CN101913208A - 一种晶块切片方法 - Google Patents
一种晶块切片方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101913208A CN101913208A CN 201010232673 CN201010232673A CN101913208A CN 101913208 A CN101913208 A CN 101913208A CN 201010232673 CN201010232673 CN 201010232673 CN 201010232673 A CN201010232673 A CN 201010232673A CN 101913208 A CN101913208 A CN 101913208A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- crystal block
- silico briquette
- slice
- steel wire
- slicing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
本发明涉及晶块切片和硅片制备技术领域,特别是一种晶块切片方法,该方法首先将待切片的硅块置于切片机中,然后使待切片的硅块的入切面与切片线网呈一定夹角,切片线网入切时,切片线网中的钢线与硅块入切面的侧边点接触。通过该方法避免了切片时钢线刚接触晶块表面时任一单根钢线与晶块表面为线接触,任一单根钢线与晶块表面均为点接触,接触面积小,钢线非常容易切入晶块体内,完全避免了线接触钢线在入切晶块表面时的打滑现象。
Description
技术领域
本发明涉及晶块切片和硅片制备技术领域,特别是一种晶块切片方法。
背景技术
目前在对单晶、多晶晶块切片时,通常在晶块进入切片机台切片之前,先将晶块平行的粘在晶托表面,同时在晶块入切面垂直切割方向粘两根或两根以上导向条,通过导向条对钢线的导向及固定作用尽量减少切片时钢线刚接触晶块表面时,由于任一单根钢线与晶块表面平行,均为线接触,接触面积大而导致的钢线在入切表面打滑,然而该切割工艺始终无法彻底解决钢线在入切表面打滑的现象,切片过程中隐裂片、厚薄片、线痕片、缺角片和碎片比例居高不下,导致切片良率的降低,严重影响了切片效益。查阅相关报道,目前国内外行业内尚无解决由该现象导致的这些问题的有效方法。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是:钢线与晶块表面均为线接触,接触面积大,导致的钢线在入切表面打滑,造成切片过程中隐裂片、厚薄片、线痕片、缺角片和碎片比例居高不下。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种晶块切片方法,将待切片的硅块置于切片机中,待切片的硅块的入切面与切片线网呈一定夹角α,切片线网入切时,切片线网中的钢线与硅块入切面的侧边点接触。
使待切片的硅块的入切面与钢线呈一定夹角的具体方法为:硅块通过玻璃板粘贴在表面具有一定倾斜角度的铝板上,铝板固定在切片机的晶托上。
或者,硅块通过具有一定倾斜玻璃板粘贴在铝板上,铝板固定在切片机的晶托上。
再或者,通过调整切片线网,使切片线网与硅块呈一定的倾斜角度。
硅块的入切面与切片线网的夹角α在0度~5度之间。
本发明的有益效果是:本发明通过一系列方法使得晶块切片时切片线网与晶块入切面形成适当的夹角,避免切片时钢线刚接触晶块表面时任一单根钢线与晶块表面为线接触,任一单根钢线与晶块表面均为点接触,接触面积小,钢线非常容易切入晶块体内,完全避免了线接触钢线在入切晶块表面时的打滑现象,降低了切片过程中隐裂片、厚薄片、线痕片、缺角片和碎片比例居高不下的现象,同时所切硅片的TTV、线痕有明显降低,硅片质量明显改善,这为硅片在电池端的良率进一步提供了保证。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的原理示意图;
图中:1.硅块,2.钢线,3.接触点。
具体实施方式
如图1所示,一种晶块切片方法,将待切片的硅块1置于切片机中,待切片的硅块1的入切面与切片线网呈一定夹角夹角α,切片线网入切时,切片线网中的钢线2与硅块1入切面的侧边点接触,图中的黑点显示的是接触点3。
该生产方法具体如下:
(一)、对多晶锭进行开方、检测、截断、倒角、磨面等工艺制成成品多晶晶块;对于单晶块进行截断、检测、边皮截除、截断、倒角、磨面等工艺制成成品单晶晶块;
(二)、将成品晶块及辅料如玻璃板放在铺有软胶皮垫装有适量水的超声波槽内清洗;
(三)、将特定设计的准备好的晶托、铝板尤其是其粘胶面清洗干净并涂上特制胶水,将洗净干燥特制的玻璃板粘贴于铝板中央,通过加压法保证玻璃与铝板粘连牢固;
(四)、将已配胶水适量均匀涂于玻璃板表面后将成品晶块粘于玻璃块表面,保证晶块与玻璃板边缘面平行,同时晶块长度不可超过玻璃板;
(五)、经过适当的固化时间,把粘有晶块的晶托安装于切片机台进行切片。
(六)、晶块切片结束以后下棒,经过清洗、分选、测试等工序便可包装成成品。
