从而固定液晶分子的倾斜方向的技术(PSA:Polymer SustainedAlignment,聚合物稳定配向)。根据对PSA进行公开的专利文献1,作为用于使单体聚合的光源,考虑到对液晶的损伤小、单体的灵敏度、液晶用玻璃的透过率等,优选对单体照射例如波长在300-380nm的紫外光(专利文献1的段落0237)。
作为放射出使单体聚合所需的波长在300-380nm的紫外光的紫外线光源,已知有各种光源,而当前处于集中研究最适用于PSA用途的光源的阶段。例如,存在有以水银为放射介质并主要放射波长为365nm的紫外光的水银灯、以及以金属卤化物为放电介质的金属卤化物灯等作为PSA用途的光源的候补。然而,水银灯在搭载多个水银灯以构成紫外线照射装置时存在着紫外线照射装置大型化的问题,此外,由于以水银作为放电介质,因此存在对环境的负担较大的缺点。而金属卤化物灯则存在与输入电力相比所放射的紫外线的输出低的能量效率方面的问题,此外,由于是以卤化金属作为放电介质,因此对环境的恶劣影响无法忽视。
另一方面,已知有如下的灯:其具有由相对配置的电介质材料构成的一对壁部和连接在一对壁部的端部的封固用壁部构成的放电容器,在形成于放电容器内部的放电空间内,填充稀有气体、卤素气体、或者这些的混合气体,并经由所述壁部施加交流电压或者脉冲电压,从而向放电容器外部放射紫外线。该种灯在搭载多个灯以构成紫外线照射装置时能够使紫外线照射装置比较小型化,并且由于与输入电力相比,所放射的紫外线的输出较高,因此能量效率高,而且,由于使用氙气、氪气等稀有气体作为放电介质,因此对环境的负担较小,由于有上述实用方面的优点,因此有望作为PSA用光源。
该种灯以往主要是作为通过对液晶基板等被处理物的表面照射真空紫外线从而使被处理物的表面改质的光源来使用,然而在PSA用途中用于使单体聚合所需的波长在300-380nm的波长范围内的紫外光的输出并不足够。
专利文献1:日本特开2003-149647号公报
发明内容
根据上述内容,本发明为了提供最适于PSA用途的光源,其目的在于提供一种灯,其能够高效地放射出用于使单体聚合所需的波长在300-380nm的波长区域的紫外光。
本发明为:(1)一种灯,其具有放电容器和一对电极,所述放电容器中封入有包含气体碘和选自氪气、氩气的一种以上的稀有气体的放电气体,所述一对电极隔着形成在所述放电容器的内部的放电空间相对地进行配置,该灯通过形成激发碘分子而放射波长为342nm的紫外光,其特征在于,在所述放电空间中混合发生以下两种放电:处于在所述放电空间整体中发生放电的状态的扩散放电;以及具有与所述扩散放电相比空间性地收缩了的带状形状的灯丝放电。
本发明为:(2)一种灯,其具有放电容器和一对电极,所述放电容器中封入有包含气体碘和氪气的放电气体,所述一对电极隔着形成在所述放电容器的内部的放电空间相对地进行配置,该灯通过形成激发碘分子而放射波长为342nm的紫外光,其特征在于,所述放电气体中包含的气体碘的浓度为0.04~0.9%,并且在设施加到所述放电空间的电场强度为E(kV/cm),所述稀有气体的分压为p1(kPa),所述气体碘的分压为p2(kPa)时,下式的关系成立:E/p1≥(6.6×p2+124)×exp(-0.0093×p1)。
本发明为:(3)一种灯,其具有放电容器和一对电极,所述放电容器中封入有包含气体碘和氩气的放电气体,所述一对电极隔着形成在所述放电容器的内部的放电空间相对地进行配置,该灯通过形成激发碘分子而放射波长为342nm的紫外光,其特征在于,所述放电气体中包含的气体碘的浓度为0.04~0.9%,并且在设施加到所述放电空间的电场强度为E(kV/cm),所述稀有气体的分压为p1(kPa),所述气体碘的分压为p2(kPa)时,下式的关系成立:E/p1≥(236×p2+1598)×p1-0.83。
本发明为:(4)一种灯,其具有放电容器和一对电极,所述放电容器中封入有包含气体碘以及由氪气和氩气混合成的混合气体的放电气体,所述一对电极隔着形成在所述放电容器的内部的放电空间相对地进行配置,该灯通过形成激发碘分子而放射波长为342nm的紫外光,其特征在于,所述放电气体中包含的气体碘的浓度为0.04~0.9%,并且在设施加到所述放电空间的电场强度为E(kV/cm),所述稀有气体的分压为p1(kPa),所述气体碘的分压为p2(kPa)时,下式的关系成立:E/p1≥(1337×p20.0177)×p1-0.74。
