CN101853697A - 增益单元eDRAM单元、存储器及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于动态随机存储器(DRAM)技术领域,具体为一种增益单元eDRAM单元、存储器及其制备方法。该增益单元eDRAM单元包括读MOS晶体管、写MOS晶体管、写字线、写位线、读字线、读位线以及等效寄生电容,所述写MOS晶体管的漏端与读MOS晶体管的栅极电连接,写MOS晶体管的漏端的深度大于写MOS晶体管的源端的深度,设置写MOS晶体管的漏端掺杂浓度分布以减小漏端的PN结的漏电流。该增益单元eDRAM具有数据保持时间长的特点,由该增益单元eDRAM单元组成的存储器的刷新频率低、功耗小。
Description
技术领域
本发明属于动态随机存储器(DRAM)技术领域,具体涉及一种嵌入式动态随机存储器(eDRAM)技术,尤其涉及一种写MOS晶体管为非对称结构的增益单元eDRAM(GainCelleDRAM)单元、存储器及其制备方法。
背景技术
存储器可以分为片外存储器和嵌入式存储器,嵌入式存储器是一种集成在芯片内与芯片***中各个逻辑、混合信号等IP模块共同组成芯片的基本组成部分。嵌入式存储器包括嵌入式静态随机存储器(eSRAM)和嵌入式动态随机存储器(eDRAM),其中,eDRAM由于其单元只包括一个晶体管和一个电容,相对eSRAM单元的六个晶体管,具有单元面积小的特点。
但是,传统的eDRAM的难点在于其电容的制造一般不与标准MOS工艺兼容,从而DRAM工艺与常规逻辑工艺差异很大,工艺的整合相当困难。因此业界提出了用MOS管自身的寄生电容来等效代替DRAM中电容的思想。
请参阅图1,图1所示为现有技术的增益单元eDRAM单元的电路结构示意图。该eDRAM是由Intel公司在美国专利US7120072中提出的,如图1所示,该GainCelleDRAM100包括写MOS晶体管101、读MOS晶体管102、写字线(WriteWordLine,WWL)105、读字线(ReadWordLine,RWL)106、写位线(WriteBitLine,WBL)107、读位线(ReadBitLine,RBL)108以及等效寄生电容104(等效寄生电容不是作为一个独立器件而存在的,图中只是示意性地单独图示出)。其中,写MOS晶体管101的漏区连接于读MOS晶体管102的栅极,MN点103为存储节点,等效寄生电容104一端与103连接,另一端接地,因此,MN点的电位的高低能控制读MOS晶体管102的导通与关断;例如,电容104存储电荷时,代表存储“1”,MN点103为高电位,可以控制读MOS晶体管102关断。读MOS晶体管102的一端接RBL,另一端接RWL;写MOS晶体管101的一端接WBL,另一端接读MOS晶体管102的栅极。通常地,等效寄生电容104为写MOS晶体管101的有源区寄生电容(也即漏区的寄生电容)或读MOS晶体管102的栅电容,也或者是两者的结合。以下结合操作列表具体说明其操作过程:
1、写操作(Write):写“0”时,RWL、RBL置0电位,读MOS晶体管102不工作;WWL置-400mV,写MOS晶体管101导通,WBL置0V,从而等效寄生电容104放电,存储节点103电位为0。写“1”时,RWL、RBL置0电位,读MOS晶体管102不工作;WWL置-400mV,写MOS晶体管101导通,WBL置1V,从而等效寄生电容104充电,存储节点103电位为高电位。
2、数据保持时(Hold):RWL、RBL置0电位,读MOS晶体管102不工作,WWL置1V,写MOS晶体管101关断,存储节点103的电位不受外界影响。
3、读操作(Read):读“0”时,WWL置1V,WBL置0V,写MOS晶体管101关断;RWL偏置小于1V,RBL置0V,此时读MOS晶体管102导通,RWL通过读MOS晶体管对RBL充电,由于读出电路具有钳位作用,RBL的电位能达到200mV,从而可以读出数据“0”。读“1”时,WWL置1V,WBL置0V,写MOS晶体管101关断;RWL偏置小于1V,此时读MOS晶体管102关断,RWL不会通过读MOS晶体管对RBL充电,RBL维持0V电位,从而可以读出数据“1”。