该新型单晶、多晶晶块的切片工艺方法根本技术革新在于:通过一系列方法调整晶块切片时钢线与晶块入切面的夹角α,夹角α最好在0度~5度之间,使切片工艺中钢线在入切晶块表面时为点接触,从而根本解决了现切片工艺中由于钢线在入切晶块表面时为线接触而使钢线容易在晶块表面打滑导致的隐裂片、厚薄片、线痕片、缺角片和碎片比例高的问题,调整晶块切片时钢线与晶块入切面的夹角的方法可以是:在设计铝板时,铝板表面有一定的倾斜角度;在设计粘棒用的玻璃板时,玻璃板有一定的倾斜角度;在布置切片线网时,线网面有一定的倾斜度等方法。
Claims (5)
1.一种晶块切片方法,其特征是:将待切片的硅块(1)置于切片机中,待切片的硅块(1)的入切面与切片线网呈一定夹角α,切片线网入切时,切片线网中的钢线(2)与硅块(1)入切面的侧边点接触。
2.根据权利要求1所述的晶块切片方法,其特征是:使待切片的硅块的入切面与钢线呈一定夹角的具体方法为:所述的硅块通过玻璃板粘贴在表面具有一定倾斜角度的铝板上,铝板固定在切片机的晶托上。
3.根据权利要求1所述的晶块切片方法,其特征是:使待切片的硅块的入切面与钢线呈一定夹角的具体方法为:所述的硅块通过具有一定倾斜玻璃板粘贴在铝板上,铝板固定在切片机的晶托上。
4.根据权利要求1所述的晶块切片方法,其特征是:使待切片的硅块的入切面与钢线呈一定夹角的具体方法为:通过调整切片线网,使切片线网与硅块呈一定的倾斜角度。
5.根据权利要求1所述的晶块切片方法,其特征是:硅块的入切面与切片线网的夹角α在0度~5度之间。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201010232673 CN101913208A (zh) | 2010-07-19 | 2010-07-19 | 一种晶块切片方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201010232673 CN101913208A (zh) | 2010-07-19 | 2010-07-19 | 一种晶块切片方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101913208A true CN101913208A (zh) | 2010-12-15 |
Family
ID=43320924
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 201010232673 Pending CN101913208A (zh) | 2010-07-19 | 2010-07-19 | 一种晶块切片方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101913208A (zh) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102021656A (zh) * | 2010-12-17 | 2011-04-20 | 上海超日(洛阳)太阳能有限公司 | 一种硅锭粘接方法 |
CN102198706A (zh) * | 2011-05-12 | 2011-09-28 | 无锡机床股份有限公司 | 多线切割机的工件夹紧机构 |
CN102294757A (zh) * | 2011-08-08 | 2011-12-28 | 江西金葵能源科技有限公司 | 一种使用金刚石线切割的单晶短棒拼接方法 |
CN102581970A (zh) * | 2012-03-06 | 2012-07-18 | 英利能源(中国)有限公司 | 太阳能电池组件用晶体硅块用调整装置及切割方法 |
CN104175408A (zh) * | 2014-08-21 | 2014-12-03 | 天津英利新能源有限公司 | 一种硅块的切割方法 |
CN107538631A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-01-05 | 江阴东升新能源股份有限公司 | 小型方硅芯高精度切割工艺 |
CN114434663A (zh) * | 2022-02-14 | 2022-05-06 | 安徽冠宇光电科技有限公司 | 一种太阳能单晶硅切片机 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004082282A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Kyocera Corp | 半導体ブロックのスライス方法 |
CN101733849A (zh) * | 2010-02-10 | 2010-06-16 | 阿特斯(中国)投资有限公司 | 一种硅棒的切割方法 |
-
2010