本发明为:在(1)-(4)中,所述放电气体的总压为100kPa以上。
本发明为:在(1)-(4)中,供给到所述灯的点灯频率为1~120kHz。
根据第一方面的发明,在放电空间中混合发生以下两种放电:处于在所述放电空间整体中发生放电的状态的扩散放的以及具有与所述扩散放电相比空间性地收缩了的带状形状的灯丝放电,由此,由于激发碘分子I2 *放射出的波长为342nm的气体碘分子光高效地放出,因此能够提高在PSA用途中用于使单体聚合所需的波长区域中的紫外光的输出。
根据第二方面至第四方面的发明,通过使封入到放电容器内的放电气体所含有的气体碘的浓度以及施加到放电空间的电场强度成立预定的关系而形成为最优化,从而能够在放电容器的内部空间中高效地形成放射波长为342nm的气体碘分子光的激发碘分子I2 *,因此能够提高在PSA用途中用于使单体聚合所需的波长区域的紫外光的输出。
根据第五方面的发明,通过使封入到放电容器内的放电气体的总压在100kPa以上,从而容易在放电空间中形成激发碘分子I2 *,由此,由于高效地放射出峰值波长为342nm的气体碘分子光,因此能够进一步提高在PSA用途中用于使单体聚合所需的波长区域的紫外光的输出。
根据第六方面的发明,由于供给到灯的点灯频率在1~120kHz,因此激发碘分子I2 *不会分解,此外,由于单位时间内的发光次数极短,因此能够高效地放射出波长为342nm的气体碘分子光,能够进一步提高在PSA用途中用于使单体聚合所需的波长区域的紫外光的输出。
附图说明
图1是示出本发明的灯结构的概要的立体图。
图2是沿图1所示的A-A线的剖视图。
图3是示出用于进行实验1而使用的实验装置的结构的概要的概念图。
图4是示出气体碘的浓度与气体碘分子光强度的关系的图。
图5是示出换算电场E/p1与气体碘分子光强度的关系的图。
图6是用于说明将表1所示的临界换算电场强度E/p1的数值近似为稀有气体的分压p1的函数的近似方法的图。
图7示意性地示出了混合发生扩散放电和灯丝放电双方的放电空间的形态。
图8示意性地示出了单独发生灯丝放电的放电空间的形态。
具体实施方式
图1是示出本发明的灯结构的概要的立体图。图2是沿图1所示的A-A线的剖视图。灯10具有由例如石英玻璃等电介质材料形成为如图2所示的剖面为方形形状而构成的放电容器1。在放电容器1的内部封入有放电气体,所述放电气体主要含有气体碘以及氪、氩中的任意一种以上的稀有气体。放电容器1在放电容器长边方向的两端附近的内部配置封固部件2,并通过熔接放电容器1和封固部件2,从而将它们气密地封固以使放电气体不会漏出到外部。此外,在放电容器1的上下壁面3、4各自的外表面上设有网状的一对电极5、6,所述一对电极5、6隔着形成于放电容器1内部的放电空间S和构成放电容器1的电介质材料相对地进行设置。电极5、6通过例如蒸镀等而形成为预定的网状图案。进而,在放电容器1的内部,在光射出方向侧的壁面3的相反侧的壁面4上形成有例如以SiO2为主要成分的紫外线反射膜7,在放电空间S内产生的紫外线通过紫外线反射膜7被反射到光射出方向,并从位于光射出方向侧的壁面3射出。
如此构成的灯通过在一对电极5、6之间供给例如1~120kHz的交流电压或者脉冲电压,从而在面对放电空间S的内壁面上混合发生以下两种放电:扩散放电,其处于在放电空间整体中发生放电的状态;以及灯丝放电,其具有与所述扩散放电相比空间性地收缩了的带状形状。
通过所述放电,被封入到放电容器中的碘I的正离子I+和负离子I-通过与从碘以外的氩、氪中选择的一种以上的原子或者分子如下述式子进行反应,从而形成激发碘分子I2 *。下面的化学式中示出的M为碘、氪和氩的原子或者分子。
化学式1
I++I-+M→I2 *+M
通过使放电气体中含有的碘离子I+和I-与放电气体中含有的碘、氪和氩的原子或者分子重复碰撞从而在放电空间中形成激发碘分子I2 *,并放射出峰值波长为342nm的碘分子光。
作为形成激发碘分子的基础的碘离子的主要生成要素为:通过准稳定激发原子的能量使碘电离的、被称作彭宁效应的反应。该彭宁效应通过使氪和氩的准稳定励起原子的能量比碘原子的电离能量稍高而发生。作为参考,就准稳定励起原子的能量来说,氪为10.5eV、氩为11.5、11.7eV,而碘原子的电离能量为10.4eV。因此,将含有从氪、氩中选择一种以上的稀有气体和气体碘的放电气体封入到放电容器中的话,能够更多地在放电空间中生成碘离子,并形成大量的激发碘分子,因此能够期待波长为342nm的碘分子光的输出的提高。
