CN101657414A - 肟化合物、感光性组合物、滤色片及其制造方法以及液晶显示元件 - Google Patents

肟化合物、感光性组合物、滤色片及其制造方法以及液晶显示元件 Download PDF

Info

Publication number
CN101657414A
CN101657414A CN200780052289A CN200780052289A CN101657414A CN 101657414 A CN101657414 A CN 101657414A CN 200780052289 A CN200780052289 A CN 200780052289A CN 200780052289 A CN200780052289 A CN 200780052289A CN 101657414 A CN101657414 A CN 101657414A
Authority
CN
China
Prior art keywords
methyl
mentioned
general formula
acrylate
alkyl
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN200780052289A
Other languages
English (en)
Inventor
藤田明德
田村崇
池田贵美
柏木大助
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2007013117A external-priority patent/JP5312743B2/ja
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Publication of CN101657414A publication Critical patent/CN101657414A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09BORGANIC DYES OR CLOSELY-RELATED COMPOUNDS FOR PRODUCING DYES, e.g. PIGMENTS; MORDANTS; LAKES
    • C09B55/00Azomethine dyes
    • C09B55/009Azomethine dyes, the C-atom of the group -C=N- being part of a ring (Image)
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C251/00Compounds containing nitrogen atoms doubly-bound to a carbon skeleton
    • C07C251/32Oximes
    • C07C251/62Oximes having oxygen atoms of oxyimino groups esterified
    • C07C251/64Oximes having oxygen atoms of oxyimino groups esterified by carboxylic acids
    • C07C251/66Oximes having oxygen atoms of oxyimino groups esterified by carboxylic acids with the esterifying carboxyl groups bound to hydrogen atoms, to acyclic carbon atoms or to carbon atoms of rings other than six-membered aromatic rings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C251/00Compounds containing nitrogen atoms doubly-bound to a carbon skeleton
    • C07C251/32Oximes
    • C07C251/62Oximes having oxygen atoms of oxyimino groups esterified
    • C07C251/64Oximes having oxygen atoms of oxyimino groups esterified by carboxylic acids
    • C07C251/68Oximes having oxygen atoms of oxyimino groups esterified by carboxylic acids with at least one of the esterifying carboxyl groups bound to a carbon atom of a six-membered aromatic ring
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D209/00Heterocyclic compounds containing five-membered rings, condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom
    • C07D209/56Ring systems containing three or more rings
    • C07D209/58[b]- or [c]-condensed
    • C07D209/70[b]- or [c]-condensed containing carbocyclic rings other than six-membered
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D307/00Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom
    • C07D307/77Heterocyclic compounds containing five-membered rings having one oxygen atom as the only ring hetero atom ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems
    • C07D307/92Naphthofurans; Hydrogenated naphthofurans
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D311/00Heterocyclic compounds containing six-membered rings having one oxygen atom as the only hetero atom, condensed with other rings
    • C07D311/02Heterocyclic compounds containing six-membered rings having one oxygen atom as the only hetero atom, condensed with other rings ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems
    • C07D311/04Benzo[b]pyrans, not hydrogenated in the carbocyclic ring
    • C07D311/58Benzo[b]pyrans, not hydrogenated in the carbocyclic ring other than with oxygen or sulphur atoms in position 2 or 4
    • C07D311/68Benzo[b]pyrans, not hydrogenated in the carbocyclic ring other than with oxygen or sulphur atoms in position 2 or 4 with nitrogen atoms directly attached in position 4
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D311/00Heterocyclic compounds containing six-membered rings having one oxygen atom as the only hetero atom, condensed with other rings
    • C07D311/02Heterocyclic compounds containing six-membered rings having one oxygen atom as the only hetero atom, condensed with other rings ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems
    • C07D311/78Ring systems having three or more relevant rings
    • C07D311/92Naphthopyrans; Hydrogenated naphthopyrans
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D317/00Heterocyclic compounds containing five-membered rings having two oxygen atoms as the only ring hetero atoms
    • C07D317/08Heterocyclic compounds containing five-membered rings having two oxygen atoms as the only ring hetero atoms having the hetero atoms in positions 1 and 3
    • C07D317/44Heterocyclic compounds containing five-membered rings having two oxygen atoms as the only ring hetero atoms having the hetero atoms in positions 1 and 3 ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems
    • C07D317/70Heterocyclic compounds containing five-membered rings having two oxygen atoms as the only ring hetero atoms having the hetero atoms in positions 1 and 3 ortho- or peri-condensed with carbocyclic rings or ring systems condensed with ring systems containing two or more relevant rings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D409/00Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms
    • C07D409/02Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms containing two hetero rings
    • C07D409/04Heterocyclic compounds containing two or more hetero rings, at least one ring having sulfur atoms as the only ring hetero atoms containing two hetero rings directly linked by a ring-member-to-ring-member bond
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00Use of organic ingredients
    • C08K5/16Nitrogen-containing compounds
    • C08K5/32Compounds containing nitrogen bound to oxygen
    • C08K5/33Oximes
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
    • G03F7/031Organic compounds not covered by group G03F7/029
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2602/00Systems containing two condensed rings
    • C07C2602/02Systems containing two condensed rings the rings having only two atoms in common
    • C07C2602/04One of the condensed rings being a six-membered aromatic ring
    • C07C2602/08One of the condensed rings being a six-membered aromatic ring the other ring being five-membered, e.g. indane
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2602/00Systems containing two condensed rings
    • C07C2602/02Systems containing two condensed rings the rings having only two atoms in common
    • C07C2602/04One of the condensed rings being a six-membered aromatic ring
    • C07C2602/10One of the condensed rings being a six-membered aromatic ring the other ring being six-membered, e.g. tetraline
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2602/00Systems containing two condensed rings
    • C07C2602/02Systems containing two condensed rings the rings having only two atoms in common
    • C07C2602/04One of the condensed rings being a six-membered aromatic ring
    • C07C2602/12One of the condensed rings being a six-membered aromatic ring the other ring being at least seven-membered
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2603/00Systems containing at least three condensed rings
    • C07C2603/02Ortho- or ortho- and peri-condensed systems
    • C07C2603/04Ortho- or ortho- and peri-condensed systems containing three rings
    • C07C2603/06Ortho- or ortho- and peri-condensed systems containing three rings containing at least one ring with less than six ring members
    • C07C2603/10Ortho- or ortho- and peri-condensed systems containing three rings containing at least one ring with less than six ring members containing five-membered rings
    • C07C2603/12Ortho- or ortho- and peri-condensed systems containing three rings containing at least one ring with less than six ring members containing five-membered rings only one five-membered ring
    • C07C2603/16Benz[e]indenes; Hydrogenated benz[e]indenes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2603/00Systems containing at least three condensed rings
    • C07C2603/02Ortho- or ortho- and peri-condensed systems
    • C07C2603/40Ortho- or ortho- and peri-condensed systems containing four condensed rings
    • C07C2603/42Ortho- or ortho- and peri-condensed systems containing four condensed rings containing only six-membered rings

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Abstract

本发明提供以下述通式(1)表示的肟化合物、将该肟化合物作为光聚合引发剂使用的感光性组合物、以及使用了该感光性组合物的滤色片的制造方法、利用上述制造方法制造的滤色片。其中,所述通式(1)中,R1表示氢原子、也可以具有取代基的酰基、烷氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种,R2各自独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、以及氨基的任一种。m表示0~4的整数,在为2以上时,也可以相互连结而形成环。A表示4、5、6、以及7元环的任一种。

