CN101813206A - 压力调整阀和具有该压力调整阀的液滴排出装置 - Google Patents

Abstract

本发明目的在于提供压力调整阀和具有该压力调整阀的液滴排出装置。除去一个面的的2次室的内面壁具有：平面壁部，其在中心部开设连通流路的2次室侧开口部；模仿壁部，其与平面壁部的外侧相连而以模仿最大负变形的隔膜的方式接触并且在下部开设与流出口连通的流出开口部；流路槽，其以朝向上方而从平面壁部切入模仿壁部的方式延伸设置。

Description

压力调整阀和具有该压力调整阀的液滴排出装置

技术领域

本发明涉及对经由流入口向1次室供给的液体进行压力调整而从2次室经由流出口进行供给的压力调整阀以及具有该压力调整阀的液滴排出装置。

本申请主张于2009年2月23日提出的日本专利申请2009-038754号的优先权，并在此引用其全部内容。

背景技术

如特开2006-163733号公报所示，作为这种压力调整阀公知有将功能液从功能液箱减压供给到功能液滴排出头的方案。该压力调整阀具有平面壁部，其在中心部开设连通流路的2次室侧开口部；模仿壁部，其在平面壁部的外侧存在并连接有台阶部而以最大负变形的受压膜体能够模仿的方式进行接触并且在下部开设与流出口连通的流出开口部。

在连通流路的1次室上设有阀芯，在阀芯上凸设的轴部***连通流路而与受压膜体抵接。当功能液滴排出头驱动而2次室的压力降低时，受压膜体凹变形而经由轴部打开阀芯。由此，功能液从1次室流入2次室，不久当2次室的压力逐渐升高后受压膜体恢复原状，而关闭阀芯。通过重复该动作，功能液以规定的压力向功能液滴排出头减压供给。并且，当受压膜体发生最大负变形时，功能液从连通流路向流出口顺畅地流动，在该压力调整阀中以从平面壁部切入模仿壁部的方式形成上下或十字状地延伸设置的槽部。

另外，在上述压力调整阀的初始填充中经由功能液滴排出头从2次室强制吸引功能液来进行。即，对2次室减压而使受压膜体最大负变形以使阀芯开放动作，在模仿模仿壁部的状态下，经由连通流路(2次室侧开口部)使液体从1次室流入2次室。

但是，在上述压力调整阀中，从2次室侧开口部流入2次室内的功能液，经由上述槽部朝向与吸引源相连的流出口流向下方(seat cut)存在无法到达2次室内上方的问题。这样功能液阀截止(seat cut)而无法到达2次室的上方，在2次室的上部空间滞留空气导致该压力调整阀的压力调整发生故障。

发明内容

本发明课题在于提供在初始填充时能够使液体遍及2次室内整个区域的压力调整阀和具有该压力调整阀的液滴排出装置。

本发明的压力调整阀，在阀套内的连通1次室和2次室的连通流路上设置阀芯，通过构成上述2次室的1个面的受压膜体以大气压为基准对上述阀芯进行开闭，对经由流入口供给到上述1次室的液体进行压力调整而从2次室经由流出口进行供给，除去上述1个面的上述2次室的内壁面具有：平面壁部，其在中心部开设连通流路的2次室侧开口部；模仿壁部，其与平面壁部的外侧相连，并以最大负变形的上述受压膜体能够模仿的方式进行接触，并且在下部开设与上述流出口连通的流出开口部；延设槽部，其以朝向上方而从上述平面壁部切入上述模仿壁部的方式延伸设置。

此时优选，模仿壁部构成为包括：环状平面壁部，其存在台阶部地与上述平面壁部的外侧相连并且开设有流出开口部，以及环状锥壁部，其与环状平面壁部的外侧相连，延设槽部以径向横切环状平面壁部的方式延伸设置。