图1所示的GainCelleDRAM单元不需要另外制造电容,采用标准CMOS工艺,并且其结构相对eSRAM更简单,可以实现高密度的嵌入式存储。但是,由于等效寄生电容104为写MOS晶体管101的有源区寄生电容或者读MOS晶体管102的栅电容、或者为写MOS晶体管101的有源区寄生电容和读MOS晶体管102的栅电容的组合,等效寄生电容104的电容值相对较小。等效寄生电容104存储的电荷保持时间反映了该增益单元eDRAM单元的数据保持特性,电荷保持时间越长,所需刷新的频率就越低、存储器的功耗也就越低。通常情况下,该增益单元eDRAM单元的等效寄生电容104所存储电荷的漏电途径有多种,例如,通过写MOS晶体管10的亚阈值漏电、通过写MOS晶体管101和读MOS晶体管102的栅氧层的漏电。其中,写MOS晶体管101的有源区(漏区)寄生电容所存储的电荷更容易通过源端与衬底之间的结(PN结)泄漏,从而大大降低该存储器的数据保持时间。特别是在在65nm下采用标准逻辑工艺只有10us的数据保持时间,从而存储器刷新频率高、功耗增大。
图2所示为图1所示增益单元eDRAM单元的俯视图,图3所示为图1所示增益单元eDRAM单元的截面正视图。现有技术中,图1所示的增益单元eDRAM单元通过应用图2和图3所示的物理结构并完成制造。在该实施例中,写MOS晶体管和读MOS晶体管均为PMOS管。结合图2和图3所示,其中,201为写MOS晶体管101的源端,202为写MOS晶体管101的栅极,203为写MOS晶体管101的漏端,205为读MOS晶体管102的有源区(源端或者漏端),206为读MOS晶体管102的栅极;用于存储电荷的电容(等效寄生电容)即为图3中虚线所示的电容(漏端203的结电容和栅极206的栅电容),为写MOS晶体管的漏端203和读MOS晶体管的栅极206通过金属线207连接。图2中所示虚线框图中的区域即为该eDRAM单元的存储节点204(即图3所示的204所指的漏端和栅极)。存储节点204的金属线207上,可以反映出等效寄生电容的存储电位(等效寄生电容中电荷越多、电位越高)。图3中的虚线所示的电容所组成的等效寄生电容在存储电荷时,容易通过写MOS晶体管的漏端的结电容泄漏。
有鉴于此,有必要提出一种新型结构的eDRAM单元以提高eDRAM单元的数据保持时间。
发明内容
本发明要解决的技术问题是,改善eDRAM单元的等效寄生电容的存储电荷泄漏问题,以提高eDRAM单元的数据保持时间。
为解决以上技术问题,按照本发明的第一个方面,提供一种增益单元eDRAM单元,其包括读MOS晶体管、写MOS晶体管、写字线、写位线、读字线、读位线以及等效寄生电容,所述写MOS晶体管的漏端与读MOS晶体管的栅极电连接,所述写MOS晶体管的漏端的深度大于所述写MOS晶体管的源端的深度,设置所述写MOS晶体管的漏端掺杂浓度分布以减小漏端的PN结的漏电流。
作为较佳技术方案,所述写MOS晶体管的漏端的平均掺杂浓度低于所述写MOS晶体管的源端的平均掺杂浓度。具体地,所述写MOS晶体管的漏端的平均掺杂浓度是所述写MOS晶体管的源端的平均掺杂浓度的40%到90%。
作为又一较佳技术方案,所述写MOS晶体管的漏端所占的面积大于所述MOS晶体管的源端所占的面积。具体地,在垂直于沟道方向、所述写MOS晶体管的漏端的尺寸大于所述写MOS晶体管的源端的尺寸。
作为再一较佳技术方案,所述写MOS晶体管的漏端的掺杂浓度在垂直于衬底表面方向、从上至下以缓变形式降低。
具体地,所述所述写MOS晶体管的漏端的深度是所述写MOS晶体管的源端的深度的1.1至2倍。
按照本发明的又一方面,提供一种制备本发明的增益单元eDRAM单元的方法,其中,增加对写MOS晶体管的漏端的单独构图掺杂步骤,以增加MOS晶体管的漏端的深度并调整其掺杂浓度分布。
具体地,包括以下步骤:
(1)提供第一掺杂类型的、用于形成读MOS晶体管和写MOS晶体管的衬底;
(2)对所述读MOS晶体管、写MOS晶体管的源端以及漏端,同时进行第二掺杂类型的第一次轻掺杂;