Description

肟化合物、感光性组合物、滤色片及其制造方法以及液晶显示元件
技术领域
本发明涉及肟化合物及将该肟化合物作为光聚合引发剂使用的感光性组合物、以及使用了该感光性组合物的滤色片的制造方法、利用上述制造方法制造的滤色片、以及使用了上述滤色片的液晶显示元件。
背景技术
以往,已知任一种肟酯衍生物是利用光的作用生成活性自由基而引发单体的聚合的光聚合引发剂(参照专利文献1~4、8)。
另一方面,在光聚合技术中,具有高的光聚合反应性并且容易处置的光聚合引发剂的必要性逐渐提高。另外,为了获得高质量的产品,对于如下的光聚合引发剂的要求逐渐提高,即,不仅是高灵敏度,而且在保持时不会产生由光或热造成的反应,保藏稳定性及热稳定性等特性优异。此外,因曝光光源的进步,而可以在各种波长下曝光,获得对于各个光源都具有高的聚合灵敏度、并且在保存时不会产生反应、保存稳定性优异的感光性组合物就成为重要的课题,并且要求有与上述专利文献1~4中所示的化合物相比灵敏度更高的光聚合引发剂。
另外,近年来,随着电子机器类的小型化以及高功能化的推进,对于这些电子机器类中所用的光固化性树脂组合物的要求也在增加。例如,可靠性的提高、电路图案的高密度化、图案精度的提高这样的事情,对于使用了光固化性树脂组合物的阻焊剂、层间绝缘材料、电镀抗蚀剂、耐喷砂用油墨、聚合物光波导路、平板显示器(FPD)用构件、涂层保护膜、滤色片用保护膜、触摸面板等的绝缘间隔物等来说,无论用途如何,都是要求的。
上述光固化性树脂组合物在将其固化之时,一般来说使用紫外(UV)光源,广泛地适用于凸版用途、浮雕像用途、光致抗蚀剂用途等中。此种光固化性树脂组合物是含有成为所形成的图像的主体的有机成分、对紫外线等光感光而成为聚合活性种的光聚合引发剂的组合物。
另外,作为考虑到近年来的环境问题,并且能够实现图案精度的提高的技术,广为人知的是使用碱显影型的光固化性树脂组合物,利用曝光、显影来形成图案的光刻法。作为此种碱显影型的光固化性树脂组合物,例如有作为基质聚合物含有向酚醛清漆型环氧树脂与不饱和单羧酸的反应产物上加成多元酸酐而得的感光性预聚物的组合物(参照专利文献5~7)。
此外,最近作为考虑到节省资源或节省能量之类的环境问题的光刻法,以激光作为光源的直接描画方式(laser direct imaging)已经被实用化。直接描画方式是如下的手法,即,省略掩模制造工序,对各个基板不加以定标,从而适于多品种小批量、短交货期、高多层基板的制造。
直接描画方式中所用的光源和波长虽然随着所用的光固化性树脂组合物的用途而改变,然而大致上可以分为在光源中使用了气体离子激光器的类型和使用了固体激光器的类型。如果是气体离子激光器,则一般使用氩气,如果是固体激光器,则一般使用半导体激光器和YAG激光器。另外,如果以所辐射的激光的波长区域来分类,则可以分为紫外区域的类型和可见区域的类型,一般来说使用365nm、405nm、488nm。
对于激光的波长,考虑到对作业环境和抗蚀剂价格的兼顾,正在从可见光向紫外光转换,另外,对于光源,从运行成本的方面考虑,正在从气体激光器向固体激光器转换。作为固体激光器的半导体激光器被广泛地应用于通信领域或光电子领域中。特别是,与其他的类型的激光器相比,由于具有小型、高效率、低电压、低耗电、长寿命等特长,因此被作为直接描画方式的光源使用。
但是,对于电子材料的抗蚀剂、绝缘材料、滤色片等用于图案形成中的感光性组合物,在固化时的灵敏度、感光剂的保存稳定性方面尚未提供令人满意的材料。
所以,现实状况是,尚未提供能够令人充分满意的如下的物质,即,因在保存稳定性方面优异,灵敏度高,而可以利用能量射线,特别是利用光的照射来产生活性自由基而有效地引发聚合,对于构成能够将聚合性化合物在短时间内有效地聚合的高灵敏度的聚合性组合物来说是必需的作为自由基引发剂的新型的化合物;以及通过将该化合物作为光聚合引发剂使用,而在保存稳定性方面极为优异,容易处置,能够在短时间内将聚合性化合物有效地聚合的高灵敏度的感光性组合物。
另外,滤色片是液晶面板中不可欠缺的构成部件。液晶面板由于与CRT相比更为紧凑,并且在性能方面为同等程度以上,因此作为电视机画面、个人电脑画面以及其他的显示装置正在取代CRT。
近年来,在液晶显示装置中,不断推进大画面化,要求实现低成本化及高画质化。
为了降低液晶显示装置的价格,要求滤色片或玻璃基板等各部件的价格降低。在滤色片中,感光性组合物的涂布液量的削减是不可缺少的。
但是,在向大型的基板上涂布感光性组合物的情况下,或者在削减涂布液量的情况下,就会有产生涂布不均的问题。为了克服该涂布不均,需要使液体的流动性良好,即使是少量的液体也很难出现涂布不均。
作为使涂布液的流动性良好的途径,通常的方法是,通过降低聚合物的分子量,或提高向溶剂中的溶解性,来降低涂布液的粘度。但是,如果只是单纯地降低粘度,就会有容易在涂布基板的中心部和周边部产生不均的问题。
另外,在感光性组合物中,在曝光后进行的显影中,一般来说,要求合适的显影时间的范围很宽,也就是说,要求显影宽容度大,在加工容许性方面优异。但是,在基板面积大的情况下,由于在基板的头端部和末端部浸渍于显影液中的时间差大,因此在显影时间方面会产生差别。如果在显影时间方面产生差别,显影不均就会扩大,从而会有产生图案的大小不同等弊病的情况。
另一方面,对于感光性组合物向基板上的涂布方法,由于可以将1μm~3μm的薄膜均匀地高精度地涂布,因此旋转涂布是十分优异的,广泛地通用于滤色片的制作中。但是,近年来,伴随着液晶显示装置的大型化及批量化生产,为了进一步改善制造效率及制造成本,在滤色片的制作中采用适于宽幅且大面积的基板的涂布的狭缝涂布。
狭缝涂布是如下的涂布方式,即,将具有与矩形基板的涂布宽度相对应的长度的涂布喷头与基板的余隙(间隙)保持为数十μm~数百μm,其中,所述涂布喷头在头端具有宽数十微米的狭缝(间隙),与此同时,使基板与涂布喷头具有一定的相对速度,将以规定的喷出量由狭缝供给的涂布液向基板涂布。
狭缝涂布由于形成远大于旋转涂布的大面积的涂布膜,因此在从宽度大的狭缝出口喷出涂布液之时,需要在涂布机与被涂布物之间保持一定程度的相对速度。由此,对于狭缝涂布方式中所用的涂布液就要求良好的流动性。另外,要求遍及全部涂布宽度地将从涂布喷头的狭缝向基板供给的涂布液的诸多条件保持一定。如果涂布液的流动性或粘弹性等液物性不够充分,就容易产生涂布不均,从而难以在涂布宽度方向上将涂布厚度保持一定,无法获得均匀的涂布膜。
基于这些情况,为了消除不均而获得均匀的涂布膜,进行过很多意图改良涂布液的流动性或粘弹性特性的尝试。
例如,作为改良了感光性组合物的树脂成分的例子,提出过作为颜料分散用粘结剂使用将(甲基)丙烯酸、具有环氧乙烷分子链的(甲基)丙烯酸酯、以及苯乙烯衍生物作为单体成分的共聚物的方法等(例如参照专利文献9~12)。
但是,上述方法对于解决上述诸多问题来说不够充分。特别是,要用于狭缝涂布方式中,流动性或粘弹性等液物性并非充分地令人满意。
专利文献1:日本特开昭60-166306号公报
专利文献2:日本特开2001-233842号公报
专利文献3:日本特开2000-80068号公报
专利文献4:日本特开2005-182004号公报
专利文献5:日本特开昭61-243869号公报
专利文献6:日本特开平7-50473号公报
专利文献7:日本特公平7-17737号公报
专利文献8:日本特开2006-36750号公报
专利文献9:日本专利第2665696号公报
专利文献10:日本特开2000-194132号公报
专利文献11:日本特开平8-179120号公报
专利文献12:日本特开平7-294726号公报
发明内容
本发明的第一目的在于,提供一种新型的肟化合物,其因保存稳定性优异,灵敏度高,而可以通过添加到聚合性组合物中,获得如下的高灵敏度的聚合性组合物,即,在保存时不会产生聚合,保存稳定性优异,能够利用能量射线,特别是利用光的照射产生活性自由基而有效地引发聚合,在短时间内将该聚合性化合物有效地聚合;并提供一种感光性组合物,其通过将该肟化合物作为光聚合引发剂使用,而可以在保存稳定性方面极为优异,容易处置,将聚合性组合物在短时间内有效地聚合。
另外,本发明的第二目的在于,提供一种感光性组合物,其可以作为容易向大型基板上涂布的狭缝涂布方式的涂布液合适地使用,在涂布厚度均匀性等涂布适用性方面优异,并且显影宽容度大;并提供使用了该感光性组合物的滤色片及其制造方法、以及液晶显示元件。
作为用于解决上述问题的途径,如下所示。即,
<1>一种肟化合物,其特征在于,以下述通式(1)表示,
Figure A20078005228900111
通式(1)
其中,上述通式(1)中,R1表示氢原子、也可以具有取代基的酰基、烷氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种,R2各自独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、以及氨基的任一种;m表示0~4的整数,在为2以上时,也可以相互连结而形成环;A表示4、5、6、以及7元环的任一种。
<2>根据上述<1>所述的肟化合物,其特征在于,以下述通式(2)表示,
通式(2)
其中,上述通式(2)中,R1表示氢原子、也可以具有取代基的酰基、烷氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种,R2各自独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、以及氨基的任一种;m表示0~4的整数;X表示CH2、O、以及S的任一种;l表示1~3的整数。
<3>根据上述<1>所述的肟化合物,其特征在于,以下述通式(3)及(4)的任一个表示,
Figure A20078005228900121
通式(3)
Figure A20078005228900122
通式(4)
其中,上述通式(3)及(4)中,R1表示氢原子、也可以具有取代基的酰基、烷氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种,R2各自独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、以及氨基的任一种;m表示0~4的整数;X表示CH2、O、以及S的任一种;l表示1~3的整数。
<4>根据上述<2>到<3>中任一项所述的肟化合物,其特征在于,通式(2)、(3)以及(4)中,X是O及S的任一个,l是1及2的任一个,R1是也可以具有取代基的酰基以及烷氧基羰基的任一个。
<5>一种感光性组合物,其特征在于,至少含有:至少一种烯键式不饱和光聚合性化合物、至少一种作为光聚合引发剂的上述<1>到<4>中任一项所述的肟化合物。
<6>一种感光性组合物,是含有(A)光聚合引发剂、(B)烯键式不饱和化合物、(C)粘结剂、(D)色材、(E)溶剂而成的感光性组合物,其特征在于,
上述光聚合引发剂是以下述通式(A-1)表示的肟化合物,
上述组合物中的固体成分浓度为2.5质量%~15质量%。
通式(A-1)
其中,上述通式(A-1)中,R1表示酰基、烷氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种;R2表示氢原子、烷基、以及氰基的任一种,Ar表示芳香族环以及杂芳香族环的任一种,Ar与R2也可以相互结合而形成环;n表示0及1的任一个。
<7>一种感光性组合物,是含有(A)光聚合引发剂、(B)烯键式不饱和化合物、(C)粘结剂、(D)色材、(E)溶剂而成的感光性组合物,其特征在于,
上述光聚合引发剂是上述<1>到<4>中任一项中所述的肟化合物,
上述组合物中的固体成分浓度为2.5质量%~15质量%。
<8>根据上述<6>中所述的感光性组合物,其特征在于,以通式(A-1)表示的肟化合物是以下述通式(A-2)表示的化合物。
Figure A20078005228900132
通式(A-2)
其中,上述通式(A-2)中,R1表示酰基、烷氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种,它们也可以被取代基进一步取代;R3表示烷基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、卤原子、烷氧基羰基、硝基、以及酰胺基的任一种;m表示0以上的整数,在该m表示2以上的整数时,该R3既可以相同,也可以不同,也可以相互连结而形成环;Ar表示芳香族环以及杂芳香族环的任一种;A表示4元环、5元环及6元环的任一种,它们也可以被取代基进一步取代;X表示氧原子以及硫原子的任一种。
<9>根据上述<8>中所述的感光性组合物,其特征在于,以通式(A-2)表示的肟化合物是以下述通式(A-3)及(A-4)的任一个表示的化合物。
Figure A20078005228900141
通式(A-3)
Figure A20078005228900142
通式(A-4)
其中,上述通式(A-3)及(A-4)中,R4表示烷基以及烷基氧基的任一种,它们也可以被取代基进一步取代;R5表示烷基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、卤原子、烷氧基羰基、硝基、以及酰胺基的任一种;l表示0~6的整数,在该l表示2以上的整数时,该R5既可以相同,也可以不同,也可以相互连结而形成环;A表示5元环及6元环的任一种,它们也可以被取代基进一步取代;X表示氧原子以及硫原子的任一种。
<10>根据上述<6>到<9>中任一项中所述的感光性组合物,其特征在于,还含有以下述通式(F-1)表示的敏化剂。
Figure A20078005228900151
通式(F-1)
其中,上述通式(F-1)中,R10及R11既可以相同,也可以不同,表示选自也可以具有取代基的烷基、芳基及链烯基中的任一种,R10及R11也可以与它们所结合的硫原子一起形成由非金属元素构成的环;n表示0、1及2的任一个;G1及G2既可以相同,也可以不同,表示选自氢原子、氰基、以及也可以具有取代基的烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、芳基羰基、烷硫基、芳硫基、烷基磺酰基、芳基磺酰基及氟烷基磺酰基中的任一种,而G1及G2的任一个是选自氰基、以及也可以具有取代基的烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、芳基羰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基及氟烷基磺酰基中的基;G1及G2也可以与它们所结合的碳原子一起形成由非金属原子构成的环。
<11>根据上述<10>中所述的感光性组合物,其特征在于,以通式(F-1)表示的敏化剂是以下述通式(F-2)表示的化合物。
Figure A20078005228900152
通式(F-2)
其中,上述通式(F-2)中,R13及R14既可以相同,也可以不同,表示选自氢原子、烷基、芳基、酰基、以及卤原子中的任一种,R13及R14也可以相互连结而形成芳香族环,还可以在上述芳香族环上还具有选自烷基、烷氧基、以及卤原子中的任一种;R15及R16既可以相同,也可以不同,表示选自氢原子、烷基、以及芳基中的任一种;X表示氧原子及硫原子的任一种。
<12>一种滤色片的制造方法,其特征在于,具有:
感光层形成工序,将上述<6>到<11>中任一项所述的感光性组合物涂布于基板表面、干燥;
曝光工序,将上述感光层以所需的图案状曝光、固化;
显影工序,将上述曝光后的感光层的未固化区域除去。
<13>根据上述<12>所述的滤色片的制造方法,其特征在于,曝光工序是如下的工序,即,通过使用以二维形状排列的空间光变频设备,将光源波长处于350nm~420nm的范围内的光一边基于图像数据变频,一边相对地扫描,而进行二维图像的形成。
<14>根据上述<12>到<13>中任一项所述的滤色片的制造方法,其特征在于,基板的尺寸为1m2以上。
<15>一种滤色片,其特征在于,是利用上述<12>到<14>中任一项所述的滤色片的制造方法制造的。
<16>一种液晶显示元件,其特征在于,将上述<15>中所述的滤色片作为构件的至少一个使用。
根据本发明,可以解决以往的问题,可以提供一种新型的肟化合物,其因保存稳定性优异,灵敏度高,而可以通过添加到聚合性组合物中,获得如下的高灵敏度的聚合性组合物,即,在保存时不会产生聚合,保存稳定性优异,能够利用能量射线,特别是利用光的照射产生活性自由基而有效地引发聚合,在短时间内将该聚合性化合物有效地聚合;此外可以提供如下的第一方式的感光性组合物,其通过将该肟化合物作为光聚合引发剂使用,而可以在保存稳定性方面极为优异,容易处置,将聚合性化合物在短时间内有效地聚合。
根据本发明,可以解决上述的诸多问题,可以提供如下的第二方式的感光性树脂组合物,其可以作为容易向大型基板上涂布的狭缝涂布方式的涂布液合适地使用,在涂布厚度均匀性等涂布适用性方面优异,并且显影宽容度大;并可以提供使用了该感光性树脂组合物的滤色片及其制造方法、以及液晶显示元件。
具体实施方式
(肟化合物)
本发明的肟化合物由下述通式(1)表示。
Figure A20078005228900171
通式(1)
其中,上述通式(1)中,R1表示氢原子、也可以具有取代基的酰基、烷氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种,R2各自独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、以及氨基的任一种。m表示0~4的整数,在为2以上时,也可以相互连结而形成环。A表示4、5、6、以及7元环的任一种。
本发明的肟化合物中,保存稳定性优异,灵敏度高,通过添加该肟化合物,可以获得如下的高灵敏度的聚合性组合物,即,在保存时不会产生聚合,保存稳定性优异,容易处置,能够利用能量射线,特别是利用光的照射产生活性自由基而有效地引发聚合,在短时间内将该聚合性化合物有效地聚合。
另外,上述肟化合物更优选为以下述通式(2)表示的肟化合物。
通式(2)
其中,上述通式(2)中,R1表示氢原子、也可以具有取代基的酰基、烷氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种,R2各自独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、以及氨基的任一种,m表示0~4的整数。X表示CH2、O、以及S的任一种。l表示1~3的整数。
另外,上述肟化合物更优选为以下述通式(3)及(4)的任一个表示的肟化合物。
Figure A20078005228900181
通式(3)
Figure A20078005228900182
通式(4)
其中,上述通式(3)及(4)中,R1表示氢原子、也可以具有取代基的酰基、烷氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种,R2各自独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、以及氨基的任一种,m表示0~4的整数。X表示CH2、O、以及S的任一种。l表示1~3的整数。
上述通式(2)到(4)中任一项所述的肟化合物优选在通式(2)、(3)以及(4)中,X是O及S的任一个,l是1及2的任一个,R1是也可以具有取代基的酰基以及烷氧基羰基的任一个。
上述通式(1)、(2)、(3)以及(4)中,R1是氢原子、也可以具有取代基的酰基、烷氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种。
作为酰基,无论是脂肪族、芳香族还是杂环的哪种都可以。优选总碳数为2~30的,更优选总碳数为2~20的,特别优选总碳数为2~16的。上述酰基也可以还具有取代基。作为取代基,优选烷氧基、芳氧基、以及卤原子的任一种。
作为酰基,也可以具有取代基,例如可以举出乙酰基、正丙酰基、异丙酰基、甲基丙酰基、丁酰基、戊酰基、己酰基、环己烷羰基、辛酰基、癸酰基、十二烷酰基、十八烷酰基、苄羰基(benzylcarbonyl)、苯氧基乙酰基、2-乙基己酰基、氯乙酰基、苯甲酰基、甲苯羰基、对甲氧基苯甲酰基、2,5-二丁氧基苯甲酰基、1-萘酰基、2-萘酰基、吡啶基羰基、甲基丙烯酰基、丙烯酰基等。
作为烷基氧基羰基,也可以具有取代基,优选总碳数为2~30的,更优选总碳数为2~20的,特别优选总碳数为2~16的。作为此种烷基氧基羰基,例如可以举出甲氧基羰基、乙氧基羰基、异丙氧基羰基、丁氧基羰基、异丁氧基羰基、烯丙氧基羰基、辛氧基羰基、十二烷氧基羰基、乙氧基乙氧基羰基。
作为芳氧基羰基,也可以具有取代基,优选总碳数为7~30的芳氧基羰基,更优选总碳数为7~20的,特别优选总碳数为7~16的。作为此种芳氧基羰基,例如可以举出苯氧基羰基、2-萘氧基羰基、对甲氧基苯氧基羰基、2,5-二乙氧基苯氧基羰基、对氯苯氧基羰基、对硝基苯氧基羰基、对氰基苯氧基羰基。
上述通式(1)、(2)、(3)及(4)中,作为R2,可以各自独立地举出卤原子、烷基、芳基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、以及氨基的任一种,特别是可以举出脂肪族、芳香族、杂芳香族、卤原子、-OR3、-SR3、-NR3R4。R3及R4也可以相互连结而形成环。另外,R3及R4各自独立地表示氢原子或脂肪族基、芳香族基、杂芳香族基的任一种。在m为2以上,相互连结而形成环时,既可以在各自独立的R2之间形成环,也可以夹隔着R3及R4的至少任一个而形成环。
在夹隔着上述取代基R2形成环的情况下,可以举出下述结构。
Figure A20078005228900191
上述结构式中,Y及Z表示CH2、-O-、-S-、以及-NR-的任一个。
作为烷基,也可以具有取代基,优选总碳数为1~18的,特别优选总碳数为1~10的。作为此种烷基,可以举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正己基、正辛基、叔辛基、正癸基。
作为芳基,也可以具有取代基,优选总碳数为6~20的,特别优选总碳数为6~12的。作为此种芳基,可以举出苯基、联苯基、萘基、氯苯基、甲氧基苯基。
作为烷基氧基,也可以具有取代基,优选总碳数为1~18的,特别优选总碳数为1~12的。作为此种烷基氧基,可以举出甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、叔丁氧基、2-乙基己基氧基、正癸氧基、乙氧苯基氧基、苯氧基乙氧基。
作为芳氧基,也可以具有取代基,优选总碳数为6~20的,特别优选总碳数为6~12的。作为此种芳氧基,可以举出苯氧基、萘氧基、氯苯氧基、甲氧基苯氧基。
作为烷硫基,也可以具有取代基,优选总碳数为1~18的,特别优选总碳数为1~12的。作为此种烷硫基,可以举出甲硫基、乙硫基、异丙硫基、正丁硫基、正辛硫基、正十二烷硫基、2-乙基己硫基。
作为芳硫基,优选总碳数为6~20的,特别优选总碳数为6~12的。作为此种芳硫基,可以举出苯硫基、甲苯硫基、氯苯硫基、乙氧基羰基苯硫基。
作为氨基,也可以将烷基及芳基的至少任一个取代,优选总碳数为1~20的,特别优选总碳数为1~12的。作为此种氨基,可以举出-NH2基、二乙基氨基、二苯基氨基、甲基苯基氨基。
作为R2、R3以及R4的脂肪族基、芳香族基、以及杂芳香族基的具体例,可以举出与上述R1相同的例子。
作为以上述通式(1)~(4)表示的肟化合物的具体例,可以举出以下述结构式(1)~(52)表示的化合物,然而本发明并不限定于它们。
Figure A20078005228900211
Figure A20078005228900221
而且,本发明的新型的肟化合物可以通过测定1H-NMR谱图、UV-vis吸收谱图来鉴定。
(肟化合物的制造方法)
作为本发明的肟化合物的制造方法,可以通过将与成为本发明的肟化合物的起始材料相对应的肟化合物(以下称作材料肟化合物)、酰基氯化物或酸酐在碱(例如三乙胺、吡啶)存在下,在THF、DMF、乙腈等惰性溶剂中,或在吡啶之类的碱性溶剂中反应,而很容易地合成。作为上述反应温度,优选为-10℃~60℃。
另外,作为上述酰基氯化物,通过使用氯甲酸酯、烷基磺酰氯、芳基磺酰氯,就可以合成对应的各种肟酯化合物。
作为用作本发明的肟化合物制造时的起始材料的材料肟化合物的合成方法,可以利用标准的化学教科书(例如J.March,Advanced OrganicChemistry,4th Edition,Wiley Interscience,1992)、或专门的专论(例如S.R.Sandler&W.Karo,Organic functional group preparations,Vol.3,AcademicPress)中所记载的各种方法来得到。
作为上述材料肟化合物的特别优选的合成方法,例如可以举出使醛或酮与羟基胺或其盐在乙醇或乙醇水之类的极性溶剂中反应的方法。该情况下,加入乙酸钠或吡啶之类的碱,控制反应混合物的pH。众所周知,反应速度具有pH依赖性,碱可以在反应开始时或反应中连续地加入。
也可以将吡啶之类的碱性溶剂作为碱及/或溶剂或者助溶剂使用。
作为上述反应温度,一般来说优选为混合物的回流温度,即优选为60℃~120℃。
作为上述材料肟化合物的其他的优选的合成方法,可以举出利用亚硝酸或亚硝酸烷基酯的“活性”亚甲基的亚硝基化方法。例如像OrganicSyntheses coll.Vol.VI(J.Wiley&Sons,New York,1988),pp.199 and 840中记载的那样的碱性条件;和例如像Organic Syntheses coll.Vol.V,pp.32and 373,coll.Vol.III,pp.191 and 513,coll.Vol.II,pp.202,204 and 363中记载的那样的酸性条件双方都适于作为本发明的起始材料使用的材料肟化合物的合成中。
作为上述亚硝酸,通常来说是由亚硝酸钠生成的。
作为上述亚硝酸烷基酯,例如可以举出亚硝酸甲酯、***、亚硝酸异丙酯、亚硝酸丁酯或亚硝酸异戊酯。
作为上述肟酯的基,也可以是以2种立体配置(Z)或(E)存在的基。既可以利用惯用的方法将异构体分离,也可以将异构体混合物直接作为光引发用的种子使用。所以,本发明的肟化合物也可以是上述结构式(1)~(52)的化合物的立体配置上的异构体的混合物。
本发明的肟化合物因保存稳定性优异,灵敏度高,而可以通过添加到聚合性组合物中,获得如下的高灵敏度的聚合性组合物,即,在保存时不会产生聚合,保存稳定性优异,能够利用能量射线,特别是利用光的照射产生活性自由基而有效地引发聚合,将该聚合性化合物在短时间内有效地聚合。由此,本发明的肟化合物可以作为自由基产生剂,添加到印刷油墨、透明装饰材料、粉末涂覆材料、用于建筑物的标记或道路标记、照片复制手法、全息记录的材料、图像记录手法、可以利用有机溶剂或水性碱来显影的印刷原版的制造、丝网印刷掩模的制造的日光固化性涂覆材料、牙科填充用组合物、粘接剂、压敏粘接剂、层叠用树脂、液体及膜状的抗蚀剂、阻焊剂、电镀抗蚀剂、永久抗蚀剂、印制电路板或电子电路用的光构成性电介质等中使用。另外,可以用于各种各样的显示用途用材料、等离子体显示面板或电发光显示装置的制造工序中的结构的形成材料、滤色片、光学开关、光学格栅(干涉格栅)、光回路制造用材料、利用大量固化(透明成形用模具中的UV固化)或立体造型手法的三维的物品的制造用材料、苯乙烯系聚酯等复合材料、其他的厚层组合物的制造用材料、电子部件及集成电路的涂覆或密封用的抗蚀剂、光纤形成用材料、光学透镜制造用涂覆材料等中。此外,还可以用于医用机器、辅助设备、移植物的制造、具有热致(thermotropic)特性的凝胶的制造中。尤其可以适用于本发明的感光性组合物中。
另外,本发明的肟化合物可以作为用于乳液聚合、粒状聚合、悬浮聚合的引发剂使用。另外,也可以作为用于将液晶的单体、低聚物的规则的状态固定的聚合引发剂,作为用于使染料固着在有机材料上的引发剂,而追加使用。
《第一方式的感光性组合物》
本发明的第一方式的感光性组合物至少含有:至少一种烯键式不饱和光聚合性化合物(a)、至少一种作为光聚合引发剂的本发明的肟化合物(b)而成,优选含有本发明的肟化合物以外的光聚合引发剂(c)、添加剂(d),另外根据需要含有粘合剂(e)等。
<(a)聚合性化合物>
作为上述不饱和光聚合性化合物(a),也可以具有至少一个烯烃性双键。它们无论是低分子量(单体性)还是高分子量(低聚物性)都可以。
作为上述具有2个双键的单体,例如可以举出烷基、羟基烷基或氨基丙烯酸酯;或烷基、羟基烷基或氨基甲基丙烯酸酯(例如甲基、乙基、丁基、2-乙基己基或2-羟基乙基丙烯酸酯、丙烯酸异佛尔酮酯、甲基丙烯酸甲酯、或甲基丙烯酸乙酯等)。另外,还可以优选地举出硅酮丙烯酸酯。作为其他的具体例,可以举出丙烯腈、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、N-取代(甲基)丙烯酰胺、乙酸乙烯酯之类的乙烯基酯、异丁基乙烯基醚之类的乙烯基醚、苯乙烯、烷基及卤代苯乙烯、N-乙烯基吡咯烷酮、氯乙烯或偏氯乙烯。
作为上述具有2个以上双键的单体,例如可以举出乙二醇、丙二醇、新戊二醇、1,6-己二醇或双酚A的二丙烯酸酯、以及4,4’-双(2-丙烯酰氧基乙氧基)二苯基丙烷、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯或四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯丙烯酸乙烯酯、二乙烯基苯、琥珀酸二乙烯酯、邻苯二酸二烯丙酯、磷酸三烯丙酯、异氰脲酸三烯丙酯、或三(2-丙烯酰基乙基)异氰脲酸酯。
作为上述属于比较高分子量的聚不饱和化合物(低聚物),例如可以举出丙烯酰化环氧树脂、丙烯酸酯、乙烯基醚或具有环氧基的聚酯、聚氨酯、聚醚。作为上述不饱和低聚物的具体例,还可以举出作为不饱和聚酯树脂的、通常由马来酸、邻苯二酸及至少一个二醇制造的化合物,它们具有500~3000的分子量。此外,还可以举出乙烯基醚的单体及低聚物、以及聚酯、聚氨酯、聚醚、聚乙烯基醚及具有环氧基的主链的马来酸终止低聚物。
它们当中,优选具有乙烯基醚的基的低聚物与国际公开专利第90/01512号小册子中记载的那样的聚合物的组合物。另外,还可以优选地举出乙烯基醚与被马来酸官能化了的单体的共聚物。该种不饱和低聚物有时也被称作预聚物。
上述当中,特别优选举出烯键式不饱和羧酸与多元醇或聚环氧化物的酯、以及在链中或侧链基中具有烯键式不饱和基的聚合物(例如不饱和的聚酯、聚酰胺、聚氨酯、它们的共聚物等)、在侧链中具有(甲基)丙烯酰基的聚合物及共聚物等。它们既可以单独使用一种,也可以并用两种以上,作为聚合物的混合物使用。
作为上述不饱和羧酸,例如可以举出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、肉桂酸、亚麻酸、油酸之类的不饱和脂肪酸。它们当中,优选举出丙烯酸、甲基丙烯酸。
作为上述多元醇,优选举出芳香族,特别优选举出脂肪族或脂环式的多元醇。作为上述芳香族多元醇,例如可以举出氢醌、4,4’-羟基联苯、2,2-二(4-羟基苯基)丙烷、线性酚醛清漆、可溶酚醛树脂。
作为上述聚环氧化物,例如可以举出基于上述的多元醇,特别是芳香族多元醇以及表氯醇的化合物。作为其他的优选的多元醇,可以举出在聚合物链或侧链基中具有羟基的聚合物或共聚物,具体来说,例如可以举出聚乙烯醇及其共聚物、聚羟基烷基甲基丙烯酸酯、其共聚物。作为其他的多元醇,可以优选举出具有羟基末端基的酯类低聚物。
作为上述脂肪族及脂环式多元醇,例如可以举出具有2~12个碳原子的烷撑二醇(例如乙二醇、1,2-或1,3-丙二醇、1,2-、1,3-或1,4-丁二醇、戊二醇、己二醇、辛二醇、十二烷二醇等)、二甘醇、三甘醇、具有200~1500的分子量的聚乙二醇、1,3-环戊二醇、1,2-、1,3-或1,4-环己二醇、1,4-二羟基甲基环己烷、甘油、三(β-羟基乙基)胺、三羟甲基乙烷、三羟甲基丙烷、季戊四醇、二季戊四醇、山梨糖醇。
上述多元醇也可以被一种羧酸或不同的不饱和羧酸局部地或者完全地酯化,上述局部酯中,游离羟基也可以被修饰,例如被醚化或被其他的羧酸酯化。
作为上述酯,例如可以举出三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三甲基丙烯酸酯、1,4-丁二醇二丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、二季戊四醇三丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、三季戊四醇八丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基丙烯酸酯)、季戊四醇三(甲基丙烯酸酯)、二季戊四醇二(甲基丙烯酸酯)、二季戊四醇四(甲基丙烯酸酯)、三季戊四醇八(甲基丙烯酸酯)、季戊四醇二衣康酸酯、二季戊四醇三衣康酸酯、二季戊四醇五衣康酸酯、二季戊四醇六衣康酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、1,3-丙二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二(甲基丙烯酸酯)、1,4-丁二醇二衣康酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、山梨糖醇四丙烯酸酯、季戊四醇修饰三丙烯酸酯、山梨糖醇四(甲基丙烯酸酯)、山梨糖醇五丙烯酸酯、山梨糖醇六丙烯酸酯、丙烯酸及甲基丙烯酸酯类低聚物、二丙烯酸及三丙烯酸甘油酯、二丙烯酸1,4-环己烷、具有200~1500的分子量的聚乙二醇的双丙烯酸及双甲基丙烯酸酯、它们的混合物。
同样地,作为上述不饱和光聚合性化合物(a),可以优选举出相同或不同的不饱和羧酸与优选具有2~6个、特别优选具有2~4个氨基的芳香族、脂环式及脂肪族聚胺的酰胺。作为此种聚胺,例如可以举出乙二胺、1,2-或1,3-丙二胺、1,2-、1,3-或1,4-丁二胺、1,5-戊二胺、1,6-己二胺、辛二胺、十二烷二胺、1,4-二亚氨基环己烷、异佛尔酮二胺、苯二胺、联苯二胺、二-β-氨基乙基醚、二亚乙基三胺、三亚乙基四胺、以及二(β-氨基乙氧基)-或二(β-氨基丙氧基)-乙烷。
作为其他的聚胺,可以优选举出在侧链中具有追加的氨基的聚合物及共聚物、具有氨基末端基的低聚酰胺。作为如前所述的不饱和酰胺,例如可以举出亚甲基双丙烯酰胺、1,6-六亚甲基双丙烯酰胺、二亚乙基三胺三(甲基丙烯酰胺)、双(甲基丙烯酰胺丙氧基)乙烷、β-甲基丙烯酰胺乙基甲基丙烯酸酯及N[(β-羟基乙氧基)乙基]丙烯酰胺。
作为上述不饱和聚酯及聚酰胺,例如优选由马来酸与二醇或二胺衍生的。可以将上述马来酸的几个用其他的羧酸取代。它们也可以与烯键式不饱和共聚单体(例如苯乙烯)一起使用。该不饱和聚酯及聚酰胺也可以由二酸和烯键式不饱和二醇或二胺衍生,特别是由例如具有6~20个碳原子的比较长的链的物质衍生。作为上述聚氨酯,例如可以举出由饱和或不饱和二异氰酸酯与不饱和或分别饱和的二醇构成的。
作为上述在侧链中具有(甲基)丙烯酸酯基的聚合物,没有特别限制,可以根据目的,从公知的聚合物中适当地选择,例如可以举出基于线性酚醛清漆的环氧树脂与(甲基)丙烯酸的反应产物;用(甲基)丙烯酸酯化了的乙烯醇或它们的羟基烷基衍生物的均聚物或共聚物、用(甲基)丙烯酸羟基烷基酯酯化了的(甲基)丙烯酸酯的均聚物及共聚物。
作为上述在侧链中具有丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯基的其他的聚合物,例如可以优选举出溶剂可溶性或碱可溶性的聚酰亚胺前体(例如具有与分子中的骨架或任一个酯基结合了的光聚合性侧链基的聚酰胺酸酯化合物,即,欧洲专利第624826号公报中记载的聚酰胺酸酯化合物)。为了制造高灵敏度的聚酰亚胺前体抗蚀剂,此种低聚物或聚合物可以与本发明的新型的肟化合物、以及根据需要使用的反应性稀释剂(例如多官能性(甲基)丙烯酸酯)一起配合。
上述光聚合性化合物(a)既可以单独使用,也可以与其他的适当的化合物并用,作为多元醇(甲基)丙烯酸酯的混合物使用。
另外,作为上述光聚合性化合物(a),可以举出在分子结构内具有至少2个烯键式不饱和基及至少1个羧基官能团的聚合物或低聚物,例如利用饱和或不饱和多元酸酐与环氧化合物及不饱和单羧酸的反应产物的反应得到的树脂,例如可以举出日本特开平6-1638号公报中记载的感光性化合物及EB9696、UCB Chemicals等市售品;KAYARAD TCR1025,NipponKayaku Co.,Ltd.、或在含有羧基的树脂与具有α,β-不饱和双键及环氧基的不饱和化合物之间形成的加成产物(例如,ACA200M,DaicelIndustries,Ltd.)。
在上述稀释液中含有上述单官能性或多官能性的烯键式不饱和光聚合性化合物,或包含该化合物的2种以上的混合物的情况下,作为其含量,相对于上述感光性组合物的固体成分,优选为95质量%以下。
另外,上述不饱和光聚合性化合物(a)可以与并非光聚合性的化合物(例如薄膜形成性的成分)混合使用。作为此种非光聚合性的化合物,例如可以举出物理地干燥的聚合物、硝基纤维素溶液、乙酰丁酸纤维素溶液等。另外,也可以是可化学及/或热固化(热固化性)的树脂,可以举出聚异氰酸酯、聚环氧化合物、蜜胺树脂、聚酰亚胺前体。将这些热固化性树脂与上述不饱和光聚合性化合物(a)并用在感光性组合物中特别重要,此种感光性组合物中,在第一曝光工序中被光聚合而形成固化膜,在第二加热工序中被热交联,固化膜的膜强度得到提高。
本发明的感光性组合物还提供作为不饱和光聚合性化合物(a)含有乳化或溶解于水中的至少1种烯键式不饱和光聚合性化合物的组合物。此种放射线固化性的水性预聚物分散物在市场上有多种出售,可以很容易地获得。上述水性预聚物的分散物是水与分散于其中的至少1种预聚物的分散物。作为水性预聚物的分散物中水的含量,优选为5~80质量%,特别优选为30~60质量%。作为上述放射线固化性的水性预聚物或该预聚物混合物的含量,优选为20~95质量%,特别优选为40~70质量%。这些组合物中,针对水及预聚物给出的百分率的合计在各个情况下都为100质量%,助剂及添加物被以根据使用目的变动的量添加。
作为上述分散于水中或溶解于水中的放射线固化性的薄膜形成预聚物,没有特别限制,可以根据目的适当地选择公知的材料,例如可以举出单官能性或多官能性的烯键式不饱和预聚物的水性预聚物分散物,可以利用游离基引发聚合,例如可以优选举出:每100g预聚物中,含有0.01~1.0摩尔的聚合性双键,并且例如具有至少400、特别优选500~10000的平均分子量的材料。但是,也可以根据使用目的使用更高分子量的预聚物。本发明中优选使用的是例如具有聚合性C-C双键、具有10以下的酸价的聚酯;具有聚合性C-C双键的聚醚;每1个分子中具有至少2个环氧基的聚环氧化物、与至少1种α,β-烯键式不饱和羧酸的含羟基的反应产物;聚氨酯(甲基)丙烯酸酯;以及具有α,β-烯键式不饱和丙烯酰基的环状共聚物,更具体来说,如欧洲专利第12339号公报中记载的所示。这些预聚物的混合物也可以同样地使用。例如,优选使用欧洲专利第33896号公报中记载的聚合性预聚物,是具有至少600的平均分子量、0.2~15%的羧基含量、以及每100g预聚物中0.01~0.8mol的聚合性C-C双键的聚合性预聚物的硫醚加成物。作为基于特定的(甲基)丙烯酸烷基酯聚合物的其他的水性分散物,记载于欧洲专利第41125号公报中,氨基甲酸酯丙烯酸酯的合适的水分散性、放射线固化性预聚物记载于德国专利第2936039号公报中。
在这些作为放射线固化性的水性预聚物分散物中,还可以使用分散助剂、乳化剂、防氧化剂[例如2,2-硫代双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二叔丁基苯酚]、光稳定剂、染料、颜料、填充剂(例如玻璃、氧化铝、滑石、石膏、硅酸、金红石、炭黑、氧化锌、氧化铁)、反应促进剂、平滑剂、润滑剂、湿润剂、增稠剂、消光剂、消泡剂、以及涂料技术中通常所用的其他助剂。
作为上述分散助剂,是高分子量物质,优选使用具有极性基的水溶性有机化合物,例如可以举出聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯烷酮或纤维素醚。
作为上述乳化剂,优选举出非离子乳化剂,根据需要,也可以使用离子性乳化剂。
<光聚合引发剂>
本发明的感光性组合物中,作为光聚合引发剂,含有本发明的肟化合物(b),根据需要,含有该肟化合物以外的以往公知的光聚合引发剂(c)。
<(b)肟化合物>
虽然也可以在感光性组合物中含有单独一种的本发明的肟化合物,然而优选混合含有2种以上。本发明的肟化合物如上所述,是以上述通式(1)表示的化合物。
<(c)以往公知的光聚合引发剂>
本发明的感光性组合物也可以并用本发明的肟化合物(b)以外的以往公知的光聚合引发剂(c)。
作为上述光聚合引发剂(c),例如也可以使用樟脑醌、二苯酮、二苯酮衍生物、苯乙酮、苯乙酮衍生物、例如α-羟基环烷基苯基酮或2-羟基-2-甲基-1-苯基丙酮、二烷氧基苯乙酮、α-羟基或α-氨基-苯乙酮、例如(4-甲基硫代苯甲酰基)-1-甲基-1-吗啉代乙烷、(4-吗啉代苯甲酰基)-1-苄基-1-二甲基氨基丙烷、4-芳酰基-1,3-二氧戊环、苯偶姻烷基醚及苯偶酰缩酮(例如苯偶酰二甲基缩酮)、苯甲酰甲酸酯及其衍生物、二聚物的苯甲酰甲酸酯、丁二酮、过酸酯(例如欧洲专利第126541号公报中记载的二苯酮四羧酸过酸酯)、单酰基氧化膦(例如(2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦、双酰基氧化膦、双(2,6-二甲氧基苯甲酰基)-(2,4,4-三甲基戊基)氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦、双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-2,4-二戊氧基苯基氧化膦、三酰基氧化膦)、卤代甲基三嗪(例如2-[2-(4-甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-(3,4-二甲氧基苯基)-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-甲基-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-(4-N,N-二(乙氧基羰基甲基氨基苯基)-4,6-双(三氯甲基)[1,3,5]三嗪、2-(4-甲氧基萘基)-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-(1,3-苯并二氧-5-基)-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-[2-[4-(戊氧基)苯基]次乙基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-[2-(3-甲基-2-呋喃基)次乙基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-[2-(5-甲基-2-呋喃基)次乙基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-[2-(2,4-二甲氧基苯基)次乙基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-[2-(2-甲氧基苯基)次乙基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-[2-(4-异丙氧基苯基)次乙基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-[2-(3-氯-4-甲氧基苯基)次乙基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-[2-溴-4-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-[2-氯-4-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-[3-溴-4-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪、2-[3-氯-4-N,N-二(乙氧基羰基甲基)氨基苯基]-4,6-双三氯甲基[1,3,5]三嗪)、或例如像G.Buhr,R.Dammel和C.Lindley,Polym.Mater.Sci.Eng.61,269(1989)、以及欧洲专利第022788号公报中记载的那样的其他的卤代甲基三嗪;像美国专利第4371606号说明书及美国专利第4371607号说明书中记载的那样的卤代甲基噁唑光引发剂;像E.A.Bartmann,Synthesis 5490(1993)中记载的那样的1,2-二砜;六芳基双咪唑、以及六芳基双咪唑/共引发剂体系(例如2-巯基苯并噻唑、二茂铁盐化合物)、或二茂钛(例如与双(环戊二烯基)-双(2,6-二氟-3-吡咯基苯基)钛组合了的邻氯六苯基双咪唑的混合物)。
作为上述光聚合引发剂(c),还可以举出阳离子光引发剂、过氧化化合物(例如过氧化苯甲酰、美国专利第4950581号说明书第19栏第17~25行中记载的过氧化化合物)、美国专利第4950581号说明书第18栏第60行~第19栏第10行中记载的那样的芳香族的锍、鏻或碘鎓盐、或环戊二烯基芳烃-铁(II)络盐(例如(η6-异丙基苯)(η5-环戊二烯基)-铁(II)六氟磷酸盐)、肟磺酸酯(例如欧洲专利第780729号公报中记载的化合物)。另外,例如也可以将欧洲专利第497531号公报及欧洲专利第441232号公报中记载的那样的吡啶鎓及(异)喹啉鎓盐与本发明的肟化合物并用。
无论是在将本发明的肟化合物单独使用的情况下,还是在与其他的公知的光聚合引发剂及敏化剂并用的情况下,都可以将本发明的肟化合物以水或水溶液中的分散物或乳液的形态使用。
作为上述光聚合引发剂的含量,相对于上述感光性组合物的固体成分,优选为0.01~25质量%,更优选为0.01~10质量%,特别优选为0.01~5质量%。上述含量在将本发明的肟化合物及其他的光聚合引发剂并用时,是指这些光聚合引发剂的全部的合计。所以,该含量是指肟化合物(b)、或肟化合物(b)+其他的光聚合引发剂(c)的任一种含义。
<(d)添加剂>
作为上述添加剂(d),例如可以举出意图防止早期聚合的热阻聚剂,作为其具体例,可以举出氢醌、氢醌衍生物、对甲氧基苯酚、β-或空间阻碍性苯酚、如2,6-二叔丁基-对甲酚。
另外,为了增大在暗处的贮藏时的稳定性,例如还可以加入铜化合物(例如环己烷甲酸、硬脂酸或辛酸铜)、磷化合物(例如三苯基膦、三丁基膦、亚磷酸三乙酯、亚磷酸三苯基酯或亚磷酸三苄基酯)、季铵盐化合物(例如四甲基氯化铵或三甲基苄基氯化铵)、羟基胺衍生物(例如N-二乙基羟基胺)。
另外,为了在聚合之时排除气氛氧,可以加入石蜡、类似的蜡样物质,它们因在聚合物中的溶解度不足,而会在聚合的初期向表面移动,形成妨碍空气的进入的透明的表面层。也可以在涂层的表层涂布不透氧层,例如聚(乙烯醇-co-乙酸乙烯酯)。
另外,也可以加入少量光稳定剂,作为该光稳定剂,可以举出UV吸收剂(例如羟基苯基苯并***、羟基苯基二苯酮、草酰胺或羟基苯基-s-三嗪型的化合物)。这些化合物在空间阻碍性胺(HALS)的存在下或不存在下,既可以单独地使用,也可以作为混合物使用。
作为上述UV吸收剂及光稳定剂,可以举出2-(2’-羟基苯基)苯并***、2-羟基二苯酮、取代或未取代苯甲酸的酯、丙烯酸酯、空间阻碍性胺、草酰胺、2-(2-羟基苯基)-1,3,5-三嗪、亚磷酸酯及硼酸酯。
作为上述2-(2’-羟基苯基)苯并***,例如可以举出2-(2’-羟基-5’-甲基苯基)苯并***;2-(3’,5’-二叔丁基-2’-羟基苯基)苯并***;2-(5’-叔丁基-2’-羟基苯基)苯并***;2-(2’-羟基-5’-(1,1,3,3-四甲基丁基)苯基)苯并***;2-(3’,5’-二叔丁基-2’-羟基苯基)-5-氯苯并***;2-(3’-叔丁基-2’-羟基苯基-5’-甲基苯基)-5-氯苯并***;2-(3’-仲丁基-5’-叔丁基-2’-羟基苯基)苯并***;2-(2’-羟基-4’-辛氧基苯基)苯并***;2-(3’,5’-二叔戊基-2’-羟基苯基)苯并***;2-(3’,5’-双(α,α-二甲基苄基)-2’-羟基苯基)苯并***;2-(3’-叔丁基-2’-羟基苯-5’-(2-辛氧基羰基乙基)苯基)-5-氯苯并***、2-(3’-叔丁基-5’-[2-(2-乙基己基氧基)羰基乙基]-2’-羟基苯基)-5-氯苯并***、2-(3’-叔丁基-2’-羟基-5’-(2-甲氧基羰基乙基)苯基)-5-氯苯并***、2-(3’-叔丁基-2’-羟基-5’-(2-甲氧基羰基乙基)苯基)苯并***、2-(3’-叔丁基-2’-羟基-5’-(2-辛氧基羰基乙基)苯基)苯并***、2-(3’-叔丁基-5’-[2-(2-乙基己基氧基)羰基乙基]2’-羟基苯基)苯并***、2-(3’-十二烷基-2’-羟基-5’-甲基苯基)苯并***以及2-(3’-叔丁基-2’-羟基-5’-(2-异辛氧基羰基乙基)苯基)苯并***的混合物;2,2’-亚甲基-双[4-(1,1,3,3-四甲基丁基)-6-苯并***-2-基苯酚];2-[3’-叔丁基-5’-(2-甲氧基羰基乙基)-2’-羟基苯基]苯并***与聚乙二醇300的酯交换反应产物;[R-CH2CH2-COO(CH2)3]2(式中,R=3’-叔丁基-4’-羟基-5’-H-苯并***-2-基苯基)。
另外,作为上述2-羟基二苯酮,例如可以举出4-羟基、4-甲氧基、4-辛氧基、4-癸氧基、4-十二烷氧基、4-苄氧基、4,2’,4’-三羟基及2’-羟基-4,4’-二甲氧基衍生物。
另外,作为上述取代或未取代苯甲酸的酯,例如可以举出水杨酸4-叔丁基苯酯、水杨酸苯酯、水杨酸辛基苯酯、二苯甲酰基间苯二酚、双(4-叔丁基苯甲酰基)间苯二酚、苯甲酰基间苯二酚、2,4-二叔丁基苯基3,5-二叔丁基-4-羟基苯甲酸酯、六癸基3,5-二叔丁基-4-羟基苯甲酸酯、十八烷基3,5-二叔丁基-4-羟基苯甲酸酯、以及2-甲基-4,6-二叔丁基苯基3,5-二叔丁基-4-羟基苯甲酸酯。
另外,作为上述丙烯酸酯,例如可以举出异辛基或乙基α-氰基-β,β、甲基α-碳甲氧基肉桂酸酯、丁基或甲基α-氰基-β-甲基-对甲氧基肉桂酸酯、甲基α-羧基甲氧基-对甲氧基肉桂酸酯、以及N-(β-碳甲氧基-β-氰基乙烯基)-2-甲基二氢吲哚。