根据这些构成，从流出口侧进行强制吸引，在实施所谓的液体初始填充时，液体从2次室侧开口部流入沿着2次室的平面壁部的空间，进而朝向上方流入延设槽部。伴随着该液体向2次室的流入，2次室内的压力升高，由于其压力平衡，受压膜体从延设槽部的一定上侧逐渐后退。即，随着液体向2次室流入的进展，受压膜体的后退从其上部开始，不久后全体开始后退。由此，液体向2次室的流入在扩展到平面壁部后，经过延设槽部扩展到上部，进而遍及全体而流入流出口。这样，从2次室侧开口部流入2次室的液体，通过朝向上方延伸设置的延设槽部从2次室的上方逐渐填充。由此，能够使液体遍及2次室整个区域。因此，在对该压力调整阀进行压力调整时不会发生故障。

此时优选，受压膜体具有薄膜状的膜体本体以及同心地在上述膜体本体的中心部上扩展设置的受压板，最大负变形的受压膜体被配设成，膜体本体以模仿环状锥壁部的方式进行接触，并且受压板与环状平面壁部接触而覆盖平面壁部。

根据该构成，能够将受压板形成为较大尺寸，增大实质的受压面积，并且能够在平面壁部上构成液体的初始流入空间。因此能够有效防止如下情况，即、在初始填充中受压膜体发生最大负变形时，膜体本体与2次室的内面壁大面积地密接而无法从1次室进行初始的空气吸引的情况。因此，能够可靠地使液体从上部遍及2次室整个区域。

此时优选，对经由流入口从功能液供给单元供给的功能液进行压力调整，并经由上述流出口向喷墨方式的功能液滴排出头供给。

在2次室内滞留空气的状态下，当从压力调整阀向功能液滴排出头供给功能液时，会导致功能液中含有2次室内的空气(气体)。此时，会导致功能液滴排出头的排出量变化而无法高精度地排出功能液。

根据上述构成，不会有空气(气体)在2次室内滞留，在功能液中也不会含有空气(气体)，因此，能够高精度地排出功能液。另外，能够防止2次室内功能液的脱气度降低，或者2次室内的空气流向功能液滴排出头而引起流出不良的情况。

本发明的液滴排出装置，其特征在于，具有上述压力调整阀、功能液供给单元、功能液滴排出头，一边使功能液滴排出头相对工件相对地移动，一边向工件排出功能液并进行描画。

根据该构成，采用这种压力调整阀，能够利用功能液滴排出头高精度地进行排出而高精度地进行描画处理。

附图说明

图1为实施方式的液滴排出装置的立体图。

图2为液滴排出装置的俯视图。

图3为液滴排出装置的侧视图。

图4为示意性地表示搭载了功能液滴排出头的头组件的俯视图。

图5为功能液滴排出头的外观立体图。

图6为功能液供给装置的配管***图。

图7为压力调整阀的背面图(a)以及正面图(b)。

图8为在流入口的轴线方向上切断压力调整阀的纵断面图。

图9为在流出口的轴线方向上切断压力调整阀的纵断面图。

图10为用于说明初始填充作业的前半部分的图。

图11为用于说明初始填充作业的后半部分的图。

具体实施方式

以下参照附图对适用本发明的压力调整阀的液滴排出装置进行说明。该液滴排出装置装入于平板显示器的生产线，例如使用导入有特殊墨水或发光性树脂液即功能液的喷墨方式的功能液滴排出头，形成液晶显示装置的滤色器或成为有机EL装置的各像素的发光元件等。特别是具有在初始填充时能够使功能液遍及2次室内整个区域的压力调整阀，能够高精度地进行功能液滴排出头的压力调整。

如图1、图2和图3所示，液滴排出装置1包括：X轴工作台11，其在支持于地基(石定盤)的X轴支承基座2上配设，并在成为主扫描方向的X轴方向上延伸设置而使工件W在X轴方向(主扫描方向)移动；Y轴工作台12，其经由多个支柱4在跨X轴工作台11架设的一对(2个)Y轴支承基座3上配设而在成为副扫描方向的Y轴方向上延伸设置；以及，搭载有多个功能液滴排出头17的10个滑架组件(carriageunit)51，10个滑架组件51可移动地悬吊设置在Y轴工作台12上。并且，液滴排出装置1包括：将这些装置收容在温度和湿度受控的环境中的腔室(chamber)6；贯通腔室6而具有从腔室6的外部向内部的功能液滴排出头17供给功能液的3组功能液供给装置101的功能液供给组件7；控制各组件的控制装置(未图示)。与X轴工作台11和Y轴工作台12的驱动同步地使功能液滴排出头17进行排出驱动，从而使从功能液供给组件7供给的RGB三色的功能液滴排出而在工件W上描画规定的描画图案。