(3)单独对所述写MOS晶体管的漏端进行第二掺杂类型的第二次轻掺杂以增加MOS晶体管的漏端的深度;
(4)对所述写MOS晶体管的源端、读MOS晶体管的源端以及漏端,同时进行第二掺杂类型的重掺杂。
所述第一次轻掺杂为轻掺杂漏区掺杂。
按照本发明的再一方面,提供一种增益单元eDRAM,其包括:
增益单元eDRAM阵列,其包括按行和列的形式排列的多个以上所述及的任一中增益单元eDRAM单元;
行译码器;
列译码器;
灵敏放大器;
字线驱动模块;
位线驱动模块;
逻辑控制模块,用于控制所述字线驱动模块和所述位线驱动模块在读操作、写操作、数据保持操作以及刷新操作中的时序。
本发明的技术效果是,通过对增益单元eDRAM单元的写MOS晶体管的结构进行改进,增加其漏端的深度并调整其掺杂分布,以减小写MOS晶体管的漏端的PN结处的电场强度,从而减小漏端的PN结的漏电流,减慢存储节点的等效寄生电容的存储电荷的泄漏速度,增加了增益单元eDRAM的数据保持时间,降低了由该增益单元eDRAM单元组成的存储器的刷新频率,减小了的存储器的功耗。
附图说明
图1是现有技术的增益单元eDRAM单元的电路结构示意图。
图2是图1所示增益单元eDRAM单元的俯视图。
图3是图1所示增益单元eDRAM单元的截面正视图。
图4是按照本发明提供的第一实施例的增益单元eDRAM单元的俯视图。
图5是图4所示实施例增益单元eDRAM单元的A-A截面正视图。
图6是按照本发明提供的第二实施例的增益单元eDRAM单元的俯视图。
图7是本发明提供的eDRAM存储器结构示意图。
图8A-8C是制备增益单元eDRAM的读MOS晶体管以及写MOS晶体管的方法过程。
具体实施方式
下面介绍的是本发明的多个可能实施例中的一些,旨在提供对本发明的基本了解,并不旨在确认本发明的关键或决定性的要素或限定所要保护的范围。
图4所示为按照本发明提供的第一实施例的增益单元eDRAM单元的俯视图;图5所示为图4所示实施例增益单元eDRAM单元的A-A截面正视图。如图4和图5所示,该实施例的eDRAM单元300同样为图1所示的包括写MOS晶体管、读MOS晶体管、写字线、写位线、读字线和读字线的结构,因此,eDRAM单元300的电路结构示意图与图1所示的eDRAM单元的电路结构示意图相同,写MOS晶体管、读MOS晶体管、写字线、写位线、读字线和读字线之间的连接关系以及所实现的功能也相同,在此不再作赘述。
继续如图4和图5所示,其中图4省略给出了写字线、写位线、读字线、读位线。具体地,301为写MOS晶体管的源端,302为写MOS晶体管的栅极,303为写MOS晶体管的漏端,305为读MOS晶体管的有源区(源端或者漏端),306为读MOS晶体管的栅极;写MOS晶体管的源端301和读MOS晶体管的栅极306通过金属线307连接。其中虚线框区域为该增益单元eDRAM单元的存储节点304,该存储节点304包括了写MOS晶体管的有源区寄生电容(Cj)以及读MOS晶体管的栅电容(Cox)。
在该发明中,为了减小写MOS晶体管的PN结的漏电流、以使存储节点的用来存储信息的寄生电容的电荷泄漏更慢,将写MOS晶体管设计为非对称结构,其中,如图5所示,写MOS晶体管的漏端303的深度加大,其大于写MOS晶体管的源端301的深度;另外,设置写MOS晶体管的漏端303的掺杂浓度,减小写MOS晶体管的漏端303的PN结(漏端303会与衬底形成PN结)处的电场强度,这样,PN结的漏电流就会减小。较佳地,写MOS晶体管的漏端303的平均掺杂浓度低于源端301的平均掺杂浓度,例如,漏端303和源端301均为P型掺杂时,源端301可为重掺杂,而漏端303为相对轻掺杂,具体地,漏端303的平均掺杂浓度可以为源端301的平均掺杂浓度的40%到90%。较佳的实施例中,在垂直于衬底表面方向(也即图5中的水平方向),漏端303的掺杂浓度从上至下以缓变方式降低,这样在,PN结处的漏端303的电场强度分布可以更低,更进一步减小PN结的漏电流。例如,漏端303的电场强度可以将为传统型写MOS晶体管的漏端303的电场强度的30%-60%。另外,具体地,写MOS晶体管的漏端303的深度可以为写MOS晶体管的源端301的深度的1.1至2倍。