另外,作为上述空间阻碍性胺,例如可以举出癸二酸双(2,2,6,6-四甲基哌啶基)、丁二酸双(2,2,6,6-四甲基哌啶基)、癸二酸双(1,2,2,6,6-五甲基哌啶基)、双(1,2,2,6,6-五甲基哌啶基)正丁基-3,5-二叔丁基-4-羟基苄基丙二酸酯、1-羟基乙基-2,2,6,6-四甲基-4-羟基哌啶与丁二酸的缩合产物、N,N’-双(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)己二胺与4-叔辛基氨基-2,6-二氯-1,3,5-s-三嗪的缩合产物、三(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)次氮基三乙酸酯、四(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)-1,2,3,4-丁烷四酯、1,1’-(1,2-乙烷二基)双(3,3,5,5-四甲基哌嗪酮)、4-苯甲酰基-2,2,6,6-四甲基哌嗪、4-硬脂基氧基-2,2,6,6-四甲基哌嗪、双(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)2-正丁基-2-(2-羟基-3,5-二叔丁基苄基)丙二酸酯、3-正辛基-7,7,9,9-四甲基-1,3,8-三氮杂螺[4.5]癸烷-2,4-二酮、癸二酸双(1-辛氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶基)、丁二酸双(1-辛氧基-2,2,6,6-四甲基哌啶基)、N,N’-双(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)己二胺与4-吗啉代-2,6-二氯-1,3,5-三嗪的缩合产物、2-氯-4,6-二-(4-正丁基氨基-2,2,6,6-四甲基哌啶基)-1,3,5-三嗪与1,2-双(3-氨基丙基氨基)乙烷的缩合产物、2-氯-4,6-二-(4-正丁基氨基-1,2,2,6,6-五甲基哌啶基)-1,3,5-三嗪与1,2-双(3-氨基丙基氨基)乙烷的缩合产物、8-乙酰基-3-十二烷基-7,7,9,9-四甲基-1,3,8-三氮杂螺[4.5]癸烷-2,4-二酮、3-十二烷基-1-(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)吡咯烷-2,5-二酮、以及3-十二烷基-1-(1,2,2,6,6-五甲基-4-哌啶基)吡咯烷-2,5-二酮。
另外,作为上述草酰胺,例如可以举出4,4’-二辛氧基草酰二苯胺、2,2’-二乙氧基草酰二苯胺、2,2’-二辛氧基-5,5’-二叔丁基草酰二苯胺、2,2’-二十二烷氧基-5,5’-二叔丁基草酰二苯胺、2-乙氧基-2’-乙基草酰二苯胺、N,N’-双(3-二甲基氨基丙基)草酰二苯胺、2-乙氧基-5-叔丁基-2’-乙基草酰二苯胺、以及其与2-乙氧基-2’-乙基-5,4’-二叔丁基草酰二苯胺的混合物、邻及对甲氧基以及邻及对乙氧基-二取代草酰二苯胺的混合物。
作为上述2-(2-羟基苯基)-1,3,5-三嗪,例如可以举出2,4,6-三(2-羟基-4-辛氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2-羟基-4-辛氧基苯基)-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2,4-二羟基苯基)-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(2-羟基-4-丙氧基苯基)-6-(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2-羟基-4-辛氧基苯基)-4,6-双(4-甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-(2-羟基-4-十二烷氧基苯基)-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-[2-羟基-4-(2-羟基-3-丁氧基丙氧基)苯基]-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-[2-羟基-4-(2-羟基-3-辛氧基丙氧基)苯基]-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪、2-[4-十二烷基/十二烷氧基-(2-羟基丙基)氧基-2-羟基苯基]-4,6-双(2,4-二甲基苯基)-1,3,5-三嗪。
作为上述亚磷酸酯及硼酸酯,例如可以举出亚磷酸三苯酯、亚磷酸二苯基烷基酯、亚磷酸苯基二烷基酯、亚磷酸三(壬基苯基酯)、亚磷酸三月桂基酯、亚磷酸三(十八烷基)酯、二亚磷酸二硬脂基季戊四醇酯、亚磷酸三(2,4-二叔丁基苯基)、二亚磷酸二异癸基季戊四醇酯、二亚磷酸双(2,4-二叔丁基苯基)季戊四醇酯、二亚磷酸双(2,6-二叔丁基-4-甲基苯基)季戊四醇酯、二亚磷酸双异癸氧基季戊四醇酯、二亚磷酸双(2,4-二叔丁基-6-甲基苯基)季戊四醇酯、二亚磷酸双(2,4,6-三叔丁基苯基)季戊四醇酯、三亚磷酸三硬脂基山梨醇酯、二亚磷酸四(2,4-二叔丁基苯基)-4,4’-亚联苯、6-异辛氧基-2,4,8,10-四叔丁基-12H-二苯并[d,g]-1,3,2-二氧磷杂八环、6-氟-2,4,8,10-四叔丁基-12-甲基二苯并[d,g]-1,3,2-二氧磷杂八环、亚磷酸双(2,4-二叔丁基-6-甲基苯基)甲酯、以及亚磷酸双(2,4-二叔丁基-6-甲基苯基)乙酯。
另外,作为上述添加剂(d),为了促进光聚合,也可以添加胺。作为上述胺,例如可以举出三乙醇胺、N-甲基二乙醇胺、乙基-对二甲基氨基苯甲酸酯、2-(二甲基氨基)乙基苯甲酸酯、2-乙基己基-对二甲基氨基苯甲酸酯、辛基-对N,N-二甲基氨基苯甲酸酯、N-(2-羟基乙基)-N-甲基-对甲苯胺、米蚩酮。上述胺的作用可以通过添加二苯酮型的芳香族酮来加强。
另外,上述胺也可以作为氧捕捉剂来使用,例如像欧洲专利第339841号公报中所记载的那样,可以举出取代N,N-二烷基肟。
另外,作为添加剂(d),也可以添加其他的促进剂、助引发剂、自动氧化剂。作为它们的具体例,是硫醇、硫醚、二硫化物、鏻盐、氧化膦或膦,例如可以举出欧洲专利第438123号、英国专利第2180358号公报、以及日本特开平6-68309号公报中记载的化合物。
本发明的感光性组合物中,作为上述添加剂(d)还可以加入该技术领域中所惯用的链转移剂。作为上述链转移剂,例如可以举出硫醇、胺、苯并噻唑。
另外,通过作为上述添加剂(d),再添加将光谱灵敏度移动或放大的光敏化剂或助引发剂,就可以促进本发明的感光性组合物的光聚合。
作为上述光敏化剂或助引发剂,特别优选使用芳香族化合物,例如可以举出二苯酮及其衍生物、噻吨酮及其衍生物、蒽醌及其衍生物、香豆素或吩噻嗪及其衍生物、3-(芳酰基亚甲基)噻唑啉、罗丹宁、樟脑醌、曙红、罗丹明、赤藓红、呫吨、噻吨、吖啶(例如9-苯基吖啶)、1,7-双(9-吖啶基)庚烷、1,5-双(9-吖啶基)戊烷、花青、部花青染料等。
作为上述噻吨酮,例如可以举出噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、2-十二烷基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二甲基噻吨酮、1-甲氧基羰基噻吨酮、2-乙氧基羰基噻吨酮、3-(2-甲氧基乙氧基羰基)噻吨酮、4-丁氧基羰基噻吨酮、3-丁氧基羰基-7-甲基噻吨酮、1-氰基-3-氯噻吨酮、1-乙氧基羰基-3-氯噻吨酮、1-乙氧基羰基-3-噻吨酮、1-乙氧基羰基-3-氨基噻吨酮、1-乙氧基羰基-3-苯基磺酰基噻吨酮、3,4-二-[2-(2-甲氧基乙氧基)乙氧基羰基]噻吨酮、1,3-二甲基-2-羟基-9H-噻吨-9-酮2-乙基己基醚、1-乙氧基羰基-3-(1-甲基-1-吗啉代乙基)噻吨酮、2-甲基-6-二甲氧基甲基噻吨酮、2-甲基-6-(1,1-二甲氧基苄基)噻吨酮、2-吗啉代甲基噻吨酮、2-甲基-6-吗啉代甲基噻吨酮、N-烯丙基噻吨酮-3,4-二羧基酰亚胺、N-辛基噻吨酮-3,4-二羧基酰亚胺、N-(1,1,3,3-四甲基丁基)噻吨酮-3,4-二羧基酰亚胺、1-苯氧基噻吨酮、6-乙氧基羰基-2-甲氧基噻吨酮、6-乙氧基羰基-2-甲基噻吨酮、噻吨酮-2-羧酸聚乙二醇酯、2-羟基-3-(3,4-二甲基-9-氧-9H-噻吨酮-2-基氧基)-N,N,N-三甲基-1-丙烷氯化铝等。
作为上述二苯酮,例如可以举出二苯酮、4-苯基二苯酮、4-甲氧基二苯酮、4,4’-二甲氧基二苯酮、4,4’-二甲基二苯酮、4,4’-二氯二苯酮、4,4’-双(二甲基氨基)二苯酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯酮、4,4’-双(甲基乙基氨基)二苯酮、4,4’-双(对异丙基苯氧基)二苯酮、4-甲基二苯酮、2,4,6-三甲基二苯酮、4-(4-甲基噻吩基)二苯酮、3,3’-二甲基-4-甲氧基二苯酮、甲基-2-苯甲酰基苯甲酸酯、4-(2-羟基乙基硫代)二苯酮、4-(4-甲苯基硫代)二苯酮、1-[4-(4-苯甲酰基苯基硫烷基)苯基]-2-甲基-2-(甲苯-4-磺酰基)丙烷-1-酮、4-苯甲酰基-N,N,N-三甲基苯甲铵氯、2-羟基-3-(4-苯甲酰基苯氧基)-N,N,N-三甲基-1-丙铵氯-水合物、4-(13-丙烯酰基-1,4,7,10,13-五氧十三烷基)二苯酮、4-苯甲酰基-N,N-二甲基-N-[2-(1-氧-2-丙烯基)氧基]乙基苯甲铵氯等。
作为上述香豆素,例如可以举出香豆素1、香豆素2、香豆素6、香豆素7、香豆素30、香豆素102、香豆素106、香豆素138、香豆素152、香豆素307、香豆素314、香豆素314T、香豆素334、香豆素337、香豆素500、3-苯甲酰基香豆素、3-苯甲酰基-7-甲氧基香豆素、3-苯甲酰基-5,7-二甲氧基香豆素、3-苯甲酰基-5,7-二苯氧基香豆素、3-苯甲酰基-6,8-二氯香豆素、3-苯甲酰基-6-氯香豆素、3,3’-羰基-双[5,7-二(丙氧基)香豆素]、3,3’-羰基-双(7-二乙基氨基香豆素)、3-异丁酰基香豆素、3-苯甲酰基-5,7-二甲氧基香豆素、3-苯甲酰基-5,7-二乙氧基香豆素、3-苯甲酰基-5,7-二丁氧基香豆素、3-苯甲酰基-5,7-二(甲氧基乙氧基)香豆素、3-苯甲酰基-5,7-二(烯丙基氧基)香豆素、3-苯甲酰基-7-二甲基氨基香豆素、3-苯甲酰基-7-二乙基氨基香豆素、3-异丁酰基-7-二甲基氨基香豆素、5,7-二甲氧基-3-(1-萘酰基)香豆素、5,7-二乙氧基-3-(1-萘酰基)香豆素、3-苯甲酰基苯并[f]香豆素、7-二乙基氨基-3-噻吩甲酰基(チエノイル)香豆素、3-(4-氰基苯甲酰基)-5,7-二甲氧基香豆素、3-(4-氰基苯甲酰基)-5,7-二丙氧基香豆素、7-二甲基氨基-3-苯基香豆素、7-二乙基氨基-3-苯基香豆素、日本特开平9-179299号公报及第9-325209号公报中所公布的香豆素衍生物、例如7-[{4-氯-6-(二乙基氨基)-S-三嗪-2-基}氨基]-3-苯基香豆素。
作为上述3-(芳酰基亚甲基)噻唑啉,可以举出3-甲基-2-苯甲酰基亚甲基-β-萘并噻唑啉、3-甲基-2-苯甲酰基亚甲基-2-苯并噻唑啉、3-乙基-2-丙酰基亚甲基-β-萘并噻唑啉等。
作为上述罗丹宁,可以举出4-二甲基氨基亚苄基罗丹宁、4-二乙基氨基亚苄基罗丹宁、3-乙基-5-(3-辛基-2-苯并噻唑啉亚基(ベンゾチアゾリニリデン))罗丹宁、日本特开平8-305019号公报中所公布的以式[1]、[2]、[7]表示的罗丹宁衍生物等。
除了上述化合物以外,还可以使用苯乙酮、3-甲氧基苯乙酮、4-苯基苯乙酮、苯偶酰、4,4’-双(二甲基氨基)苯偶酰、2-乙烯基萘、2-萘甲醛、萘磺酸衍生物、9,10-蒽醌、蒽、芘、氨基芘、苝、菲、菲醌、9-芴酮、二苯并环庚酮、姜黄素、呫吨酮、硫代米蚩酮、α-(4-二甲基氨基亚苄基)酮、2,5-双(4-二乙基氨基亚苄基环戊酮、2-(4-二甲基氨基亚苄基)茚满-1-酮、3-(4-二甲基氨基苯基)-1-茚满-5-基丙烯酮、3-苯基硫代酞酰亚胺、N-甲基-3,5-二(乙基硫代)酞酰亚胺、N-甲基-3,5-二(乙基硫代)酞酰亚胺、吩噻嗪、甲基吩噻嗪、胺、N-苯甘氨酸、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸丁氧基乙酯、4-二甲基氨基苯乙酮、三乙醇胺、甲基二乙醇胺、二甲基氨基乙醇、2-(二甲基氨基)乙基苯甲酸酯、聚(丙二醇)-4-(二甲基氨基)苯甲酸酯等。
作为添加到本发明的感光性组合物中的添加剂(d),在上述当中,优选举出选自二苯酮及其衍生物、噻吨酮及其衍生物、蒽醌及其衍生物、香豆素衍生物中的至少一种光敏化剂化合物。
另外,在将本发明的感光性组合物光聚合后,进行利用加热的固化处理的情况下,作为添加剂(d),如欧洲专利第245639号公报中所述那样,添加光敏化剂或在热条件下形成游离基的成分,就可以支援上述固化处理。
作为上述光敏化剂,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,然而特别优选用二氧化钛等着色了的材料。
另外,作为上述在热条件下形成游离基的成分,例如可以举出2,2’-偶氮双(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、三氮烯、苯并噻二唑、五氮杂二烯之类的偶氮化合物、过氧基化合物(例如氢过氧化物、过碳酸盐、叔丁基过氧化氢)等。
本发明的感光性组合物作为添加剂(d),还可以添加光还原性染料。作为上述光还原性染料,例如可以举出呫吨、苯并呫吨、苯并噻吨、噻嗪、焦宁、紫菜碱或吖啶染料、可以利用照射切断的三卤素甲基化合物。另外,也可以使用欧洲专利第445624号公报中记载的化合物。
作为上述添加剂(d),也可以还使用流动改善剂、附着促进剂等。它们没有特别限制,可以根据目的适当地选择公知的材料,例如可以举出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷及3-巯基丙基三甲氧基硅烷等。
另外,作为添加剂(d),也可以还使用以往公知的表面活性剂、光学的光亮剂、颜料、染料、湿润剂、平滑助剂、分散剂、防絮凝剂、防氧化剂、填充剂等。
在将本发明的感光性组合物用于涂层中的情况下,为了使厚壁且被着色了的涂层固化,例如如美国专利第5014768号说明书中记载的所示,优选作为添加剂(d)加入玻璃微球或微粉化玻璃纤维。
上述说明中所举出的添加剂(d)优选根据用途领域、以及针对该领域所必需的特性来选择。上述的添加剂是该技术中所惯用的材料,由此,作为添加剂的添加量,优选添加在各个用途中常用的量。
<(e)粘合剂(粘结剂)>
上述粘合剂(e)优选在感光性组合物为液体或粘稠的物质的情况下添加。作为上述粘合剂,没有特别限制,可以根据用途领域、以及针对该领域所必需的特性,例如针对水性及有机溶剂体系中的显影容量、向基材上的粘接、以及对氧的灵敏度来适当地选择。
作为上述粘合剂的含量,相对于感光性组合物中的全部固体成分,优选为2质量%~98质量%,更优选为5质量%~95质量%,特别优选为20质量%~90质量%。
作为上述粘合剂,可以恰当地举出具有优选为2000~2000000、更优选为5000~1000000的分子量的聚合物。
另外,优选碱显影性的粘合剂,具体来说,可以举出作为侧基具有羧酸官能的丙烯酸系聚合物,例如通过使烯键式不饱和羧酸和选自如下的单体中的一种或两种以上单体共聚而得的以往公知的共聚物,其中,烯键式不饱和羧酸例如为(甲基)丙烯酸、2-羧基乙基(甲基)丙烯酸、2-羧基丙基(甲基)丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、马来酸、富马酸;单(甲基)丙烯酸ω-羧基聚己内酯之类的烯键式不饱和羧酸,上述单体为:(甲基)丙烯酸的酯,例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸羟基乙基酯、(甲基)丙烯酸羟基丙基酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、(甲基)丙烯酸三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸2-甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧基丁酯、(甲基)丙烯酸6,7-环氧基庚酯;乙烯基芳香族化合物,例如苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对氯苯乙烯、乙烯基苄基缩水甘油基醚;酰胺型不饱和化合物、(甲基)丙烯酰胺二丙酮丙烯酰胺、N-羟甲基丙烯酰胺、N-丁氧基甲基丙烯酰胺;以及聚烯烃型化合物,例如丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯等;甲基丙烯腈、甲基异丙烯基酮、丁二酸单2-[(甲基)丙烯酰氧基]乙酯、N-苯基马来酰亚胺、马来酸酐、乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、戊酸乙烯酯、聚苯乙烯大分子单体、或聚(甲基)丙烯酸甲酯大分子单体。
作为上述共聚物,例如可以举出丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯、和丙烯酸或甲基丙烯酸、和苯乙烯或取代苯乙烯、酚醛树脂(例如酚醛清漆树脂)、(聚)羟基苯乙烯的共聚物;羟基苯乙烯、和丙烯酸烷基酯、丙烯酸及/或甲基丙烯酸的共聚物。
作为上述共聚物的优选的具体例,可以举出甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸乙酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸羟基乙酯共聚物、甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸丁酯/甲基丙烯酸/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸羟基苯基酯共聚物。
另外,作为溶剂显影性的粘合剂,例如可以举出聚甲基丙烯酸烷基酯、聚丙烯酸烷基酯、聚(甲基丙烯酸苄酯-co-甲基丙烯酸羟基乙酯-co-甲基丙烯酸)、聚(甲基丙烯酸苄酯-co-甲基丙烯酸);纤维素酯及纤维素醚,例如乙酸纤维素、乙酰丁酸纤维素、甲基纤维素、乙基纤维素;聚乙烯醇缩丁醛、聚乙烯醇缩甲醛、环化橡胶;聚醚,例如聚环氧乙烷、聚环氧丙烷及聚四氢呋喃;聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚氨酯、氯化聚烯烃、聚氯乙烯、氯乙烯/偏氯乙烯共聚物、偏氯乙烯与丙烯腈、甲基丙烯酸甲酯及乙酸乙烯酯的共聚物、聚乙酸乙烯酯、乙烯/乙酸乙烯酯共聚物、聚己内酰胺或聚己二酰己二胺之类的聚合物、聚(对苯二甲酸乙二醇酯)或聚(丁二酸己二醇酯)之类的聚酯及聚酰亚胺粘合剂树脂。
作为添加到本发明的感光性组合物中的上述聚酰亚胺粘合剂树脂,无论是溶剂可溶性的聚酰亚胺、聚酰亚胺前体(例如聚酰胺酸)的哪种都可以。
作为本发明的感光性组合物,优选作为上述粘合剂(e)含有甲基丙烯酸酯与甲基丙烯酸的共聚物。
另外,在将本发明的感光性组合物用于滤色片中的情况下,作为上述粘合剂(e),例如优选使用日本特开平10-171119号公报中记载的材料。
本发明的感光性组合物由于作为光聚合引发剂含有本发明的肟化合物,因此在保存时不会产生聚合,保存稳定性优异,可以利用能量射线,特别是利用光的照射产生活性自由基而有效地引发聚合,将该聚合性化合物在短时间内有效地聚合。由此,本发明的感光性组合物可以作为印刷油墨(例如丝网印刷油墨、胶版印刷、苯胺印刷油墨),作为透明装饰材料(例如对木材或金属的白色或有色装饰),作为粉末涂层(特别是对于纸、木材、金属或塑料的涂层材料),作为用于建筑物的标记或道路标记、照片复制手法、全息记录的材料、图像记录手法、或可以利用有机溶剂或水性碱来显影的印刷原版的制造、丝网印刷掩模的制造的日光固化性涂覆材料,作为牙科填充用组合物,作为粘接剂,作为压敏粘接剂,作为层叠用树脂,作为液体及膜状的抗蚀剂、阻焊剂、耐电镀抗蚀剂或永久抗蚀剂,作为印制电路板或电子电路用的光构成性电介质,作为各种各样的显示用途用材料,作为滤色片的制造用材料(例如美国专利第5853446号说明书、欧洲专利第863534号公报、日本特开平9-244230号公报、日本特开平10-62980号公报、日本特开平8-171863号公报、美国专利第5840465号说明书、欧洲专利第855731号、日本特开平5-271576号公报、日本特开平5-67405号公报中记载的滤色片),作为光学开关、光学格栅(干涉格栅)、光回路制造用材料,作为利用大量固化(透明成形用模具中的UV固化)或立体造型手法的三维的物品的制造用材料(例如像美国专利第4575330号说明书中记载的那样的),作为复合材料(例如玻璃纤维及/或其他的纤维以及至少含有其他的助剂的苯乙烯系聚酯)及其他的厚层组合物的制造用材料,作为用于电子部件及集成电路的涂覆或密封用的抗蚀剂,或者作为光纤用材料,或作为光学透镜(例如用于隐形镜片、菲涅耳透镜制造的涂层)使用。本发明的感光性组合物还可以合适地用于医用机器、辅助设备、移植物的制造中。此外,还可以合适地用于德国专利第19700064号公报及欧洲专利第678534号公报中记载的那样的具有热致特性的凝胶的制造中。
(感光性膜的形成方法)
本发明的感光性组合物除了可以将溶液涂布于基板(基材)上、干燥而形成感光层的材料以外,还可以作为在支承体上设置由本发明的感光性组合物构成的感光层的感光性膜使用。将该感光性膜的感光层层叠于基板上使用。其形成方法是将上述感光性组合物溶液涂布于支承体上而形成感光层。上述支承体优选为聚(对苯二甲酸乙二醇酯)制的薄膜,或者也可以是设置了氧阻断层及剥离层的聚(对苯二甲酸乙二醇酯)薄膜、设置了剥离层及氧阻断层的聚(对苯二甲酸乙二醇酯)薄膜。
另外,为了处置之时的保护,优选将可以剥离的合成树脂制的保护膜层叠于上述感光层的表面。
另外,也可以在聚(对苯二甲酸乙二醇酯)薄膜上形成聚碱可溶的热塑性树脂层以及中间层,在其上再形成由感光性组合物构成的感光层,形成感光性膜(日本特开平5-173320号公报)。
上述的保护膜在使用之时从感光层上剥离除去,将该感光层层叠于与第一方式相同的基板上。此外,在设置了氧阻断层及剥离层的情况下,是在该感光层与支承体之间,在设置了剥离层及氧阻断层的情况下,是在剥离层与氧阻断层之间,另外,在剥离层及氧阻断层都未设置的情况下,是在感光层与支承体之间,将支承体剥离,除去该支承体。
在将上述感光性膜用于滤色片中的情况下,作为上述支承体,优选使用金属、玻璃、陶瓷、合成树脂薄膜。其中,作为支承体特别优选透明并且具有优异的尺寸稳定性的玻璃及合成树脂薄膜。
作为上述感光性组合物及感光性膜的感光层的厚度,优选为0.1μm~50μm,特别优选为0.5μm~5μm。
[感光性膜的显影工序]
在将上述感光性膜曝光、显影的情况下,作为上述显影液,优选将碱性物质稀释而配制的碱显影液,适于感光性组合物含有碱可溶树脂或碱可溶单体或低聚物的情况。此外,向上述将碱性物质稀释后的溶液中加入少量的水混合性有机溶剂而配制的显影剂溶液也可以作为本发明的感光性组合物的显影液合适地使用。
作为上述碱性物质的优选的例子,可以举出碱金属氢氧化物(例如氢氧化钠、氢氧化钾)、碱金属碳酸盐(例如碳酸钠、碳酸钾)、碱金属碳酸氢盐(例如碳酸氢钠、碳酸氢钾)、碱金属硅酸盐(例如硅酸钠、硅酸钾)、碱金属偏硅酸盐(例如偏硅酸钠、偏硅酸钾)、三乙醇胺、二乙醇胺、单乙醇胺、吗啉、氢氧化四烷基铵(例如氢氧化四烷基铵)、磷酸三钠。
作为上述碱性物质的浓度,优选为0.01质量%~30质量%,作为pH,优选为8~14。
另外,作为上述水混合性有机溶剂,例如可以优选地举出甲醇、乙醇、2-丙醇、1-丙醇、丁醇、二丙酮醇、乙二醇单甲醚、乙二醇单***、乙二醇单正丁基醚、二甘醇二甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯、乙酸正丁酯、苄醇、丙酮、甲乙酮、环戊酮、环己酮、2-庚酮、2-戊酮、ε-己内酯、γ-丁内酯、二甲替甲酰胺、二甲替乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、ε-己内酰胺、N-甲基吡咯烷酮。
作为上述水混合性有机溶剂的浓度,优选为0.1~30质量%。
在上述显影液中,可以还加入公知的表面活性剂。作为上述表面活性剂的浓度,优选为0.001~10质量%。
本发明的感光性组合物也可以用包含不含有碱性物质的2种以上的溶剂的混合物的有机溶剂来显影。
作为上述有机溶剂,例如可以优选地举出甲醇、乙醇、2-丙醇、1-丙醇、丁醇、二丙酮醇、乙二醇单甲醚、乙二醇单***、乙二醇单正丁基醚、二甘醇二甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯、乙酸正丁酯、苄醇、丙酮、甲乙酮、环戊酮、环己酮、2-庚酮、2-戊酮、ε-己内酯、γ-丁内酯、二甲替甲酰胺、二甲替乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、ε-己内酰胺、N-甲基吡咯烷酮。另外,根据需要,只要可以得到透明的显影液,维持感光性组合物在感光层中的充分的溶解性,则可以向上述有机溶剂中添加水。
作为上述显影液的使用形态,没有特别限制,可以根据目的选择对于本领域技术人员来说是公知的适当的形态,例如可以以浴液、水浆(puddle)、喷雾溶液的形态使用。为了将上述感光性组合物的感光层的未固化部分除去,可以将利用旋转刷子的摩擦以及利用湿润海绵的摩擦之类的方法组合。
作为上述显影液的温度,优选为室温~40℃。作为显影时间,随着感光性组合物的具体的种类、显影液的碱度及温度、以及加入了有机溶剂时其种类及浓度等诸多条件而不同,是可变的,然而通常来说,优选为10秒~2分钟。另外,也可以在显影工序之后进行清洗工序。
优选在上述显影工序之后,进行最终的热处理。作为该热处理,可以举出将具有利用曝光进行了光聚合的层(以下称作光固化层)的支承体(基材)在电炉或干燥机内加热、或将光固化层用红外灯照射、或在加热板上加热的方法。加热温度及加热时间根据所用的感光性组合物以及所形成的感光层的厚度来调整。一般来说,优选在加热温度为120℃~250℃下进行5~60分钟。
(感光性组合物的具体的用途)
下面,将举出主要的具体用途,对本发明的感光性组合物的详情进行说明。
<涂覆材料>
作为上述涂覆材料,多使用与聚不饱和单体的预聚物的混合物,也可以追加含有单不饱和单体。上述涂覆薄膜的特性主要由上述预聚物决定,通过适当地改变该预聚物,就可以调整固化后的薄膜的特性。
上述聚不饱和单体作为将上述薄膜设为不溶性的交联剂发挥作用。
另外,上述单不饱和单体作为反应性稀释剂发挥作用,可以不使用溶剂地用于降低粘度。
不饱和聚酯树脂通常是以单不饱和单体使用的,优选与苯乙烯一起以双成分体系使用。为了形成光致抗蚀剂,例如经常使用德国专利第2308830号改变中记载的那样的聚马来酰亚胺、聚查耳酮或聚酰亚胺。
本发明的感光性组合物也可以用于放射线固化性粉末涂层(以下有时称作UV固化性粉末涂层)中。上述UV固化性粉末涂层至少含有固体树脂以及具有反应性双键的单体,例如马来酸酯、乙烯基醚、丙烯酸酯、丙烯酰胺、以及它们的混合物。
上述UV固化性粉末涂层可以通过将不饱和聚酯树脂与固体的丙烯酰胺(例如甲基丙烯酰胺乙醇酸甲酯)及本发明的新型肟化合物混合来配制。作为此种UV固化性粉末涂层,例如如M.Wittigand Th.Gohmann的论文“Radiation Curing of Powder Coatings”,Conference Proceedings,RadtechEurope 1933中记载的所示。
另外,作为上述UV固化性粉末涂层,例如也可以如德国专利第4228514号公报及欧洲专利第636669号公报中记载的所示,含有上述粘合剂。上述UV固化性粉末涂层也可以通过至少将不饱和聚酯树脂与固体的丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或乙烯基醚、以及本发明的肟化合物混合来配制。作为添加到此种粉末涂层中的粘合剂,例如可以举出德国专利第4228514号公报及欧洲专利第636669号公报中记载的粘合剂。
作为上述UV固化性粉末涂层,也可以还含有白色或有色的颜料。例如,通过以50质量%以下的浓度使用金红石二氧化钛,就可以得到具有良好的遮盖力的UV固化性粉末涂层。作为其配制步骤,通常来说可以举出例如向金属或木材上的粉末的利用静电或摩擦电的喷雾、利用热的粉末的熔融。另外,还可以举出如下的方法,即,在形成光滑的薄膜后,例如使用中压水银灯、金属卤化物灯或氙灯,利用紫外光及/或可见光对涂层进行UV固化。
上述UV固化性粉末涂层可以通过减慢将粉末粒子熔融后的流动时间而得到光滑、具有强的光泽的涂层,在这一点上,与热固化性粉末涂层相比更为有利。此外,UV固化性粉末涂层与热固化性的相比,可以不降低耐久性地以更低的温度熔融配制。由此,可以作为在对热敏感的基材,例如作为在木材、塑料上的涂层合适地使用。
另外,作为UV固化性粉末涂层,除了本发明的肟化合物以外,作为添加剂可以还含有UV吸收剂。作为其优选的例子,如上述论文的第1~8项中列举的所示。
上述粉末涂层例如可以作为用于在基材上设置保护层的涂覆材料,或者作为用于利用与图像对应的曝光来生成图像的基材的涂覆材料合适地使用。上述的所谓基材例如可以举出木材、纤维、纸、陶瓷、玻璃、塑料(例如聚酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚烯烃、乙酸纤维素)、金属(例如Al、Cu、Ni、Fe、Zn、Mg、Co)、GaAs、Si、SiO2等。
<抗蚀剂材料>
本发明的感光性组合物适于作为如下的照相底板抗蚀剂来使用,即,对于光具有非常高的灵敏度,在碱性水性介质中,可以不溶胀地显影。它们适用于浮雕印刷或平版印刷用的印刷用纸、凹版印刷或丝网印刷用纸的制造;浮雕复制件的制造,例如利用布莱叶盲文点的文本的制造;邮票的制造;化学磨蚀。另外,还适于作为制造集成电路时的微型抗蚀剂使用。此外,该感光性组合物在制造计算机芯片、印制电路板及其他的电气部件或电子部件之时,也可以作为能够进行光制图的绝缘性的层或涂层、封入材料、隔离涂层使用本发明的感光性组合物。此时的层构成、支承体、对基材的处理条件等可以根据使用目的等适当地选择。
本发明的感光性组合物可以用于感光性的热固化性树脂组合物、以及使用了它的抗蚀剂图案的形成方法中。具体来说,优选在用于印制电路板的制造、金属产品的精密工作、玻璃及石制品的蚀刻、塑料产品的浮雕、印刷原版的制造的材料中使用,它们当中,特别优选作为用于印制电路板的阻焊剂使用。另外,特别优选将本发明的感光性组合物用于该印制电路板的形成方法中,即,利用穿过具有图案的光掩模,对感光性组合物或由该感光性组合物构成的感光层进行曝光,将该感光层的非曝光部分显影的工序,来形成阻焊剂图案的方法。
上述阻焊剂是在对印制电路板进行焊接之时,出于防止熔融焊锡粘接在不恰当的部分及保护电路上的目的而使用的。由此,需要具备与基板的高粘接性、绝缘电阻、对焊接温度的耐受性、对溶剂的耐受性、对碱的耐受性、对酸的耐受性、以及对镀覆的耐受性等特性,通过使用本发明的感光性组合物,就可以获得这些优异的特性。
<滤色片>
本发明的感光性组合物由于具有优异的热稳定性,对于由氧造成的阻碍也具有足够的耐受性,因此特别适用于如欧洲专利第320264号公报中记载的那样的滤色片或色彩马赛克体系的形成中。上述滤色片一般来说用于LCD、投影装置、图像传感器等的制造中。此外,上述滤色片例如可以用于电视接收器、视频监视器、计算机的显示装置、图像扫描仪、平坦面板显示技术等中。
上述滤色片一般来说可以通过在玻璃的基板上形成红、绿及蓝色的像素以及黑色的矩阵来制造。在它们的形成工序中,可以使用本发明的感光性组合物。
作为使用了本发明的感光性组合物的滤色片的优选的形成方法,包括:将红、绿及蓝色的着色物质、染料及颜料添加到本发明的感光性组合物中,将上述玻璃的基板用该感光性组合物覆盖涂覆,将该涂层用短时间的热处理干燥而形成感光层的工序;对该感光层利用化学放射线的放射以图案状曝光而形成图案的工序;将其后形成的图案在碱性显影剂水溶液中显影的工序。另外,根据情况,也可以在显影后包括进行热处理的工序。像这样,通过将着色为红、绿及蓝色的感光层在基材的表面上以所需的顺序反复进行上述感光层形成、曝光工序、以及显影工序,就可以制造具有红、绿及蓝色的像素的滤色片。
上述显影工序是通过将在上述曝光工序中未聚合的未固化区域用适当的碱显影液冲洗来进行的。通过反复进行该显影工序,形成具有多种颜色的图像。
利用本发明的感光性组合物,在透明的基板上形成至少一个像素(picture elements),然后,借助从透明的基板的未形成上述的像素的一侧起进行曝光的工序,就可以将上述的像素作为遮光掩模利用。该情况下,例如在对感光层进行前面曝光时,就不需要遮光掩模的位置调整,可以消除由该遮光掩模的位置的偏移造成的弊病。此外,可以将未形成上述的像素的部分全都固化。此外,该情况下,通过局部地使用遮光掩模,还可以将未形成上述的像素的部分的一部分显影并除去。
由于无论在何种情况下,通过使用本发明的感光性组合物,都完全不会在先形成的像素与后形成的像素之间形成间隙,因此适于上述滤色片的形成材料。具体来说,将红、绿及蓝色的着色物质、染料及颜料添加到本发明的感光性组合物中,反复进行形成图像的工序,形成红、绿及蓝色的像素。然后,例如将添加了黑色的着色材料、染料及颜料的感光性组合物赋予整个表面中。其后,通过对该感光层实施全面曝光(或者夹隔遮光掩模的局部曝光),就可以在红、绿及蓝色的像素之间的全部间隙(或遮光掩模的局部的区域以外的整体)中形成黑色的像素。
作为适于包含于上述滤色片用的感光性组合物中的颜料,可以举出加工了的颜料,例如通过向选自丙烯酸系树脂、氯乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、马来酸树脂及乙基纤维素树脂中的至少一种树脂中微细地分散颜料而制造的粉末状或糊状的产品。而且,这些颜料并不限定于滤色片,根据需要也可以用于包含其他用途的所有的本发明的感光性组合物中。
作为上述红色颜料,例如可以优选举出单独的蒽醌型颜料、单独的苝型颜料、或由它们当中的至少一种及重氮型黄色颜料或异吲哚啉型黄色颜料构成的混合物。它们当中,优选单独的使用C.I颜料红177、C.I.颜料红155的任一种,或者优选使用由C.I.颜料红177、C.I.颜料红155及C.I.颜料黄83或者C.I.颜料黄139中的至少一员构成的混合物(所谓“C.I.”对于本领域技术人员来说是公知的,是指可以公开地获得的颜色指数)。
作为上述颜料,还可以优选地举出C.I.颜料红105、144、149、176、177、185、202、209、214、222、242、254、255、264、272;C.I.颜料黄24、31、53、83、93、95、109、110、128、129、138、139、166;C.I.颜料橙43。
作为上述绿色的颜料,例如优选单独地使用卤化酞菁型颜料,或者使用卤化酞菁型颜料与重氮型黄色颜料或异吲哚啉型黄色颜料的组合。它们当中,更优选单独使用C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿37,或者优选由C.I.颜料绿7、C.I.颜料绿36、C.I.颜料绿37、C.I.颜料绿136、以及C.I.颜料黄83或C.I.颜料黄139当中的至少一员构成的混合物。
作为上述绿色颜料的其他的例子,可以优选举出C.I.颜料绿15、25。
作为上述蓝色颜料,例如可以单独地使用酞菁型颜料,或者组合使用酞菁型颜料和二噁嗪型蓝紫色颜料。作为该组合的具体例,可以举出C.I.颜料蓝15:3与C.I.颜料紫23的组合。
作为上述蓝色颜料的其他的例子,可以优选地举出C.I.蓝15:3、15:4、15:6、16、以及60之类的颜料,即,酞菁C.I.颜料蓝15:3或酞菁C.I.颜料蓝15:6。另外,还可以优选地举出C.I.颜料蓝22、28、C.I.颜料紫14、19、23、29、32、37、177及C.I.橙73之类的颜料。
黑色矩阵的光聚合物组合物的颜料优选含有选自碳、钛黑及氧化铁中的至少一员。但是,也可以使用整体上赋予黑色的外观的其他的颜料的混合物。例如,可以单独或组合地使用C.I.颜料黑1号及7号。
对于这些所有的颜色,既可以使用单独一种颜料,也可以使用两种以上的颜料。特别适于上述滤色片的用途的是通过将上述的颜料微细地分散于树脂中而制造的粉末状的加工了的颜料。
作为上述颜料在全部固体成分(上述颜料及树脂的总量)中的含量,优选为5~80质量%,更优选为20~45质量%。
上述滤色片用感光性组合物中的颜料优选具有比可见光的波长(400~700nm)更小的平均粒度,更优选具有小于100nm的平均粒度。
另外,上述颜料通过根据需要用分散剂对上述颜料进行前处理,改善液体配合物中的颜料的分散稳定性,就可以提高在感光性组合物中的稳定性。
另外,在滤色片用的感光性组合物中,作为上述光聚合性化合物(a),优选还含有至少一种加成聚合性单体化合物。
作为上述加成聚合性单体化合物,例如可以单独地使用下述的化合物,或者与作为本发明中所用的具有烯键式不饱和双键的加成聚合性单体的其他的单体组合使用。具体来说,可以举出(甲基)丙烯酸叔丁酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-羟基丙基(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、2-乙基-2-丁基丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、聚(氧乙基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯)、三(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、1,4-二异丙烯基苯、1,4-二羟基苯(甲基)丙烯酸酯、癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、苯乙烯、富马酸二烯丙酯、偏苯三酸三烯丙酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酰胺、以及二甲苯双(甲基)丙烯酰胺。
此外,可以使用具有羟基的化合物(例如2-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基丙基(甲基)丙烯酸酯)、聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯与1,6-己二异氰酸酯、甲苯二异氰酸酯及二甲苯二异氰酸酯之类的二异氰酸酯的反应产物。
它们当中,特别优选举出季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、以及三(2-丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯。
作为上述滤色片用感光性组合物的在光聚合性组合物中的单体的总量,相对于感光性组合物的全部固体含量,即,相对于除去溶剂以外的全部的成分的总量,优选为5~80质量%,更优选为10~70质量%。
在上述滤色片用感光性组合物中,作为粘合剂(e),优选添加可溶于碱性水溶液中、不溶于水中的化合物,作为这些化合物,例如可以使用在分子内具有至少一个酸基及至少一个可以聚合的不饱和键的聚合性化合物的均聚物、或其两种以上的共聚物、以及具有可以与这些化合物共聚的至少一个不饱和键而完全不含有酸基的至少一个聚合性化合物的共聚物。此种化合物可以通过使在分子内具有一个以上的酸基以及至少一个可以聚合的不饱和键的至少一个低分子化合物、与具有可以与这些化合物共聚的至少一个不饱和键而完全不含有酸基的至少一个聚合性化合物共聚来得到。
作为上述酸基,例如可以举出-COOH基、-SO3H基、-SO2NHCO-基、酚性羟基、-SO2NH-基、CO-NH-CO-基。它们当中,特别优选举出具有-COOH基的高分子化合物。
作为上述滤色片用感光性组合物中的粘合剂,优选作为加成聚合性单体单元含有至少一种丙烯酸、甲基丙烯酸等之类的不饱和有机酸化合物的粘合剂;或含有碱可溶共聚物的有机聚合物。
作为用于上述聚合物的共聚用单体,优选还使用不饱和有机酸酯化合物,例如丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸苄酯、苯乙烯等,使得碱的溶解度、粘接的牢固度、化学的耐受性等之类的特性均衡。
有机聚合物粘合剂例如也可以是如美国专利第5368976号说明书中记载的那样的无规共聚物及嵌段共聚物的任一种。
作为上述在分子内具有至少一个酸基及至少一个聚合性不饱和键的聚合性化合物,可以举出如下所示的化合物。
作为上述在分子内具有至少一个-COOH基及一个或两个以上的可以聚合的不饱和键的聚合性化合物,例如可以举出丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、马来酸、乙烯基苯甲酸、肉桂酸。
作为上述具有至少一个-SO3H基及至少一个聚合性不饱和键的聚合性化合物,例如可以举出乙烯基苯磺酸、2-(甲基)丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸。
作为上述具有至少一个-SO2NHCO-基及一个或两个以上的聚合性不饱和键的聚合性化合物,例如可以举出N-甲基磺酰基(甲基)丙烯酰胺、N-乙基磺酰基(甲基)丙烯酰胺、N-苯基磺酰基(甲基)丙烯酰胺、N-(对甲基苯基磺酰基)(甲基)丙烯酰胺。
作为在分子内具有至少一个酚性羟基及至少一个可以聚合的不饱和键的聚合性化合物,例如可以举出羟基苯基(甲基)丙烯酰胺、二羟基苯基(甲基)丙烯酰胺、羟基苯基羰基氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、羟基苯基氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、羟基苯基硫代乙基(甲基)丙烯酸酯、二羟基苯基羰基氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、二羟基苯基氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、二羟基苯基硫代乙基(甲基)丙烯酸酯。
作为在分子内具有至少一个-SO2NH-基及至少一个聚合性不饱和键的聚合性化合物的例子,可以举出以下述式(a)或(b)表示的化合物。
CH2=CHA1-Y1-A2-SO2-NH-A3    式(a)
CH2=CHA4-Y2-A5-NH-SO2-A6    式(b)
其中,上述式(a)及(b)中,Y1及Y2分别表示-COO-、-CONA7-及单键的任一个,A1及A4分别表示H及CH3的任一个,A2及A5分别根据情况不同,表示具有取代基环亚烷基、亚芳基或亚芳烷基的C1~C12亚烷基;***了醚基及硫醚基的C2~C12亚烷基;环亚烷基;亚芳基;亚芳烷基的任一个,A3及A6分别表示H;根据情况不同具有取代基环烷基、芳基或芳烷基的C1~C12烷基的任一个,A7表示H;根据情况不同表示具有取代基环烷基、芳基或芳烷基的C1~C12烷基的任一个。
作为上述具有至少一个-CO-NH-CO-基及至少一个聚合性不饱和键的聚合性化合物,例如可以举出马来酰亚胺、N-丙烯酰基-丙烯酰胺。这些聚合性化合物利用聚合成为含有-CO-NH-CO-基的高分子化合物,与主链一起形成环。
此外,也可以使用分别具有-CO-NH-CO-基的甲基丙烯酸衍生物及丙烯酸衍生物。作为此种甲基丙烯酸衍生物及丙烯酸衍生物,例如可以举出N-乙烯基甲基丙烯酰胺、N-丙酰基甲基丙烯酰胺、N-丁酰基甲基丙烯酰胺、N-戊酰基甲基丙烯酰胺、N-癸酰基甲基丙烯酰胺、N-十二烷酰基甲基丙烯酰胺、N-苯甲酰基甲基丙烯酰胺、N-(对甲基苯甲酰基)甲基丙烯酰胺、N-(对氯苯甲酰基)甲基丙烯酰胺、N-(萘基羰基)甲基丙酰胺、N-(苯基乙烯基)甲基丙烯酰胺、4-甲基丙烯酰基氨基酞酰亚胺、以及具有与它们相同的取代基的丙烯酰胺衍生物。这些聚合性化合物聚合而成为在侧链中具有-CO-NH-CO-基的化合物。
作为上述具有一个或两个以上的聚合性不饱和键而完全不含有酸基的聚合性化合物,例如可以举出选自(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酰胺、丙烯酸化合物、乙烯基醚、乙烯基酯、苯乙烯及巴豆酸酯中的具有聚合性不饱和键的化合物,具体来说,可以举出(甲基)丙烯酸烷基酯或取代(甲基)丙烯酸烷基酯之类的(甲基)丙烯酸酯,例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸叔辛酯、(甲基)丙烯酸氯乙酯、(甲基)丙烯酸烯丙酯、2-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基丙基(甲基)丙烯酸酯、4-羟基丁基(甲基)丙烯酸酯、2,2-二甲基-3-羟基丙基(甲基)丙烯酸酯、5-羟基戊基(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷单(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇单(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苄酯、甲氧基苄基(甲基)丙烯酸酯、氯苄基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸糠酯、四氢糠基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯;(甲基)丙烯酸芳酯,例如(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯及(甲基)丙烯酸萘酯;(甲基)丙烯酰胺类,例如(甲基)丙烯酰胺、N-烷基(甲基)丙烯酰胺(烷基例如包含甲基、乙基、丙基、丁基、叔丁基、庚基、辛基、乙基己基、环己基、羟乙基及苄基)、N-芳基(甲基)丙烯酰胺(芳基例如包含苯基、甲苯基、硝基苯基、萘基及羟基苯基)、N,N-二烷基(甲基)丙烯酰胺(烷基例如包含甲基、乙基、丁基、异丁基、乙基己基及环己基)、N,N-二芳基(甲基)丙烯酰胺(芳基例如包含苯基)、N-甲基-N-苯基(甲基)丙烯酰胺、N-羟基乙基-N-甲基(甲基)丙烯酰胺、N-2-乙酰胺乙基-N-乙烯基(甲基)丙烯酰胺、N-(苯基磺酰基)(甲基)丙烯酰胺、N-(对甲基苯基磺酰基)(甲基)丙烯酰胺。
另外,可以举出烯丙基酯,例如乙酸烯丙酯、己酸烯丙酯、辛酸烯丙酯、月桂酸烯丙酯、棕榈酸烯丙酯、硬脂酸烯丙酯、苯甲酸烯丙酯、乙酰乙酸烯丙酯及乳酸烯丙酯;烯丙基氧基乙醇之类的烯丙基化合物;烷基乙烯基醚(烷基例如包含己基、辛基、癸基、乙基己基、甲氧基乙基、乙氧基乙基、氯乙基、1-甲基-2,2-二甲基丙基、2-乙基丁基、羟乙基、羟基乙氧基乙基、二甲基氨基乙基、二乙基氨基乙基、丁基氨基乙基、苄基、以及四氢糠基);乙烯基芳基醚(芳基例如包含苯基、甲苯基、氯苯基、2,4-二氯苯基、萘基及蒽基)之类的乙烯基醚。
此外,还可以举出乙烯基酯,例如丁酸乙烯酯、异丁酸乙烯酯、三甲基乙酸乙烯酯、二乙基乙酸乙烯酯、戊酸乙烯酯、己酸乙烯酯、氯乙酸乙烯酯、二氯乙酸乙烯酯、甲氧基乙酸乙烯酯、丁氧基乙酸乙烯酯、苯基乙酸乙烯酯、乙酰乙酸乙烯酯、乳酸乙烯酯、乙烯基-b-苯基丁酸酯、环己甲酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯、水杨酸乙烯酯、氯苯甲酸乙烯酯、四氯苯甲酸乙烯酯、以及萘甲酸乙烯酯。
另外,可以举出苯乙烯;烷基苯乙烯,例如甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、异丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、环己基苯乙烯、癸基苯乙烯、苄基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、三氟甲基苯乙烯、乙氧基甲基苯乙烯及乙酰氧基甲基苯乙烯;烷氧基苯乙烯,例如甲氧基苯乙烯、4-甲氧基-3-甲基苯乙烯及二甲氧基苯乙烯;卤代苯乙烯之类的苯乙烯类,例如氯苯乙烯、二氯苯乙烯、三氯苯乙烯、四氯苯乙烯、五氯苯乙烯、溴苯乙烯、二溴苯乙烯、碘苯乙烯、氟苯乙烯、三氟苯乙烯、2-溴-4-三氟甲基苯乙烯及4-氟-3-三氟甲基苯乙烯。
另外,可以举出巴豆酸烷基酯之类的巴豆酸酯,例如巴豆酸丁酯、巴豆酸己酯及单巴豆酸甘油酯。
另外,可以举出衣康酸二烷基酯,例如衣康酸二甲酯、衣康酸二乙酯及衣康酸二丁酯;马来酸或马来酸二烷基酯,例如马来酸二甲酯及马来酸二丁酯;(甲基)丙烯腈。
另外,也可以使用羟基苯乙烯均聚物或共聚物、或酚醛清漆型酚醛树脂,例如聚羟基苯乙烯及聚(羟基苯乙烯-co-乙烯基环己醇)、酚醛清漆树脂、甲酚线型酚醛树脂、以及卤化热塑性酚醛树脂。更具体来说,可以举出甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物(例如与作为共聚用单体的苯乙烯的马来酸酐共聚物、及马来酸共聚物、以及局部酯化了的马来酸共聚物,分别例如记载于日本特公昭59-44615号公报(只用于本说明书中的用语“特公”是指日本专利公告公报)、日本特开昭54-34327号公报、日本特开昭58-12577号公报、日本特开昭54-25957号公报、日本特开昭59-53836号公报、日本特开昭59-71048号公报、日本特开昭60-159743号公报、日本特开昭60-258539号公报、日本特开平1-152449号公报、日本特开平2-199403号公报及日本特平2-199404号公报中,这些共聚物例如可以再与像美国专利第5650263号说明书中公开的那样的胺反应。
此外,可以使用在侧链中具有羧基的纤维素衍生物,其中,特别优选举出(甲基)丙烯酸苄酯与(甲基)丙烯酸的共聚物、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸、以及例如美国专利第4139391号说明书、日本特公昭59-44615号公报,日本特开昭60-159743号公报及60-258539号公报中记载的那样的其他的单体的共聚物。
上述的有机聚合物当中,关于具有羧酸基的聚合物,可以使羧酸基的几个或全部与(甲基)丙烯酸缩水甘油酯或(甲基)丙烯酸环氧酯反应,出于提高感光度、覆盖薄膜强度、涂覆溶剂及药品耐受性、以及与基材的粘接力的目的,得到光聚合性有机聚合物。这些光聚合性有机聚合物例如可以举出在日本特公昭50-34443号公报、日本特公昭50-34444号公报、美国专利第5153095号说明书、T.Kudo等的J.Appl.Phys.,Vol.37(1998),p.3594-3603、美国专利第5677385号、美国专利第5650233号说明书中公开的聚合物。
作为上述粘合剂的质均分子量,优选为500~1000000,更优选为3000~1000000,特别优选为5000~400000。
这些粘合剂既可以单独使用,也可以并用两种以上。
作为上述感光性组合物中的粘合剂的含量,相对于全部固体成分,优选为10~95质量%,更优选为15~90质量%。
上述滤色片中,也可以还含有离子性杂质捕捉剂,例如具有环氧基的有机化合物。作为感光性组合物中的离子性杂质捕捉剂的含量,相对于全部固体成分,优选为0.1~10质量%。
上述滤色片中,作为上述颜料及上述离子性杂质捕捉剂的组合,例如优选欧洲专利第320264号公报中所示的。即,可以取代上述欧洲专利第320624号公报中记载的滤色片的感光性组合物中的聚合引发剂,添加使用作为本发明的光引发剂的肟化合物。