另外，液滴排出装置1具有维护装置5，该维护装置5包括：冲洗(flushing)组件14、吸引组件15、擦拭(wiping)组件16和排出性能检查组件18，通过这些组件进行功能液滴排出头17的维护，从而实现功能液滴排出头17的功能维持/功能恢复。另外，在构成维护装置5的各组件中，冲洗组件14和排出性能检查组件18搭载于X轴工作台11，吸引组件15和擦拭组件16配设于架台上，该架台从X轴工作台11直角延伸并且配设于能够通过Y轴工作台12移动滑架组件51的位置上。

如图2或图3所示，X轴工作台11具有：吸附安置工件W的安置台21；在X轴方向上可滑动地支承安置台21的X轴第一滑动器22；将上述冲洗组件14和排出性能检查组件18在X轴方向上可滑动地支承的X轴第二滑动器23；使X轴第一滑动器22和X轴第二滑动器23在X轴方向上移动的左右一对的X轴线性电机(未图示)。

Y轴工作台12具有：分别悬吊设置10个的各滑架组件51的10个桥板52；对10个的桥板52进行两端支承的10组的Y轴滑动器(未图示)；在上述一对的Y轴支承基座3上设置而经由10组的Y轴滑动器使桥板52在Y轴方向上移动的一对Y轴线性电机(未图示)。另外，Y轴工作台12除了经由各滑架组件51在描画时使功能液滴排出头17进行副扫描之外，还使功能液滴排出头17与维护装置5(吸引组件15和擦拭组件16)相对。并且，通过控制Y轴线性电机的驱动，可以使各滑架组件51独立地分别移动，也可以使10个的滑架组件51一体地移动。

各滑架组件51具有头组件13，该头组件13包括12个的功能液滴排出头17，以及将12个的功能液滴排出头17分为6个一组的头组54进行支承的头板53(参照图4)。另外各滑架组件51具有：对头组件13可进行θ修正(θ旋转)地支承的θ旋转机构61；经由θ旋转机构61使头组件13支承于Y轴工作台12(各桥板52)的悬吊设置部件62。并且，各滑架组件51在其上部配设有后述的副箱121(实际上配设在桥板52上的箱壳55内)。

如图5所示功能液滴排出头17，包括：功能液导入部91，其作为所谓的双联式结构具有双联式的连接针92；与功能液导入部91相连的双联式的头基板93；与功能液导入部91的下方相连而在内部形成有充满功能液的头内流路的头本体94。连接针92与功能液供给组件7(功能液供给装置101)连接，向功能液导入部91供给功能液。头本体94构成为包括内腔(cavity)95(piezo压电元件)，以及具有开设了多个排出喷嘴98的喷嘴面97的喷嘴板96。在对功能液滴排出头17进行排出驱动时(对压电元件施加电压)，利用内腔95的泵作用，从排出喷嘴98排出功能液滴。

在喷嘴面97上彼此平行地形成了由多个排出喷嘴98构成的两个喷嘴列99。并且，两个喷嘴列99相互以半喷嘴节距量错开位置。

液滴排出装置1的描画动作，首先通过X轴工作台11使工件W在X轴方向上移动并进行第一描画动作(往动通过(pass))。然后，使头组件13向Y轴方向移动2个头的量(副扫描)，再次使工件W在X轴方向上移动并进行第二描画动作(复动通过)。并且，再度使头组件13以2个头的量进行副扫描，再一次使工件W在X轴方向上移动，进行第三描画动作(往动通过)。通过这种描画动作高效地进行RGB三色的描画处理。

冲洗组件14具有一对的描画前冲洗组件71、71，以及定期冲洗组件72，接受功能液滴排出头17的排出之前或者工件W的载换时等描画处理休置时进行的、功能液滴排出头17的废弃排出(冲洗)。吸引组件15从各功能液滴排出头17的排出喷嘴98强制地吸引功能液，并且进行各功能液滴排出头17的加盖(capping)。擦拭组件16具有擦拭布(sheet)75，对吸引后的功能液排出头17的喷嘴面97进行擦拭。排出性能检查组件18对功能液滴排出头17的排出性能(排出的有无以及飞行曲线)进行检查。