放电气体也可以包含除了氪、氩以外的其他稀有气体,然而如果其他稀有气体的分压比氪或氩这两种稀有气体的分压高的话,上述彭宁效应会减弱,因此需要注意不要使其他稀有气体的分压的比例过高。例如,氪、氩以外的其他稀有气体的分压优选在氪、氩的分压的10%以下。
在此,经过本发明者的研究明确了:由激发碘分子放射出的波长为342nm的碘分子光的输出与(1)放电气体中含有的气体碘的浓度、以及(2)施加到放电空间的电场的强度特别有关。(1)中的碘浓度通过气体碘的分压p2占放电气体总压的比例而算出。放电气体的总压近似于从氪、氩中选择的一种以上的稀有气体的分压p1。另外,(2)中的电场强度依赖于从氪、氩中选择的一种以上的稀有气体的分压p1和碘I的分压p2。以下,对为了确定用于提高波长为342nm的激发碘分子I2 *的发光强度所需的、放电气体中含有的气体碘的浓度和施加到放电空间的电场强度的条件而进行的实验进行说明。在实验中使用了以下的实施例1~3所述的灯。
实施例1
实施例1的灯由壁厚为2mm的石英玻璃构成为全长200mm、宽42mm、高14mm、放电间隙10mm,并具有由全长130mm、宽32mm的金形成的电极。在放电容器中封入含有氪气和气体碘的放电气体。
实施例2
实施例2的灯由壁厚为2mm的石英玻璃构成为全长200mm、宽42mm、高14mm、放电间隙10mm,并具有由全长130mm、宽32mm的金形成的电极。在放电容器中封入含有氩气和气体碘的放电气体。
实施例3
实施例3的灯由壁厚为2mm的石英玻璃构成为全长200mm、宽42mm、高14mm、放电间隙10mm,并具有由全长130mm、宽32mm的金形成的电极。在放电容器中封入含有气体碘以及由氪气和氩气以1∶1的混合比混合的稀有气体的混合气体的放电气体。
实验1
实验1是为了调查放电气体中含有的气体碘的浓度的最佳范围而进行的。在实验1中,对于各实施例1~3所述的灯分别将放电气体的总压统一为120kPa,并且各实施例1~3分别准备了气体碘浓度在0.01~2%范围内各不相同的七种灯。即,实验1使用了各实施例1~3的每一例的各7种灯,共计21种灯。
图3是示出用于进行实验1而使用的实验装置的结构的概要的概念图。22为铝制的灯箱,23为陶瓷制的支撑座,24为受光部。受光部24通过光纤与未图示的分光器主体连接。在将灯1固定到配置于灯箱22内部的支撑座23上,并且将受光部24在距离灯1的表面5mm的位置上与灯1相对地进行配置,将灯箱22的内部环境以氮气置换。对于实施例1~3的灯,分别对一对电极5、6施加交流电压(矩形波)从而在放电空间中产生放电,并测定从网状电极5的间隙中放射出的波长为342nm的碘分子光的发光强度。
实验1的结果如图4所示。在图4中,纵轴示出了碘分子发光强度的标准数据,横轴示出了放电气体中含有的气体碘的浓度(%)。如该图所示,对于实施例1、2、3中的任意一个,均为当碘浓度在0.04~0.9%范围中的灯比碘浓度在该范围以外的灯的激发碘分子I2 *的发光强度显著升高。
实验2
实验2调查了在放电气体的总压和气体碘的分压分别固定时,为了提高峰值波长为342nm的碘分子I2 *的发光强度所需的换算电场强度的下限值(以下也称作临界换算电场强度)。换算电场强度指的是电场强度E除以稀有气体的分压p1所得的数值。
在各实施例1~3所述的灯中,各放电气体的总压(稀有气体的分压p1和气体碘的分压p2的总计值)为120kPa,各气体碘的分压p2为0.14kPa。
对于实施例1~3所述的灯,分别以七种不同的换算电场强度进行点灯驱动,并与实验1同样地对波长为342nm的碘分子光的发光强度进行了测定。即,在实验2中,对各实施例1~3所述的灯进行了各7次共计21次的碘分子发光强度的数据测定。
施加到放电空间中的电场强度E通过算式1~3计算出来。V为施加电压,Cgap为单位长度内放电空间的静电容量,Cglass为单位长度内电介质的静电容量,dgap为放电间隙,dglass为电介质的厚度,εgap为放电空间的介电常数,εglass为电介质的介电常数,W为电极宽度。另外,εgap≈εo,εglass≈3.7×εo。εo为真空的介电常数8.85×10-12(F/m)。