在本发明的感光性组合物中,可以还含有利用酸,例如日本特开平10-221843号公报中记载的酸活化的交联剂、以及利用加热或放射线生成酸而将交联反应活化的化合物。
本发明的感光性组合物中,也可以含有隐颜料(latent pigment)。该隐颜料是通过将含有它的感光性的图案或涂层热处理而变换为微细地分散的颜料的物质。上述热处理可以在含有隐颜料的感光层的曝光后或显影后实施。此种隐颜料例如可以举出美国专利第5879855号说明书中记载的那样的、可以使用化学的、热的、光分解性或放射线诱导的方法变换为不溶性的颜料的可溶性颜料前体。此种隐颜料的变换可以在化学线曝光之时,或者通过向感光性组合物中添加酸性化合物或生成酸的化合物而增强。由此,也可以制造在本发明的感光性组合物中含有上述隐颜料的滤色片。
作为上述滤色片以及该滤色片用的感光性组合物的配合及加工条件,例如记载于T.Kudo等,Jpn.J.Appl.Phys.Vol.37(1998)3594;T.Kudo等,J.Photopolym.Sci.Technol.Vol 9(1996)109;K.Kobayashi,Solid StateTechnol.Nov.1992,p.S15-S18;美国专利第5368976号说明书;美国专利第5800952号说明书;美国专利第5882843号说明书;美国专利第5879855号说明书;US5866298号说明书;美国专利第5863678号说明书;日本特开平6-230312号公报;欧洲专利第320264号公报;日本特开平9-269410号公报;日本特开平10-221843号公报;日本特开平1-090516号公报;日本特开平10-171119号公报;美国专利第5821016号说明书、美国专利第5847015号说明书、美国专利第5882843号说明书;美国专利第6719008号说明书;欧洲专利第881541号公报或欧洲专利第902327号公报中。
可以将本发明的肟化合物用于滤色片用感光性组合物中,例如用于上述的例子中所述的感光性组合物中,或将该感光性组合物中的已知的光引发剂部分地或全部替换为本发明的肟化合物。本发明的新型的肟化合物的使用并不限定于特定的粘合剂树脂、交联剂及上述的滤色片用感光性组合物的配合例,为了形成感光性滤色片油墨或滤色片抗蚀剂,可以与染料、色颜料、隐颜料组合,作为自由基聚合性成分,用于各种用途中。
所以,作为上述滤色片,优选设置红、绿及蓝(RGB)色要素,并且根据情况设置黑色矩阵(全都是在透明基板上由含有感光性树脂及颜料的感光性组合物构成),并且在基板的表面或由感光性组合物构成的滤色片层的表面的任一个上,设置透明电极层。该感光性组合物含有多官能性丙烯酸酯单体、有机聚合物粘合剂、以及作为光聚合引发剂的以上述通式(1)表示的肟化合物剂而成。上述单体及粘合剂成分以及颜料可以使用如前所述的材料。另外,在滤色片的制造中,上述透明电极层可以在透明基板的表面上涂布组合物而形成,或者在红、绿及蓝色滤色片层及黑色矩阵的表面涂布组合物而形成。作为上述透明基板,例如可以在玻璃基板的表面设置上述电极层。
另外,为了改善滤色片的对比度,优选在RGB三色的各像素间形成黑色矩阵。
另外,作为使用感光性组合物形成黑色矩阵,并且在透明基板上形成将红、绿及蓝色区域分离的黑色图案的其他的不同方法,有如下的方法,即,不是将黑色感光性组合物以光刻方式成图案状曝光(即穿过适当的掩模),而是使用无机黑色矩阵。此种无机黑色矩阵是利用恰当的图像方法形成的,例如,通过蚀刻未被抗蚀剂保护的区域的无机层,然后除去残留抗蚀剂而形成。通过利用使用了该抗蚀剂的光刻图案化,就可以利用透明基板上的堆积金属(即被溅射的铬)的薄膜来形成无机黑色矩阵。
在上述滤色片制造方法中,作为黑色矩阵的形成方法的其他不同的以往方法,有在上述红、绿及蓝(RGB)色滤色片层的形成之前在透明基板上直接涂布黑色矩阵用感光性组合物的方法;或在基板上形成了上述RGB滤色片层后涂布黑色矩阵用感光性组合物的方法。
如美国专利第5626796号说明书的液晶显示装置用的滤色片的不同的实施方式中所示,可以将黑色矩阵涂布于设置了RGB滤色片层的基板的相反一侧的面上。通过采用此种方式,黑色矩阵就被利用液晶层与RGB滤色片层分离。
在涂布了RGB滤色片层,以及根据情况涂布了黑色矩阵后,在它们的表面形成上述透明电极层的情况下,可以在电极层的形成之前,例如像美国专利第5650263号说明书中记载的那样,在RGB滤色片层的表面上作为保护层涂布形成覆盖膜。
作为上述保护层的形成材料,使用感光性树脂或热固化性树脂组合物。通过作为上述保护层的形成材料使用本发明的感光性组合物,就可以获得平坦性、硬度、药品耐受性、耐热性、特别是可见区域的透过性、与基板的粘接性优异的保护层,并且适于在保护层的表面例如还设置ITO薄膜等透明传导性薄层的情况。在上述保护层的制造中,需要将保护层的不需要的部分,例如在切割基板的划线上或固体图像传感器的焊盘上,如日本特开昭57-42009号公报、日本特开平1-130103号公报及1-134306号公报中所记载的那样,应当从基板上除去。而且,使用以往公知的热固化性树脂,很难在切割基板的划线上或固体传感器的焊盘上以外的部分选择性地以高精度形成保护层。但是,通过使用本发明的感光性组合物,就可以很容易地利用光刻除去保护层的不需要部分。
使用了本发明的感光性组合物的滤色片并不限定于上述构成及制造方法,只要是形成红、绿及蓝色像素以及黑色矩阵的,则既可以使用以往公知的任何加工方法,也可以设置保护层、透明电极层、其他的附加的层,滤色片的设计无论是哪种都可以。
本发明的感光性组合物可以适用于形成滤色片,然而并不限定于该用途。也可以同样地适用于显示的用途或显示要素的记录材料、抗蚀剂材料、保护层、电介质层、涂料以及印刷油墨等中。
<液晶显示装置>
本发明的感光性组合物也可以适用于制造液晶显示装置,更具体来说,用于制造包含作为开关设备具有薄膜晶体管(TFT)的有源矩阵型、以及没有开关设备的无源矩阵型的显示装置的反射型液晶显示装置的层间绝缘层或电介质层。
近年来,液晶显示装置由于其厚度薄以及质轻,例如广泛地用于携带电视机及通信用终端设备中。不需要使用背光灯的反射型液晶装置由于极薄极轻,可以有意地削减耗电,因此需求特别多。但是,即使从现在可以利用的透过型彩色液晶显示装置中除去背光灯,在显示装置的基板上加上光反射板,光的利用效率也很低,产生无法具有实用的明亮度的问题。
作为解决该问题的对策,为了提高光的利用效率,提出过各种各样的反射型液晶显示装置。例如,将任一种反射型液晶显示装置设计为包含具有反射功能的像素电极。
上述反射型液晶显示装置包含绝缘性的基板、与该绝缘物质拉开间隔地相面对的基板而成。作为其制造方法,是将上述基板间的空间用液晶来填充。在上述绝缘性基板上形成栅电极,将该栅电极与绝缘性基板双方用栅绝缘薄膜覆盖。然后,在栅绝缘薄膜上在栅电极的上方形成半导体层。继而,将电源电极及漏电极与半导体层相接地形成于栅绝缘薄膜上。通过上述电源电极、漏电极、半导体层以及栅电极相互协动,而构成作为开关设备的底栅型TFT。
将上述电源电极、漏电极、半导体层以及栅绝缘薄膜覆盖地形成层间绝缘薄膜。另外,在上述漏电极上的整个层间绝缘薄膜上形成接触孔。在该层间绝缘薄膜和接触孔的内侧的壁双方中形成铝制的像素电极。通过如此形成,TFT的漏电极就经由层间绝缘薄膜与像素电极接触。上述层间绝缘层一般来说具有粗糙的表面,因而像素电极将光扩散,被设计为作为可以获得更宽的视角(可视角)的反射板发挥作用。
上述反射型液晶显示装置因像素电极作为光反射板发挥作用,而可以明显地提高使用光所致的效果。
上述的反射型液晶显示装置中,上述层间绝缘薄膜被利用照相平版印刷法设计为具有凹凸。为了形成该凹凸的微米量级的微细的形状,并且加以控制,将表面粗糙化,形成上述接触孔,可以使用采用了正片及负片光致抗蚀剂的照相平版印刷法。本发明的感光性组合物特别适于这些光致抗蚀剂的形成。
<液晶显示装置用的间隔件>
本发明的感光性组合物还可以适用于控制液晶显示面板内的液晶部分的单元间隙的间隔件的制造。由于经由液晶显示装置内的液晶层透过或反射的光的特性依赖于液晶单元间隙,因此像素阵列整体的厚度的精度以及均匀度是左右液晶显示装置组件的性能的重要的因素。上述液晶单元中,该液晶单元内的基板间的间隔通过将直径为数微米的玻璃或聚合物的球体作为间隔件分散于基板之间而保持一定。所以,这些间隔件是为了将基板间的距离保持为一定的值而保持在基板间的材料,该距离由间隔件的直径决定,该间隔件具有确保基板间的最小的间隔的效果,即,具有防止基板间的距离的减少的效果。
但是,即使设置间隔件,也无法防止基板被以大的间隔相互隔开,即,无法防止基板间的距离的增大。此外,在使用间隔件珠子的以往方法中,还会产生难以使间隔件珠子的直径均匀、或将间隔件珠子均等地分散于面板上的问题,并且会产生亮度及/或光学的开口度随着像素阵列区域的间隔件的位置而减少的问题。
近年来,对于具有大型的像素显示区域的液晶显示装置寄予了很大的关注。但是,因液晶单元的区域增大,容易产生构成液晶单元的基板的变形。液晶的层结构有因基板的变形的原因而被破坏的倾向。所以,在为了将基板间的间隔保持为一定而使用了上述间隔件的情况下,也难以实施具有大型的像素显示区域的液晶显示装置。
为了解决该问题,取代上述的将间隔件珠子分散的方法,而提出在液晶单元间隙中形成柱状的间隔件的方法。该方法中,将柱状的树脂作为间隔件,形成于像素阵列区域与对置电极之间的区域中,形成规定的单元间隙。在该形成中,利用使用了具有粘接特性的感光性组合物的照相平版印刷法来进行,例如一般用于滤色片的制造工序中。该形成柱状的间隔件的方法与上述使用间隔件珠子的惯用的方法相比,在可以自由地控制间隔件的位置、数目及高度的方面是有利的。在彩色液晶显示面板中,在滤色片要素的黑色矩阵下的非成像区域中形成此种柱状的珠子。由此,使用感光性组合物形成的间隔件就不会减少亮度及光学的开口度。
作为用于用上述滤色片用间隔件来形成保护层的感光性组合物,公开于日本特开2000-81701号公报中。用于上述间隔件的膜状的感光性组合物(光致抗蚀剂)还公开于日本特开平11-174459号及11-174464号公报中。如这些文献中所记载的那样,液体及膜状光致抗蚀剂至少含有碱或酸可溶性粘合剂聚合物、自由基聚合性单体、以及自由基引发剂而成,根据需要,也可以还含有环氧化物及羧酸之类的热交联性成分。
作为使用本发明的感光性组合物形成间隔件的工序,如下所示。即,将感光性组合物涂布于基板上,例如涂布于滤色片面板上,在将基板预烘焙后,穿过掩模将其曝光。然后,将基板用显影剂显影,图案化,形成所需的间隔件。在上述感光性组合物含有热固化性成分时,实施后烘焙,使在上述操作中形成的图案热固化。
本发明的感光性组合物由于灵敏度高,因此适于制造如上所述的液晶显示装置用的间隔件。
<微透镜阵列>
本发明的感光性组合物还适于制造液晶显示面板、图像传感器等中所用的微透镜阵列。上述微透镜阵列被用于检测器、显示装置、以及发光设备(例如发光二极管、横向腔面及垂直腔面激光器)之类的有源光电子工程设备中,是用于提高它们的光学的输入输出的质量的无源光学部件。该微透镜阵列的应用的领域很宽,网罗远程通信、信息技术、视听觉服务、太阳能电池、检测器、固体光源、光学的相互联络之类的领域。
现在的光学装置***使用各种手法来实现微透镜阵列与微光学设备之间的有效的结合。
上述微透镜阵列是为了在非发光性的显示设备,例如在液晶显示设备的像素的区域中,将照明光聚光,提升显示设备的亮度而使用的;或为了将入射光聚光而使用;或例如为了在传真机等中所用的行图像传感器的光电转换区域中形成图像,作为提高这些设备的灵敏度的机构而使用;或为了形成印刷在液晶打印机或发光二极管(LED)打印机中所用的感光机构上的图像而使用。
作为上述微透镜阵列的最为普通的用途,是电荷耦合设备(CCD)之类的固体图像感受性设备,是为了提高这些光检测器阵列的效率而使用的。该光检测器阵列中,在各检测器元件或像素中,要求捕集尽可能多的光。如果在各像素的上端安装微透镜,则透镜就会捕集进入的光,在比透镜的大小更小的动作区域中形成其像。
根据以往的技术,微透镜阵列例如可以利用如下所示的方法来制造。
(1)将平面的配置的微透镜图案利用惯用的照相平版印刷手法等描绘在热塑性树脂上,然后将热塑性树脂加热到超过该树脂的软化点的温度,使之具有流动性,由此在图案的边缘产生垂挂(所谓的“再流动”),从而获得凸透镜的方法。(参照日本特开昭60-38989号、日本特开昭60-165623号、日本特开昭61-67003号及日本特开2000-39503号公报)。该方法中,在所用的热塑性树脂为感光性的情况下,可以利用该树脂的曝光获得透镜的图案。
(2)使用成形用模具或压模,利用塑料或玻璃来形成透镜的方法。该方法中,作为透镜材料,可以使用光固化性树脂及热固化性树脂(参照国际公开专利第99/38035号公报)。
(3)在使用定心装置,将感光性组合物以所需的图案曝光时,未反应单体从非曝光区域向曝光区域移动,其结果是,曝光区域膨胀,从而形成凸透镜的方法[例如参照Journal of the Research Group in MicroopticsJapanese Society of Applied Physics,Colloquium in Optics,Vol.5,No.2,pp.118-123(1987)及Vol.6,No.2,pp.87-92(1988)]。
该方法中,在支承基板的上面,形成由感光性组合物构成的感光层。其后,使用另外的遮光掩模,用水银灯等的光将感光层的上面照明,将感光层曝光。其结果是,感光层的曝光部分以凸透镜的形状膨胀,形成具有多个微透镜的聚光层。
(4)将感光性组合物利用接近式曝光的手法曝光,得到凸透镜的方法。该方法中,通过不使光掩模与树脂接触地在图案边缘产生模糊,而将光化学反应产物的量根据图案边缘的模糊的程度来分布(例如参照日本特开61-153602号公报),来获得上述凸透镜。
(5)通过将感光性组合物以特定的强度分布来曝光,根据光的强度形成任意的分布图案的折射率,来产生透镜效果的方法(例如参照日本特开昭60-72927号公报及日本特开昭60-166946号公报)。
本发明的感光性组合物在上述(1)~(5)的方法的任意一项中,都可以作为形成微透镜阵列之时的光固化性树脂组合物使用。
另外,作为其他的不同方法,还存在很多利用光致抗蚀剂之类的热塑性树脂来形成微透镜的方法。例如,由Popovic等人作为SPIE 898,pp.23-25(1988)这样的参考文献出版。该手法被称作再流动手法,包括如下的工序,即,将透镜的印迹(footprint)例如利用使用了光致抗蚀剂之类的感光性树脂的照相平版印刷法限定于热塑性树脂中,然后将该材料超过其再流动温度地加热。光致抗蚀剂的岛被利用表面张力拉入具有与再流动前的最初的岛相等的体积的球形帽内。该帽是平凸微透镜。该手法的长处在于如下的方面,即,可以简单地形成,可复制性、发光性高,能够直接与光检测用的光电子设备的上端一体化。
根据需要,也可以在再流动之前,在矩形的图案化了的透镜组件上形成外套层,没有再流动工序中的向球形帽中的再流动,从而避免树脂的岛的中央处的垂挂形成。外套层作为永久的保护层发挥作用。另外,也可以利用本发明的感光性组合物来形成涂覆层。
上述微透镜阵列例如也可以使用如欧洲专利第0932256A2号公报中所公开的那样的成形用模具或压模来制作。作为制造平面微透镜阵列的方法,如下所示。
(1)在上面稠密地配置了凸面部分的压模的成形面上,涂覆脱模剂,将具有高折射率的光固化性合成树脂材料放置于压模的成形面上。然后,通过将玻璃基板向合成树脂材料推压,而使合成树脂材料伸展,通过利用紫外线的照射或加热使合成树脂材料固化,而以形成凸微透镜的方式成形。其后,剥除压模。然后,将具有低折射率的光固化性合成树脂材料作为粘接层再涂覆于凸微透镜的表面,通过将作为外罩玻璃板制作的玻璃基板向合成树脂材料推压而使合成树脂材料伸展。然后,通过使合成树脂材料固化,而形成平面微透镜阵列。
(2)如美国专利第5969867号说明书中所公开的那样,将使用了成形模具的类似的方法应用于棱镜片的制造,然而它是作为彩色液晶显示面板用的背光灯组件的一部分,为了提高亮度而使用的。在背光灯的发光面上,安装棱镜片,形成棱镜列。为了制造上述棱镜片,将活性能量射线固化性组合物注入用金属、玻璃或树脂制作的透镜成形用模具中而使之伸展,形成棱镜列等透镜形状,其后,将透明的基板片放置于其上,穿过基板片照射来自活性能量射线放出源的活性能量射线。然后,将所制造的透镜片从透镜成形用模具上脱模,得到透镜片。
在形成上述透镜切片中所用的活性能量射线固化性组合物需要具有包括与透明的基板的粘接性、以及恰当的光学特性的各种各样的特性。至少在利用以往技术的光致抗蚀剂形成的微透镜阵列当中,有光学谱图的蓝色端的光学的透过率差的,对于透镜的用途来说是不适合的。
本发明的感光性组合物由于无论是在热力学上还是光化学上,都具有很低的黄化性,因此可以消除以往的不佳状况,适于上述微透镜阵列的制造。
<等离子体显示面板>
本发明的感光性组合物也适于等离子体显示面板(PDP)的制造法中所用的照相平版印刷工序中,特别是用于障壁(barrier rib)、荧光层及电极的图像形成法的。
上述PDP是用于利用气体放电所致的发光来显示图像及信息的平面显示装置。众所周知,该装置根据面板的构成及操作方法分为两种,即DC(直流)型和AC(交流)型。
例如,对DC型彩色PDP的原理进行简单说明。该DC型彩色PDP中,将2片透明的基板(一般来说是玻璃板)夹隔着空间配置,该空间被***透明基板之间的格子状的障壁分割为多个微细的单元。在各个单元中,密闭有放电气体,例如He或Xe。在各单元的后方的壁上,存在荧光层,一旦被利用放电气体的放电生成的紫外光激发,就会发出由三原色构成的可见光。在2片基板的内面,跨越相关联的单元相互面对地配置有电极。一般来说,阴极由NESA玻璃之类的透明的导电性材料的薄膜形成。在对形成于前壁及后壁上的这些电极之间施加了高电压时,密闭于单元内的放电气体就会引发等离子体放电,结果由所放射的紫外光将红、蓝及绿色的荧光元件激发而发光,显示图像。在全色显示体系中,分别将上述的红、蓝及绿色的三原色的三种荧光元件连带地形成一个像素。
上述DC型PDP的单元被格子结构的障壁分割,而上述AC型PDP的单元被相互平行地配置于基板面上的障壁分割。无论在哪种情况下,单元都是被障壁分割。这些障壁是出于如下目的而设置的,即,通过将发光放电封入固定了的区域内,而排除掉相邻的放电单元间的错误的放电或交叉串扰(crosstalk),确保理想的显示。
<印刷油墨>
光固化在印刷技术中非常重要,这是因为,油墨的干燥时间对于图画产品的生产速度来说是重要的因素,要求1秒的几分之一的量级的生产。UV固化性油墨对于丝网印刷及胶版印刷尤其重要,本发明的感光性组合物可以作为此种UV固化性油墨的材料合适地使用。
<印刷原版>
基于上述印刷油墨中所说明的理由,本发明的感光性组合物也非常适于印刷原版的制造。作为该用途中所用的感光性组合物,例如包含可溶性的直链聚酰胺或苯乙烯/丁二烯及/或苯乙烯/异戊二烯橡胶、具有羧基的聚丙烯酸酯或聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇或氨基甲酸酯丙烯酸酯;与可以光聚合的单体,例如丙烯酰胺及/或甲基丙烯酰胺、或丙烯酸酯及/或甲基丙烯酸酯的混合物、以及光引发剂而成。用这些干燥或湿润体系的薄膜及平板,将印刷后的原版的负片或正片覆盖而将其曝光,然后将非固化部分使用合适的溶剂或水溶液洗掉。
<其他的涂覆材料>
作为可以适用本发明的感光性组合物的其他的领域,是将金属的表面涂覆的技术领域,例如适用于金属的板以及管、罐、瓶的帽的涂覆。另外,在将以PVC作为基材的地板或墙壁的覆盖物的聚合物涂层光固化的技术中,可以适用本发明的感光性组合物。另外,作为将纸涂层光固化的例子,可以举出标签、唱片封套及书皮的无色清漆涂刷,在它们当中也可以适用本发明的感光性组合物。
<复合材料>
就本发明的感光性组合物的用途而言,作为特别合适的用途,是用于使由复合化合物制造的成形品固化。作为该复合化合物,由自支承型基质材料,例如由玻璃纤维织物、织物纤维等制成[参照K.-P.Mieck,T.Reussmann in Kunststoffe 85(1995),366-370],对它们浸渍光固化性的感光性组合物。通过使用含有本发明的新型肟化合物的本发明的感光性组合物来制造包含该复合化合物的成形部件,就可以获得高水准的机械稳定性及耐受性。本发明的新型的肟化合物例如如欧洲专利第7086号公报中所述,也可以作为成形、浸渍及涂覆组合物的光固化剂使用。作为此种组合物的具体例,可以举出对固化活性及耐黄化性附加严格的要件的凝胶涂层树脂、以及纤维强化成形品,例如平面的光扩散面板、或在长度方向或横剖方向具有波浪形的光扩散面板。作为制造此种成形品的手法,例如可以举出手工作业的铺放(lay-up)、喷糊(spray lay-up)、离心注模、或纤维缠绕(filament winding),它们例如记载于P.H.Selden in“Glasfaserverstaerkte Kunststoffe”,p.610,Springer Verlag Berlin-Heidelberg-New York 1967中。作为可以利用这些手法制造的物品,例如可以举出利用玻璃纤维强化塑料进行了双面涂覆的小船、纤维板或粗纸板、管材、容器等。作为成形、浸渍及涂覆组合物的其他例子,可以举出在含有玻璃纤维(GRP)的成形品上的UP树脂凝胶涂层,例如波浪形薄板及纸层薄板。上述纸层薄板是以尿素树脂或蜜胺树脂为基质制作的。在层叠品的制造之前,在支承体(例如薄膜)上形成凝胶涂层。本发明的感光性组合物也可以适用于树脂的注模、或物品例如电子部件的嵌装等。
<其他的用途>
本发明的感光性组合物也可以用于全息图、波导路、光学开关的制造,由于具有良好地产生照射区域与非照射区域之间的折射率的差的优点,因此可以适用于它们的制造。
本发明的感光性组合物也适于作为用于成像手法及信息载体的光学的形成的光固化性组合物使用。此种用途中,如上所述,将设于支承体上的感光层(湿润或干燥)例如穿过光掩模地用UV或可见光像图像那样照射而曝光,将感光层的非照射区域用显影液处理而除去。感光性组合物向金属上的涂布可以利用电沉积来实施。由于曝光区域因交联而变为聚合物,因此不溶于显影液中,残留于支承体上。像这样,恰当的着色就会生成可见的图像。在上述支承体为金属时,可以通过在曝光及显影之后,将非曝光区域蚀刻除去,或进行电镀,来强化上述金属。像这样,就可以制造电子电路及光致抗蚀剂。
在将本发明的感光性组合物用于图像形成材料中的情况下,由于本发明的肟化合物生成所谓的打印图像(printout images),因此可以对图像形成材料赋予利用UV照射引发颜色的变化的优异的性能。在形成此种打印图像时,使用不同的染料及/或其无色形态,作为针对此种打印图像体系的具体例,可以在国际公开专利第96/41240号、欧洲专利第706091号、第511403号公报、美国专利第3579339号、以及第4622286号说明书中找出。
本发明的感光性组合物还可以适用于形成利用逐次层叠法制造的多层电路板的电介质层。
本发明如上所述,为了制造着色及非着色涂料、蜡、粉末涂层、印刷油墨、印刷原版、粘接剂、凝胶涂层、牙科组合物、电子工程用的光致抗蚀剂(例如耐电镀抗蚀剂、抗蚀剂、液状及干燥薄膜双方、用于制造阻焊剂的光致抗蚀剂)、各种显示用途的滤色片,在等离子体显示面板、电发光显示装置、LCD(例如层间绝缘层、间隔件、微透镜阵列)的制造工序中,适于作为用于形成结构(例如障壁、磷层、电极)的抗蚀剂使用。另外,适于作为用于将电气及电子部件封入的组合物使用。另外,还适用于制造磁记录材料、微小机械部件、波导路、光学开关、镀膜用掩模、蚀刻掩模、颜色打样***、玻璃纤维缆线涂层、以及丝网印刷用模板。另外,可以用于利用立体造型(stereo lithography)来制造三维物体。特别适于用作全息记录用的图像记录材料、微细电子电路、脱色材料以及用于图像记录材料的脱色材料、使用了微胶囊的图像记录材料。
(本发明的感光性组合物的光聚合方法)
本发明的感光性组合物在层叠于基材上后,至少进行曝光,根据需要加以显影,进行加热处理等。
[照相材料用层叠体的形成]
例如作为上述照相信息的记录中所用的基材,例如可以举出聚酯的薄膜、乙酸纤维素或聚合物覆盖了的纸。作为用于上述胶版印刷用纸的基材,可以举出进行了特别处理的铝。作为用于上述印制电路的制造的基材,可以举出覆铜叠层体,作为用于集成电路的基板,例如可以举出硅晶片。
作为用于上述照相材料及胶版印刷用纸的感光层的厚度,一般来说为约0.5~10μm,为了形成印制电路,优选为0.1~约100μm。在基板(基材)上涂刷了感光性组合物后,利用干燥将溶剂除去,在基板上形成光致抗蚀剂的涂膜(感光层)。
上述感光性组合物向基材上的涂刷是通过向基材上涂布感光性组合物溶液、溶液或悬浊液来实施的。上述溶剂及其浓度根据感光性组合物的种类及涂覆方法适当地选择。上述溶剂需要为惰性,即,需要不产生与成分的化学反应,在涂刷后,可以在干燥之时除去。
作为上述溶剂,例如优选为酮、醚、酯。具体来说,例如可以优选举出甲乙酮、异丁基甲基酮、环戊酮、环己酮、N-甲基吡咯烷酮、二噁烷、四氢呋喃、2-甲氧基乙醇、2-乙氧基乙醇、1-甲氧基-2-丙醇、1,2-二甲氧基乙醇、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙基乙酸酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯、2-庚酮、2-戊酮、乳酸乙酯。
作为上述感光性组合物溶液的涂布方法,可以举出公知的涂覆方法,例如旋涂、浸涂、刮涂、淋涂、刷涂、喷涂,尤其是静电喷涂及逆转辊涂布;电泳沉积,利用这些手法,可以向基材上均匀地涂布。
也可以通过将上述感光性组合物溶液涂布于暂时柔软的支承体上而形成感光层,将该感光层层叠于最终的基材上,例如层叠于覆铜电路板或玻璃基材上,转印该感光层,从而在基材上形成感光层。
上述感光性组合物溶液的涂布量(感光层的厚度)及基材(层支承体)的性质优选根据用途适当地选择。作为上述感光层的厚度,一般来说,约为0.1μm以上,优选为100μm以上。另外,更优选为0.1μm~1cm,特别优选为0.5~1000μm。
在使用本发明的感光性组合物,首先利用感光性组合物涂刷了基材后,一般来说利用干燥将溶剂除去,使光致抗蚀剂的基本上干燥了的光致抗蚀剂薄膜(感光层)残留于基材上。
[曝光工序]
利用本发明的感光性组合物,可以将感光度调节为约150~600nm的范围,例如190~600nm(UV~可见区域)。作为理想的放射线,例如可以举出日光、来自人工光源的光等。作为它们的光源,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如优选为点光源及阵列(“灯毯lamp carpet”),可以举出碳弧灯、氙弧灯、可以具有金属卤化物的掺杂的(金属卤素灯)、低、中、高及超高压水银灯、用微波激发的金属蒸气灯、准分子灯、超化学线(superactinic)荧光管、荧光灯、氩气白炽灯、电子闪光、照相用闪光灯、发光二极管(LED)、电子束、X射线。上述灯与想要曝光的具有本发明的感光性组合物的基材之间的距离可以根据所需的用途以及灯的种类及功率变动,例如优选为2~150cm。作为上述激光源,例如优选准分子激光器,其中,可以优选举出157nm曝光的F2准分子激光器、248nm的曝光用的KrF准分子激光器、193nm的曝光用的ArF准分子激光器。另外,也可以使用可见区域的激光器。
对具有本发明的感光性组合物的基材,依照图像(imagewise)进行曝光。该曝光有穿过包含规定的图案的光掩模(例如幻灯片、铬掩模、模板掩模、标线片)的曝光、例如通过在用本发明的感光性组合物涂覆了的基材的表面上在计算机控制下移动而进行的曝光等,包含像这样生成图像的利用激光器或光束的曝光双方。适于该目的的UV激光曝光***例如由Etec及Orbotech(DP-100(注册商标)DIRECT IMAGING SYSTEM)提供。此外,作为计算机控制照射,也可以利用电子束来实现。例如也可以像A.Bertsch,J.Y.Jezequel,J.C.Andre在Journal of Photochemistry andPhotobiology A:Chemistry 1997,107,p.275-281中记载的那样,以及像K.-P.Nicolay在Offset Printing 1997,6,p.34-37中记载的那样,使用为了生成数字图像而可以与每个像素对应的液晶制掩模。
[加热处理工序]
在对上述基材依照图像进行了曝光后,在显影之前,优选实施短时间的加热处理(预烘焙)。另外,在显影之后,可以通过进行加热处理(后烘焙),使固化膜固化,除去溶剂。作为上述加热处理中所用的温度,优选为50~250℃,更优选为80~220℃。作为上述加热处理时间,优选为0.25~60分钟。
本发明的感光性组合物例如也可以像德国专利第4013358号公报中记载的那样,追加地用于制造印刷原版或光致抗蚀剂的方法中。此种方法中,在对该组合物依照图像照射之前、与照射同时、或在照射之后,以至少具有400nm的波长的可见光,没有掩模地短时间曝光。
[显影工序]
在进行了上述曝光,进行了加热处理后,将感光层的非曝光区域使用显影液用以往公知的方法除去。
如前所述,本发明的感光性组合物可以利用水性碱或有机溶剂来显影。作为上述水性碱显影液,可以优选举出氢氧化四烷基铵、碱金属硅酸盐、磷酸盐、氢氧化物、碳酸盐的水溶液。也可以根据需要向溶液中加入少量的湿润剂及/或有机溶剂。作为此种可以少量地加入显影液中的代表性的有机溶剂,例如可以举出环己酮、2-乙氧基乙醇、甲苯、丙酮及它们的混合物。
另外,根据基材,也可以将有机溶剂或如上所述的有机溶剂与碱水溶液的混合物作为显影液使用。
作为上述显影液,可以特别优选地举出甲醇、乙醇、2-丙醇、1-丙醇、丁醇、二丙酮、乙二醇单甲醚、乙二醇单***、乙二醇单正丁基醚、二甘醇二甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯、乙酸正丁酯、己醇、丙酮、甲乙酮、环戊酮、环己酮、2-庚酮、2-戊酮、ε-己内酯、γ-丁内酯、二甲替甲酰胺、二甲替乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、ε-己内酰胺、N-甲基吡咯烷酮。根据需要,只要是在可以获得透明的溶液,可以保持感光性组合物的非曝光区域的充分的溶解度的范围内,则也可以向这些溶剂中加入水。
所以,本发明的第一方式的感光性组合物可以适用于具有烯键式不饱和双键的化合物,即具有至少一个烯键式不饱和双键的单体、低聚物或聚合物化合物的光聚合方法中。可以适用于包括如下操作的方法等之中,即,向这些化合物中,作为光聚合引发剂添加以上述通式(1)表示的本发明的肟化合物的至少一种,用电磁放射线,优选波长150~600nm,更优选190~600nm的光、电子束或X射线照射所得的组合物。
本发明的第一方式的感光性组合物还可以提供将至少一方的面用上述的组合物覆盖了的覆盖基材,另外,可以用于包含对覆盖基材进行依照图像的曝光、继而将非曝光部分用显影液除去的工序的浮雕像的照相式制造方法中。依照图像的曝光既可以利用穿过掩模的照射来进行,也可以利用上述的激光束或电子束来进行。其中,优选上述的激光束曝光。
本发明的第一方式的感光性组合物热稳定性良好,挥发性低,另外也可以适用于在空气(氧)的存在下的光聚合。此外,本发明的感光性组合物在光聚合后的黄化很微少,对于用于上述用途来说也是理想的。
《第二方式的感光性组合物》
(1)第二方式的感光性组合物
本发明的第二方式的感光性组合物含有(A)光聚合引发剂、(B)烯键式不饱和化合物、(C)粘结剂、(D)色材、(E)溶剂,根据需要还含有其他的成分。
本发明的第二方式的感光性组合物的固体成分浓度优选为2.5质量%~15质量%,更优选为5质量%~12.5质量%,最优选为7.5质量%~10质量%。如果感光性组合物中的固体成分浓度小于2.5质量%,则为了达成所需的光学浓度而必需的涂布量就会变得过多,不够实用。另外,如果感光性组合物中的固体成分浓度大于15质量%,则无法获得本发明的效果。
<(A)光聚合引发剂>
本发明的第二方式的感光性组合物作为光聚合引发剂,含有以下述通式(A-1)表示的肟化合物、或以本发明的上述通式(1)~(4)表示的肟化合物,根据需要,含有该肟化合物以外的以往公知的光聚合引发剂。而且,作为以上述通式(1)~(4)表示的肟化合物,可以举出如上所述的化合物。
-肟化合物-
本发明的第二方式的感光性组合物的肟化合物以下述通式(A-1)表示。
Figure A20078005228900711
通式(A-1)
其中,上述通式(A-1)中,R1表示酰基、烷基氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种。
作为上述酰基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,然而例如可以举出脂肪族酰基、芳香族酰基、杂芳香族酰基等。
作为上述酰基的总碳数,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,然而优选为2~30,更优选为2~20,特别优选为2~16。
作为上述酰基,也可以再被取代基取代,作为该取代基,例如可以举出烷基氧基、芳氧基、卤原子等。
作为上述酰基的具体例,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出乙酰基、正丙酰基、甲基丙酰基、丁酰基、戊酰基、己酰基、环己烷羰基、辛酰基、癸酰基、十二烷酰基、十八烷酰基、苄羰基(benzylcarbonyl)、苯氧基乙酰基、2-乙基己酰基、氯乙酰基、苯甲酰基、对甲氧基苯甲酰基、2,5-二丁氧基苯甲酰基、1-萘酰基、2-萘酰基、吡啶基羰基、甲基丙烯酰基、丙烯酰基等。
作为上述烷基氧基羰基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择。
作为上述烷基氧基羰基的总碳数,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,然而优选为为2~30,更优选为2~20,特别优选为2~16。
上述烷基氧基羰基也可以再被取代基取代,作为该取代基,例如可以举出烷基氧基、卤原子等。
作为上述烷基氧基羰基的具体例,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出甲氧基羰基、乙氧基羰基、异丙氧基羰基、丁氧基羰基、异丁氧基羰基、烯丙氧基羰基、辛氧基羰基、十二烷氧基羰基、乙氧基乙氧基羰基等。
作为上述芳氧基羰基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择。
作为上述芳氧基羰基的总碳数,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,然而优选为7~30,更优选为7~20,特别优选为7~16。
上述芳氧基羰基也可以再被取代基取代,作为该取代基,例如可以举出烷基氧基、卤原子等。
作为上述芳氧基羰基的具体例,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出苯氧基羰基、2-萘氧基羰基、对甲氧基苯氧基羰基、2,5-二乙氧基苯氧基羰基、对氯苯氧基羰基、对硝基苯氧基羰基、对氰基苯氧基羰基等。
上述通式(A-1)中,R2表示氢原子、烷基、氰基。
作为上述烷基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出甲基、乙基、异丙基、叔丁基、叔辛基等。
上述通式(A-1)中,Ar表示芳香族环及杂芳香族环的任一种。
作为上述芳香族环,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出苯环、萘环、蒽环等。
作为上述杂芳香族环,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出吡咯环、吲哚环、苯并呋喃环、苯并噻吩环等。
n表示0(零)或1的整数,Ar与R2也可以相互连结而形成环。
以上述通式(A-1)表示的肟化合物当中,从灵敏度优异的方面考虑,
优选以下述通式(A-2)表示的化合物。
Figure A20078005228900731
通式(A-2)
其中,上述通式(A-2)中,R1表示酰基、烷基氧基羰基、以及芳氧基羰基的任一种,它们也可以再被取代基取代。R3表示烷基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、卤原子、烷基氧基羰基、硝基、以及氨基的任一种。m表示0以上的整数,在该m表示2以上的整数时,该R3既可以相同,也可以不同,也可以相互连结而形成环。Ar表示芳香族环及杂芳香族环的任一种。A表示4元环、5元环及6元环的任一种,它们也可以再被取代基取代。X表示氧原子及硫原子的任一种。
而且,上述R1及Ar的详情与上述通式(A-1)相同。另外,以上述A表示的4元环、5元环及6元环的详情与上述通式(A-1)中以A表示的4元环、5元环、6元环、以及7元环的5元环及6元环相同。
作为上述酰基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出脂肪族酰基、芳香族酰基、杂芳香族酰基等。
作为上述酰基的总碳数,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,然而优选为2~30,更优选为2~20,特别优选为2~16。
作为上述酰基,也可以再被取代基取代,作为该取代基,例如可以举出烷基氧基、芳氧基、卤原子等。
作为上述酰基的具体例,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出乙酰基、正丙酰基、甲基丙酰基、丁酰基、戊酰基、己酰基、环己烷羰基、辛酰基、癸酰基、十二烷酰基、十八烷酰基、苄羰基、苯氧基乙酰基、2-乙基己酰基、氯乙酰基、苯甲酰基、对甲氧基苯甲酰基、2,5-二丁氧基苯甲酰基、1-萘酰基、2-萘酰基、吡啶基羰基、甲基丙烯酰基、丙烯酰基等。
作为上述烷基氧基羰基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择。
作为上述烷基氧基羰基的总碳数,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,然而优选为为2~30,更优选为2~20,特别优选为2~16。
上述烷基氧基羰基也可以再被取代基取代,作为该取代基,例如可以举出烷氧基、卤原子等。
作为上述烷基氧基羰基的具体例,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出甲氧基羰基、乙氧基羰基、异丙氧基羰基、丁氧基羰基、异丁氧基羰基、烯丙氧基羰基、辛氧基羰基、十二烷氧基羰基、乙氧基乙氧基羰基等。
作为上述芳氧基羰基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择。
作为上述芳氧基羰基的总碳数,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,然而优选为7~30,更优选为7~20,特别优选为7~16。
上述芳氧基羰基也可以再被取代基取代,作为该取代基,例如可以举出烷氧基、卤原子等。
作为上述芳氧基羰基的具体例,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出苯氧基羰基、2-萘氧基羰基、对甲氧基苯氧基羰基、2,5-二乙氧基苯氧基羰基、对氯苯氧基羰基、对硝基苯氧基羰基、对氰基苯氧基羰基等。
上述通式(A-2)中,R3各自独立地表示烷基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、卤原子、烷基氧基羰基、硝基、以及酰胺基的任一种。
作为上述烷基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出甲基、乙基、异丙基、叔丁基、叔辛基等。
作为上述烷基氧基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基等。
作为上述芳氧基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出苄氧基、苯氧基、4-氯苯氧基、4-甲基苯氧基等。
作为上述烷硫基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出甲硫基、丁硫基、辛硫基、十二烷硫基等。
作为上述芳硫基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出苄硫基、苯硫基、4-甲基苯硫基等。
作为上述卤原子,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出氯基、溴基、碘基等。
作为上述烷基氧基羰基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出甲氧基羰基、乙氧基羰基等。
作为上述酰胺基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出甲基羰基氨基、乙基羰基氨基、苯羰基氨基等。
上述通式(A-2)中,作为m,表示0以上的任一个整数,可以根据上述Ar的结构适当地选择。
而且,在上述m表示2以上的任一个整数的情况下,该R3既可以相同,也可以不同,也可以相互连结而形成环。在该R3相互连结而形成环的情况下,作为以通式(A-1)表示的肟化合物的具体例,可以举出以下述结构式表示的化合物等。
上述结构式中,Y及Z分别表示CH2、-O-、-S-、以及-NR-的任一种,该R表示氢原子或烷基。
上述通式(A-2)中,Ar表示芳香族环及杂芳香族环的任一种。
作为上述芳香族环,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出苯环、萘环、蒽环等。
作为上述杂芳香族环,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出吡咯环、吲哚环、苯并呋喃环、苯并噻吩环等。
上述通式(A-2)中,A表示4元环、5元环及6元环的任一种。
作为上述4元环、上述5元环或上述6元环,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,然而优选利用环形成取代基形成。作为该环形成取代基,例如可以举出亚烷基、亚链烯基、亚炔基等。该环形成取代基既可以使用单独一种,也可以并用两种以上,另外,也可以具有氧原子、硫原子等杂原子。
上述4元环、上述5元环、上述6元环、以及上述7元环也可以再被取代基取代,作为该取代基,例如可以举出烷基、链烯基、烷基氧基、芳氧基、卤原子等。
它们当中,作为上述A,从灵敏度优异的方面考虑,优选为上述5元环及上述6元环的任一种。
在以上述通式(A-2)表示的肟化合物当中,从灵敏度优异的方面考虑,更优选以下述通式(A-3)及(A-4)的任一个表示的化合物。
Figure A20078005228900761
通式(A-3)
Figure A20078005228900762
通式(A-4)
其中,上述通式(A-3)及(A-4)中,R4表示烷基及烷基氧基的任一种。
作为上述烷基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择。
上述烷基也可以再被取代基取代,作为该取代基,例如可以举出烷基氧基、卤原子等。
作为上述烷基的具体例,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出甲基、乙基、丙基、丁基、己基等。它们当中,从灵敏度优异的方面考虑,优选甲基、乙基、丙基。
作为上述烷基氧基,没有特别限制,可以根据目的适当地选择。
上述烷基氧基也可以再被取代基取代,作为该取代基,例如可以举出烷基氧基、卤原子等。
作为上述烷基氧基的具体例,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以举出甲氧基、乙氧基、丙氧基、丁氧基等。
上述通式(A-3)及(A-4)中,R5各自独立地表示烷基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、卤原子、烷基氧基羰基、硝基、以及酰胺基的任一种。
而且,上述烷基、上述烷基氧基、上述芳氧基、上述烷硫基、上述芳硫基、上述卤原子、上述烷基氧基羰基、上述硝基、以及上述酰胺基的详情与上述通式(A-1)中以R2表示的上述烷基、上述烷基氧基、上述芳氧基、上述烷硫基、上述芳硫基、上述卤原子、上述烷基氧基羰基、上述硝基、以及上述酰胺基的详情相同。
它们当中,作为上述R5,从吸收效率优异的方面考虑,优选上述烷基氧基、上述芳硫基、上述卤原子。
上述通式(A-3)及(A-4)中,l表示0~6的任一个整数。它们当中,从合成适应性的方面考虑,优选为0~2的任一个整数。
而且,在上述l表示2以上的任一个整数的情况下,该R5既可以相同,也可以不同,也可以相互连结而形成环。
上述通式(A-3)及(A-4)中,A表示5元环及6元环的任一种,它们也可以再被取代基取代。
而且,上述5元环及上述6元环的详情与上述通式(A-2)中以A表示的上述5元环及上述6元环的详情相同。
它们当中,作为上述A,从灵敏度优异的方面考虑,优选为5元环。
上述通式(A-3)及(A-4)中,X表示氧原子及硫原子的任一种。
作为以上述通式(A-1)、(A-2)、(A-3)及(A-4)的至少任一个表示的肟化合物的具体例,可以举出以下述结构式(1)~(26)表示的化合物,然而本发明并不限定于它们。
Figure A20078005228900781
其中,上述结构式(1)~(26)中,Me表示甲基,Ph表示苯基。上述结构式(24)~(26)分别是CIBA公司制的IRGACURE OXE01、IRGACURE OXE02、CGI325。
它们当中,特别优选以上述结构式(10)、结构式(17)、结构式(18)、结构式(24)、结构式(25)、以及结构式(26)表示的化合物。
<(B)烯键式不饱和化合物>
作为烯键式不饱和化合物,优选具有交联基的化合物,只要不损害本发明的效果,就可以从具有至少一个可以加成聚合的烯键式不饱和基的化合物当中没有特别限制地根据目的适当地选择。例如,可以举出酯化合物、酰胺化合物、以及其他的化合物。它们既可以使用单独一种,也可以并用两种以上。
作为上述酯化合物,例如可以举出单官能(甲基)丙烯酸酯、多官能(甲基)丙烯酸酯、衣康酸酯、巴豆酸酯、异巴豆酸酯、马来酸酯、其他的酯化合物等。它们当中,优选单官能(甲基)丙烯酸酯、多官能(甲基)丙烯酸酯。
作为上述单官能(甲基)丙烯酸酯,例如可以举出聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、苯氧基乙基单(甲基)丙烯酸酯等。
作为上述多官能(甲基)丙烯酸酯,例如可以举出聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇聚(甲基)丙烯酸酯、山梨醇三(甲基)丙烯酸酯、山梨醇四(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯等。它们当中,特别优选二季戊四醇聚(甲基)丙烯酸酯。
作为上述多官能(甲基)丙烯酸酯的其他的例子,可以举出在甘油或三羟甲基乙烷等多官能醇上加成了环氧乙烷或环氧丙烷后的(甲基)丙烯酸酯化了的化合物、日本特公昭48-41708号公报、日本特公昭50-6034号公报、日本特开昭51-37193号公报中记载的氨基甲酸酯丙烯酸酯类、日本特开昭48-64183号公报、日本特公昭49-43191号公报、以及日本特公昭52-30490号公报中记载的聚酯丙烯酸酯类、作为环氧树脂与(甲基)丙烯酸的反应产物的环氧基丙烯酸酯类、日本特开昭60-258539号公报中记载的(甲基)丙烯酸酯或氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯或乙烯基酯等。
作为上述其他的酯化合物,例如可以举出三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、日本粘接协会Vol.20,No.7,第300~308页中记载的光固化性单体及低聚物等。
另外,作为上述酰胺化合物,例如可以举出不饱和羧酸与脂肪族多元胺化合物的酰胺(单体)等,具体来说,可以举出亚甲基双(甲基)丙烯酰胺、1,6-六亚甲基双(甲基)丙烯酰胺、二亚乙基三胺三(甲基)丙烯酰胺、二甲苯双(甲基)丙烯酰胺等,另外,可以举出日本特开昭60-258539号公报中记载的(甲基)丙烯酸酰胺等。
另外,作为上述其他的化合物,例如可以举出日本特开昭60-258539号公报中记载的烯丙基化合物等。
作为感光性组合物中的烯键式不饱和化合物的含量,相对于组合物中的全部固体成分,优选为10~60质量%,更优选为20~50质量%。
<(C)粘结剂>
感光性组合物中所含的粘结剂是作为在基板表面形成由感光性组合物构成的层时的被膜形成物质发挥作用的材料,可以使用能够进行碱显影的树脂。从固化灵敏度的观点考虑,作为粘结剂使用的高分子化合物优选具有交联基或聚合性基,优选以能够与后述的烯键式不饱和化合物的不饱和键一起将感光性组合物中的交联基密度设为0.0073摩尔/g以上的条件选择。
构成粘结剂的高分子化合物优选如前所述那样自身具有交联基。高分子化合物是根据目的等适当地选择的、单体的均聚物及由多个单体构成的共聚物的哪种都可以,然而作为优选的例子可以举出至少具有:具有羧基的结构单元、以下述通式(1)表示的结构单元、由具有1个以上芳香族环及/或脂肪族环的(甲基)丙烯酸酯构成的结构单元的共聚物。
Figure A20078005228900801
通式(1)
其中,上述通式(1)中,R1表示氢原子或甲基,R2~R6各自独立地表示氢原子或也可以具有取代基的烷基、芳基、卤原子、氰基。
该共聚物例如可以通过将以下述式(2)表示的单体、具有羧基的聚合性单体、具有1个以上的芳香族环及/或脂肪族环的(甲基)丙烯酸酯、以及根据需要使用的可以与它们共聚的其他的单体利用公知的方法共聚来获得。
Figure A20078005228900811
式(2)
其中,上述通式(2)中,R1~R6如上所述。