图6所示为按照本发明提供的第二实施例的增益单元eDRAM单元的俯视图。如图6所示,在该第二实施例中,相对于图4所示第一实施例的主要区别在于漏端403,在对写MOS晶体管的漏端403作图4所示晶体管的变化设置时,还在垂直于写MOS晶体管的沟通的方向(也即MOS晶体管的宽度)增加漏端403尺寸,从而增加MOS晶体管的漏端403所占的面积,使其面积大于源端301的面积,这样,作为存储电容的等效寄生电容会因面积增大而增加,可以相对更进一步提高增益单元eDRAM单元400的数据保持时间(尤其是数据“1”的保持时间),降低刷新频率,减小由该增益单元eDRAM单元组成的存储器的功耗。
该发明进一步提供包括任一具体实施例中所描述的增益单元eDRAM单元的存储器。
图7所示为本发明提供的eDRAM存储器结构示意图。该增益单eDRAM存储器包括增益单元阵列,增益单元阵列是由增益单元eDRAM单元按行和列的形式排列而成,其中,增益单元eDRAM单元是以上图4或者图6实施例的增益单元eDRAM单元。字线和位线交叉排列,增益单元置于交叉排列点。该增益单元eDRAM存储器还包括行译码器、列译码器、灵敏放大器、字线驱动模块、位线驱动模块、逻辑控制模块。逻辑控制模块的功能是控制字线驱动模块和位线驱动模块在读操作、写操作、数据保持操作以及刷新操作中的时序。其中选中行选中列的位线电压变化可通过灵敏放大器分辨,并与Vref(参考电压)比较,得到读出数据。行地址数输入行译码器,用于选中阵列中的WWL和RWL,列地址输入列译码器。
以下实施例中进一步说明制备图6所示实施例的增益单元eDRAM单元的方法。
图8A-8C所示为制备增益单元eDRAM的读MOS晶体管以及写MOS晶体管的方法过程。由于该发明中,主要集中于对写MOS晶体管的结构进行改进以减小增益单元eDRAM单元的存储电荷泄漏速度,因此,对其制备方法,主要介绍写MOS晶体管的制备方法过程,尤其涉及源漏端的制备过程。在该实施例中,以制备的增益单元eDRAM单元的写MOS晶体管和读MOS晶体管均为PMOS晶体管为例进行说明。
如图8A所示,在完成源漏掺杂之前的相关工艺步骤后(例如沟道掺杂、浅沟槽隔离层形成等等众多的工艺步骤),欲形成源漏区域的部分被曝露以准备进行第一次掺杂,在该实施例中,衬底为N型掺杂,对写MOS晶体管的源端301以及漏端403、读MOS晶体管的源端以及漏端进行P型轻掺杂,具体地,为LDD(轻掺杂漏区)掺杂(以防止电子退化效应)。其中,可以选择BF2等作为掺杂源,掺杂方式通常为离子注入。在此过程中,控制掺杂的深度。需要说明的是,在该实施例中,漏端403的构图的面积大于源端301的构图的面积,在垂直于沟道方向,漏端403的尺寸大于源端301的尺寸(图中未示出)。
继续如图8B所示,在进行完以上步骤后,通常还会在栅302和306的左右边沿两侧形成边墙,其主要是为了形成LDD区。然后,单独对漏端403进行构图,例如,形成如图所示的光刻胶405的图形,以其作为掺杂的掩膜,对漏端403的面积区域进行第二次P型轻掺杂以大大增加MOS晶体管的漏端的深度,具体地,写MOS晶体管的漏端403的深度可以为最终形成的写MOS晶体管的源端301的深度的1.1至2倍。其中,可以选择B等作为掺杂源,掺杂方式通常为离子注入。以上所述及的轻掺杂主要是相对于以下步骤的重掺杂来说的。第二次轻掺杂的具体浓度,本领域技术人员可以根据具体要求选择,较佳地,可以使写MOS晶体管的漏端的掺杂浓度在垂直于衬底表面方向、从上至下以缓变形式降低,从而有利于减小漏端的PN结的漏电流。
继续如图8C所示,完成漏端403的掺杂后,采用光刻胶406作为掩膜掩盖漏端403区域,对写MOS晶体管的源端301、读MOS晶体管的源端以及漏端,同时进行P型的重掺杂,以最终形成读MOS晶体源端以及漏端、写MOS晶体管的源端301,因此,写MOS晶体管的源端301的平均掺杂浓度会大于漏端403的平均掺杂浓度。在此掺杂过程中,例如采用离子注入掺杂时,控制离子注入的能量,以控制掺杂的深度,从而使所形成的写MOS晶体管的源端301、读MOS晶体源端以及漏端的深度均小于写MOS晶体管的漏端403的深度。