式1
E=V/dgap×1/Cgap/(2/Cglass+1/Cgap)
式2
Cgap=εgap×W/dgap
式3
Cglass=εglass×W/dglass
实验2的结果如图5所示。图5中纵轴为碘分子发光强度的标准数据,横轴为换算电场强度。换算电场强度基本为电场强度E除以放电气体的压力(稀有气体的分压p1与气体碘的分压p2的总计)得到的E/(p1+p2),然而由于气体碘的分压p2远小于稀有气体的分压p1,因此近似为电场强度E除以稀有气体的分压p1得到的E/p1。
根据图5所示的实验结果可以明确以下内容。确认了实施例1的灯在点灯驱动时的换算电场强度E/p1为40.8以上时比换算电场强度E/p1小于40.8时碘分子发光强度显著升高。确认了实施例2的灯在点灯驱动时换算电场强度E/p1为30.7以上时比换算电场强度E/p1小于30.7时碘分子发光强度显著升高。确认了实施例3的灯在点灯驱动时换算电场强度E/p1为37.5以上时比换算电场强度E/p1小于37.5时碘分子发光强度显著升高。
根据实验2,在稀有气体的分压p1为120kPa,气体碘的分压为0.14kPa的情况下,实施例1的灯的临界换算电场强度为40.8,实施例2的灯的临界换算电场强度为30.7,实施例3的灯的临界换算电场强度为37.5。
实验3
实验3分别改变放电气体中含有的稀有气体的总压和气体碘的分压,从而调查了如实验2所述,为了提高峰值波长为342nm的激发碘分子I2 *的发光强度所需的换算电场强度E/p1的下限值(即,临界换算电场强度)。
在实验3中,对于实施例1~3分别使用了20种稀有气体的分压p1和气体碘的分压p2各自不同的灯共计60种。稀有气体的分压p1在40~133kPa的范围内,气体碘的分压p2在0.05~1.09kPa的范围内。
实验3分别对各实施例1~3所述的共计60种灯如实验2所述地改变换算电场强度E/p1的值进行点灯驱动,并通过与实验1同样地对波长为342nm的碘分子光的强度进行测定,从而调查了临界换算电场强度E/p1。实验3的结果表1所示。
表1
表1中总结了对各实施例1~3所述的共计60种灯分别进行测定得到的临界换算电场强度E/p1的数值。表2是将表1所示各实施例1~3所述的灯的临界换算电场强度E/p1近似成对于每个气体碘的分压p2的稀有气体的分压p1的函数的近似式。
表2
作为参考,对表2所示的各近似式的求法进行补充说明。图6是用于说明将表1所示的临界换算电场强度E/p1的数值近似为稀有气体的分压p1的函数的近似方法的图。在该图中,纵轴为临界换算电场强度E/p1,横轴为稀有气体的分压p1。在该图中,为了方便说明,仅示出了表1所示的临界换算电场强度中碘的分压p2为0.14kPa的纵列中各实施例1~3所述的灯的各自的标记。
图6中示出的五个菱形标记表示的是表1的实施例1的栏中碘的分压p2为0.14kPa而稀有气体的分压p1分别为40kPa、67kPa、93kPa、120kPa、133kPa的五个临界换算电场强度的数值数据。图6所示的各菱形标记连接起来的曲线近似为表2的实施例1栏中上数第二行所示的稀有气体的分压p1的函数。
图6中示出的五个正方形标记表示的是表1的实施例2的栏中碘的分压p2为0.14kPa而稀有气体的分压p1分别为40kPa、67kPa、93kPa、120kPa、133kPa的五个临界换算电场强度的数值数据。图6所示的各正方形标记连接起来的曲线近似为表2的实施例2栏中上数第二行所示的稀有气体的分压p1的函数。
图6中示出的五个三角形标记表示的是表1的实施例3的栏中碘的分压p2为0.14kPa而稀有气体的分压p1分别为40kPa、67kPa、93kPa、120kPa、133kPa的五个临界换算电场强度的数值数据。图6所示的各三角形标记连接起来的曲线近似为表2的实施例3栏中上数第二行所示的稀有气体的分压p1的函数。
如图6所示,表示各实施例1~3所述的灯的临界换算电场强度E/p1与稀有气体分压p1的关系的曲线图在该图的画面中从下方侧开始按照实施例2、实施例3、实施例1的顺序并列配置。实施例3的曲线图位于实施例1的曲线图和实施例2的曲线图的大致中间的位置。