作为以上述通式(2)表示的单体,例如可以举出:烯丙基(甲基)丙烯酸酯、3-氯-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(羟基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(2-羟基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3,4-二羟基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(2,4-二羟基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3,4,5-三羟基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3-甲氧基-4-羟基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3,4-二羟基-5-甲氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3,5-二甲氧基-4-羟基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(2-羟基-4-甲基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(4-甲氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(4-甲氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(4-乙氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(2-甲氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3,4-二甲氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3-甲氧基-4-丙氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(2,4,6-三甲氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3-甲氧基-4-苄氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3-(3’-甲氧基苯基)-4-苄氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3,4,5-三甲氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(4-甲基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯;
3-苯基-3-(2,4,6-三甲基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3,3-[二(2,4,6-三甲基苯基)]-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-苯基-3-(4-甲基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3,3-二苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(2-氯苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3-氯苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(4-氯苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(2,4-二氯苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(2-溴苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-溴-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-氯-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(4-硝基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(2-硝基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(3-硝基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基-3-(4-氯苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯;
2-甲基-3-(4-硝基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基-3-(4-氨基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基-3,3-二苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-乙基-1,3-二苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-乙氧基亚甲基-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基-3-(4-甲氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2,3-二苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1,2,3-三苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2,3,4-三苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1,3-二苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-(4-甲基苯基)-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-苯基-3-(4-甲基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-苯基-3-(4-甲氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-(4-甲氧基苯基)-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1,3-二(4-氯苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-(4-溴苯基)-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯;
1-苯基-3-(4-硝基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1,3-二(2-硝基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-(4-二甲基氨基苯基)-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-苯基-3-(4-二甲基氨基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1,1-二(4-二甲基氨基苯基)-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1,1,3-三苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1,1,3,3-四苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-(4-甲基苯基)-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1,2-二苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-苯基-2-甲基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-环己基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-苄基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1,1-二(4-氯苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-氰基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-苯胺基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(2-甲基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-(2,4-二甲基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-(2-乙氧羰基异丙基)-3-甲基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-(1-乙氧羰基异丙基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-(1-乙氧羰基乙基)-3-甲基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-乙氧羰基-3-氯-3-甲基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-乙氧羰基亚甲基-3-甲基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-氰基-3-甲基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1-环己基-3-(2-羟基环己基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-环戊基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯;
3-呋喃基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-氯-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、3-溴-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基-3-氯-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-甲基-3-溴-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-氯-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-溴-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-溴-3-(4-硝基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-氟-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-氟-3-(4-甲氧基苯基)-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-氰基-3-苯基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-氯-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-溴-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-氯-3,3-二氟-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-氟-3-氯-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2,3-二溴-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-氯-3-甲基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、1,1-二甲基-2-丙烯基(甲基)丙烯酸酯、2-戊烯基(甲基)丙烯酸酯、2-己烯基(甲基)丙烯酸酯、2-庚烯基(甲基)丙烯酸酯等。
它们当中,从固化性或原料价格的方面考虑,特别优选烯丙基基(甲基)丙烯酸酯。
作为上述具有羧基的聚合性单体,例如可以举出(甲基)丙烯酸、乙烯基苯甲酸、马来酸、衣康酸、巴豆酸、肉桂酸、丙烯酸二聚物等。另外,也可以使用2-羟基乙基(甲基)丙烯酸酯等具有羟基的单体与马来酸酐或酞酸酐之类的环状酸酐的加成产物。另外,也可以将马来酸酐、衣康酸酐之类的酸酐单体作为羧酸的前体使用。它们当中,从聚合性或原料价格的方面考虑,特别优选(甲基)丙烯酸。
作为上述具有1个以上芳香环及/或脂肪族环的(甲基)丙烯酸酯,例如可以举出(甲基)丙烯酸环烷基酯[例如(甲基)丙烯酸环己基酯、(甲基)丙烯酸降冰片基酯、(甲基)丙烯酸金刚烷基酯等]、(甲基)丙烯酸芳基酯[例如(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸氯苯酯、(甲基)丙烯酸甲氧基苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯等]、芳烷基酯[例如(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯乙酯等]等。
它们当中,从原料价格、溶解性、颜料分散性等方面考虑,优选(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸环己基酯。
另外,作为能够与这些结构单元共聚的其他的单体,例如可以举出(甲基)丙烯酸烷基酯[例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯、(甲基)丙烯酸月桂基酯、(甲基)丙烯酸硬脂基酯等(甲基)丙烯酸(C1~C18)烷基酯等];
(甲基)丙烯酸烷基酯[例如(甲基)丙烯酸苄酯等]、取代(甲基)丙烯酸烷基酯[例如二甲基氨基乙基(甲基)丙烯酸酯、二乙基氨基乙基(甲基)丙烯酸酯、二甲基氨基丙基(甲基)丙烯酸酯、二乙基氨基丙基(甲基)丙烯酸酯等]、(甲基)丙烯酰胺类[例如(甲基)丙烯酰胺、二甲基(甲基)丙烯酰胺、异丙基(甲基)丙烯酰胺、叔丁基(甲基)丙烯酰胺等]、取代(甲基)丙烯酰胺类[例如(甲基)丙烯酰基吗啉、二甲基氨基丙基(甲基)丙烯酰胺等]、芳香族乙烯基类[例如苯乙烯、乙烯基甲苯、α-甲基苯乙烯等]、杂环乙烯基类[例如乙烯基咪唑、乙烯基吡啶等]、乙烯基酯类[例如乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、叔碳酸乙烯酯等]、N-乙烯基酰胺类[例如N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基甲酰胺、N-乙烯基乙酰胺等]、烯丙基酯类[例如乙酸烯丙酯等]、含卤素的单体[例如偏氯乙烯、氯乙烯等]、丙烯腈[例如(甲基)丙烯腈等]、烯烃类[例如乙烯、丙烯等]等。
它们当中,从其共聚性或所生成的聚合物的溶剂溶解性、所得的膜的制膜性等观点考虑,特别优选(甲基)丙烯酸烷基酯[例如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己基酯等]等。
对于上述各成分的共聚组成比,“以通式(1)表示的结构单元”优选为20~80摩尔%,更优选为20~75摩尔%,特别优选为25~75摩尔%。如果以通式(1)表示的结构单元为上述范围内,则可以得到良好的固化性、显影性。另外,“具有羧基的结构单元”优选为10~40摩尔%,更优选为15~35摩尔%,特别优选为20~35摩尔%。如果具有羧基的结构单元为上述范围内,则可以获得良好的显影性,并且图像部的显影液耐受性也良好。另外,“由具有1个以上芳香族环及/或脂肪族环的(甲基)丙烯酸酯构成的结构单元”优选为10~70摩尔%,更优选为10~60摩尔%,特别优选为10~50摩尔%。如果由具有1个以上芳香族环及/或脂肪族环的(甲基)丙烯酸酯构成的结构单元为上述范围内,则颜料分散性优异,并且显影性及固化性也良好。
作为适于用作粘结剂的上述共聚物的质均分子量,优选为5000~20万,更优选为1万~10万,特别优选为1.2万~8万。如果上述质均分子量为上述范围内,则在共聚物的制造适用性、显影性的方面是理想的。
下面,列举出适于作为粘结剂的上述共聚物的具体例。但是,本发明中,并不限定于它们。另外,对于下述的共聚物,可以参照日本特开2003-131379号公报、日本特开2003-207787号公报。
Figure A20078005228900861
[R’、R”各自独立地表示氢原子或甲基,a=10~40,b=90~60。]
Figure A20078005228900871
[R’、R”各自独立地表示氢原子或甲基,a=10~40,b=90~60。]
[R’、R”、R”’各自独立地表示氢原子或甲基,a=10~40,b=80~20,c=10~40。]
Figure A20078005228900881
[R’、R”、R”’各自独立地表示氢原子或甲基,a=10~40,b=80~20,c=10~40。]
Figure A20078005228900882
[R’、R”、R”’、R””各自独立地表示氢原子或甲基,a=10~40,b=80~20,c=5~20,d=5~20。]
适于作为粘结剂的上述共聚物可以通过将各自相当的单体利用公知的方法依照常法共聚来得到。例如,可以通过将这些单体溶解于适当的溶剂中,向其中添加自由基聚合引发剂而在溶液中聚合来得到。
作为使之共聚之时的适当的溶剂的例子,可以根据单体及所生成的共聚物的溶解性任意地选择,然而例如可以举出甲醇、乙醇、丙醇、异丙醇、1-甲氧基-2-丙醇、丙酮、甲乙酮、甲基异丁基酮、甲氧基丙基乙酸酯、乳酸乙酯、乙酸乙酯、乙腈、四氢呋喃、二甲替甲酰胺、氯仿、甲苯、以及它们的混合物等。另外,可以使用聚合引发剂,作为该聚合引发剂,例如可以利用2,2’-偶氮二(异丁腈)(AIBN)、2,2’-偶氮二(2,4’-二甲基戊腈)等偶氮系、过氧化苯甲酰等过氧化物系、过硫酸盐等。
另外,出于调整分子量的目的,也可以适当地使用公知的链转移剂。此外,有时也需要恰当地调整聚合浓度、引发剂量、链转移剂、聚合温度等。例如,作为聚合浓度,优选为5~50质量%,更优选为10~40质量%。
作为上述感光性组合物中的粘结剂的含量,以固体成分换算,优选为30~70质量%,更优选为40~50质量%。
<(D)着色剂>
作为着色剂,可以举出染料、颜料等。它们可以根据感光性组合物所形成的滤色片的构件的需要来使用。
如果将以间隔件的形成为目的的情况为例举出,则对于优选的颜料的种类、尺寸等,例如可以从日本特开平11-149008号公报的记载中适当地选择。另外,在使之含有颜料等着色剂的情况下,可以形成着色像素。对于能够使用的颜料,可以举出填充颜料或着色颜料。作为填充颜料,可以没有特别限制地根据目的适当地选择,例如可以优选举出日本特开2003-302639号公报的段落编号[0035]~[0041]中记载的填充颜料。作为着色颜料,可以优选举出日本特开2003-302639号公报的段落编号[0043]中记载的颜料。
<(E)溶剂>
作为上述溶剂,例如可以举出甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、仲丁醇、正己醇等醇类;丙酮、甲乙酮、甲基异丁基酮、环己酮、二异丁基酮等酮类;乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸正戊酯、硫酸甲酯、丙酸乙酯、邻苯二酸二甲酯、苯甲酸乙酯、以及甲氧基丙基乙酸酯等酯类;甲苯、二甲苯、苯、乙基苯等芳香族烃类;四氯化碳、三氯乙烯、氯仿、1,1,1-三氯乙烷、二氯甲烷、单氯苯等卤化烃类;四氢呋喃、二***、乙二醇单甲醚、乙二醇单***、1-甲氧基-2-丙醇等醚类;二甲替甲酰胺、二甲替乙酰胺、二甲亚砜、环丁砜等。它们既可以单独使用一种,也可以混合使用两种以上。
<(F)敏化剂>
此外,作为敏化剂,优选含有以下述通式(F-1)表示的化合物。
Figure A20078005228900901
通式(F-1)
其中,上述通式(F-1)中,R10及R11既可以相同也可以不同,表示选自也可以具有取代基的烷基、芳基及链烯基中的任一种,R10及R11也可以与它们所结合的硫原子一起形成由非金属元素构成的环。n表示0、1或2。G1及G2既可以相同也可以不同,表示选自氢原子、氰基、以及也可以具有取代基的烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、芳基羰基、烷硫基、芳硫基、烷基磺酰基、芳基磺酰基及氟烷基磺酰基中的任一种,G1及G2的任一个是选自氰基、以及也可以具有取代基的烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、芳基羰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基及氟烷基磺酰基中的基。G1及G2也可以与其所结合的碳原子一起形成由非金属原子构成的环。
作为R1及R2的烷基,例如优选甲基、乙基等碳数为1~10的烷基,该烷基也可以具有取代基,作为取代基,例如可以举出羟基、氰基、烷氧基(例如甲氧基、乙氧基等)、卤原子(例如Cl、Br等)、羧基、烷氧羰基、磺酰基、苯基、对硝基苯基等芳基、乙烯基、甲基乙烯基、肉桂基等取代基。
作为R1及R2的芳基,优选苯基和萘基。该芳基也可以被取代,作为取代基例如可以举出碳数为1~10的烷基、羟基、氰基、碳数为1~10的烷氧基(例如甲氧基、乙氧基等)、卤原子(例如Cl、Br等)、羧基、烷氧羰基、磺酰基等取代基。
作为R1及R2的链烯基,例如优选乙烯基。该乙烯基也可以被取代,作为取代基,例如可以举出碳数为1~10的烷基、碳数为6~18的芳基,这些取代基也可以被甲基等碳数为1~10的烷基取代。
R1和R2也可以与其所结合的硫原子一起形成由非金属元素构成的环,作为环可以例示出5元环、6元环或芳香族环发生了环缩作用的5元环、6元环。另外,这些环也可以具有烷基、芳基、取代烷氧基、取代芳基、羟基、氰基、烷氧基、卤原子、羧基、烷氧羰基、磺酰基等取代基。
对于G1及G2的烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、芳基羰基、烷硫基、芳硫基、烷基磺酰基、芳基磺酰基或氟烷基磺酰基,作为其烷基,优选碳数为1~10的烷基,另外作为其芳基,优选苯基或萘基。这些烷基及芳基也可以具有取代基,例如可以举出碳数为1~10的烷基、羟基、氰基、碳数为1~10的烷氧基、卤原子、羧基、烷氧羰基、磺酰基、磺烷氧基、碳数为6~18的芳基、酰基、乙烯基、肉桂基。
作为G1与G2与其所结合的碳原子一起形成由非金属原子构成的环时的环,通常是在部花青色素中作为酸性核使用的,例如可以举出以下的例子。
(a)1,3-二羰基核,例如可以举出1,3-茚二酮、1,3-环己二酮、5,5-二甲基-1,3-环己二酮、1,3-二噁烷-4,6-二酮等。
(b)吡唑啉酮核,例如可以举出3-甲基-1-苯基-2-吡唑啉-5-酮、1-苯基-2-吡唑啉-5-酮、1-(2-苯并噻唑基)-3-甲基-2-吡唑啉-5-酮等。
(c)异噁唑烷酮核,例如可以举出3-苯基-2-异噁唑烷-5-酮、3-甲基-2-异噁唑烷-5-酮等。
(d)氧基吲哚核,例如可以举出1-烷基-2,3-二氢-2-氧基吲哚等。
(e)2,4,6-三酮六氢嘧啶核,例如可以举出巴比妥酸或2-硫代巴比妥酸及其衍生物等。作为该衍生物,可以举出1-甲基、1-乙基等1-烷基体、1,3-二乙基、1,3-二丁基等1,3-二烷基体、1,3-二苯基、1,3-二(对氯苯基)、1,3-二(对乙氧基羰基苯基)等1,3-二芳基体、1-乙基-3-苯基等1-烷基-3-芳基体等。
(f)2-硫代-2,4-噻唑烷二酮核,例如可以举出罗丹宁及其衍生物等。作为该衍生物,可以举出3-乙基罗丹宁、3-烯丙基罗丹宁等3-烷基罗丹宁;3-苯基罗丹宁等3-芳基罗丹宁等。
(g)2-硫代-2,4-噁唑烷二酮(2-硫代-2,4-(3H,5H)-噁唑烷二酮)核,例如可以举出2-乙基-2-硫代-2,4-噁唑烷二酮等。
(h)噻环烷酮核,例如可以举出3(2H)-噻环烷酮及3(2H)-噻环烷酮-1,1-二氧化物等。
(i)2-硫代-2,5-噻唑烷二酮核,例如可以举出3-乙基-2-硫代-2,5-噻唑烷酮等。
(j)2,4-噻唑烷二酮核,例如可以举出2,4-噻唑烷二酮、3-乙基-2,4-噻唑烷二酮、3-苯基-2,4-噻唑烷二酮等。
(k)噻唑烷二酮核,例如可以举出4-噻唑烷二酮、3-乙基-4-噻唑烷二酮等。
(l)4-噻唑烷酮核,例如可以举出2-乙基巯基-5-噻唑烷-4-酮、2-烷基苯基氨基-5-噻唑烷-4-酮等。
(m)2-亚氨基-2-噁唑烷-4-酮(假乙内酰脲)核等。
(n)2,4-咪唑啉二酮(乙内酰脲)核,例如可以举出2,4-咪唑啉二酮、3-乙基-2,4-咪唑烷二酮等。
(o)2-硫代-2,4-咪唑啉二酮(2-硫代乙内酰脲)核,例如可以举出2-硫代-2,4-咪唑啉二酮、3-乙基-2-硫代-2,4-咪唑啉二酮等。
(p)2-咪唑啉-5-酮核,例如可以举出2-正丙基巯基-2-咪唑啉-5-酮等。
(q)呋喃-5-酮、
(r)4-羟基-2(1H)-喹啉酮或4-羟基-2(1H)-吡啶酮核,例如可以举出N-甲基-4-羟基-2(1H)-喹啉酮、N-正丁基-4-羟基-2(1H)-喹啉酮、N-甲基-4-羟基-2(1H)-吡啶酮等。
(s)取代或未取代的4-羟基-2H-吡喃-2-酮、4-羟基香豆素、
(t)取代或未取代的硫茚羟,例如5-甲基硫茚羟。
以上述通式(F-1)表示的化合物特别优选为以下述通式(F-2)表示的化合物。
Figure A20078005228900931
通式(F-2)
其中,上述通式(F-2)中,R13及R14既可以相同也可以不同,表示选自氢原子、烷基、芳基、酰基、以及卤原子中的任一种,R13及R14也可以相互连结而形成芳香族环,还可以在上述芳香族环上还具有选自烷基、烷基氧基、以及卤原子中的任一个。R15及R16既可以相同也可以不同,表示选自氢原子、烷基、以及芳基中的任一种。X表示氧原子及硫原子的任一种。
将以上述通式(F-1)表示的敏化剂的具体例表示如下。
Figure A20078005228900932
Figure A20078005228900941
Figure A20078005228900961
Figure A20078005228900971
上述具体例中,t-Butyl表示叔丁基,Ph表示苯基。
也可以还含有其他的敏化剂。该情况下,选择利用与以上述通式(F-1)表示的敏化剂的并用使光聚合速度进一步增大的敏化剂。作为此种敏化剂,可以举出二苯酮衍生物、苯并蒽酮衍生物、醌类、蒽醌类、芳香族硝基化合物、萘并噻唑啉衍生物、苯并噻唑啉衍生物、呫吨酮类、萘并噻唑衍生物、香豆素酮化合物、苯并噻唑衍生物、萘并呋喃酮化合物、苯偶姻化合物、苯乙酮化合物芴酮化合物、吡喃鎓盐、噻喃鎓盐等。具体来说,可以举出米蚩酮、4,4’-双(二乙基氨基)二苯酮、苯并蒽酮、(3-甲基-1,3-二氮杂-1,9-苯并)-蒽酮苦味胺、5-硝基苊、2-硝基芴酮、2-二苯甲酰基亚甲基-3-甲基萘并噻唑啉、3,3-羰基-双(7-二乙基氨基香豆素)、2,4,6-三苯基噻喃鎓高氯酸盐、2-(对氯苯甲酰基)萘并噻唑、苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、9-芴酮、2-氯-9-芴酮、2-甲基-9-芴酮、9,10-蒽醌、2-乙基-9,10-蒽醌、2-叔丁基-9,10-蒽醌、2,6-二氯-9,10-蒽醌、呫吨酮、2-甲基呫吨酮、2-甲氧基呫吨酮、二亚苄基丙酮、对(二甲基氨基)苯基苯乙烯基酮、对(二甲基氨基)苯基对甲基苯乙烯基酮等。
<其他的成分>
在本发明的感光性组合物中,除了上述(A)~(F)的成分以外,根据需要,可以还使用表面活性剂、聚合抑制剂、紫外线吸收剂等公知的成分。
-表面活性剂-
作为表面活性剂,只要是可以与感光性组合物的构成成分混合的材料,都可以使用。作为优选的表面活性剂,可以举出日本特开2003-337424号公报的段落编号[0015]~[0024]、日本特开2003-177522号公报的段落编号[0012]~[0017]、日本特开2003-177523号公报的段落编号[0012]~[0015]、日本特开2003-177521号公报的段落编号[0010]~[0013]、日本特开2003-177519号公报的段落编号[0010]~[0013]、日本特开2003-177520号公报的段落编号[0012]~[0015]、日本特开平11-133600号公报的段落编号[0034]~[0035]、日本特开平6-16684号公报中记载的表面活性剂。
从获得更高的效果的观点出发,优选选择氟系表面活性剂及/或硅酮系表面活性剂(包括氟系表面活性剂或硅酮系表面活性剂、含有氟原子与硅原子双方的表面活性剂)的任意一种或两种以上,最优选氟系表面活性剂。
在使用氟系表面活性剂的情况下,该表面活性剂分子中的含氟的取代基的氟原子数优选为1~38,更优选为5~25,最优选为7~20。如果氟原子数为上述范围内,则不仅溶解性良好,而且可以获得不均的改善效果,从这一点考虑是理想的。
作为特别优选的表面活性剂,可以举出如下的共聚物,即,作为共聚成分含有以下述通式(a)表示的单体A和以下述通式(b)表示的单体B,上述单体A与上述单体B的共聚比(A/B[质量比])为20/80~60/40。
Figure A20078005228900991
通式(a)
通式(b)
上述通式(a)及(b)中,R1、R2及R3各自独立地表示氢原子或甲基,优选R1、R2为氢原子,R3为甲基。另外,R4表示氢原子或碳数为1~5的烷基。作为以R4表示的烷基,例如可以举出甲基、乙基、丙基、丁基等,尤其优选碳数为1~2的烷基。R4特别优选为氢原子。
上述通式(a)中,n表示1~18的整数,优选为2~10的整数。m表示2~14的整数,优选为4~12的整数。通式(a)中的CmF2m+1既可以是直链,也可以是支链,CmF2m+1相对于单体A的比率优选为20~70质量%,特别优选为40~60质量%。
上述通式(b)中,p及q各自独立地表示0~18的整数,优选为2~8。p及q不会同时地表示0。
适于本发明的表面活性剂中,1个分子所含的多个单体A既可以是相同结构的单体,也可以是不同结构的单体,另外,对于单体B也是相同的。
上述表面活性剂优选以将上述单体A设为20~60质量%、将上述单体B设为80~40质量%、此外将上述单体A及B以外的其他的任意单体设为剩余的质量%的共聚比共聚,进一步优选以将上述单体A设为25~60质量%、将上述单体B设为75~40质量%、此外将上述单体A及B以外的其他的任意单体设为剩余的质量%的共聚比共聚,更优选以将上述单体A设为25~60质量%、将上述单体B设为60~40质量%、此外将上述单体A及B以外的其他的任意单体设为剩余的质量%的共聚比共聚。
上述表面活性剂中的优选的形态为,将上述通式(a)中的R1是氢原子、n=2、m=6的单体A;与上述通式(b)中的R2及R是氢原子、R3是甲基、p=7、q=0的单体B;或上述通式(b)中的R2、R3及R4是氢原子、p=0、q=7的单体B以20/80~60/40的共聚比(A/B)共聚的形态。特别优选以25/60~60/40的共聚比共聚的形态。
上述表面活性剂的具体例记载于日本特开2003-337424号公报的段落编号[0068]的表1中。
-聚合抑制剂-
在上述感光性组合物中,可以还含有聚合抑制剂。作为聚合抑制剂,可以举出公知的热聚合抑制剂,例如可以举出含有酚系羟基的化合物、N-氧化物化合物类、哌啶1-烃氧基自由基化合物类、吡咯烷1-烃氧基自由基化合物类、N-亚硝基苯基羟基胺类、以及阳离子染料等。
作为含有酚系羟基的化合物,可以举出氢醌、对甲氧基苯酚、二叔丁基对甲酚、连苯三酚、叔丁基儿茶酚、苯醌、4,4-硫代双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2’-亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、酚醛树脂类、以及甲酚树脂类等。
作为N-氧化物化合物类,可以举出5,5-二甲基-1-吡咯啉N-氧化物、4-甲基吗啉N-氧化物、吡啶N-氧化物、4-亚硝基吡啶N-氧化物、3-羟基吡啶N-氧化物、吡啶甲酸N-氧化物、尼克酸N-氧化物、以及异尼克酸N-氧化物等。
作为哌啶1-烃氧基自由基化合物类,可以举出哌啶1-烃氧基自由基、2,2,6,6-四甲基哌啶1-烃氧基自由基、4-氧代-2,2,6,6-四甲基哌啶1-烃氧基自由基、4-羟基-2,2,6,6-四甲基哌啶1-烃氧基自由基、4-乙酰胺-2,2,6,6-四甲基哌啶1-烃氧基自由基、4-马来酰亚胺-2,2,6,6-四甲基哌啶1-烃氧基自由基、以及4-膦羧基-2,2,6,6-四甲基哌啶1-烃氧基自由基等。
作为吡咯烷1-烃氧基自由基化合物类,可以举出3-羧基丙基自由基(3-羧基-2,2,5,5-四甲基吡咯烷1-烃氧基自由基)等。
作为N-亚硝基苯基羟基胺类,可以举出N-亚硝基苯基羟基胺铈(III)盐及N-亚硝基苯基羟基胺铝盐等。
作为阳离子染料类,可以举出洁净紫、甲基紫、乙基紫以及维多利亚纯蓝BOH等。
特别是,哌啶1-烃氧基自由基化合物类(包括具有其骨架的衍生物类)(例如上述的4-羟基-2,2,6,6-四甲基哌啶1-烃氧基自由基等)由于用很少量就有效果,因此优选使用。
另外,还优选使用N-氧化物类,特别是具有吡啶N-氧化物骨架的化合物类。
-紫外线吸收剂-
在感光性组合物中,根据需要可以含有紫外线吸收剂。作为紫外线吸收剂,可以举出日本特开平5-72724号公报中记载的化合物、以及水杨酸酯系、二苯酮系、苯并***系、氰基丙烯酸酯系、镍螯合物系、受阻胺系等。
具体来说,可以举出苯基水杨酸酯、4-叔丁基苯基水杨酸酯、2,4-二叔丁基苯基-3’,5’-二叔4’-羟基苯甲酸酯、4-叔丁基苯基水杨酸酯、2,4-二羟基二苯酮、2-羟基-4-甲氧基二苯酮、2-羟基-4-正辛氧基二苯酮、2-(2’-羟基-5’-甲基苯基)苯并***、2-(2’-羟基-3’-叔丁基-5’-甲基苯基)-5-氯苯并***、乙基-2-氰基-3,3-二苯基丙烯酸酯、2,2’-羟基-4-甲氧基二苯酮、镍二丁基二硫代氨基甲酸酯、双(2,2,6,6-四甲基-4-吡啶)-癸二酸酯、4-叔丁基苯基水杨酸酯、水杨酸苯基酯、4-羟基-2,2,6,6-四甲基哌啶缩合物、琥珀酸-双(2,2,6,6-四甲基-4-哌啶基)酯、2-[2-羟基-3,5-双(α,α-二甲基苄基)苯基]-2H-苯并***、7-{[4-氯-6-(二乙基氨基)-5-三嗪-2-基]氨基}-3-苯基香豆素等。
(2)滤色片的制造方法
下面,对于使用了本发明的上述感光性组合物的滤色片的制造方法,将与本发明中特有的曝光方式一起详细说明。
本发明的滤色片的制造方法的特征在于,具有:将上述液晶显示元件用感光性组合物涂布于基板表面、进行干燥的感光层形成工序、将上述感光层以所需的图案状曝光、固化的曝光工序、将曝光后的感光层的未固化区域除去的显影工序。下面,将该制造方法称作涂布法(液レジ法)。
<感光层形成工序>
首先,对涂布法的感光层形成工序进行说明。该工序中,通过将上述感光性组合物溶解或分散于恰当的液体中,配制涂布液,将其涂布于基板表面,干燥,而形成感光层。
溶剂或分散剂可以根据感光性组合物的组成,从公知的液体中,例如从水或有机溶剂等中适当地选择使用。
对于将涂布液向基板表面涂布的方法也没有特别限制,可以从公知的涂布法中,例如旋涂法、窗式涂法、狭缝涂布法、浸涂法、刮刀涂布法、辊涂法、拉丝棒涂布法、凹版印刷涂布法、或美国专利第2681294号说明书中记载的使用料斗的挤涂法等中,根据目的选择使用。尤其优选利用具备狭缝喷嘴的狭缝涂布机的方法,该狭缝喷嘴在液体喷出的部分具有狭缝状的孔。
作为上述具备狭缝状喷嘴的狭缝涂布机,优选使用日本特开2004-89851号公报、日本特开2004-17043号公报、日本特开2003-170098号公报、日本特开2003-164787号公报、日本特开2003-10767号公报、日本特开2002-79163号公报、日本特开2001-310147号公报等中记载的狭缝状喷嘴及狭缝涂布机。
作为将涂布于基板上的含有感光性组合物的涂膜干燥的方法,可以适当地使用公知的方法。作为干燥的条件,虽然根据所用的感光性组合物的配方、溶剂的种类等而不同,然而一般来说,优选70~150℃的温度范围。
在利用涂布法形成感光层的情况下,其层厚优选为0.5~10.0μm的范围,更优选为1~6μm的范围。如果层厚为上述范围,则可以防止制造时的涂布形成之际的针孔的产生,可以不对曝光、固化了的区域造成影响地、在适当的时间内进行未曝光部的显影除去。
-狭缝涂布的涂布速度-
对于将上述感光性组合物向上述基板上涂布时的涂布速度,从兼顾涂布不均的减少、生产效率的提高的观点考虑,优选为100mm/秒~300mm/秒,更优选为120mm/秒~280mm/秒,特别优选为140mm/秒~250mm/秒。
如果上述涂布速度小于100mm/秒,则为了维持生产性,就需要削减预喷出等其他时间,其结果是,会有不均等增多的情况。如果上述涂布速度超过300mm/秒,则会有液体消失变得明显的情况。
上述涂布速度在上述基板移动的类型的狭缝涂布装置中,与基板向上述涂布装置的搬送速度实质上相同,在狭缝喷嘴移动的类型的狭缝涂布装置中,与狭缝喷嘴的移动速度实质上相同。
上述制造方法中,虽然在基板表面涂布上述感光性组合物而形成感光层,然而也可以根据目的设置其他的层。作为任意设置的其他的层,可以举出用于抑制感光层的固化反应中的由氧造成的聚合阻碍的具有氧阻断性的保护层、用于改善层间的粘接的粘接层、抑制针对所需的区域的透光性的光阻断层等。这些层既可以与感光层同样地利用涂布法来设置,另外也可以利用层叠法来层叠设置以薄片状预先成形的层。
作为形成感光层的基板,例如可以举出透明基板(例如玻璃基板或塑料基板)、带有透明导电膜(例如ITO膜)的基板、带有滤色片的基板(也称作滤色片基板)、带有驱动元件(例如薄膜晶体管[TFT])的驱动基板等。作为基板的厚度,可以根据滤色片的使用目的适当地选择,然而一般来说,优选处于700~1200μm的范围。
作为基板的大小,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,从实现液晶显示装置的大画面化的方面考虑,优选为1m2以上。如果将以往的感光性组合物涂布于大型的基板上,则会有产生涂布不均等的问题,然而本发明的上述感光性组合物即使基板尺寸为1m2以上,涂布性也很优异,适于狭缝涂布方式的涂布液。
另外,通过对基板预先实施偶联处理,就可以使感光层的密合性良好。作为偶联处理,优选使用日本特开2000-39033公报中记载的方法。
<曝光工序>
通过对在上述感光层形成工序中形成的各个进行图案曝光,而将曝光区域固化。利用该曝光工序及接下来进行的显影工序,形成图案,可以根据所需形成滤色片的像素或间隔件等构件。曝光工序优选利用如下的曝光方式来实施,即,通过使用将光源波长处于350nm~420nm的范围内的光二维地排列的空间光变频设备,一边基于图像数据将光变频,一边相对扫描,来进行二维图像的形成。
上述曝光由于不使用掩模图案,进行以激光直接成像***为代表的扫描曝光,因此有时也被称作无掩模曝光。更具体来说,适用于本发明的无掩模曝光可以称作如下的曝光,即,通过一边基于图像数据将光变频一边相对扫描,来进行二维图像的形成。
-光源-
上述曝光方式中,作为光源使用超高压水银灯、激光器。
所谓超高压水银灯是向石英玻璃管等中封入了水银的放电灯,是将水银的蒸气压设定得较高而提高了发光效率的灯(也有点亮时的水银的蒸气压达到约5MPa的(W.Elenbaas:Light Sources、Philips Technical Libarary 148-150))。一般使用亮线谱图中的i线(365nm)、h线(405nm)、以及g线(436nm),其中主要使用波长365nm的i线。
激光器(laser)是英语的Light Amplification by Stimulated Emission ofRadiation(由受激发射造成的光的放大)的头字母。利用在具有反转分布的物质中引起的受激发射的现象,利用光波的放大、激振来制成干涉性和指向性更强的单色光。作为激发介质,有晶体、玻璃、液体、色素、气体等,可以从这些介质中,使用固体激光器(YAG激光器)、液体激光器、气体激光器(氩气激光器、He-Ne激光器、二氧化碳激光器、准分子激光器)、半导体激光器等公知的激光器。
半导体激光器是使用如下的发光二极管的激光器,即,在因载流子的注入、电子束所致的激发、碰撞所致的离子化、光激发等而使电子和空穴向接合部流出时,能够在pn结处受激发射出可干涉光。该被发射的可干涉光的波长由半导体化合物决定。
虽然激光器的波长没有特别限定,然而尤其是从析像度和激光器装置的成本、获得的容易度的观点考虑,半导体激光器中,优选从300~500nm的波长区域中选择,更优选340~450nm,进一步优选360~420nm。
另外,固体激光器中,可以举出YAG-SHG固体激光器的532nm的例子。此外,半导体激发固体激光器中,可以举出532nm、355nm、266nm,从以往的抗蚀剂用光聚合引发剂具有灵敏度的方面考虑,优选选择355nm。
气体激光器中,可以使用KrF激光器的249nm、ArF激光器的193nm。
对于本发明的一边将光变频一边相对扫描的方法进行说明。
其一个代表性的方法是使用DMD(数字微镜设备,例如1987年、美国德州仪器的Larry Hornbeck博士等所开发的光半导体)之类的将微小的反射镜二维地排列的空间变频元件的方法。
该情况下,来自光源的光被利用恰当的光学***向DMD上照射,来自DMD中二维地排列的各反射镜的反射光经由其他的光学***等,在感光层上形成二维地排列的光点的像。虽然如果原样不动则光点与光点之间不会被曝光,然而如果将上述二维地排列的光点的像沿相对于二维的排列方向略为倾斜的方向移动,则能够以后方的列的光点将最初的列的光点与光点之间曝光这样的形式,将感光层的全面曝光。通过控制DMD的各反射镜的角度,将上述光点设为ON-OFF,就可以形成图像图案。通过并排地使用具有此种DMD的曝光头,就可以与各种各样的宽度的基板对应。
上述DMD中,虽然上述光点的亮度只有ON或OFF两个层次,然而如果使用反射镜层次型空间变频元件,则可以进行256个层次的曝光。
其他的代表性的方法是使用光学多面体(polygon mirror)的方法。向感光层上反射地照射来自光源的光,而反射光的光点被利用该平面镜的旋转扫描。通过与该扫描方向成直角地移动基板,就可以将基板上的感光层的全面曝光。通过将来自光源的光的强度利用恰当的方法控制为ON-OFF或中间层次,就可以形成图像图案。通过将来自光源的光设为多条,就可以缩短扫描时间。
另外,也可以应用以下的方法。
有日本特开平5-150175号公报中记载的使用光学多面体来描绘的例子;日本特表2004-523101号公报(WO2002/039793号小册子)中记载的在视觉上取得下部层的图像的一部分,用使用了光学多面体的装置将上部层的位置对齐下部层的位置而曝光的例子;日本特开2004-56080号公报中记载的具有DMD的曝光的例子;日本特表2002-523905号公报中记载的具备光学多面体的曝光装置;日本特开2001-255661号公报中记载的具备光学多面体的曝光装置;日本特开2003-50469号公报中记载的DMD、LD、多重曝光的组合例;日本特开2003-156853号公报中记载的根据基板的部位改变曝光量的曝光方法的例子;日本特开2005-43576号公报中记载的进行位置不正调整的曝光方法的例子等。
-相对扫描曝光-
上述曝光工序是如下的工序,即,对上述感光层,使用如下的曝光头,即,是具备光照射机构及光变频机构的曝光头,将上述描素部的列方向配置为与该曝光头的扫描方向形成规定的设定倾斜角度θ,对于上述曝光头,利用使用描素部指定机构,在可以使用的上述描素部当中,指定在N重曝光(其中N为2以上的自然数)中使用的上述描素部,利用描素部控制机构,按照仅使由上述使用描素部指定机构指定的上述描素部参与曝光的方式,进行上述描素部的控制,对上述感光层,将上述曝光头沿扫描方向相对地移动而进行曝光。
本发明中所说的“N重曝光”是指利用如下的设定的曝光,即,在上述感光层的被曝光面上的曝光区域的大致全部的区域中,使平行于上述曝光头的扫描方向的直线与向上述被曝光面上照射的N条光点列(像素列)相交。这里所说的“光点列(像素列)”是指,由上述描素部生成的作为描素单位的光点(像素)的排列当中,与上述曝光头的扫描方向所成的角度更小的方向的排列。而且,上述描素部的配置不一定是矩形格子状,例如也可以是平行四边形的配置等。
这里,记述为曝光区域的“大致全部的区域”是因为,在各描素部的两个侧缘部,由于通过使描素部列倾斜,与平行于上述曝光头的扫描方向的直线相交的使用描素部的描素部列的数目减少,因此即使将多个曝光头相连地使用,也会因该曝光头的安装角度或配置等的误差,而使与平行于扫描方向的直线相交的使用描素部的描素部列的数目略微地增减;另外,在各使用描素部的描素部列间的连结的析像度以下的极为微小的部分,因安装角度或描素部配置等的误差,沿着与扫描方向正交的方向的描素部的间距不与其他的部分的描素部的间距严格地一致,会有与平行于扫描方向的直线相交的使用描素部的描素部列的数目在±1的范围中增减的情况。
作为上述N重曝光的N,只要是2以上的自然数,就没有特别限制,可以根据目的适当地选择,然而优选为3以上的自然数,更优选为3以上7以下的自然数。
作为上述曝光装置,例如可以使用日本特开2007-41082号公报中记载的装置来曝光。
使用了上述曝光装置的曝光方式中,曝光能量可以根据感光性组合物的组成适当地选择,然而优选能够使固化后的感光层中的交联基密度为0.0073摩尔/g以上,并且使其交联反应率为86~100%,在交联成分密度高的树脂部分中获得高交联率,优选在此种能量条件下进行曝光。
另外,对于上述“树脂部分”,在含有颜料或硅石等固体微粒的情况下是除去它们的部分。
通过实现此种高交联密度,所得的图案就难以受到由外压造成的变形,另外,可以确保受到外压而发生塑性变形之时的良好的变形恢复性。由此无论是在形成了间隔件或像素的情况下,还是单元厚度为2~4μm的薄厚构成的情况下,都可以确保单元厚度的均匀性,可以有效地防止液晶显示元件所显示的图像中的显示不均。另外,所形成的图案由于均匀性、表面平滑性优异,因此还具有ITO电阻值变低、可以达成动作性的高速化的优点。
上述交联基密度[mol/g]及交联反应率[%]是利用下式求得的。
交联基密度=交联基的摩尔数/树脂成分的质量
交联反应率=[(初期交联基量-反应后交联基量)/初期交联基量]×100
而且,交联反应率是利用IR法(用已知样品求出“交联基量-IR吸收量校准线”,根据IR吸收量求出交联基量。)求出交联反应前的初期交联基量和交联反应后的反应后交联基量,根据上述式子求出的。
<显影工序>
在以图案状进行了曝光后,作为显影处理,利用显影将未曝光部,也就是未固化的感光层除去而形成图案。
显影可以依照公知的碱显影方法来进行。例如可以利用如下等方法来进行,即,使用溶剂或水性的显影液,特别是碱水溶液(碱显影液)等,将曝光后的感光性转印材料浸渍于收容了显影液的显影浴中,或对感光性转印材料上的层用喷雾器等喷雾等,并且用旋转刷、湿润海绵等擦拭,在照射超声波的同时进行处理。显影液的液温优选为20℃~40℃,另外,显影液的pH优选为8~13,更优选为10~12。另外,优选在显影后进行水洗处理。
作为显影的方式,可以使用浸置(puddle)显影、冲淋(shower)显影、冲淋&旋转(spin)显影、摆动(dip)显影等公知的方法。
在利用喷淋显影的情况下,通过利用喷淋器向曝光后的感光层喷射显影液,就可以将未固化部分除去。而且,优选在显影前预先利用喷淋器等喷射感光层的溶解性低的碱水溶液,将热塑性树脂层、中间层等除去。
作为碱性水溶液,例如优选碱性物质的稀薄水溶液,更优选添加了具有水混合性的有机溶剂的水溶液。
作为碱性物质,只要是不损害本发明的效果,就可以没有特别限制地根据目的适当地选择,然而例如可以举出氢氧化钠、氢氧化钾等碱金属氢氧化物类;碳酸钠、碳酸钾等碱金属碳酸盐类;碳酸氢钠、碳酸氢钾等碱金属碳酸氢盐类;硅酸钠、硅酸钾等碱金属硅酸盐类;偏硅酸钠、偏硅酸钾等碱金属偏硅酸盐类;三乙醇胺、二乙醇胺、单乙醇胺、吗啉、四甲基氢氧化铵等四烷基氢氧化铵类或磷酸三钠等。它们除了可以单独使用一种以外,还可以并用两种以上。
作为上述碱性水溶液,碱性物质的浓度优选为0.01~30质量%,pH优选为8~14。
上述具有水混合性的有机溶剂可以根据目的适当地选择,例如可以举出甲醇、乙醇、2-丙醇、1-丙醇、丁醇、二丙酮醇、乙二醇单甲醚、乙二醇单***、乙二醇单丁基醚、苄醇、丙酮、甲乙酮、环己酮、ε-己内酯、γ-丁内酯、二甲替甲酰胺、二甲替乙酰胺、六甲基磷酰胺、乳酸乙酯、乳酸甲酯、ε-己内酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。具有水混合性的有机溶剂的添加量优选为0.1~30质量%。
另外,碱性水溶液中可以添加公知的各种表面活性剂,添加该表面活性剂时的添加量优选味0.01~10质量%。
本发明的滤色片的制造方法中,利用上述图案形成方法不仅可以来制作间隔件,还可以制作像素本身。即,可以在玻璃基板等透明基板上,利用上述图案形成方法,以马赛克状或条纹状配置RGB三原色的像素。
作为各像素的尺寸,没有特别限制,可以根据目的适当地选择,例如可以很容易地形成一边为40~200μm的格子状、或宽40~200μm的条纹状的图案。另外,还可以根据曝光精度形成更为高精细的图案。
本发明的滤色片制造方法中,除此以外,例如还可以使用在透明基板上着色为黑色的感光层,进行曝光及显影,形成黑矩阵,然后使用着色为RGB三原色的任一种的感光层,相对于上述黑矩阵以规定的配置,对各色依次反复进行曝光及显影,在上述透明基板上形成将RGB三原色以马赛克状或条纹状配置的滤色片。
(3)液晶显示元件
本发明的液晶显示元件是将利用上述滤色片的制造方法得到的滤色片作为构件的至少一个使用的元件,例如可以举出在至少一方为透光性的一对基板间至少具备了液晶层和液晶驱动机构(包括单纯矩阵驱动方式及有源矩阵驱动方式)的元件。
该情况下,可以作为如下的滤色片基板构成,即,具有多个RGB像素组,构成该像素组的各像素相互被黑矩阵隔离。在该滤色片基板上,由于设有高度均匀且变形恢复性优异的光间隔件,因此具备该滤色片基板的液晶显示元件可以在滤色片基板与对置基板之间抑制单元间隙不均(单元厚度变动)的产生,可以有效地防止颜色不均等显示不均的产生。由此,所制作的液晶显示元件就可以显示鲜艳的图像。
