CN101524799B - 一种键合微细Al焊线的制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公布了一种键合微细Al焊线的制造方法,步骤为:先将Al-1%Si合金线坯用合金模拉至Φ1.0mm,然后60℃、20%浓度的NaOH溶液处理5-10秒,以去除线表面拉丝润滑油污,之后用水清洗;再用比重为1.7的磷酸50~90%,比重为1.5的硝酸5~20%,冰乙酸5~30%,氯化铜3~50克/升制成的化学抛光液进行抛光;抛光温度为80~100℃,时间为10~30秒,抛光量为10~50μm;抛光后再用水冲洗,热风干燥后,用收线轴收取,并将收取Φ1.0mm的Al焊线拉伸至Φ100~25μm的微细Al焊线。本发明对Φ1.0mm的Al合金线进行化学抛光,消除了表面缺陷,使润滑性提高,断头次数减少,生产效率提高。
Description
技术领域
本发明涉及一种键合微细Al焊线的制造方法,属于半导体器件、集成电路封装引线材料技术领域。
背景技术
众所周知,在IC封装中,Si片半导体元件上形成的电极垫片与引线框架之间要靠引线来连接,这种焊线通常是直径20~50μm的微细线。对于焊线的选择,从导电性和耐腐蚀性考虑用Au线最好,但从材料成本和与芯片基体连接的相容性上考虑,用Al线或Al-1%Si合金线又更合适。
在这种直径20~50μm微细Al焊线的拉伸加工中,减少断头次数,提高其拉伸特性是很重要的,它对生产效率、拉伸成本等有着极大的影响。
线材的表面状况与微细线的拉伸特性有很大的关联,如果表面有缺陷的话,将导致拉伸润滑性变坏,在随后的拉伸和退火中,线表面会沿拉伸方向出现伤痕和小孔。由此可见,表面上出现缺陷对微细丝拉伸会产生极不利的影响,它会增加断线次数,降低工作效率。
发明内容
针对上述现有技术,本发明提供了一种制造键合微细Al焊线的方法,其通过化学抛光来达到消除线材表面缺陷的目的,使断线次数减少,大大提高了工作效率。
本发明是通过以下技术方案实现的:
一种键合微细Al焊线的制造方法,步骤为:先将Al-1%Si合金线坯用合金模拉至Φ1.0mm,然后60℃、20%浓度的NaOH溶液处理5-10秒,以去除线表面拉丝润滑油污,然后用水清洗,之后用化学抛光液进行化学抛光,化学抛光后再用水冲洗,热风干燥后,用收线轴收取,最后再将收取直径为Φ1.0mm的Al焊线拉伸至直径为100~25μm的微细Al焊线。
所述化学抛光液是由以下组分配制而成:磷酸(H3PO4比重1.7)50~90%,硝酸(HNO3比重1.5)5~20%,冰乙酸(CH3COOH浓)5~30%,氯化铜(CuCl 2晶体)3~50克/升,磷酸、硝酸、冰乙酸均为体积分数;配制时,先将磷酸、硝酸、冰乙酸混合,然后加入氯化铜,搅拌混匀即可。
所述化学抛光的温度为80~100℃,时间为10~30秒,抛光量为10~50μm。
本发明对Φ1.0mm的Al合金线进行化学抛光,消除了表面缺陷,使表面平滑,而且在表面生成了极薄又均匀的氧化膜,使润滑性提高,断头次数减少,生产效率提高,线材表面质量得到明显改善。
附图说明
图1为本发明与现有工艺所得Al-1%Si合金细线各规格与单头长度的比较示意图。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步的说明:
实施例1:一种键合Al焊线的制造方法,步骤如下:
先将Al-1%Si合金线坯用合金模拉伸至Φ1.0mm,然年后60℃,20%NaOH溶液处理,以去除线表面拉丝润滑油污,然后用水清洗,然后进入化学抛光,在槽内浸渍100~300mm长度,化学抛光后再用水冲洗,热风干躁,最后用收线轴收取。
其操作工艺流程为:
拉丝→除油→水冲洗→化学抛光→水冲洗→热风吹干→收取。
其中,化学抛光液是由以下组分配制而成:磷酸(H3PO4比重1.7)50~90%,硝酸(HNO3比重1.5)5~20%,冰乙酸(CH3COOH浓)5~30%,氯化铜(CuCl2晶体)3~50克/升,磷酸、硝酸、冰乙酸均为体积分数;配制时,先将磷酸、硝酸、冰乙酸混合,然后加入氯化铜,搅拌混匀即可。
化学抛光的温度为80~100℃,时间为10~30秒,抛光量为10~50μm。
实施例2:将实施例1中制备的Al焊线用金刚石模按道次变形率平均7%,速度150米/分,拉伸到100~25μm,求出各线径的平均单头长度,与现有技术中普通工艺制备的相同尺寸的线材的平均单头长度相比较,结果如图1所示。
由图1可见,由于本发明对Φ1.0mm的Al合金线进行了化学抛光,消除了表面缺陷,使表面平滑,而且在表面生成了极薄又均匀的氧化膜,使润滑性提高断头次数减少,相同直径的本发明的线的平均单头长度长,特别是Φ60μm以下的差别更大。同时还看到,在极细丝拉伸时,随着线径平均长度急剧减少的转变点(如图1中Φ30μm和Φ60μm垂直线上方交点处)本发明中又移向线径小的倾向,可见,效果极大。例如从原来的Φ60μm移向Φ30μm。
Claims (1)
1.一种键合微细Al焊线的制造方法,其特征在于,步骤为:先将Al-1%Si合金线坯用合金模拉至Φ1.0mm,然后用60℃、20%浓度的NaOH溶液处理5-10秒,然后用水清洗,之后用化学抛光液进行化学抛光;所述化学抛光液由以下组分配制而成:比重为1.7的磷酸50~90%,比重为1.5的硝酸5~20%,冰乙酸5~30%,氯化铜3~50克/升,其磷酸、硝酸、冰乙酸均为体积分数,配制时,先将磷酸、硝酸、冰乙酸混合,然后加入氯化铜,搅拌混匀;所述化学抛光的温度为80~100℃,时间为10~30秒,抛光量为10~50μm;化学抛光后再用水冲洗,热风干燥后,用收线轴收取,最后再将收取直径为Φ1.0mm的Al焊线拉伸至直径为100~25μm的微细Al焊线。
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