- 2010-07-19 CN CN 201010232673 patent/CN101913208A/zh active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004082282A (ja) * | 2002-08-27 | 2004-03-18 | Kyocera Corp | 半導体ブロックのスライス方法 |
CN101733849A (zh) * | 2010-02-10 | 2010-06-16 | 阿特斯(中国)投资有限公司 | 一种硅棒的切割方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102021656A (zh) * | 2010-12-17 | 2011-04-20 | 上海超日(洛阳)太阳能有限公司 | 一种硅锭粘接方法 |
CN102021656B (zh) * | 2010-12-17 | 2012-11-14 | 上海超日(洛阳)太阳能有限公司 | 一种硅锭粘接方法 |
CN102198706A (zh) * | 2011-05-12 | 2011-09-28 | 无锡机床股份有限公司 | 多线切割机的工件夹紧机构 |
CN102294757A (zh) * | 2011-08-08 | 2011-12-28 | 江西金葵能源科技有限公司 | 一种使用金刚石线切割的单晶短棒拼接方法 |
CN102581970A (zh) * | 2012-03-06 | 2012-07-18 | 英利能源(中国)有限公司 | 太阳能电池组件用晶体硅块用调整装置及切割方法 |
CN102581970B (zh) * | 2012-03-06 | 2015-04-01 | 英利能源(中国)有限公司 | 太阳能电池组件用晶体硅块用调整装置及切割方法 |
CN104175408A (zh) * | 2014-08-21 | 2014-12-03 | 天津英利新能源有限公司 | 一种硅块的切割方法 |
CN104175408B (zh) * | 2014-08-21 | 2016-06-08 | 天津英利新能源有限公司 | 一种硅块的切割方法 |
CN107538631A (zh) * | 2017-11-03 | 2018-01-05 | 江阴东升新能源股份有限公司 | 小型方硅芯高精度切割工艺 |
CN107538631B (zh) * | 2017-11-03 | 2019-11-19 | 江阴东升新能源股份有限公司 | 小型方硅芯高精度切割工艺 |
CN114434663A (zh) * | 2022-02-14 | 2022-05-06 | 安徽冠宇光电科技有限公司 | 一种太阳能单晶硅切片机 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101913208A (zh) | 一种晶块切片方法 | |
CN102285010B (zh) | 一种使用金刚石线切割的太阳能级硅晶薄片及其切割方法 | |
CN102380914A (zh) | 硅块切割方法及硅块切割装置 | |
CN102555092A (zh) | 一种硅片线切割方法 | |
CN102092102B (zh) | 晶块粘棒切片工艺 | |
CN102092103B (zh) | 硅片分线网切割工艺 | |
CN101973081B (zh) | 利用mb线锯切截头不截尾8寸多晶块的方法 | |
CN104943000A (zh) | 陶瓷薄板的切割再磨边结构 | |
CN104476686A (zh) | 一种使用超高密度金刚石线切割太阳能级硅片的方法 | |
CN103958140A (zh) | 用于晶片切割的晶片切割牺牲基板 | |
CN102275234B (zh) | 单晶/多晶硅片多线切割自动脱胶方法及其装置 | |
CN103381624A (zh) | 易碎片状工作物的裁切方法及装置 | |
CN201677415U (zh) | 蓝宝石晶体玻璃固定条定位粘接装置 | |
JP2005183839A (ja) | 半導体インゴットの切断方法 | |
CN102441944A (zh) | 多晶晶锭的开方方法 | |
CN101710603A (zh) | 一种用于太阳电池硅片加工的多线切割工艺组合 | |
CN201809478U (zh) | 晶块无缝粘棒 | |
CN101174561A (zh) | 硅双面扩散衬底片加工方法 | |
CN103522432A (zh) | 硅块切割方法及其切割装置 | |
CN211414771U (zh) | 双面抛光机用衬底片夹具 | |
CN201728761U (zh) | 6寸单晶晶块的切片装置 | |
CN203077484U (zh) | 切割硅块的专用工具 | |
CN102343633B (zh) | 一种切片设备 | |
CN203004087U (zh) | 晶棒切割垫条 | |
CN207105322U (zh) | 一种新型金刚线切片机粘胶料板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20101215 |