表2所示的其他的近似式均如上述地,分别对于碘的分压为0.05kPa、0.14kPa、0.57kPa、1.09kPa的情况,通过对各实施例1~3所述的灯进行近似而得到的稀有气体的分压p1的函数。
进而,表2所示的各实施例1~3所述的灯的临界换算电场强度E/p1的近似式作为稀有气体的分压p1和气体碘的分压p2的函数能够如下所示地进行近似。
实施例1
式4
E/p1=(6.6×p2+124)×exp(-0.0093×p1)
实施例2
式5
E/p1=(236×p2+1598)×p1-0.83
实施例3
式6
E/p1=(1337×p20.0177)×p1-0.74
式4~6所示的临界换算电场强度E/p1如上文所述是提高激发碘分子I2 *的发光强度所需的下限值。因此,各实施例1~3所述的灯可以通过使以下关系式成立的方式,分别适当地设定临界换算电场强度E/p1、放电气体中含有的稀有气体的分压p1以及气体碘的分压p2,从而显著地提高由激发碘分子I2 *放射出的波长为342nm的发光强度。
实施例1
式7
E/p1≥(6.6×p2+124)×exp(-0.0093×p1)
实施例2
式8
E/p1≥(236×p2+1598)×p1-0.83
实施例3
式9
E/p1≥(1337×p20.0177)×p1-0.74
这样,本发明的各实施例1~3所述的灯在(1)放电气体中含有的气体碘的浓度处于最适当的范围且(2)换算电场强度E/p1处于临界换算电场强度以上的条件下进行点灯驱动,因此相对于以往的灯能够显著地提高碘发光分子I2 *放射出的峰值波长为342nm的紫外光的放射强度。其理由未经确认,然而例如可以如下进行考虑。
对于气体碘的浓度为0.04~0.9%的范围内且换算电场强度E/p1满足式7~9所示的关系的各实施例1~3所述的灯,由实验3确认在放电空间中混合发生以下两种放电:处于在放电空间整体中发生放电的状态的扩散放电;以及具有与扩散放电相比空间性地收缩了的带状形状的灯丝放电。图7示意性地示出了混合发生扩散放电和灯丝放电双方的放电空间的形态。该图的K为扩散放电,F为灯丝放电。发生灯丝放电时,由于是空间性地收缩的形状,因此比扩散放电的电流密度高,因而,可以想到在放电空间中存在有大量的碘离子I+和I-。由此,在放电空间中容易形成激发碘分子I2 *,因此可以想到能够提高由激发碘分子I2 *放射出的峰值波长为342nm的碘分子光的放射强度。
与此相对地,对于气体碘的浓度在0.04~0.9%范围以外并且换算电场强度E/p1不满足算式7~9的关系的各实施例1~3所述的灯,通过实验3确认了在放电空间内只发生灯丝放电。图8示意性地示出了单独发生灯丝放电的放电空间的形态。该图中的F为灯丝放电。在该种灯中,由于在放电空间中仅在局部形成放电,因此可以想到由激发碘分子I2 *放射出的峰值波长为342nm的碘分子光的放射强度降低。
峰值波长为342nm的碘分子光如上所述,通过碘离子I+和I-与氪、氩这些稀有气体碰撞而形成的激发碘分子I2 *放射。即,激发碘分子I2 *在放电气体中含有的稀有气体的原子或者分子越多时越容易形成。因此,通过提高放电气体的总压(稀有气体的分压p1+气体碘的分压p2的总计),增加了与碘离子I+和I-碰撞的稀有气体的原子或者分子,从而容易形成激发碘分子I2 *,因此能够提高峰值波长为342nm的碘分子光的强度。本发明的各实施例1~3所述的灯优选放电气体的总压(p1+p2)在100kPa以上。
另外,本发明的各实施例1~3所述的灯在放电气体的温度过高时,具有放射峰值波长为342nm的碘分子光的激发碘分子I2 *分解,复原为原始的碘离子I+或者I-的特性,因此优选维持适当的放电气体的温度。为了维持适当的放电气体的温度,优选向各实施例1~3所述的灯供给1~120kHz的交流电压或者脉冲电压进行点灯驱动。在供给到灯的交流电压或者脉冲电压的频率超过120kHz的情况下,放电气体的温度过高会使激发碘分子I2 *容易分解,因此存在峰值波长为342nm的碘分子光的强度会下降的缺点。此外,当交流电压或者脉冲电压的频率低于1kHz的情况下,单位时间内的发光次数减少,因此存在峰值波长为342nm的碘分子光的强度下降的缺点。
Claims (6)
1.一种灯,其具有放电容器和一对电极,所述放电容器中封入有包含气体碘和选自氪气、氩气的一种以上的稀有气体的放电气体,所述一对电极隔着形成在所述放电容器的内部的放电空间相对地进行配置,该灯通过形成激发碘分子而放射波长为342nm的紫外光,其特征在于,