另外,作为液晶显示元件的其他的方式,是如下构成的方式,即,在至少一方为透光性的一对基板间至少具备液晶层和液晶驱动机构,上述液晶驱动机构具有有源元件(例如TFT),并且一对基板间由高度均匀且变形恢复性优异的光间隔件以规定宽度限制。
作为本发明中可以使用的液晶,可以举出向列相液晶、胆甾相液晶、近晶相液晶、强介电液晶。
另外,上述滤色片基板的上述像素组无论是由呈现相互不同的颜色的2色的像素构成的,还是由3色的像素、4色以上的像素构成的都可以。例如,在3色的情况下,由红(R)、绿(G)及蓝(B)3个色调构成。在配置RGB3色的像素组的情况下,优选马赛克型、三角型等配置,在配置4色以上的像素组的情况下,无论是哪种配置都可以。滤色片的制作例如既可以在2色以上的像素组的形成后形成黑矩阵,也可以反过来在黑矩阵的形成后形成像素组。对于RGB像素的形成,可以以日本特开2004-347831号公报等为参考。
本发明的液晶显示元件适用于LCD显示装置中。作为液晶显示装置的液晶显示模式的合适例子,可以举出STN型、TN型、GH型、ECB型、强介电性液晶、反强介电性液晶、VA型、IPS型、OCB型、ASM型、其他的各种类型。在将本发明的液晶显示元件用于容易因液晶单元的单元厚度的变动引起显示不均的显示模式,例如单元厚度为2~4μm的VA型显示模式、IPS型显示模式、OCB型显示模式的显示模式中的情况下,由于可以有效地实现对显示不均的产生的抑制,因此优选。
作为液晶显示装置的基本的构成方式,可以举出(a)将排列形成了薄膜晶体管(TFT)等驱动元件和像素电极(导电层)的驱动侧基板、与具备了对置电极(导电层)的对置基板夹隔着光间隔件对置配置,向其间隙部中封入液晶材料而构成的方式;(b)将驱动基板与具备了对置电极(导电层)的对置基板夹隔着光间隔件对置配置,向其间隙部中封入液晶材料而构成的方式等。
液晶显示装置例如可以以“下一代液晶显示器技术(内田龙男编著、侧工业调查会、1994年发行)”中记载的各种方式的液晶显示装置来构成。其中,对于构成彩色TFT方式的液晶显示装置来说尤其有效。对于彩色TFT方式的液晶显示装置,例如在“彩色TFT液晶显示器(共立出版(株)、1996年发行)”中有记载。
液晶显示装置一般来说可以使用电极基板、偏光膜、相位差膜、背光灯、间隔件、视角补偿膜、防反射膜、光扩散膜、防眩光膜等各种构件构成。对于这些构件,例如记载于“’94液晶显示器周边材料·化工品的市场(岛健太郎、(株)CMC、1994年发行)”、“2003液晶相关市场的现状和将来展望(下卷)(表良吉、(株)富士Chimera综研、2003等发行)”中。
实施例
下面,对本发明的实施例进行说明,然而本发明并不受下述实施例的任何限定。而且,只要没有特别指出,“份”就是质量基准。
(实施例1)
-感光性组合物的配制-
基于下述组成,配制了感光性组合物。
[感光性组合物溶液的组成]
·Ripoxy PR-300、浓度67%、昭和高分子(株)制…50份
·Ripoxy SPC-2X、浓度60%、昭和高分子(株)制…30份
·二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA、UCB Chemicals公司制)…20份
·甲乙酮…100份
·以下述结构式(5)表示的肟化合物(光聚合引发剂)…2份
·1-氯-4-丙氧基硫代呫吨酮(敏化剂)…1份
将上述组合物混合搅拌,配制成实施例1的感光性组合物溶液。而且,所有的操作是在黄色光下实施的。
Figure A20078005228901111
结构式(5)
其中,上述结构式(5)中,Me表示甲基。
以上述结构式(5)表示的肟化合物是利用下述合成例1中所示的方法合成的。另外,以上述结构式(5)表示的肟化合物的感光性组合物中的含量为2质量%。
[合成例1]
将6-甲氧基-1-萘满酮(10g)、羟基胺盐酸盐(6g)、乙酸钾(10g)、乙醇(100mL)的混合溶液在100℃加热搅拌1小时。在使用TLC确认原料的消失后,加入200mL水中,使之析出晶体。通过过滤出析出的晶体,用乙腈80mL重结晶,得到材料肟化合物10.0g。
上述材料肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:1.8(q,2H),2.6-2.7(m,4H),3.8(s,3H),6.7-6.8(m,2H),7.8(d,1H)。
在将所得的材料肟化合物(2.0g)、吡啶(10g)、四氢呋喃(10mL)的混合溶液冷却为0℃后,以相同温度滴加氯甲酸甲酯(1.5g)。升温到室温后,搅拌2小时。在使用TLC确认原料的消失后,加入水60mL中。通过过滤出析出的晶体,利用硅胶色谱提纯,得到以上述结构式(5)表示的肟化合物1.5g。
上述肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:1.9(q,2H),2.7(t,2H),2.9(t,2H),3.8(s,3H),6.6(s,1H),6.8(d,1H),8.1(s,1H)。
-感光层的形成-
将上述操作中得到的感光性组合物溶液涂布于将表面研磨、水洗、干燥了的覆铜层叠板(铜厚度12μm)上,通过在对流式烤炉内在80℃加热15分钟,除去溶剂而使之干燥,形成了膜厚30μm的感光层。
-图案的形成-
--曝光工序--
使用半导体激光器(中心激振波长405nm),以21/2倍间隔照射0.1mJ/cm2到100mJ/cm2的光能量不同的光而进行二重曝光,使上述感光层的一部分的区域固化。在室温下静置10分钟后,以喷雾压力0.15MPa喷淋30秒30℃的1质量%碳酸钠水溶液,将未固化的区域溶解除去,测定残留的固化区域的厚度。将残留有90%以上的厚度的点设为为了将感光层固化而必需的光能量。
<灵敏度的评价>
将为了使使用了上述感光性组合物感光层固化而必需的光能量作为本发明的肟化合物的灵敏度进行评价。值越小则说明灵敏度越高,可以在短时间内将其固化。将结果表示于表1中。
<灵敏度的经时变化(保存稳定性)的评价>
将利用与上述相同的方法制造的感光层在40℃的温度条件下保存3天。其后,取出上述感光层,利用与上述相同的方法测定了灵敏度。将结果表示于表1中。
(实施例2)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(2)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901131
结构式(2)
以上述结构式(2)表示的肟化合物除了在上述合成例1中,将氯甲酸甲酯设为2甲基丙酰基氯化物以外,利用与上述合成例1相同的手法合成。
而且,以上述结构式(2)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:1.3(d,6H),1.9(q,2H),2.7-2.8(m,3H),2.9(t,2H),3.8(s,1H),6.6(s,1H),6.8(d,1H),8.1(d,1H)。
(实施例3)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(8)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
结构式(8)
以上述结构式(8)表示的肟化合物是通过将5-甲氧基茚酮肟作为起始原料,在使用羟基胺得到了材料肟化合物后,在三乙胺存在下,利用乙酸酐将其乙酰化而合成的。
而且,以上述结构式(8)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.2(s,3H),3.0(m,4H),3.8(s,3H),6.8(s,1H),6.9(d,1H),7.8(d,1H)。
(实施例4)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(9)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901141
结构式(9)
以上述结构式(9)表示的肟化合物除了作为起始原料使用了苯并噻吩酮以外,利用与实施例3的以结构式(8)表示的肟化合物相同的手法合成。
而且,以上述结构式(9)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.1(s,3H),4.2(s,2H),7.1(t,1H),7.3(d,1H),7.4(t,1H),7.9(d,1H)。
(实施例5)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(10)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
结构式(10)
以上述结构式(10)表示的肟化合物除了作为起始原料使用了二氢苯并噻喃酮以外,利用与实施例3相同的手法合成。
以上述结构式(10)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.2(s,3H),3.0(t,2H),3.2(t,2H),7.1-7.3(m,3H),8.2(d,1H)。
(实施例6)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(16)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
结构式(16)
以上述结构式(16)表示的肟化合物除了作为起始原料使用了二甲氧基茚酮以外,利用与实施例3的以结构式(8)表示的肟化合物相同的手法合成。
以上述结构式(16)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.2(s,3H),3.0(m,4H),3.9(s,3H),6.8(s,1H),7.3(s,1H)。
(实施例7)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(24)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901152
结构式(24)
以上述结构式(24)表示的肟化合物作为起始原料使用了甲氧基萘醛,在使用丙二酸衍生为萘并肉桂酸后,利用接触氢化反应衍生为羟基肉桂酸。然后,在聚磷酸中衍生为甲氧基萘并茚酮后,利用与实施例3相同的手法肟化,然后通过进行酰基化,得到上述结构式(24)。
以上述结构式(24)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.3(s,3H),3.2(m,4H),3.9(s,3H),7.2(s,1H),7.3(d,1H),7.4(d,1H),7.8(d,1H),9.0(d,1H)。
(实施例8)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(25)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901161
结构式(25)
上述结构式(25)除了作为起始原料使用了萘醛以外,利用与实施例7相同的手法合成。
以上述结构式(25)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.2(s,3H),3.1(t,2H),3.3(t,2H),7.3(d,1H),7.2(t,1H),7.3(t,1H),7.7(d,1H),7.9(d,1H),8.3(d,1H)。
(实施例9)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(27)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
结构式(27)
以上述结构式(27)表示的肟化合物除了作为起始原料使用了萘并二氢色原酮(naphthochromanone)以外,利用与实施例3的以结构式(8)表示的肟化合物相同的手法合成。
以上述结构式(27)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:1.6(m,2H),1.8(m,2H),2.1(s,3H),2.8(m,4H),7.1(t,1H),7.2(d,1H),7.4(t,1H),7.5(d,1H)。
(实施例10)
在实施例7中,除了将感光性组合物中的以上述结构式(24)表示的肟化合物的添加量2质量份改变为5质量份以外,与实施例7相同地配制感光性组合物,与实施例7相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例7相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
(实施例11)
在实施例7中,除了将感光性组合物中的以上述结构式(24)表示的肟化合物的添加量2质量份改变为0.01质量份以外,与实施例7相同地配制感光性组合物,与实施例7相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例7相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
(实施例12)
在实施例6中,除了作为光聚合引发剂又添加了2质量份的樟脑醌以外,与实施例6相同地配制感光性组合物,与实施例6相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例6相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
(实施例13)
在实施例1中,除了1-氯-4-丙氧基噻吨酮改变为N-丁基-2-氯吖啶酮以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
(实施例14)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(26)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901181
结构式(26)
以上述结构式(26)表示的肟化合物是利用以下的方法合成的。向2-萘酚(1kg)、氯苯(3L)的悬浊溶液中添加氯化铝(1.02kg)。然后,添加氯乙酰氯(0.86kg)。将混合液加热为40℃,反应1小时。将反应液注入4N的HCl水溶液(3L)中,然后添加乙酸乙酯(3L),萃取。在将有机层用饱和食盐水清洗后,加入碳酸钾(1.92kg)、水3L,在40℃搅拌30分钟。将有机层分离、浓缩后,添加含有羟基胺·盐酸盐1.5kg、乙酸1.4kg的甲醇(3L)混合溶液,在加热回流下进行3小时。将反应液注入1L水中,从反应液中析出目的物的晶体。过滤出析出的晶体,通过进行水洗(2L)、甲醇(1L)清洗,以1.07kg、99%的收率得到萘并[2,1-b]呋喃-1-酮肟。
通过使所得的肟化合物在三乙胺的存在下与乙酸酐反应,得到结构式(26)。
以上述结构式(26)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.3(s,3H),5.4(s,2H),7.2(d,1H),7.5(t,1H),7.7(t,1H),7.9(d,1H),8.0(d,1H),8.6(d,1H)。
(实施例15)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(11)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901191
结构式(11)
以上述结构式(11)表示的肟化合物除了作为起始原料使用了苯并呋喃酮以外,利用与实施例3的以结构式(8)表示的肟化合物相同的手法合成。
以上述结构式(11)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.2(s,3H),5.2(s,2H),7.0-7.1(m,2H),7.5(t,1H),7.8(d,1H)。
(实施例16)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(29)表示的肟化合物以外,与实施例1的以结构式(5)表示的化合物相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901192
结构式(29)
以上述结构式(29)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:1.9(q,3H),2.3(s,3H),2.8(t,2H),2.9(t,2H),3.9(s,3H),6.9(d,1H),7.2(t,1H),7.8(d,1H)。
(实施例17)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(30)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901201
结构式(30)
以上述结构式(30)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:1.9(q,2H),2.3(s,3H),2.8(t,2H),2.9(t,2H),3.8(s,3H),6.9(d,1H),7.2(t,1H),7.6(s,1H)。
(实施例18)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(31)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901202
结构式(31)
以上述结构式(31)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.2(s,3H),3.0(dd,1H),3.6(dd,1H),4.5-4.6(m,1H),7.1(t,3H),7.2-7.5(m,5H),8.0(d,1H)。
(实施例19)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(1)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
结构式(1)
以上述结构式(1)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:1.9(q,2H),2.3(s,3H),2.7(t,3H),3.8(t,3H),2.9(s,3H),3.92(s,3H),6.6(s,1H),7.6(s,1H)。
(实施例20)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(34)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901212
结构式(34)
以上述结构式(34)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.0(q,2H),2.4(s,3H),3.0(t,2H),3.1(t,2H),7.3(d,1H),7.5(dd,2H),8.0(d,2H),8.1(d,1H),8.4(s,1H),9.9(s,1H)。
(实施例21)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(35)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901221
结构式(35)
以上述结构式(35)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.2(s,3H),2.9(dd,1H),3.5(d,1H),3.8(s,3H),5.1(d,1H),6.9-7.1(m,2H),7.4-7.5(m,6H)。
(实施例22)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(36)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901222
结构式(36)
以上述结构式(36)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:1.4(s,6H),2.3(s,3H),2.9(s,3H),3.87(s,3H),3.8(s,3H),6.4(s,1H),7.4(s,1H)。
(实施例23)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(37)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901223
结构式(37)
以上述结构式(37)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.2(s,3H),2.8(dd,1H),3.5(d,1H),5.1(d,1H),6.5(s,1H),6.6(d,1H),7.4-7.5(m,5H),8.0(d,1H)。
(实施例24)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(38)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901231
结构式(38)
以上述结构式(38)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:1.3(d,6H),1.9(q,2H),2.3(s,3H),2.5(m,1H),2.8(t,2H),2.9(t,2H),7.2(d,1H),7.4(s,1H),7.8(s,1H),8.1(d,1H)。
(实施例25)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(39)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
结构式(39)
以上述结构式(39)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.0(q,2H),2.3(s,3H),2.9-3.0(m,4H),7.4(d,1H),8.2(d,1H),9.0(s,1H)。
(实施例26)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(40)表示的肟化合物以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901241
结构式(40)
以上述结构式(40)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:1.9(q,2H),2.3(s,3H),2.7(t,2H),2.9(t,2H),7.1(d,1H),7.5(d,1H),8.3(s,1H)。
(实施例27)
在实施例1中,除了将以结构式(5)表示的肟化合物改变为以下述结构式(52)表示的肟化合物,将1-氯-4-丙氧基噻吨酮(敏化剂)改变为N-丁基氯吖啶酮(敏化剂)以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,与实施例1相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
结构式(52)
以上述结构式(52)表示的肟化合物除了作为起始原料使用了1-萘酚以外,利用与实施例14的结构式(26)相同的手法合成。
以上述结构式(52)表示的肟化合物的1H-NMR谱图(300MHz、CDCl3)为δ:2.2(q,3H),5.4(s,2H),7.45(d,1H),7.55(t,1H),7.60(t,1H),7.7(d,1H),7.8(d,1H),8.1(d,1H)。
(实施例28)
在实施例14中,除了将1-氯-4-丙氧基噻吨酮(敏化剂)的添加量设为1.6质量份以外,与实施例14相同地配制感光性组合物,与实施例14相同地制备感光层及层叠体,将其曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
(比较例1)
在实施例1中,除了取代以上述结构式(5)表示的肟化合物2份,加入了以下述结构式(53)表示的Irgcure.OXE-01(汽巴精化公司制)5质量份以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,形成感光层,对该感光层进行了曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901251
结构式(53)
(比较例2)
在实施例1中,除了取代以上述结构式(5)表示的肟化合物2份,加入了以下述结构式(54)表示的Irgcure.907(汽巴精化公司制)5质量份以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,形成感光层,对该感光层进行了曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901252
结构式(54)
(比较例3)
在实施例1中,除了取代以上述结构式(5)表示的肟化合物2份,加入了以下述结构式(55)表示的日本特开2006-36750号改变中记载的肟化合物2质量份以外,与实施例1相同地配制感光性组合物,形成感光层,对该感光层进行了曝光、显影。
另外,利用与实施例1相同的方法,评价了曝光灵敏度及灵敏度的经时变化。将结果表示于表1中。
Figure A20078005228901261
结构式(55)
[表1]
  曝光灵敏度(mJ/cm2)   经时后的曝光灵敏度(mJ/cm2)
  实施例1   30   35
  实施例2   20   25
  实施例3   15   25
  实施例4   40   45
  实施例5   45   45
  实施例6   12   15
  实施例7   10   15
  实施例8   20   25
  实施例9   40   45
  实施例10   8   12
  实施例11   40   40
  实施例12   10   12
  实施例13   20   25
  实施例14   20   25
  实施例15   15   25
  实施例16   30   35
  实施例17   12   20
  实施例18   18   26
  实施例19   20   25
  实施例20   40   45
  实施例21   30   35
  实施例22   30   35
  实施例23   25   30
  实施例24   30   35
  实施例25   40   40
  实施例26   40   45
  实施例27   10   12
  实施例28   8   10
  比较例1   60   ※--
  比较例2   50   ※--
  比较例3   80   110
表1中,※经时试验后的膜在未曝光状态下就已经完全固化,无法评价。
在使用本实施例中采用的曝光***(半导体激光器)的情况下,由于需要将图像扫描,因此为了缩短曝光时间(削减处理成本),需要以低能量将其固化(高灵敏度)。虽然对于感光材料的高灵敏度化,也有增加光聚合引发剂的添加量的方法,然而由于会成为感光材料的材料成本上升的要因,因此不够理想。
另外,如果经时中的灵敏度变化大,则用于获得稳定的图像的控制就会变得困难,并且因灵敏度降低,上述的曝光时间变长,从而有处理成本上升的问题。
基于此种理由,希望有即使是很少的添加量也是高灵敏度、并且经时后的灵敏度变化(保存稳定性)小的感光材料。
根据表1的结果,使用了含有以上述通式(1)表示的本发明的肟化合物的本发明的感光性组合物的实施例1~28中,可以确认,即使是很少的添加量(2质量份),在曝光灵敏度及经时后的灵敏度变化(保存稳定性)方面也极为优异。
与之不同,在未使用本发明的肟化合物的比较例1~2中,即使增加添加量(从2质量份到5质量份),也无法实现曝光灵敏度的较高的改善,观测到经时后的膜质的变化(未曝光状态下的膜的固化)。另外,在比较例3中也发现,无法改善感光灵敏度,有灵敏度变化(保存稳定性差)。
(实施例29)
<感光性组合物K1的配制>
量取下述表2中记载的量的K颜料分散物1、以及丙二醇单甲醚乙酸酯,在温度24℃(±2℃)以150r.p.m.搅拌混合10分钟。
然后,通过量取表2中记载的量的甲乙酮、粘结剂1、DPHA液、光聚合引发剂1、敏化剂1、氢醌单甲醚、以及表面活性剂1,在温度25℃(±2℃)下依次添加,在温度40℃(±2℃)下以150r.p.m.搅拌混合30分钟,配制了感光性组合物K1。
感光性组合物K1的固体成分浓度为9质量%。
[表2]
Figure A20078005228901281
下面,给出上述表2中的各成分的详情。
*K颜料分散物1
·炭黑…13.1份
(Nipex35、Degusa Japan公司制)
·分散剂(下述化合物1)…0.65份
·聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(=72/28[摩尔比])的无规共聚物、分子量3.7万)…6.72份
·丙二醇单甲醚乙酸酯…79.53份
化合物1
*粘结剂1
·聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(=78/22[摩尔比])的无规共聚物、分子量3.8万)…27份
·丙二醇单甲醚乙酸酯…73份
*DPHA液
·二季戊四醇六丙烯酸酯…76份
(含有聚合抑制剂MEHQ 500ppm、日本化药(株)制、商品名:KAYARAD DPHA)
·丙二醇单甲醚乙酸酯…24份
*光聚合引发剂1
·商品名CGI325(汽巴精化制)(下述化合物2)
Figure A20078005228901301
                    化合物2
*敏化剂1
Figure A20078005228901302
*表面活性剂1
·下述结构物1…30份
·甲乙酮…70份
结构物1
Figure A20078005228901303
(n=6,x=55,y=5,
Mw=33940,Mw/Mn=2.55
PO:环氧丙烷,EO:环氧乙烷)
<黑矩阵的制作>
在将1900mm×2100mm尺寸的无碱玻璃基板(以下称作玻璃基板)用UV清洗装置清洗后,使用清洗剂进行刷洗,再用超纯水进行超声波清洗。将该玻璃基板在120℃热处理3分钟而将表面状态稳定化。其后,在将玻璃基板量取而调温到23℃后,使用具备狭缝间隔(从正面看狭缝喷头的喷出口时的喷出口的间隙的宽度)50μm、涂布宽度(上述喷出口的间隙的长度)1880mm的狭缝喷头、具有旋转辊型预喷出装置的狭缝涂布装置(除了该狭缝间隔、狭缝喷头以外依照日本特开2001-310147号公报中记载的涂布机制作的涂布机),利用以下的方法进行了狭缝涂布。
首先,将上述狭缝喷头在旋转辊型预喷出装置上移动,将喷头接近距旋转辊200μm的高度,通过利用泵输送涂布液(上述感光性组合物K1),在旋转辊上涂布4秒,来进行预喷出,将来自喷出口的涂布液的喷出状态稳定化。
一旦将泵停止后,即将上述狭缝喷头快速地向宽1900mm、长2100mm、厚0.7mm的长方形玻璃基板的一方的短边附近移动,以200μm的余隙(基板与狭缝喷头的喷出口的距离),利用泵再次开始送液,再次开始涂布,以150mm/秒移动喷头。在涂布到该基板的另一方的短边附近的时间点,将泵停止,将狭缝喷头再次向旋转辊型预喷出装置上移动,准备下次的涂布。将上述涂布后的玻璃基板用真空干燥机减压干燥,再用加热板以90℃预烘焙60秒,得到黑色(K)着色层。膜厚为2.3μm。
使用如此得到的带有K着色层的玻璃基板,利用后述的方法进行了涂布不均的评价。
对如此得到的K着色层,使用具有超高压水银灯的接近型曝光机(日本Hitech电子工程(株)制),在将玻璃基板与掩模(具有图像图案的石英曝光图案)垂直地竖立的状态下,将掩模表面与K着色层之间的距离设定为200μm,以100mJ/cm2的曝光量进行了图案曝光。
掩模是用于线宽30μm的黑矩阵形成、具有横100μm×纵300μm的条纹状的开口部的掩模。
然后,将三乙醇胺系显影液(含有三乙醇胺30质量%;将商品名T-PD2(富士胶片(株)制)用纯水稀释为12倍(以1份T-PD2和11份纯水的比例混合)的液体)在30℃以平板喷嘴压力0.04MPa冲淋显影50秒,除去热塑性树脂层及中间层。接下来,向该玻璃基板面喷送空气而使液体消失后,利用喷淋器喷射10秒纯水,进行了纯水冲淋清洗,吹送空气而减少玻璃基板上的液体存留。
接下来,使用碳酸钠系显影液(0.38摩尔/升的碳酸氢钠;将商品名:T-CD1(富士胶片(株)制)用纯水稀释为5倍的液体),在29℃以锥形喷嘴压力0.15MPa将感光性树脂层冲淋显影30秒,得到图案像。
接下来,使用清洗剂(含有磷酸盐·硅酸盐·非离子表面活性剂·消泡剂·稳定剂;将商品名:T-SD1(富士胶片(株)制)用纯水稀释为10倍的液体)在33℃以锥形喷嘴压力0.02MPa用喷淋器喷射20秒,继而利用具有尼龙毛的旋转刷擦拭图案像而进行残渣除去,得到黑矩阵。而且,虽然上述操作中作为清洗液使用了T-SD1,然而可以同样地使用T-SD2(富士胶片(株)制)。
其后,在利用上述的曝光时所用的曝光机,不使用掩模地对该玻璃基板从两面以500mJ/cm2的曝光量进行了后曝光后,在220℃进行15分钟热处理,形成了黑矩阵。对如此形成的黑矩阵基板,利用后述的方法,评价了显影宽容度。
<红(R)、绿(G)、蓝(B)像素的形成>
将形成了黑矩阵的玻璃基板冷却,依照与上述K着色层形成时相同的步骤,使用下述所示的各色(RGB)感光性组合物,形成了RGB着色层。此时所用的掩模是具有横103μm×纵303μm的条纹状的开口部的掩模。
感光性树脂层R1的膜厚为1.6μm,颜料C.I.颜料红254及C.I.颜料红177的涂布量分别为0.88g/m2、0.22g/m2
感光性树脂层G1的膜厚为1.6μm,颜料C.I.颜料绿36及C.I.颜料黄150的涂布量分别为1.12g/m2、0.48g/m2
感光性树脂层B1的膜厚为1.6μm,颜料C.I.颜料蓝15:6及C.I.颜料紫23的涂布量分别为0.63g/m2、0.07g/m2
如上所述,制作了在玻璃基板上形成了黑矩阵(BM)及RGB像素的滤色片(以下也称作滤色片基板)。
<感光性组合物R1、G1、B1>
[表3]
  感光性树脂组合物   R1   G1   B1
  R颜料分散物1(C.I.P.R.254)   44.0份   -   -
  R颜料分散物2(C.I.P.R.177)   5.0份   -   -
  G颜料分散物1(C.I.P.G.36)   -   24.0份   -
  Y颜料分散物1(C.I.P.Y.150)   -   13.0份   -
  B颜料分散物1(C.I.P.B.15:6)   -   -   8.0份
  B颜料分散物2(C.I.P.B.15:6+C.I.P.V.23)   -   -   14.0份
  丙二醇单甲醚乙酸酯   7.6份   29.0份   28.0份
  甲乙酮   37.0份   26.0份   26.0份
  环己酮   -   1.3份   -
  粘结剂1   -   2.5份   -
  粘结剂2   0.7份   -   -
  粘结剂3   -   -   19.0份
  DPHA液   3.8份   3.5份   4.2份
  光聚合引发剂1   0.18份   0.15份   0.17份
  敏化剂1   0.18份   0.15份   0.17份
  吩噻嗪   0.01份   0.005份   0.02份
  表面活性剂1   0.06份   0.07份   0.06份
对于上述表3中记载的感光性组合物R1、G1、B1的配制分别进行说明。
<感光性组合物R1的配制>
量取上述表3中记载的量的R颜料分散物1、R颜料分散物2、以及丙二醇单甲醚乙酸酯,在温度24℃(±2℃)以150r.p.m.搅拌混合10分钟。
然后,通过量取上述表3中记载的量的甲乙酮、粘结剂2、DPHA液、光聚合引发剂1、敏化剂1、以及吩噻嗪,在温度24℃(±2℃)依照该顺序添加,以150r.p.m.搅拌30分钟,然后量取上述表2中记载的量的表面活性剂1,在温度24℃(±2℃)添加,以30r.p.m.搅拌5分钟,用尼龙筛网#200过滤,配制了感光性组合物R1。
<感光性组合物G1的配制>
量取上述表3中记载的量的G颜料分散物1、Y颜料分散物1、以及丙二醇单甲醚乙酸酯,在温度24℃(±2℃)以150r.p.m.搅拌混合10分钟。
然后,通过量取上述表3中记载的量的甲乙酮、环己酮、粘结剂1、DPHA液、光聚合引发剂1、敏化剂1以及吩噻嗪,在温度24℃(±2℃)依照该顺序添加,以150r.p.m.搅拌30分钟,然后量取上述表3中记载的量的表面活性剂1,在温度24℃(±2℃)添加,以30r.p.m.搅拌5分钟,用尼龙筛网#200过滤,配制了感光性组合物G1。
<感光性组合物B1的配制>
量取上述表3中记载的量的B颜料分散物1、B颜料分散物2、以及丙二醇单甲醚乙酸酯,在温度24℃(±2℃)以150r.p.m.搅拌混合10分钟。
然后,通过量取上述表3中记载的量的甲乙酮、粘结剂3、DPHA液、光聚合引发剂1、敏化剂1以及吩噻嗪,在温度25℃(±2℃)依照该顺序添加,在温度40℃(±2℃)以150r.p.m.搅拌30分钟,继而量取上述表3中记载的量的表面活性剂1,在温度24℃(±2℃)添加,以30r.p.m.搅拌5分钟,用尼龙筛网#200过滤,配制了感光性组合物B1。
下面,给出上述表3中的各成分的详情。
*R颜料分散物1
·C.I.颜料红254(商品名:Irgaphor Red B-CF、汽巴精化(株)制)…8.0份
·上述化合物1(分散剂)…0.8份
·聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(=72/28[摩尔比])的无规共聚物、分子量:3万)…8份
·丙二醇单甲醚乙酸酯…83份
*R颜料分散物2
·C.I.颜料红177(商品名:Cromophtal Red A2B、汽巴精化(株)制)…18份
·聚合物[甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(=72/28[摩尔比])的无规共聚物(质均分子量37000)]…12份
·丙二醇单甲醚乙酸酯…70份
*G颜料分散物1
商品名:GT-2(富士胶片电子材料(株)制)
*Y颜料分散物1
商品名:CF黄EX3393(御国色素(株)制)
*B颜料分散物1
商品名:CF蓝EX3357(御国色素(株)制)
*B颜料分散物2
商品名:CF蓝EX3383(御国色素(株)制)
*粘结剂1
如上所述。
*粘结剂2
·聚合物[甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯(=38/25/37[摩尔比])的无规共聚物、分子量:4万]…27份
·丙二醇单甲醚乙酸酯…73份
*粘结剂3
·聚合物[甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸/甲基丙烯酸甲酯(=36/22/42[摩尔比])的无规共聚物(质均分子量38000)]…27份
·丙二醇单甲醚乙酸酯…73份
*DPHA液
如上所述。
*光聚合引发剂1
如上所述。
*敏化剂1
如上所述。
*表面活性剂1
如上所述。
在利用上述操作制作的滤色片基板的R像素、G像素以及B像素及黑矩阵上,又设置了罩面层后,利用溅射形成了ITO(Indium Tin Oxide)的透明电极。
<光间隔件的形成>
除了将感光性组合物K1变更为由下述的组成构成的光间隔件形成用树脂组合物以外,利用与上述的K着色层相同的方法,在利用上述操作制作的带有ITO的滤色片基板上,制作了光间隔件。此时的树脂层的干燥层厚为4.1μm。
光间隔件形成用树脂组合物的组成如下所示。
·1-甲氧基-2-丙基乙酸酯…452份
·甲乙酮…327份
·甲醇…0.035份
·粘结剂4…101份
(甲基丙烯酸/甲基丙烯酸烯丙酯共聚物(=20/80[摩尔比])、质均分子量36000;高分子物质)
·DPHA液(如上所述)…99份
·2,4-双(三氯甲基)-6-[4’-(N,N-双乙氧基羰基甲基)氨基-3’-溴苯基]-s-三嗪…2.5份
·氢醌单甲醚…0.039份
表面活性剂1(如上所述)…0.86份
·消色剂…17份
(商品名:维多利亚纯蓝BOH-M、保土谷化学(株)制)
<液晶显示装置的制作>
在利用上述操作得到的带有间隔件的滤色片基板上涂布聚酰亚胺,实施摩擦处理,形成了取向膜。通过相对于该滤色片基板,夹入液晶材料地组合驱动侧基板,而制作了液晶显示元件。即,作为驱动侧基板,准备排列形成了TFT和梳形的像素电极(导电层)的IPS用TFT基板,将该TFT基板和利用上述操作得到的滤色片基板按照使该TFT基板的设置了像素电极等的一侧的表面与滤色片基板的形成了取向膜的一侧的表面相面对的方式配置,具有由间隔件造成的间隙地固定。向该间隙中封入液晶材料,设置担负图像显示的液晶层而制成液晶单元。在如此得到的液晶单元的两面贴附(株)Sanritz制的偏振片HLC2-2518。然后,构成冷阴极放电管的背光灯,配置于成为设置了上述偏振片的液晶单元的背面的一侧,制成液晶显示装置。
而且,本实施例中虽然对IPS模式用的液晶显示装置进行了具体说明,然而本发明并不限定于此,对于AFFS等其他的液晶显示模式也可以获得相同的效果。对于下述的实施例30~34也相同。
(实施例30)
在实施例29中,除了将感光性组合物K1变更为感光性组合物K2(固体成分浓度:6.7质量%)以外,与实施例29相同地形成RGB像素及间隔件,制作了液晶显示装置。
(实施例31)
在实施例29中,除了将感光性组合物K1变更为感光性组合物K3(固体成分浓度:11.6质量%)以外,与实施例29相同地形成RGB像素及间隔件,制作了液晶显示装置。
(实施例32)
在实施例29中,除了将感光性组合物K1变更为感光性组合物K4(固体成分浓度:4.2质量%)以外,与实施例29相同地形成RGB像素及间隔件,制作了液晶显示装置。
(实施例33)
在实施例29中,除了将感光性组合物K1变更为感光性组合物K5(固体成分浓度:14.1质量%)以外,与实施例29相同地形成RGB像素及间隔件,制作了液晶显示装置。
(实施例34)
在实施例29中,除了去除感光性组合物K1的敏化剂以外,与实施例29相同地形成RGB像素及间隔件,制作了液晶显示装置。
(比较例4)
在实施例29中,除了将感光性组合物K1变更为感光性组合物K6(固体成分浓度:2.4质量%)以外,与实施例29相同地形成RGB像素及间隔件,制作了液晶显示装置。
(比较例5)
在实施例29中,除了将感光性组合物K1变更为感光性组合物K7(固体成分浓度:15.3质量%)以外,与实施例29相同地形成RGB像素及间隔件,制作了液晶显示装置。
(比较例6)
在比较例5中,除了将所用的玻璃的尺寸变更为1000mm×900mm以外,与比较例5相同地形成RGB像素及间隔件,制作了液晶显示装置。
将上述感光性组合物K1~K7归纳于下述表4中。
[表4]
  感光性树脂组合物   K1   K2   K3   K4   K5   K6   K7
  K颜料分散物1(炭黑)   19份   14份   24份   8.7份   29份   5份   32份
  丙二醇单甲醚乙酸酯   15份   21份   7.8份   28份   0.79份   34份   -
  甲乙酮   54份   56份   53份   57份   51份   58份   53份
  粘结剂1   8.1份   6份   10份   3.8份   13份   2.2份   14份
  DPHA液   3.5份   2.6份   4.5份   1.6份   5.4份   0.93份   5.9份
  光聚合引发剂1   0.18份   0.13份   0.23份   0.084份   0.28份   0.048份   0.31份
  敏化剂1   0.18份   0.13份   0.23份   0.084份   0.28份   0.048份   0.31份
  氢醌单甲醚   0.002份   0.002份   0.003份   0.001份   0.003份   0.001份   0.004份
  表面活性剂1   0.036份   0.027份   0.046份   0.017份   0.056份   0.01份   0.061份
对于实施例及比较例的各个黑矩阵及滤色片以及液晶显示装置,进行了下述的测定及评价。将结果表示于下述表5中。
<固体成分浓度的算出方法>
称取涂布液(感光性组合物)1g,与4g海砂混合,将其在真空烤炉内减压的同时,在150℃干燥2小时。测定该干固物的质量,通过减去海砂的质量(4g),算出涂布液中的固体成分质量。将其用原来的涂布液的质量(1g)除,乘以100,求出固体成分浓度。
<涂布不均>
对上述各带有K着色层的玻璃基板内的任意的100点,利用Macbeth浓度测定器测定光学浓度,算出最高浓度的点与最低浓度的点的差ΔOD,利用以下的评价基准进行评价。将◎、○、△设为合格。
ΔOD≤0.05…◎
0.05<ΔOD≤0.10…○
0.10<ΔOD≤0.30…△
0.30<ΔOD…×
<显影宽容度>
对上述各黑矩阵基板内的任意100点,利用搭载有OLYMPUS IkegamiITC-370M(奥林巴斯(株)制)的金属显微镜VANOX AHMT3(奥林巴斯(株)制),使用FLOVEL VIDEO MICRO METER MODEL VM-40(奥林巴斯(株)制)直接观察,进行了线宽测定。此时,算出线宽最粗的点与线宽最细的点的差d,利用以下的评价基准进行了评价(所谓宽容度是在胶片上能够作为浓淡再现被拍摄体的明暗的范围)。将◎、○、△设为合格。
d≤1.5μm…◎
1.5μm<d≤2.0μm…○
2.0μm<d≤2.5μm…△
2.5μm<d…×
[显示不均]
使用上述各液晶显示装置,利用目视观察输入灰色的测试信号时的灰显示而确认显示不均的有无,利用下述的评价基准进行了评价。将○、△设为合格。
[评价基准]
○:完全看不到显示不均。
△:可以看到少量显示不均。
×:可以明显地看到显示不均。
[表5]
  感光性树脂组合物   固体成分浓度(质量%)   玻璃尺寸(mm)   涂布不均   显影宽容度   显示不均
  实施例29   K1   9.0   1900×2100   ◎   ◎   ○
  实施例30   K2   6.7   1900×2100   ○   ○   ○
  实施例31   K3   11.6   1900×2100   ○   ○   ○
  实施例32   K4   4.2   1900×2100   △   △   △
  实施例33   K5   14.1   1900×2100   △   △   △
  实施例34   去除K1的敏化剂   9.0   1900×2100   ○   △   △
  比较例4   K6   2.4   1900×2100   ×   ×   ×
  比较例5   K7   15.3   1900×2100   ×   ×   ×
  比较例6   K7   15.3   1000×900   ○   ○   △
如上述表5中所示,实施例29~34中,可以大幅度地减少涂布不均,可以进行没有显示不均的显示质量高的图像显示。另外,作为预期外的效果,黑矩阵线宽对于显影的稳定性,也就是显影宽容度大幅度增大。
感光性组合物的固体成分浓度优选为2.5质量%~15质量%,更优选为5质量%~12.5质量%,最优选为7.5质量%~10质量%。
另外,与未使用敏化剂的实施例34相比,使用了敏化剂的实施例29一方的评价更高。
与之不同,在感光性组合物中的固体成分浓度小于2.5质量%的比较例4、以及固体成分浓度大于15质量%的比较例5中,涂布不均、显影宽容度以及显示不均的所有的评价都为差。比较例6中,由于基板尺寸小,因此就涂布不均及显影宽容度而言没有问题,然而产生了显示不均。
工业上的利用可能性
本发明的肟化合物因保存稳定性优异,灵敏度高,而可以通过添加到聚合性组合物中,获得如下的高灵敏度的聚合性组合物,即,在保存时不会产生聚合,保存稳定性优异,能够利用能量射线,特别是利用光的照射产生活性自由基而有效地引发聚合,将该聚合性化合物在短时间内有效地聚合。
由此,本发明的肟化合物可以作为自由基产生剂,添加到印刷油墨、透明装饰材料、粉末涂覆材料、用于建筑物的标记或道路标记、照片复制手法、全息记录的材料、图像记录手法、可以利用有机溶剂或水性碱来显影的印刷原版的制造、丝网印刷掩模的制造的日光固化性涂覆材料、牙科填充用组合物、粘接剂、压敏粘接剂、层叠用树脂、液体及膜状的抗蚀剂、阻焊剂、耐电镀抗蚀剂、永久抗蚀剂、印制电路板或电子电路用的光构成性电介质等中使用。另外,可以用于各种各样的显示用途用材料、等离子体显示面板或电发光显示装置的制造工序中的结构的形成材料、滤色片、光学开关、光学格栅(干涉格栅)、光回路制造用材料、利用大量固化(透明成形用模具中的UV固化)或立体造型手法的三维的物品的制造用材料、苯乙烯系聚酯等复合材料、其他的厚层组合物的制造用材料、电子部件及集成电路的涂覆或密封用的抗蚀剂、光纤形成用材料、光学透镜制造用涂覆材料等中。此外,还可以作为用于医用机器、辅助设备、移植物的制造、具有热致(thermotropic)特性的凝胶的制造、乳液聚合、粒状聚合、悬浮聚合的引发剂使用。另外,也可以作为用于将液晶的单体、低聚物的规则的状态固定的聚合引发剂,作为用于使染料固着在有机材料上的引发剂使用。
本发明的第一方式的感光性组合物因保持稳定性极为优异,处置容易,是能够将聚合性化合物在短时间内有效地聚合的高灵敏度的材料,因此可以在印刷油墨、透明装饰材料、粉末涂覆材料、用于建筑物的标记或道路标记、照片复制手法、全息记录的材料、图像记录手法、可以利用有机溶剂或水性碱来显影的印刷原版的制造、丝网印刷掩模的制造的日光固化性涂覆材料、牙科填充用组合物、粘接剂、压敏粘接剂、层叠用树脂、液体及膜状的抗蚀剂、阻焊剂、耐电镀抗蚀剂、永久抗蚀剂、印制电路板或电子电路用的光构成性电介质等中使用。另外,可以用于各种各样的显示用途用材料、等离子体显示面板或电发光显示装置的制造工序中的结构的形成材料、滤色片、光学开关、光学格栅(干涉格栅)、光回路制造用材料、利用大量固化(透明成形用模具中的UV固化)或立体造型手法的三维的物品的制造用材料、苯乙烯系聚酯等复合材料、其他的厚层组合物的制造用材料、电子部件及集成电路的涂覆或密封用的抗蚀剂、光纤形成用材料、光学透镜制造用涂覆材料等中。此外,还可以用于医用机器、辅助设备、移植物的制造、具有热致(thermotropic)特性的凝胶的制造中。
另外,本发明的第二方式的感光性组合物可以适于作为容易向大型基板上涂布的狭缝涂布方式的涂布液使用,在涂布厚度均匀性等涂布适用性方面优异,并且显影宽容度宽,可以适用于滤色片中。
本发明的滤色片的制造方法可以适用于本发明的滤色片的制造中。本发明的滤色片可以适用于本发明的液晶显示元件中,该液晶显示元件可以适用于LCD显示装置等中。