如图2和图3所示，吸引组件15包括：分别搭载多个头帽85并且与10个滑架组件51对应的10台帽组件86；针对每一帽组件86使多个头帽85升降的10台升降机构87；针对每一帽组件86吸引多个头帽85的10台吸引机构88(参照图10)。各帽组件86包括：与12个的功能液滴排出头17对应的12个头帽85；搭载12个头帽85的帽板89。

升降机构87在通过Y轴工作台12使滑架组件51与吸引组件15相对的状态下，使12个头帽85上升，并使各头帽85与各功能液滴排出头17紧密接触，并且使12个头帽85下降，使各头帽85从各功能液滴排出头17远离。吸引机构88由喷射器或泵等构成，并且构成为能够分别吸引各头帽85。

接着参照图1和图6对功能液供给组件7进行说明。功能液供给组件7具有供给RGB三色的功能液的三组的功能液供给装置101。三组的功能液供给装置101分别与对应于RGB三色的功能液滴排出头17连接，由此供给与各色的功能液滴排出头17对应的颜色的功能液。

如图6所示，各色的功能液供给装置101包括：具有构成功能液的供给源的两个主箱111、111的箱组件122；与各滑架组件51对应设置的10个副箱(功能液供给单元)121；将箱组件122与10个的副箱121连接的上游侧功能液流路126；将各副箱126与各功能液滴排出头17连接的10组的下游侧功能液流路127。

各主箱111、111内的功能液，通过来自与其连接的氮气供给设备102的压缩氮气进行加压，并经由上游侧功能液流路126选择性地向10个的副箱121进行供给。此时，通过与各种开闭阀连接的压缩空气供给设备103的压缩空气，对各种开闭阀进行开闭控制。并且同时地，各副箱121经由与其连接的气体排放设备104对大气开放，接受容纳必要量的功能液。各副箱121的功能液通过与其相连的功能液滴排出头17的驱动，经由下游侧功能液流路127向功能液滴排出头17进行供给。

箱组件122具有：成为功能液供给源的一对主箱111、111；与一对的主箱111、111连接并且与上游侧功能液流路126连接的切换机构113。在各主箱111上连接有氮气供给设备102，并且构成为在压送功能液时能够进行加压控制。并且，箱组件122收纳于在腔室6的侧壁的一部分上设置的箱柜(tank cabinet)84。

上游侧功能液流路126具有：将上游侧与箱组件122连接的箱侧主流路131；从箱侧主流路131在10个方向上分支而将下游侧与各副箱121连接的10条支流路133。各下游侧功能液流路127具有：将上游侧与各副箱121连接的头侧主流路146；从头侧主流路146在4个方向上分支而将下游侧与各功能液滴排出头17连接的4条头侧支流路148。即，通过上游侧功能液流路126的10个分支和下游侧功能液流路127的4个分支，从箱组件122向10×4个功能液排出头17供给功能液。并且，功能液供给组件7按照RGB具有3组的功能液供给装置101，从而向10×12个功能液滴排出头17供给功能液。并且，在各头侧支流路148上分别设置压力调整阀150，用于对各功能液滴排出头17上的供给压力进行调整。

接着，参照图7至图9对压力调整阀150进行说明。如图7所示，压力调整阀150设置于头侧支流路148，构成流入侧的接头并且构成与流入口175相连的流入连接器161(联管接头)、流出侧的接头，并且具有与流出口190相连的流出连接器162(联管接头)。并且在图7和图9中，将图中纸面的上侧作为压力调整阀150的上侧，将图中纸面的下侧作为压力调整阀150的下侧进行说明。即，压力调整阀150以流入连接器161侧为上侧，流出连接器162侧为下侧立设。

如图7和图8所示，压力调整阀150由本体外壳166、与本体外壳166一起在内部形成1次室167的盖外壳168、与本体外壳166一起在内部形成2次室169且在本体外壳166上固定隔膜(受压膜体)171的环板170这三个部件构成阀外壳(阀套)，均由不锈钢等耐腐蚀材料形成。并且，在本体外壳166上其中心位置形成有将1次室167和2次室169连通的连通流路173。