在所述放电空间中混合发生以下两种放电:处于在所述放电空间整体中发生放电的状态的扩散放电;以及具有与所述扩散放电相比空间性地收缩了的带状形状的灯丝放电。
2.一种灯,其具有放电容器和一对电极,所述放电容器中封入有包含气体碘和氪气的放电气体,所述一对电极隔着形成在所述放电容器的内部的放电空间相对地进行配置,该灯通过形成激发碘分子而放射波长为342nm的紫外光,其特征在于,
所述放电气体中包含的气体碘的浓度为0.04~0.9%,并且在设施加到所述放电空间的电场强度为E,所述稀有气体的分压为p1,所述气体碘的分压为p2,其中所述电场强度E的单位为kV/cm,所述分压p1和所述分压p2的单位为kPa时,下式的关系成立:
E/p1(6.6×p2+124)×exp(-0.0093×p1)。
3.一种灯,其具有放电容器和一对电极,所述放电容器中封入有包含气体碘和氩气的放电气体,所述一对电极隔着形成在所述放电容器的内部的放电空间相对地进行配置,该灯通过形成激发碘分子而放射波长为342nm的紫外光,其特征在于,
所述放电气体中包含的气体碘的浓度为0.04~0.9%,并且在设施加到所述放电空间的电场强度为E,所述稀有气体的分压为p1,所述气体碘的分压为p2,其中所述电场强度E的单位为kV/cm,所述分压p1和所述分压p2的单位为kPa时,下式的关系成立:
E/p1≥(236×p2+1598)×p1-0.83。
4.一种灯,其具有放电容器和一对电极,所述放电容器中封入有包含气体碘以及由氪气和氩气混合成的混合气体的放电气体,所述一对电极隔着形成在所述放电容器的内部的放电空间相对地进行配置,该灯通过形成激发碘分子而放射波长为342nm的紫外光,其特征在于,
所述放电气体中包含的气体碘的浓度为0.04~0.9%,并且在设施加到所述放电空间的电场强度为E,所述稀有气体的分压为p1,所述气体碘的分压为p2,其中所述电场强度E的单位为kV/cm,所述分压p1和所述分压p2的单位为kPa时,下式的关系成立:
E/p1(1337×p20.0177)×p1-0.74。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的灯,其特征在于,
所述放电气体的总压为100kPa以上。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的灯,其特征在于,
供给到所述灯的点灯频率为1~120kHz。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009056128A JP5239954B2 (ja) | 2009-03-10 | 2009-03-10 | ランプ |
JP2009-056128 | 2009-03-10 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101958224A true CN101958224A (zh) | 2011-01-26 |
CN101958224B CN101958224B (zh) | 2014-01-01 |
Family
ID=42972003
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201010126692.6A Expired - Fee Related CN101958224B (zh) | 2009-03-10 | 2010-02-24 | 灯 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5239954B2 (zh) |
KR (1) | KR101380425B1 (zh) |
CN (1) | CN101958224B (zh) |
TW (1) | TWI450311B (zh) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0521553A2 (en) * | 1991-07-01 | 1993-01-07 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | High-pressure glow discharge lamp |