Claims (16)

1.一种肟化合物,其特征在于,以下述通式(1)表示,
Figure A2007800522890002C1
通式(1)
其中,所述通式(1)中,R1表示氢原子、也可以具有取代基的酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基的任一种;R2各自独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基以及氨基的任一种;m表示0~4的整数,在为2以上时,也可以相互连结而形成环;A表示4、5、6以及7元环的任一种。
2.根据权利要求1所述的肟化合物,其以下述通式(2)表示,
Figure A2007800522890002C2
通式(2)
其中,所述通式(2)中,R1表示氢原子、也可以具有取代基的酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基的任一种;R2各自独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基以及氨基的任一种;m表示0~4的整数;X表示CH2、O以及S的任一种;l表示1~3的整数。
3.根据权利要求1所述的肟化合物,其以下述通式(3)及(4)的任一个表示,
通式(3)
Figure A2007800522890003C1
通式(4)
其中,所述通式(3)及(4)中,R1表示氢原子、也可以具有取代基的酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基的任一种,R2各自独立地表示卤原子、烷基、芳基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基以及氨基的任一种;m表示0~4的整数;X表示CH2、O以及S的任一种;l表示1~3的整数。
4.根据权利要求2至3中任一项所述的肟化合物,其中,通式(2)、(3)以及(4)中,X是O及S的任一个,l是1及2的任一个,R1是也可以具有取代基的酰基以及烷氧基羰基的任一个。
5.一种感光性组合物,其特征在于,至少含有:至少一种烯键式不饱和光聚合性化合物、至少一种作为光聚合引发剂的权利要求1至4中任一项所述的肟化合物。
6.一种感光性组合物,其是含有(A)光聚合引发剂、(B)烯键式不饱和化合物、(C)粘结剂、(D)色材和(E)溶剂而成的感光性组合物,其特征在于,
所述光聚合引发剂是下述通式(A-1)所示的肟化合物,
所述组合物中的固体成分浓度为2.5质量%~15质量%,
Figure A2007800522890003C2
通式(A-1)
其中,所述通式(A-1)中,R1表示酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基的任一种;R2表示氢原子、烷基以及氰基的任一种;Ar表示芳香族环以及杂芳香族环的任一种,Ar与R2也可以相互结合而形成环;n表示0及1的任一个。
7.一种感光性组合物,其是含有(A)光聚合引发剂、(B)烯键式不饱和化合物、(C)粘结剂、(D)色材、(E)溶剂而成的感光性组合物,其特征在于,
所述光聚合引发剂是权利要求1至4中任一项所述的肟化合物,
所述组合物中的固体成分浓度为2.5质量%~15质量%。
8.根据权利要求6中所述的感光性组合物,其特征在于,通式(A-1)所示的肟化合物是下述通式(A-2)所示的化合物,
Figure A2007800522890004C1
通式(A-2)
其中,所述通式(A-2)中,R1表示酰基、烷氧基羰基以及芳氧基羰基的任一种,它们也可以被取代基进一步取代;R3表示烷基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、卤原子、烷氧基羰基、硝基以及酰胺基的任一种;m表示0以上的整数,在该m表示2以上的整数时,该R3既可以相同,也可以不同,也可以相互连结而形成环;Ar表示芳香族环以及杂芳香族环的任一种;A表示4元环、5元环及6元环的任一种,它们也可以被取代基进一步取代;X表示氧原子以及硫原子的任一种。
9.根据权利要求8中所述的感光性组合物,其特征在于,以通式(A-2)表示的肟化合物是以下述通式(A-3)及(A-4)的任一个表示的化合物,
通式(A-3)
Figure A2007800522890005C1
通式(A-4)
其中,所述通式(A-3)及(A-4)中,R4表示烷基以及烷基氧基的任一种,它们也可以被取代基进一步取代;R5表示烷基、烷基氧基、芳氧基、烷硫基、芳硫基、卤原子、烷氧基羰基、硝基以及酰胺基的任一种;l表示0~6的整数,在该l表示2以上的整数时,该R5既可以相同,也可以不同,也可以相互连结而形成环;A表示5元环及6元环的任一种,它们也可以被取代基进一步取代;X表示氧原子以及硫原子的任一种。
10.根据权利要求6至9中任一项中所述的感光性组合物,其特征在于,还含有下述通式(F-1)所示的敏化剂,
Figure A2007800522890005C2
通式(F-1)
其中,所述通式(F-1)中,R10及R11既可以相同,也可以不同,表示选自也可以具有取代基的烷基、芳基及链烯基中的任一种,R10及R11也可以与它们所结合的硫原子一起形成由非金属元素构成的环;n表示0、1及2的任一个;G1及G2既可以相同,也可以不同,表示选自氢原子、氰基、以及也可以具有取代基的烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、芳基羰基、烷硫基、芳硫基、烷基磺酰基、芳基磺酰基及氟烷基磺酰基中的任一种,而G1及G2的任一个是选自氰基、以及也可以具有取代基的烷氧基羰基、芳氧基羰基、酰基、芳基羰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基及氟烷基磺酰基中的基团;G1及G2也可以与其所结合的碳原子一起形成由非金属原子构成的环。
11.根据权利要求10中所述的感光性组合物,其特征在于,通式(F-1)所示的敏化剂是下述通式(F-2)所示的化合物,
通式(F-2)
其中,所述通式(F-2)中,R13及R14既可以相同,也可以不同,表示选自氢原子、烷基、芳基、酰基、以及卤原子中的任一种,R13及R14也可以相互连结而形成芳香族环,也可以在所述芳香族环上还具有选自烷基、烷氧基、以及卤原子中的任一种;R15及R16既可以相同,也可以不同,表示选自氢原子、烷基以及芳基中的任一种;X表示氧原子及硫原子的任一种。
12.一种滤色片的制造方法,其特征在于,具有:
感光层形成工序,其中,将权利要求6至11中任一项所述的感光性组合物涂布于基板表面,进行干燥;
曝光工序,其中,将所述感光层以所需的图案状曝光、固化;
显影工序,其中,将所述曝光后的感光层的未固化区域除去。
13.根据权利要求12所述的滤色片的制造方法,其中,曝光工序是如下的工序,即,通过使用在二维排列的空间光变频设备,将光源波长处于350nm~420nm的范围内的光一边基于图像数据变频,一边相对地扫描,从而进行二维图像的形成。
14.根据权利要求12至13中任一项所述的滤色片的制造方法,其特征在于,基板的尺寸为1m2以上。
15.一种滤色片,其特征在于,其是利用权利要求12至14中任一项所述的滤色片的制造方法制造的。
16.一种液晶显示元件,其特征在于,将权利要求15所述的滤色片作为构件的至少一个使用。
CN200780052289A 2007-01-23 2007-08-01 肟化合物、感光性组合物、滤色片及其制造方法以及液晶显示元件 Pending CN101657414A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP013117/2007 2007-01-23
JP2007013117A JP5312743B2 (ja) 2006-02-01 2007-01-23 オキシム化合物及びそれを含む感光性組成物
JP088814/2007 2007-03-29