盖外壳168和环板170，相对于本体外壳166从前后将环板170和盖外壳168重叠，在通过多根带阶梯平行销(未图示)分别定位后，进行螺纹固定装配，都具有通过圆形隔膜171的中心的轴线与成为同心圆的圆形或多边形(八边形)的外观。并且，盖外壳168和本体外壳166经由垫圈172彼此气密地匹配接合，本体外壳166和环板170夹入隔膜171的缘部和垫圈172而彼此气密地匹配接合。

由本体外壳166和盖外壳168所形成的1次室167，形成为与隔膜171同心的大致圆柱形状，将其开放端通过盖外壳168进行封闭。并且，在形成于本体外壳166的1次室167侧背面上部凸台部的左部上形成从1次室167朝径向斜向延伸的流入口175。在流入口175上连接有上述流入连接器161。

如图8所示，流入口175构成为包括：在本体外壳166的外周面上开设的流入口176、收容过滤器181的过滤器收容部177、将过滤器收容部177与1次室167的内周面连通的流入路径178，流入路径178相对于流入口176在1次室167侧偏心地形成。在流入口176上旋固(锥螺丝)有流入连接器161。并且，在过滤器181与旋固的流入连接器161之间收容有过滤器181的按压弹簧182。

如图8及图9所示，2次室169由隔膜171和形成于本体外壳166的内面壁185，作为整体形成为以隔膜171为底面的大致圆锥台形状。隔膜171呈铅直姿态配设，构成2次室169的1个面。并且，内面壁185由将2次室169的隔膜171的面(1面)除外的各面构成。

内面壁185构成为包括：成为大致圆锥台形状的顶面的圆形的平面壁部185a、存在台阶部地与平面壁部185a的外侧相连的环状平面壁部185b；与环状平面壁部185b的外侧相连的环状锥壁部185c。在平面壁部185a上与隔膜171同心地在其中心部上开设有连通流路173的2次室侧开口部186，在环状平面壁部185b上其下部形成有后述的流出流路193的流出开口部187。并且，虽然将在后面进行详述，在环状平面壁部185b上形成有从平面壁部185a向上方延伸设置的流路槽(延设槽部)221。

如图9所示，流出口190在位于本体外壳166的下部的倾斜凸台部191上形成，且包括：在倾斜凸台部191的下部开设的流出口192、2次室169的流出开口部187、将它们连通的流出流路193。流出流路193与从内面壁185的环状平面壁部185b倾斜延伸向下的流出口192连通。在流出口192上从流出流路193的轴线方向旋固有流出连接器162。从2次室169流出的功能液，从流出开口部187按照流出流路193的斜度倾斜地流下，流出到功能液滴排出头17侧。

如图8和图9所示，在本体外壳166上形成有将1次室167与2次室169连通的连通流路173。连通流路173构成为包括：主流路201和与其相连的2次室侧开口部186。该1次室167、2次室169和连通流路173都具有与隔膜171同心的圆形截面。其中，主流路201构成为包括：可滑动地收容后述的阀芯211的轴部213的圆形断面的轴游插部202，以及从轴游插部202径向四方延伸的十字状断面的流路部203(参照图7(b))。

隔膜171构成为包括：由树脂薄膜构成的隔膜本体(膜体本体)206、在隔膜本体206的内侧贴附的树脂制的受压板207。受压板207形成为与隔膜本体206同心的圆板状，并且形成为相对于隔膜本体206充分小的直径，在其中央抵接有后述的阀芯211的轴部213。隔膜本体206是将耐热PP(聚丙烯)、特殊PP和蒸镀了二氧化硅的PET(二甲酯)层叠构成的，并且形成为与本体外壳166的前面同径的圆形。

阀芯211构成为包括：圆板状的阀芯本体212、从阀芯本体212的中心以断面呈横“T”字状地单向延伸的轴部213、在轴部213的基端部侧(阀芯本体212侧)设置的(安装的)环状的O型圈214。阀芯本体212和轴部213由不锈钢等耐腐蚀材料一体形成。O型圈214由特殊橡胶形成环状。因此，当阀芯211关闭时，在成为阀座的连通流路173的开口缘上抵接O型圈214，连通流路173从1次室167侧进行液密地封闭。