CN1089755A (zh) * | 1992-12-15 | 1994-07-20 | 松下电工株式会社 | 无电极放电灯 |
JPH0794150A (ja) * | 1993-07-30 | 1995-04-07 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 希ガス放電灯およびこれを用いた表示装置 |
CN1394267A (zh) * | 2000-11-09 | 2003-01-29 | 哈利盛东芝照明株式会社 | 采用荧光灯的照明装置 |
CN2783532Y (zh) * | 2005-04-20 | 2006-05-24 | 成都骏元科技发展有限责任公司 | 一种紫外线灯 |
JP2008146906A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Toshiba Corp | 紫外線発生装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09237608A (ja) * | 1996-02-29 | 1997-09-09 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 無電極放電ランプ、無電極放電灯、光処理装置、殺菌装置および水処理装置 |
CA2224699A1 (en) * | 1997-12-12 | 1999-06-12 | Resonance Ltd. | Hollow electrode electrodeless lamp |
JP4516251B2 (ja) * | 2001-11-07 | 2010-08-04 | 株式会社日本フォトサイエンス | 紫外線照射装置及びその運用方法 |
JP3968113B1 (ja) * | 2006-02-28 | 2007-08-29 | Hoya Candeo Optronics株式会社 | エキシマランプ |
-
2009
- 2009-03-10 JP JP2009056128A patent/JP5239954B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-01-12 TW TW099100698A patent/TWI450311B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-02-17 KR KR1020100014117A patent/KR101380425B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2010-02-24 CN CN201010126692.6A patent/CN101958224B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0521553A2 (en) * | 1991-07-01 | 1993-01-07 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | High-pressure glow discharge lamp |
JPH05205704A (ja) * | 1991-07-01 | 1993-08-13 | Philips Gloeilampenfab:Nv | 高圧グロー放電ランプ |
CN1089755A (zh) * | 1992-12-15 | 1994-07-20 | 松下电工株式会社 | 无电极放电灯 |
JPH0794150A (ja) * | 1993-07-30 | 1995-04-07 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 希ガス放電灯およびこれを用いた表示装置 |
CN1394267A (zh) * | 2000-11-09 | 2003-01-29 | 哈利盛东芝照明株式会社 | 采用荧光灯的照明装置 |