在以上步骤之后,还会依次形成增益单元eDRAM的读字线、读位线、写字线、写位线等,其形成的方法与现有技术的形成方法基本相同,并为本领域技术人员所公知,在此不作一一赘述。
需要说明的是,以上只是以形成PMOS晶体管类型的读MOS晶体管和写MOS晶体管进行说明,本领域技术人员同样可以将其类似的方法用于形成NMOS晶体管类型的读MOS晶体管和写MOS晶体管。
以上实施例中,尽管只是对类似于图1所示电路结构的增益单元eDRAM单元的具体结构进行了说明,但是,其在写MOS晶体管上的结构及其制备方法改进的思想,同样可以应用于不同电路结构增益单元eDRAM单元中,例如,还可以应用到位线合并的增益单元eDRAM单元、带隔离MOS管的用于可编程逻辑器件的增益单元eDRAM单元、另外带存储MOS电容的增益单元eDRAM单元等。
以上例子主要说明了本发明的增益单元eDRAM单元、制备方法以及由该增益单元eDRAM单元所形成的存储器。尽管只对其中一些本发明的实施方式进行了描述,但是本领域普通技术人员应当了解,本发明可以在不偏离其主旨与范围内以许多其他的形式实施。因此,所展示的例子与实施方式被视为示意性的而非限制性的,在不脱离如所附各权利要求所定义的本发明精神及范围的情况下,本发明可能涵盖各种的修改与替换。
Claims (11)
1.一种增益单元eDRAM单元,包括读MOS晶体管、写MOS晶体管、写字线、写位线、读字线、读位线以及等效寄生电容,所述写MOS晶体管的漏端与读MOS晶体管的栅极电连接,其特征在于,所述写MOS晶体管的漏端的深度大于所述写MOS晶体管的源端的深度,设置所述写MOS晶体管的漏端掺杂浓度分布以减小漏端的PN结的漏电流。
2.如权利要求1所述的增益单元eDRAM单元,其特征在于,所述写MOS晶体管的漏端的平均掺杂浓度低于所述写MOS晶体管的源端的平均掺杂浓度。
3.如权利要求1或2所述的增益单元eDRAM单元,其特征在于,所述写MOS晶体管的漏端所占的面积大于所述MOS晶体管的源端所占的面积。
4.如权利要求1或2或3所述的增益单元eDRAM单元,其特征在于,所述写MOS晶体管的漏端的掺杂浓度在垂直于衬底表面方向、从上至下以缓变形式降低。
5.如权利要求3所述的增益单元eDRAM单元,其特征在于,在垂直于沟道方向、所述写MOS晶体管的漏端的尺寸大于所述写MOS晶体管的源端的尺寸。
6.如权利要求1所述的增益单元eDRAM单元,其特征在于,所述所述写MOS晶体管的漏端的深度是所述写MOS晶体管的源端的深度的1.1至2倍。
7.如权利要求2所述的增益单元eDRAM单元,其特征在于,所述写MOS晶体管的漏端的平均掺杂浓度是所述写MOS晶体管的源端的平均掺杂浓度的40%到90%。
8.一种制备如权利要求1所述增益单元eDRAM单元的方法,其特征在于,增加对MOS晶体管的漏端的单独构图掺杂步骤,以增加MOS晶体管的漏端的深度并调整其掺杂浓度分布。
9.如权利要求8所述的方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)提供第一掺杂类型的、用于形成读MOS晶体管和写MOS晶体管的衬底;
(2)对所述读MOS晶体管、写MOS晶体管的源端以及漏端,同时进行第二掺杂类型的第一次轻掺杂;
(3)单独对所述写MOS晶体管的漏端进行第二掺杂类型的第二次轻掺杂以增加MOS晶体管的漏端的深度;
(4)对所述写MOS晶体管的源端、读MOS晶体管的源端以及漏端,同时进行第二掺杂类型的重掺杂。
10.如权利要求9所述的方法,其特征在于,所述第一次轻掺杂为轻掺杂漏区掺杂。
11.一种增益单元eDRAM,其特征在于,包括:
增益单元eDRAM阵列,其包括按行和列的形式排列的多个权利要求1至7任一所述的增益单元eDRAM单元;
行译码器;
列译码器;
灵敏放大器;
字线驱动模块;
位线驱动模块;
逻辑控制模块,用于控制所述字线驱动模块和所述位线驱动模块在读操作、写操作、数据保持操作以及刷新操作中的时序。
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