轴部213在连通流路173(的主流路201)上可滑动地游嵌，在闭阀状态下其顶端(前端)与处于中立位置的隔膜171的受压板207抵接。即，在隔膜171朝向外部鼓出的正变形的状态下，在轴部213的前端与受压板207之间产生规定的间隙，从该状态起隔膜向负侧逐渐变形时，在中立状态下轴部213的前端与受压板207抵接，并且当隔膜171负变形时，受压板207经由轴部213推压打开阀芯本体212。因此，在2次室169的容积中隔膜171从正变形成为中立状态的容积量，不会全部地承受1次室167侧的压力而能够进行供给液的供给。并且最大负变形的隔膜171以模仿环状平面壁部185b和环状锥壁部185c(模仿壁部)的方式接触。严格地讲，最大负变形的隔膜171以隔膜本体206模仿环状锥壁部185c的方式进行接触，并且受压板207与环状平面壁部185b接触而以覆盖平面壁部185a的方式配设。

在阀芯211的背面与1次室167的壁体216之间，设置有对阀芯211向2次室169侧即闭阀方向施力的阀芯施力弹簧217。同样地，在受压板207与内面壁185(平面壁部185a)之间，设置有经由受压板207对隔膜本体206朝向外部施力的受压板施力弹簧218。此时，阀芯施力弹簧217用于对施加于阀芯211的背面的副箱121的水头进行补充，通过副箱121的水头和该阀芯施力弹簧217的弹簧力，对阀芯211朝封闭方向推压。另一方面，受压板施力弹簧218用于辅助隔膜171的正变形，相对于大气压对2次室169作用使其成为负压。

压力调整阀150通过大气压和与功能液滴排出头171相连的2次室169的压力平衡使隔膜171(以及其抵接的阀芯211)变形(进退)而开闭，将2次室169侧减压至规定的压力。此时，在阀芯施力弹簧217和受压板施力弹簧218上分散作用力，并且通过特殊橡胶的O型圈214(的弹力)，阀芯211极其平缓地进行开闭动作。因此能够抑制阀芯211的开闭引起的压力变动(气蚀：cavitation)，避免对功能液滴排出头17的排出驱动产生影响。

下面参照图10对在2次室169的内面壁185(环状平面壁部185b)上形成的流路槽221进行说明。如图10所示，流路槽221为从平面壁部185a向铅直方向上方延伸的直线状槽并且截面为方形。严格地讲，流路槽221以从平面壁部185a切入环状平面壁部185b并且以径向横切环状平面壁部185b的方式延伸设置。流路槽221的大部分覆盖最大负变形的隔膜171(主要为受压板207)，从而能够用作功能液或空气的流路。流路槽221从2次室侧开口部186延伸到超越受压板207的外周端的位置，即使在平面壁部185a覆盖最大负变形的隔膜171的受压板207的状态下也能够始终维持流路。

下面参照图10和图11对功能液的初始填充作业进行说明。功能液的初始填充作业在通过上述吸引组件15对功能液滴排出头17进行吸引的状态下从副箱121流通功能液，从副箱121对通往功能液滴排出头17的功能液流路填充功能液。

如图10和图11所示，功能液的初始填充作业在使头帽85与功能液滴排出头17紧密接触后，驱动吸引机构88进行头吸引而开始。当头吸引开始后，压力调整阀150的2次室169内的空气从流出开口部187逐渐排出(排气)(参照图10(a))。由此，2次室169内对大气压呈负压(规定的工作压力)，隔膜171被大气压推压而与2次室169的内面壁185抵接而发生负变形(最大负变形)。严格地讲，在最大负变形的隔膜171上，其隔膜本体206以模仿环状锥壁部185c的方式接触，其受压板207与环状平面壁部185b接触。其结果是，成为负变形的隔膜171覆盖流路槽221的大部分和平面壁部185a的形式。并且同时地，通过受压板207推压阀芯211而使压力调整阀150成为开阀状态。