CN2783532Y (zh) * | 2005-04-20 | 2006-05-24 | 成都骏元科技发展有限责任公司 | 一种紫外线灯 |
JP2008146906A (ja) * | 2006-12-07 | 2008-06-26 | Toshiba Corp | 紫外線発生装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101958224B (zh) | 2014-01-01 |
TWI450311B (zh) | 2014-08-21 |
KR20100102041A (ko) | 2010-09-20 |
JP2010212045A (ja) | 2010-09-24 |
TW201103068A (en) | 2011-01-16 |
KR101380425B1 (ko) | 2014-04-01 |
JP5239954B2 (ja) | 2013-07-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP4012749A1 (en) | Light irradiation device | |
CA2224362C (en) | Method for operating a lighting system and suitable lighting system therefor | |
KR101949001B1 (ko) | 자외선 발광용 가스 방전 장치와 이것을 사용한 평면 광원 및 이들의 구동 방법 | |
US20090230867A1 (en) | Mercury-free metal halide high-pressure discharge lamp | |
JPH03201358A (ja) | 高出力ビーム放射装置 | |
JPH02199767A (ja) | 高出力ビーム発生器 | |
WO2000068967A9 (en) | High-pressure lamp bulb having fill containing multiple excimer combinations | |
CN101283217A (zh) | 紫外线激活的电子窗 | |
JP2012130831A (ja) | 紫外線照射モジュールおよび紫外線照射装置 | |
CN101958224B (zh) | 灯 | |
JP2005216647A (ja) | 高放射輝度閃光放電ランプ | |
JPH0613052A (ja) | 無電極放電ランプおよび無電極放電ランプ発光装置 | |
KR100730451B1 (ko) | 자외광원 점등장치 및 자외선 조사장치 | |
TW201326994A (zh) | 紫外線照射裝置 | |
KR101374022B1 (ko) | 엑시머 램프 | |
JP2008140758A (ja) | 紫外線放電ランプ | |
WO2005060581A2 (en) | Ultraviolet lighting platform | |
CN111739787B (zh) | 放电灯及液晶面板制造装置 | |
US20080308752A1 (en) | Uv trans-illuminator | |
EP4125112A1 (en) | Mercury free cold cathode lamp internally coated with a luminescent down shifting layer | |
JP2010055782A (ja) | 紫外線放電ランプ | |
RU2120152C1 (ru) | Газоразрядная лампа | |
JP2008300219A (ja) | 放電ランプ点灯装置 | |
CN102074451B (zh) | 放电灯 | |
RU2285311C2 (ru) | Газоразрядный источник ультрафиолетового излучения или озона |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140101 Termination date: 20180224 |