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101657414A true CN101657414A (zh) 2010-02-24

Family

ID=41711107

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200780052289A Pending CN101657414A (zh) 2007-01-23 2007-08-01 肟化合物、感光性组合物、滤色片及其制造方法以及液晶显示元件

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101657414A (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102858884A (zh) * 2010-09-22 2013-01-02 株式会社艾迪科 染料及着色感光性组合物
CN104246611A (zh) * 2012-03-30 2014-12-24 富士胶片株式会社 黑色树脂膜、静电电容型输入装置及它们的制造方法及具备其的图像显示装置
CN104471481A (zh) * 2012-05-30 2015-03-25 株式会社Lg化学 光敏树脂组合物和包含通过使用其制备的边框图案的触摸面板或显示器件
CN104823082A (zh) * 2012-11-29 2015-08-05 富士胶片株式会社 组合物、红外线透过滤光片及其制造方法、以及红外线传感器
CN108037634A (zh) * 2017-12-27 2018-05-15 浙江福斯特新材料研究院有限公司 一种激光直接成像正性感光水溶性阻焊干膜及用途
WO2020200018A1 (zh) * 2019-03-29 2020-10-08 常州格林感光新材料有限公司 用于彩色滤光片的感光性树脂组合物及彩色滤光片

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102858884A (zh) * 2010-09-22 2013-01-02 株式会社艾迪科 染料及着色感光性组合物
CN102858884B (zh) * 2010-09-22 2015-10-21 株式会社艾迪科 染料及着色感光性组合物
CN104246611A (zh) * 2012-03-30 2014-12-24 富士胶片株式会社 黑色树脂膜、静电电容型输入装置及它们的制造方法及具备其的图像显示装置
TWI574109B (zh) * 2012-03-30 2017-03-11 富士軟片股份有限公司 黑色樹脂膜、靜電電容型輸入裝置及它們的製造方法、以及具備其的影像顯示裝置
US9760219B2 (en) 2012-03-30 2017-09-12 Fujifilm Corporation Black resin film, capacitance type input device, method for producing them, and image display apparatus using the same
CN104246611B (zh) * 2012-03-30 2018-12-04 富士胶片株式会社 黑色树脂膜、静电电容型输入装置及它们的制造方法及具备其的图像显示装置
CN104471481A (zh) * 2012-05-30 2015-03-25 株式会社Lg化学 光敏树脂组合物和包含通过使用其制备的边框图案的触摸面板或显示器件
CN104471481B (zh) * 2012-05-30 2019-04-19 株式会社Lg化学 光敏树脂组合物和包含通过使用其制备的边框图案的触摸面板或显示器件
CN104823082A (zh) * 2012-11-29 2015-08-05 富士胶片株式会社 组合物、红外线透过滤光片及其制造方法、以及红外线传感器
CN104823082B (zh) * 2012-11-29 2017-07-28 富士胶片株式会社 组合物、红外线透过滤光片及其制造方法、红外线传感器及着色层
CN108037634A (zh) * 2017-12-27 2018-05-15 浙江福斯特新材料研究院有限公司 一种激光直接成像正性感光水溶性阻焊干膜及用途
WO2020200018A1 (zh) * 2019-03-29 2020-10-08 常州格林感光新材料有限公司 用于彩色滤光片的感光性树脂组合物及彩色滤光片

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101687794B (zh) 肟酯光引发剂
CN102199119B (zh) 肟酯光引发剂
CN101679394B (zh) 肟酯光引发剂
TWI574947B (zh) 肟酯光起始劑
CN104284888B (zh) 肟酯光敏引发剂
TWI465433B (zh) 肟酯光起始劑(三)
TWI639584B (zh) 肟酯光起始劑
TWI520940B (zh) 肟酯
TWI415838B (zh) 肟酯光起始劑
CN102112497B (zh) 光引发剂混合物
CN1720245B (zh) 带有杂芳基的肟酯光引发剂
TWI386393B (zh) 肟酯光起始劑
TWI626238B (zh) 肟酯光起始劑
CN101341172B (zh) 肟酯光引发剂
KR20090104877A (ko) 옥심 화합물, 감광성 조성물, 컬러 필터, 그 제조방법 및 액정표시소자
TW201700627A (zh) 著色組成物、著色硬化膜、彩色濾光片、顯示元件及固態攝影元件
TW201808874A (zh) 一種芴類多官能度光引發劑及其製備和應用、含芴類光引發劑的感光性樹脂組合物及其應用
CN101657414A (zh) 肟化合物、感光性组合物、滤色片及其制造方法以及液晶显示元件
JP2022518535A (ja) 特別なアロイル発色団を有するオキシムエステル光開始剤

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20100224