在该开阀状态下，1次室167和连通流路173内的空气，经由2次室169内从流出口190排出，并且在1次室167和连通流路173内填充功能液。并且，从2次室侧开口部186向在平面壁部185a和受压板207之间形成的流入空间内流入填充功能液(参照图10(b))。

当在上述流入空间进行填充后，接着，功能液流入在其上方延伸的流路槽221(参照图10(c))。在流路槽221内进行填充时，上述流入空间内和流路槽221内的功能液使压力升高。结果超过大气压而推压受压板207逐渐后退(参照图11(d))。此时，通过流路槽221使推压的重心从受压板207的中心向铅直方向上方偏移，因此以上侧倾倒的方式逐渐后退。即，随着功能液向2次室169的流入，隔膜171的后退从上部开始而不久后全体开始后退。由此，液体向2次室169的流入经过流路槽221向上部扩展进而遍及全体而流入流出口190。这样对压力调整阀150全体填充功能液(参照图11(e))。

根据以上这种构成，从2次室侧开口部186流入2次室169的液体，通过朝向上方延伸设置的流路槽221从2次室169的上方进行填充。由此，能够使液体遍及2次室169整个区域。因此，不会在该压力调整阀150的压力调整中发生故障。

并且，在最大负变形的隔膜171上，以隔膜本体206模仿环状锥壁部185c的方式接触，并且受压板207以与环状平面壁部185b接触并覆盖平面壁部185a的方式配设，从而能够将受压板207形成为比较大的尺寸，增大实质的受压面积，并且在平面壁部185a上构成液体的初始流入空间。因此能够防止如下的情况，即、在初始填充中隔膜171最大负变形时，隔膜本体206在2次室169的内面壁185上大面积紧密接触而无法从1次室167进行初始的空气吸引的情况。因此，能够可靠的使液体从上部遍及2次室169整个区域。

并且，如图7至图11所示优选，流出开口部187以不因最大负变形的隔膜171封闭流路的方式，在局部被最大负变形的隔膜171的受压板207覆盖的位置上形成。

并且，在本实施方式中，对于液滴排出装置1适用本发明的压力调整阀150，但是也可以对例如按照滑架组件51进行各种检查的滑架检查装置适用上述压力调整阀150。

Claims (5)

1.一种压力调整阀，其特征在于，在阀套内的连通1次室和2次室的连通流路上设置阀芯，通过构成上述2次室的1个面的受压膜体以大气压为基准对上述阀芯进行开闭，对经由流入口供给到上述1次室的液体进行压力调整而从上述2次室经由流出口进行供给，

除去上述1个面的上述2次室的内壁面具有：

平面壁部，其在中心部开设上述连通流路的2次室侧开口部；

模仿壁部，其与上述平面壁部的外侧相连，并以最大负变形的上述受压膜体能够模仿的方式进行接触，并且在下部开设与上述流出口连通的流出开口部；

延设槽部，其以朝向上方而从上述平面壁部切入上述模仿壁部的方式延伸设置。

2.根据权利要求1所述的压力调整阀，其特征在于，

上述模仿壁部构成为包括：环状平面壁部，其存在台阶部地与上述平面壁部的外侧相连并且开设有上述流出开口部；以及环状锥壁部，其与上述环状平面壁部的外侧相连，

上述延设槽部以径向横切上述环状平面壁部的方式延伸设置。

3.根据权利要求2所述的压力调整阀，其特征在于，

上述受压膜体具有薄膜状的膜体本体以及同心地在上述膜体本体的中心部上扩展设置的受压板，

最大负变形的上述受压膜体被配设成，上述膜体本体以模仿上述环状锥壁部的方式进行接触，并且上述受压板与上述环状平面壁部接触而覆盖上述平面壁部。

4.根据权利要求1所述的压力调整阀，其特征在于，

对经由上述流入口从功能液供给单元供给的功能液进行压力调整，并经由上述流出口向喷墨方式的功能液滴排出头供给。

5.一种液滴排出装置，其特征在于，具有：

权利要求4所述的压力调整阀；

上述功能液供给单元；

上述功能液滴排出头，

一边使上述功能液滴排出头相对工件相对地移动，一边向上述工件排出功能液并进行描画。

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